特許 6080498 バルブ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6080498

(24)【登録日】2017年1月27日

(45)【発行日】2017年2月15日

(54)【発明の名称】バルブ装置

(51)【国際特許分類】

   F16K 31/04 20060101AFI20170206BHJP

   H02K 37/24 20060101ALI20170206BHJP

   F16H 25/20 20060101ALI20170206BHJP

【ＦＩ】

   F16K31/04 A

   H02K37/24 Q

   H02K37/24 L

   F16H25/20 B

【請求項の数】8

【全頁数】26

(21)【出願番号】特願2012-241019(P2012-241019)

(22)【出願日】2012年10月31日

(65)【公開番号】特開2014-92172(P2014-92172A)

(43)【公開日】2014年5月19日

【審査請求日】2015年9月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】日本電産サンキョー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100148301

【弁理士】

【氏名又は名称】竹原 尚彦

(74)【代理人】

【識別番号】100086450

【弁理士】

【氏名又は名称】菊谷 公男

(74)【代理人】

【識別番号】100077779

【弁理士】

【氏名又は名称】牧 哲郎

(74)【代理人】

【識別番号】100078260

【弁理士】

【氏名又は名称】牧 レイ子

(74)【代理人】

【識別番号】100148301

【弁理士】

【氏名又は名称】竹原 尚彦

(72)【発明者】

【氏名】石水 昭夫

【審査官】 北村 一

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭６１−１９１２５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０２４２７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２８１４２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１６３３７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１０８２２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−２２１３５９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｋ ３１／０４

Ｆ１６Ｈ ２５／２０

Ｈ０２Ｋ ３７／２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１ケース部と第２ケース部とを互いに接合して構成した密閉ケース内で、モータにより駆動される弁体が、前記第２ケース部に設けた流体の給排口を開閉するバルブ装置において、
前記モータのロータを前記第１ケース部内に配置すると共に、前記ロータを駆動するステータ部を前記密閉ケース外に配置して、前記ロータに設けられた永久磁石と前記第１ケース部と前記ステータ部のステータコアとが前記ロータの回転軸の径方向に重なるように構成し、
前記ロータの一端側を回転可能に支持しながら径方向の位置を規制する第１支持部材と、前記ロータの他端側を回転可能に支持しながら径方向の位置を規制する第２支持部材を、それぞれ前記第１ケース部で支持させていると共に、
前記第１ケース部および前記第２ケース部は、それぞれ有底筒形状を有しており、
前記第１ケース部の前記第２ケース部側の開口と、前記第２ケース部の前記第１ケース部側の開口には、それぞれ径方向外側に延びる鍔部が全周に亘って設けられており、前記第１ケース部と前記第２ケース部は、互いに重ね合わせた前記鍔部同士を溶接により接合して、前記密閉ケースを構成しており、
前記第２支持部材は、樹脂材料から構成されていることを特徴とするバルブ装置。

【請求項2】

前記ロータの回転を、前記弁体に連結された軸部材の進退移動に変換する変換機構を備え、
前記第２支持部材は、前記軸部材を挿通させる挿通穴と、挿通穴を囲む円筒壁を有しており、
前記ロータの他端側には、前記円筒壁に外挿支持される嵌合穴が設けられており、
前記ロータの他端側は、前記嵌合穴の内周面と、前記円筒壁の外周面で支持されていることを特徴とする請求項１に記載のバルブ装置。

【請求項3】

前記変換機構は、
前記ロータ部の内周に設けられた雌ネジと、
前記軸部材の外周に設けられた雄ネジと、から構成されるネジ送り機構であり、
前記雌ネジと前記雌ネジは、前記ロータの軸線上に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のバルブ装置。

【請求項4】

軸方向から見た前記第１支持部材と前記第２支持部材の外形は、それぞれ円形を成しており、
前記第１ケース部は、有底円筒形状を有すると共に、前記ロータの外径よりも小径の円筒状の小径部と、前記ロータの外径よりも大径の円筒状の大径部と、を有しており、
前記第１支持部材と前記第２支持部材は、前記小径部と前記大径部に、それぞれ位置決めされていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載のバルブ装置。

【請求項5】

前記第１支持部材は、前記ロータの軸線方向の位置を規制するスラスト軸受部を備え、
前記スラスト軸受部と前記軸部材と前記弁体と前記給排口が、前記ロータの軸線上に配置されていることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のバルブ装置。

【請求項6】

前記第１ケース部の鍔部と前記第２ケース部の鍔部は、前記第２支持部材から径方向外側に離間した位置で互いに接合されており、
前記第２支持部材の径方向外側に、前記第１ケース部の鍔部と前記第２ケース部の鍔部との間に形成された隙間が設けられていることを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載のバルブ装置。

【請求項7】

前記第２支持部材は、前記密閉ケース内を、前記第１ケース部側の空間と前記第２ケース部側の空間とに区画しており、前記第２支持部材には、前記第１ケース部側の空間と、前記第２ケース部側の空間とを連通させる連通穴が設けられていることを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載のバルブ装置。

【請求項8】

前記第２支持部材には、前記第１ケース部と前記第２ケース部のうちの少なくとも一方に係合して、前記第２支持部材を回り止めする係合部が設けられていることを特徴とする請求項１から請求項７の何れか一項に記載のバルブ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、バルブ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、モータの回転を作動部材の軸方向の進退移動に変換するネジ送り機構を備えるバルブ装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１−１６９４３８号公報

【0004】

このバルブ装置は、有底筒形状の第１ケース部と第２ケース部とを備えており、これら第１ケース部と第２ケース部は、各々の開口側に設けた鍔部を重ね合わせて互いに接合することで、内部に密閉された空間を有する本体ケースを構成している。

【0005】

本体ケース内の空間は、第１ケース部の鍔部と第２ケース部の鍔部の合わせ面に設けた仕切壁により２つに区画されており、この本体ケースでは、第１ケース部側に流体が流入するバルブ室が画成され、第２ケース部側にモータのロータを収容する収容室が画成されている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

第２ケース部内に配置されたロータは、その一端が、第２ケース部で回転可能に支持されており、他端が、第１ケース部側に固定された仕切壁で回転可能に支持されている。

【0007】

そのため、ロータの他端側の軸心精度は、仕切壁の第１ケース部に対する固定位置と、第１ケース部と第２ケース部との組付け位置の影響を受けるようになっており、これらの位置の僅かなズレによって、ロータ全体の軸心精度を高めることが困難となるおそれがある。

【0008】

そこで、バルブ装置において、ロータの軸心精度をより向上させることが求められている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、第１ケース部と第２ケース部とを互いに接合して構成した密閉ケース内で、モータにより駆動される弁体が、前記第２ケース部に設けた流体の給排口を開閉するバルブ装置において、
前記モータのロータを前記第１ケース部内に配置すると共に、前記ロータを駆動するステータ部を前記密閉ケース外に配置して、前記ロータに設けられた永久磁石と前記第１ケース部と前記ステータ部のステータコアとが前記ロータの回転軸の径方向に重なるように構成し、
前記ロータの一端側を回転可能に支持しながら径方向の位置を規制する第１支持部材と、前記ロータの他端側を回転可能に支持しながら径方向の位置を規制する第２支持部材を、それぞれ前記第１ケース部で支持させていると共に、
前記第１ケース部および前記第２ケース部は、それぞれ有底筒形状を有しており、
前記第１ケース部の前記第２ケース部側の開口と、前記第２ケース部の前記第１ケース部側の開口には、それぞれ径方向外側に延びる鍔部が全周に亘って設けられており、前記第１ケース部と前記第２ケース部は、互いに重ね合わせた前記鍔部同士を溶接により接合して、前記密閉ケースを構成しており、
前記第２支持部材は、樹脂材料から構成されていることを特徴とするバルブ装置とした。

【発明の効果】

【0010】

ロータの一端側を回転可能に支持する第１支持部材と、ロータの他端側を回転可能に支持する第２支持部材とが、共通の第１ケース部に固定されているので、ロータの軸心精度が、共通の第１ケース部を基準として決まることになる。よって、ロータの軸心精度をより向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施の形態にかかるバルブ装置の断面図である。

【図2】バルブ装置の要部の分解斜視図である。

【図3】バルブ装置の要部の拡大断面図である。

【図4】ステッピングモータのロータ部を説明する図である。

【図5】ゼネバ歯車を説明する図である。

【図6】ゼネバ歯車の機能を説明する図である。

【図7】支持部材を説明する図である。

【図8】仕切壁を説明する図である。

【図9】仕切壁の断面図である。

【図10】仕切壁と支持部材との結合状態を説明する図である。

【図11】仕切壁をロータ部側から見た斜視図である。

【図12】弁体を説明する図である。

【図13】支持部材と固定部材の嵌合と、作動部材の位置決めを説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明の実施の形態を、ガス流量を調整するためのバルブ装置１に適用した場合を例に挙げて説明する。

【0013】

図１に示すように、バルブ装置１では、第１ケース部１０と第２ケース部２０とから形成される本体ケース２内の空間が、仕切壁３０により区画されており、ガス流入管３とガス排出管４とが接続された第２ケース部２０側がバルブ室５、第１ケース部１０がロータ部９０の収容室となっている。

【0014】

バルブ室５内では、ガス流入管３の開口３ａを開閉するための弁体６が、仕切壁３０を貫通した作動部材７の先端に取り付けられている。

【0015】

このバルブ装置１では、ステッピングモータ８のロータ部９０の回転が、後記するネジ送り機構により、作動部材７の軸線Ｘ方向の進退移動に変換されるようになっており、作動部材７の軸方向の進退移動に伴って、作動部材７の先端部に取り付けられた弁体６が、進退移動してガス流入管３の開口３ａを開閉するようになっている。

【0016】

このバルブ装置１では、熱媒体（冷媒）などの気体もしくは液体状の高圧流体がガス流入管３を介して、バルブ室５内に導かれるようになっている。

【0017】

以下、バルブ装置１の各部の構成を詳細に説明する。

【0018】

第２ケース部２０は、円板形状の底部２１と、底部２１を囲む軸線Ｘ方向に延びる筒状の周壁部２２と、周壁部２２の底部２１とは反対側の端部から径方向外側に延びる鍔部２３とを、備える。

【0019】

底部２１の中央には、ガス流入管３の取付部材２７が、底部２１を厚み方向に貫通して設けられている。

【0020】

取付部材２７は、貫通穴２８を有する筒状の部材であり、バルブ室５内に位置する先端部２７ａは、ガス流入管の開口３ａを取り囲む環状で、弁体６が当接する当接部となっている。そのため、弁体６による開口３ａの閉鎖が確実に行われるようにするために、先端部２７ａは、ガス流入管３よりも厚肉で形成されて、弁体６から作用する押圧力で容易に変形しないようになっている。

【0021】

貫通穴２８の途中には、ガス流入管３の先端３ｂが当接する縮径部２８ａが設けられている。

【0022】

取付部材２７では、縮径部２８ａよりも先端部２７ａ側の内径Ｄａは、軸線Ｘ上を直線状に延びるガス流入管３の内径よりも小さい径で形成されている。

【0023】

周壁部２２には、軸線Ｘの直交方向に開口する開口２２ａが設けられており、この開口２２ａには、軸線Ｘに直交する方向に延びるガス排出管４の先端４ａ側が挿入されている。ガス排出管４は、その先端４ａ側を開口２２ａに挿通させた状態で、周壁部２２に溶接されて固定されている。

【0024】

鍔部２３の外周縁２３２は、内径側のリング状の基部２３１よりも第１ケース部１０側の上方に位置しており、外周縁２３２は、全周に亘って第１ケース部１０の鍔部１３に当接している。

【0025】

この外周縁２３２の鍔部１３との当接部分は、全周に亘って溶接されており、これにより、第１ケース部１０と第２ケース部２０とが互い接合されて、本体ケース２を構成している。ここで、実施の形態では、外周縁２３２の鍔部１３との当接部分は、不活性ガスを常時吹き付けながら溶接するＴＩＧ溶接により接合される。

【0026】

第１ケース部１０は、ステンレス板をプレス成型することで形成され、円板形状の底部１１と、底部１１を囲む周壁部１２と、周壁部１２の底部１１とは反対側の端部から径方向外側に延びる鍔部１３と、を備える。

【0027】

鍔部１３は、第２ケース部２０の鍔部２３と同じ外径で形成されている。

【0028】

底部１１の中央部には、有底円筒形状の支持部１１１が、ロータ部９０から離れる方向（図中上側）に突出して設けられている。この支持部１１１は、ロータ部９０の外径Ｄ１よりも小さい外径Ｄ３に形成されており、この支持部１１１には、ロータ部９０の一端側の軸部９２を回転可能に支持する軸受部材２４が、例えば圧入により位置決めされて保持されている。

【0029】

周壁部１２は、ともに軸線Ｘ方向に延びる筒状の底部１１側の小径部１２ａと、鍔部１３側の大径部１２ｂとを備えている。小径部１２ａと大径部１２ｂは、軸線Ｘと垂直方向に延びる環状部によって連結され、段差を構成する。

【0030】

小径部１２ａは、ロータ部９０の外径Ｄ１よりも僅かに大きい内径Ｄ２に形成されている。この小径部１２ａの径方向外側には、ステッピングモータ８のステータ部８０が、径方向内側にはロータ部９０が、それぞれ設けられており、小径部１２ａを挟んで外側と内側に位置するステータ部８０とロータ部９０とにより、ステッピングモータ８が構成されている。

【0031】

ステッピングモータ８のステータ部８０は、ステータコア８１と、ボビン８２と、駆動コイル８３と、モータケース８８とから構成される。

【0032】

ステータコア８１の内周部８１ａは、図示しない極歯が、軸線Ｘ周りの周方向に所定間隔で並べられた筒形状を有している。

【0033】

ステータ部８０では、一組のステータコア８１が、円板部８１ｂを互いに接触させると共に、内周部８１ａを互いに反対方向に向けた状態で設けられており、この状態で、一方のステータコア８１の極歯と、他方のステータコア８１の極歯とが、軸線Ｘ周りの周方向において交互に並ぶように配置されている。

【0034】

ステータコア８１の内周部８１ａの外周には、駆動コイル８３が巻き付けられたボビン８２が外嵌して設けられている。

【0035】

駆動コイル８３の端部は、それぞれ端子８４、８４に巻き付けられており、この端子８４、８４の先端側が、コネクタ端子８５が接続された回路基板８６に接続している。

【0036】

ステータ部８０を収容するモータカバー８７は、樹脂材料（例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド））から構成され、鍔部１３からステッピングモータ８側に延びる取付部材２６の係止部２６ａに、係合爪８７ａを係止させて設けられている。

【0037】

ロータ部９０は、一端が封止された筒状の本体部９１の外周に、リング状の永久磁石１００を備えて構成され、第１ケース部１０内で、軸線Ｘ周りに回転可能に設けられている。このロータ部９０の本体部９１と永久磁石１００とは、インサート成形により一体に形成されている。

【0038】

本体部９１の封止端９１ａの中央部には、円筒形状の軸部９２が、第１ケース部１０の底部１１側（図中上側）に突出して設けられている。

【0039】

この軸部９２に対して軸線Ｘの軸方向で対向する底部１１の中央部には、前記した支持部１１１が設けられており、この支持部１１１には、有底円筒形状の軸受部材２４が圧入により固定されている。軸受部材２４は、ロータ部９０（軸部９２）の軸線方向の位置を規制するスラスト軸受部２４１と、ロータ部９０（軸部９２）の径方向の位置を規制するラジアル軸受部２４２と、を備えており、この軸受部材２４では、ロータ部９０の軸部９２が回転可能に支持されている。

【0040】

これにより、軸線Ｘ周りに回転するロータ部９０の一端側の軸心合わせが、この支持部１１１に固定された軸受部材２４により行われるようになっている。

【0041】

本体部９１の長手方向における略中央部と、軸部９２の近傍には、軸方向から見てリング状の突出部９１ｂ、９１ｂが全周に亘って設けられており、この突出部９１ｂ、９１ｂの間に永久磁石１００が位置している。

【0042】

図２は、バルブ装置１の要部を分解して示す斜視図であり、図３は、バルブ装置１の要部の断面を拡大して示す図である。

【0043】

図４の（ａ）は、ロータ部９０の斜視図であり、（ｂ）は、ロータ部９０を仕切壁３０側から見た平面図である。

【0044】

図２から図４を参照して、ロータ部９０を説明する
図３に示すように、ロータ部９０の本体部９１では、軸部９２とは反対側に、突出部９１ｂよりも径が小さい小径軸部９３が設けられている。

【0045】

小径軸部９３の外周には、軸線Ｘの軸方向（ロータ部９０の長手方向）に沿って延びるゼネバピン９３ａ（図２、図４参照）が設けられており、ゼネバピン９３ａは、突出部９１ｂの近傍から先端部９３ｅまでの範囲に形成されている。

【0046】

図４に示すように、小径軸部９３では、突出部９１ｂ側の外周に、軸方向から見て略Ｃ字形状の膨出部９３ｂが設けられている。膨出部９３ｂは、ゼネバピン９３ａと同じ径方向高さで形成されており、ゼネバピン９３ａとの間には、後記するゼネバ歯車１１０の歯部１１２ｂ（図６の（ｂ）参照）が係合するための歯溝部９３ｄ（図４の（ｂ）参照）が設けられている。

【0047】

そして、この膨出部９３ｂにおける歯溝部９３ｄの近傍部分であるストッパ部９３ｃ、９３ｃが、後記するゼネバ歯車１１０の度当たり１１２ｄ、１１２ｅが当接する当接部となっている。

【0048】

図２および図３に示すように、小径軸部９３の径方向外側には、ロータ部９０の軸線Ｘ周りの回転角度を規定するゼネバ歯車１１０が設けられている。

【0049】

ゼネバ歯車１１０の回転軸１１６は、仕切壁３０の軸受部３８の軸受穴３８ａと、ブラケット部材１１５の軸受穴１１５ａとで、回転可能に支持されており、ゼネバ歯車１１０は、ロータ部９０の軸線Ｘに平行な軸線Ｘ’周りに回転可能に設けられている。また、ゼネバ歯車１１０は永久磁石１００と軸方向で重なる位置に設けられている。このため第１ケース部１０の大径部１２ｂの径を小さくすることができる。

【0050】

図５の（ａ）は、ゼネバ歯車１１０を仕切壁３０側から見た斜視図であり、（ｂ）は仕切壁３０側から見た平面図である。

【0051】

図５に示すように、ゼネバ歯車１１０は、回転軸１１６が挿通されるリング状の支持部１１１と、支持部１１１よりも大径の大径部１１２とを備える。

【0052】

大径部１１２では、ゼネバ歯車１１０の回転中心（軸線Ｘ’）を通る直線Ｌ（図５の（ｂ）参照）を境にして一方側の半円部に、歯溝部１１２ａと、歯部１１２ｂと、突出部１１２ｃと、が設けられている。

【0053】

歯部１１２ｂと突出部１１２ｃとは、大径部１１２の周方向で交互に設けられている。歯部１１２ｂは、大径部１１２の厚み方向（軸線Ｘ’の軸方向）における全長に亘って形成されており、突出部１１２ｃは、ロータ部９０の回転を阻害しないようにするために、ロータ部９０の膨出部９３ｂとの接触を避ける厚み（高さＨｚ）で形成されている。

【0054】

直線Ｌを境にして反対側の半円部のうち、歯溝部１１２ａに面した部分である両側部１１２ｄ、１１２ｅは、ロータ部９０の回転範囲（回転角度）を規定する度当たりを構成している。

【0055】

図６は、ゼネバ歯車１１０と、ロータ部９０のゼネバピン９３ａとの噛合と、ゼネバ歯車１１０によるロータ部９０の回転範囲（回転角度）の規制を説明する図であって、（ａ）は、ゼネバ歯車１１０の一方の度当たり１１２ｅで、ロータ部９０の回転が規制された状態を、（ｂ）は、ゼネバ歯車１１０の歯溝部１１２ａと、ロータ部９０のゼネバピン９３ａとが係合した状態を示す図であり、（ｃ）は、ゼネバ歯車１１０の他方の度当たり１１２ｄで、ロータ部９０の回転が規制された状態を示す図である。

【0056】

実施の形態では、ロータ部９０のゼネバピン９３ａは、ゼネバ歯車１１０の歯溝部１１２ａに挿入されて歯部１１２ｂと係合するようになっており、ロータ部９０が軸線Ｘ周りに１回転する毎に、ゼネバ歯車１１０が、ゼネバピン９３ａにより所定角度ずつ軸線Ｘ’周りに回転させられるようになっている。

【0057】

図６の（ｂ）に示す状態で、ロータ部９０が反時計回り方向ＣＣＷに回転すると、ゼネバ歯車１１０の度当たり１１２ｅが、膨出部９３ｂのストッパ部９３ｃに当接した時点で、ロータ部９０の回転が阻止される（図６の（ａ）参照）。

【0058】

この図６の（ａ）に示す角度位置では、ロータ部９０は、反時計回り方向ＣＣＷへの回転が規制されて、時計回り方向ＣＷにしか回転できない状態となっている。

【0059】

この状態からロータ部９０が時計回り方向ＣＷに回転すると、ロータ部９０が２回転した時点で、図６の（ｂ）に示す状態となり、この状態からさらに時計回り方向ＣＷに１回転して、ゼネバ歯車１１０の度当たり１１２ｄが、膨出部９３ｂのストッパ部９３ｃに当接した時点で、ロータ部９０の回転が阻止される（図６の（ｃ）参照）。

【0060】

この図６の（ｃ）に示す角度位置では、ロータ部９０は、時計回り方向ＣＷへの回転が規制されて、反時計回り方向ＣＣＷにしか回転できない状態となる。

【0061】

なお、ゼネバ歯車１１０の突出部１１２ｃは、ロータ部９０の膨出部９３ｂとの干渉を避ける高さで形成されているので、ゼネバ歯車１１０とロータ部９０とが干渉することなく相対回転できる。

【0062】

さらに、実施の形態では、ロータ部９０が、図６の（ｂ）に示す位置から反時計回り方向に１回転した時点で、弁体６が、ガス流入管３の取付部材２７の先端部２７ａ（図１参照）に当接し、そこからロータ部９０がさらに１回転して、図６の（ａ）に示す位置に達するまでの間は、弁体６と作動部材７とが、スプリング７６（図３参照）を圧縮しながら、軸線Ｘの軸方向で相対移動するようになっている。

【0063】

前記したように、バルブ装置１では、ステッピングモータ８のロータ部９０の回転が、ネジ送り機構により、作動部材７の軸方向の進退移動に変換されるようになっている。

【0064】

ネジ送り機構は、図３に示すように、仕切壁３０の係合部３５に回転不能に取り付けられて、作動部材７を回転不能かつ軸方向に進退移動可能に支持す支持部材１２０と、ロータ部９０の内周に設けられた雌ネジ９５と、作動部材７から延びる軸部材７１の外周に設けられた雄ネジ７１ａとから構成される。なお、雌ネジ９５および軸部材７１は、ロータ部９０の軸線上に配置される。

【0065】

図７の（ａ）は、支持部材１２０を仕切壁３０側から見た平面図であり、（ｂ）は、弁体６側から見た平面図であり、（ｃ）は、側面図であり、（ｄ）は、（ａ）におけるＡ−Ａ断面で支持部材１２０を切断した斜視図である。

【0066】

図３に示すように、支持部材１２０は、仕切壁３０から弁体６側に突出する係合部３５に対して、軸方向（弁体６側）から着脱自在とされている。

【0067】

図７の（ｄ）に示すように、支持部材１２０は、円筒形状の基部１２１と、この基部１２１の弁体６側の一端から径方向外側に延びるフランジ部１２２と、を備える。

【0068】

基部１２１を長手方向に貫通する中央開口１２３は、作動部材７の嵌合部７２の外径と整合する内径を有している。中央開口１２３の内周面には、径方向内側に突出する突出部１２１ａが設けられており、この突出部１２１ａは、軸線Ｘ周りの周方向で１２０°間隔で二つ設けられている。

【0069】

実施の形態では、支持部材１２０の中央開口１２３に、後記する作動部材７の嵌合部７２が挿通されるようになっており、この際に突出部１２１ａが嵌合部７２の凹溝７２ａに嵌合することで、支持部材１２０と作動部材７との軸線Ｘ周りの相対回転が阻止されるようになっている。

【0070】

基部１２１の外周面におけるフランジ部１２２側には、径方向外側に突出して係合突起１２４が設けられており、この係合突起１２４は、軸線Ｘ周りの周方向で等間隔をあけて複数設けられている。

【0071】

この係合突起１２４は、支持部材１２０を仕切壁３０の係合部３５に取り付けた際に、後記する係合部３５の係合突起３５ａに嵌合して、支持部材１２０を仕切壁３０に対して、回り止めされた状態で取り付けるために設けられている。具体的には、隣接する係合突起１２４と係合突起１２４の間に構成される凹部に係合突起３５ａが嵌合する。このため、仕切壁３０に対する支持部材１２０の取付け位置は、係合突起１２４（隣接する係合突起１２４と係合突起１２４の間に構成される凹部）が構成される間隔で調整可能となる。本実施例では係合突起１２４が周方向に１２個等間隔に設けられるため、仕切壁３０に対する支持部材１２０の取付け位置を３０度の倍数で変更できる。

【0072】

図８は、仕切壁３０を説明する図であって、（ａ）は、弁体６側から見た平面図、（ｂ）はロータ部９０側から見た平面図である。

【0073】

図９は、図８の（ａ）におけるＡ−Ａ断面図であり、第１ケース部１０、第２ケース部２０、ロータ部９０の小径軸部９３を、図中仮想線で示した図である。

【0074】

図１０は、支持部材１２０と、仕切壁３０の係合部３５との係合状態を説明する図であり、（ａ）は、仕切壁３０を弁体６側から見た斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）における面Ａで、支持部材１２０と係合部３５との係合部を切断した断面図である。

【0075】

仕切壁３０は、円盤形状の基部３１を有しており、この基部３１の中央部には、作動部材７の軸部材７１を挿通させる挿通穴３２が、厚み方向に貫通して設けられている。

【0076】

図９に示すように、仕切壁３０のロータ部９０側の面３１ｂには、挿通穴３２を囲む円筒壁３３が設けられており、この円筒壁３３は、軸線Ｘの軸方向に所定長さＬ１で形成されている。

【0077】

実施の形態では、仕切壁３０の挿通穴３２に挿通された軸部材７１が、この円筒壁３３（挿通穴３２）で、軸線Ｘ方向に進退移動可能に支持されるようになっており、進退移動する際の軸部材７１の軸心触れが、円筒壁３３により抑えられるようになっている。

【0078】

また、円筒壁３３の先端３３ａ側は、ロータ部９０の本体部９１の嵌合穴９１ｃに内挿されており、ロータ部９０の他端側（小径軸部９３側）が、この円筒壁３３で回転可能に支持されている。これにより、軸線Ｘ周りに回転するロータ部９０の他端側の軸心合わせが、仕切壁３０と一体に形成された円筒壁３３により行われるようになっている。

【0079】

すなわち、ロータ部９０の本体部９１の仕切壁３０側の端部には、嵌合穴９１ｃが開口しており、仕切壁３０には、軸部材７１を軸方向に進退移動可能に挿通させる挿通穴３２と、この挿通穴３２を囲む円筒壁３２が設けられている。そして、本体部９１は、外周に嵌合穴９１ｃの内周を、円筒壁３２の外周に外挿した状態で、摺動回転可能に支持されており、これら嵌合穴９１ｃと円筒壁３２とにより、本体部９１の先端部９３ｅ側のラジアル軸受が構成されている。

【0080】

仕切壁３０のロータ部９０側の面３１ｂには、円筒壁３３を所定間隔で囲む環状壁３４が設けられている。環状壁３４は、前記したゼネバ歯車１１０の径方向外側を、軸線Ｘの軸方向に所定長さＬ２で形成されている。

【0081】

この環状壁３４の外径Ｄ４は、第１ケース部１０の周壁部１２における大径部１２ｂの内径と整合しており、仕切壁３０は、環状壁３４を大径部１２ｂに、例えば圧入により第１ケース部１０に位置決めされるようになっている。

【0082】

図８の（ｂ）に示すように、円筒壁３３と環状壁３４との間の部分には、軸線Ｘを通る直線Ｎに沿って溝３１ｅが形成されており、この溝３１ｅは、軸線Ｘ周りの周方向で、１２０°間隔で三つ設けられている。

【0083】

実施の形態では、図３に示すように、仕切壁３０とロータ部９０の先端部９３ｅとの間に、ロータ部９０の軸方向におけるガタツキを防止するための板バネ１４０が配置されており、この板バネ１４０の脚部１４１（図１１参照）が、この溝３１ｅ内に配置されて、仕切壁３０に接触するようになっている。

【0084】

溝３１ｅの内径側の端部には、仕切壁３０を厚み方向に貫通する貫通穴３１ｃ設けられており、第１ケース部１０内の空間と第２ケース部２０内の空間とが、この貫通穴３１ｃを介して互いに連通している。

【0085】

さらに、円筒壁３３と環状壁３４との間の部分には、ロータ部９０側に突出して板状の支持部材３９、３９が設けられている。支持部材３９、３９は、仕切壁３０に設けた軸受穴３８ａの両側に設けられており、前記したブラケット部材１１５（図２参照）を、仕切壁３０に取り付けるために設けられている。

【0086】

支持部材３９、３９は、側面視において略矩形形状を有しており、軸受穴３８ａとは反対側の側面に突起３９ａが設けられている。ブラケット部材１１５は、軸線Ｘ’の軸方向に伸びる腕部１１５ｂに設けた開口部１１５ｃを、この突起３９ａに係合させて、支持部材３９、３９に取り付けられるようになっている。

【0087】

また、支持部材３９、９３の仕切壁３０側の基部には、仕切壁３０を厚み方向に貫通する貫通穴３１ｄが設けられており、第１ケース部１０内の空間と第２ケース部２０内の空間とが、この貫通穴３１ｃを介して互いに連通している。

【0088】

図９に示すように、仕切壁３０の弁体６側の面３１ａにおける、支持部材３９とは反対側の位置には、ゼネバ歯車１１０の回転軸１１６を支持するための軸受部３８が、弁体６側（図中左側）に突出して設けられている。

【0089】

この軸受部３８の径方向外側には、弁体６側（図中左側）に突出して、円柱形状の係合突起３１１が設けられており、この係合突起３１１は、軸線Ｘ周りの周方向で１８０°間隔で２つ設けられている（図８の（ａ）参照）。

【0090】

この係合突起３１１は、第１ケース部１０と第２ケース部２０との間に仕切壁３０を挟み込んで、本体ケース２を構成した際に、第２ケース部２０の係合凹部２３３に嵌入するようになっており、仕切壁３０が軸線Ｘ周りに回転することを防止するために設けられている。

【0091】

仕切壁３０の外周縁３１ｆの径方向外側には、第１ケース部１０と第２ケース部２０との間に空間（隙間）Ｓが形成されており、第１ケース部１０の鍔部１３の外周縁１３ａと第２ケース部２０の外周縁２３２とは、仕切壁３０の外周縁３１ｆから径方向外側に所定距離ｈ３離間した位置で互いに溶接により接合されている。

【0092】

実施の形態では、仕切壁３０が樹脂材料例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド））で構成されている。そのため、第１ケース部１０（外周縁１３ａ）と第２ケース部２０（外周縁２３２）の溶接位置（図９において符号Ｗ参照）を、仕切壁３０の外周縁３１ｆから径方向外側に所定距離ｈ３離れた位置に設定することで、溶接熱で仕切壁３０が変形することが好適に防止されるようになっている。

【0093】

仕切壁３０は、環状壁３４を第１ケース部１０の周壁部１２（大径部１２ｂ）に圧入して取り付けられており、この環状壁３４により、仕切壁３０の第１ケース部１０に対する位置決めが行われるようになっている。

【0094】

そのため、溶接熱がこの環状壁３４まで伝わって環状壁３４が変形すると、仕切壁３０の位置決めが損なわれることになるため、溶接位置Ｗを仕切壁３０の径方向外側に位置させることで、かかる変形の問題が生じないようにされている。

【0095】

また、仕切壁３０の径方向外側では、第１ケース部１０と第２ケース部２０との間に空間Ｓが確保されており、仕切壁３０が溶接位置Ｗに隣接しないようにされている。この場合には、空間Ｓが断熱層として機能して、溶接熱の仕切壁３０側への伝達を抑えることができるので、仕切壁３０（環状壁３４）の変形を好適に防止できる。

【0096】

仕切壁３０の弁体６側の面３１ａには、挿通穴３２を囲む係合部３５が設けられている。この係合部３５の開口３６は、基部３１から離れる方向（図９において左方向）に２段階に拡径しており、基部３１側に小径部３６１、弁体６側（図中左側）に大径部３６２が位置している。

【0097】

小径部３６１の内径Ｄ５は、前記した支持部材１２０の基部１２１（図７参照）の外径と整合しており、支持部材１２０を仕切壁３０に組み付けた際に、支持部材１２０の基部１２１がこの小径部３６１に内嵌して取り付けられるようになっている。

【0098】

図８の（ａ）に示すように、大径部３６２の内周面には、径方向内側に突出する係合突起３５ａが、軸線Ｘ周りの周方向で間隔をあけて複数設けられており、この係合突起３５ａは、軸線Ｘの軸方向で大径部３６２の全長に亘って延びている。なお、基部１２１の係合突起３５ａの数は係合突起１２４の数より少ない。このため、仕切壁３０の係合部３５に、係合突起３５ａと嵌合部７２を径方向に重ならないように配置することができる。

【0099】

図８の（ａ）に示すように、係合部３５には、軸線Ｘ周りの周方向において１２０度間隔で、切欠き３５ｂが設けられている。

【0100】

軸方向から見て、切欠き３５ｂの底部には、貫通穴３１ｃが露出しており、この貫通穴３１ｃの径方向外側には、係合部３５と同方向に突出して腕部３７が設けられている。

【0101】

図９に示すように、腕部３７は、軸線Ｘの軸方向に沿って延びており、この腕部３７の基部３１からの高さｈ１は、係合部３５の基部３１からの高さｈ２よりも高くなっており、腕部３７の先端には、径方向内側に突出する爪部３７ａが設けられている。

【0102】

この爪部３７ａは、支持部材１２０を仕切壁３０（係合部３５）に組み付けた際に、支持部材の係合段部１２２ａ（図３参照）に係合して、支持部材１２０の仕切壁３０からの脱落を阻止するようになっている。

【0103】

これにより、支持部材１２０は、その基部１２１を係合部３５の小径部３６１に嵌合させ、当接面１２２ｂを係合部３５の先端３５ｂに当接させた状態で保持されるようになっている。

【0104】

さらに、図１０の（ｂ）に示すように、この状態において支持部材１２０は、周方向で隣接する２つの係合突起１２４、１２４を、係合部３５の周方向で隣接する係合部３５、３５の間に位置させており、支持部材１２０と係合部３５（仕切壁３０）とが互いに回り止めされた状態で連結されている。

【0105】

図２および図３に示すように、作動部材７では、支持部材１２０に嵌合する嵌合部７２と、弁体６への連結部７３と、スプリング支持部７４とが、同一の樹脂材料（例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド））で構成され、これらとＳＵＳ材からなる軸部材７１とが、インサート成形により一体に形成されている。

【0106】

軸部材７１の先端側の外周には、ロータ部９０の雌ネジ９５に係合する雄ネジ７１ａが、設けられている。

【0107】

図３に示すように、軸部材７１の基端側は、嵌合部７２を貫通してスプリング支持部７４まで及んで設けられており、図２に示すように、円筒状の嵌合部７２の外周には、軸方向に沿って延びる凹溝７２ａが、長手方向の全長に亘って設けられている。この凹溝７２ａは、軸線Ｘを挟んで対称となる位置に設けられており、軸線Ｘ周りの周方向に１２０°間隔で設けられている。

【0108】

図３に示すように、スプリング支持部７４は、嵌合部７２よりも大径の円柱部７４ａと、円柱部７４ａの嵌合部７２側の端部に設けられたフランジ部７４ｂと、を備える。

【0109】

円柱部７４ａの外径は、スプリング７６の内径と略同じであり、この円柱部７４ａには、スプリング７６の一端側が外挿されて取り付けられるようになっている。フランジ部７４ｂの外径は、スプリング７６の外径よりも僅かに大きい径を有しており、スプリング７６の一端が当接するようになっている。

【0110】

スプリング支持部７４に隣接する連結部７３は、基本形状が円柱形状であり、この連結部７３の先端の外周に、径方向外側に突出する突起７３ａが、軸線Ｘを挟んで反対方向に突出して設けられている。

【0111】

連結部７３の突起７３ａが設けられた先端側は、弁体６の開口６２ａに挿入されて、弁体６と連結部７３とが連結されるようになっている。

【0112】

図３に示すように、弁体６は、樹脂材料（例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド））からなる係合部材６１と、係合部材６１に外嵌して取り付けられた当接部材６５と、を備える。

【0113】

図１２の（ａ）は、弁体６を作動部材７側から見た平面図、（ｂ）は、（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、（ｃ）は、（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。

【0114】

図１２に示すように、係合部材６１は、円板部６２と、円板部６２の外周から作動部材７とは反対方向（図１２の（ｃ）において左方向）に延びる周壁部６３と、フランジ部６４と、を備える。

【0115】

周壁部６３は、小径部６３ａと大径部６３ｂとを備えており、円板部６２から離れるにつれて内径が広がるように階段状に形成されている。

【0116】

円板部６２には、円板部６２を厚み方向に貫通する開口６２ａが設けられており、開口６２ａでは、軸線Ｘを挟んで互いに平行な二面幅部６２ｂ、６２ｂが形成されている。

【0117】

この開口６２ａは、連結部７３の突起７３ａが設けられた先端部を挿通可能な形状および大きさで形成されている。

【0118】

また、連結部７３の先端部の最大径Ｌａは、周壁部６３の小径部６３ａの内径Ｄａよりも僅かに小さく設定されている。

【0119】

そのため、弁体６の開口６２ａに連結部７３の先端部を挿入したのち、弁体６を９０度回転させることで、突起７３ａが円板部６２に係止させた状態となり（図１２の（ｃ）参照）、弁体６の連結部７３からの脱落が防止されるようになっている。

【0120】

この状態において、弁体６と、作動部材７の連結部７３とは、軸線Ｘの軸方向で相対移動可能になっている。

【0121】

周壁部６３の小径部６３ａの外径は、スプリング７６の内径と略同じであり、スプリング７６の他端側が外挿されて取り付けられるようになっている。大径部６３ｂの外径は、スプリング７６の外径よりも僅かに大きい径を有しており、スプリング７６の他端が当接するようになっている。

【0122】

周壁部６３の円板部６２とは反対側の端部の外周には、フランジ部６４が全周に亘って設けられている。フランジ部６４は、径方向外側に延出している。

【0123】

フランジ部６４には、ＮＢＲなどのゴム材料からなる当接部材６５（図３参照）が外嵌して取り付けられるようになっており、図１に示すように、弁体６がガス流入管３側に移動すると、ガス流入管３の開口３ａが当接部材６５により閉鎖されるようになっている。

【0124】

そのため、当接部材６５（フランジ部６４）の外径は、ガス流入管３の開口径よりも大きくなっている。

【0125】

ここで、図１に示すように、バルブ装置１では、弁体６と、作動部材７と、ロータ部９０と、ガス流入管３とが、同軸上に配置されており、ガス流入管３の開口３ａは、開口面に直交する方向（軸線Ｘの軸方向）に進退移動する弁体６により、開閉されるようになっている。また、実施の形態では、ステッピングモータ８により作動部材７および弁体６が軸方向にステップ移動するので、段階的に変化する弁体６の開口３ａとの位置関係に応じて、ガス流入管３からバルブ室５内に流入してガス排出管４から排出されるガスの量が調整される。

【0126】

バルブ装置１の組み付け時における弁体６（作動部材７）の位置決めを説明する。

【0127】

図１３は、バルブ装置１の組み付け時における作動部材７（弁体６）の位置決めを説明する図であって、（ａ）は、支持部材１２０の係合部３５（仕切壁３０）への着脱と弁体６の位置調整を説明する図であり、（ｂ）は、位置調整時におけるゼネバ歯車１１０によるロータ部９０の回転規制を説明する図である。

【0128】

実施の形態では、支持部材１２０の突出部１２１ａと作動部材７の嵌合部７２の凹溝７２ａとを嵌合させて、支持部材１２０と作動部材７とが組み付けられており（図１０の（ｂ）参照）、支持部材１２０は作動部材７に対して回り止め嵌合している。

【0129】

この状態において支持部材１２０は、突出部１２１ａに沿って軸線Ｘの軸方向に移動可能となっており、仕切壁３０の係合部３５に対して、軸線Ｘの軸方向から着脱自在とされている。

【0130】

そのため、バルブ装置１におけるネジ送り機構の部分の組み付け時には、始めに、ロータ部９０を回転させて、ゼネバ歯車１１０の度当たり１１２ｅが、ストッパ部９３ｃに当接する角度位置に配置する（図１３の（ｂ）参照）。

【0131】

そして、ロータ部９０の回転を阻止した状態で、図中矢印Ｓ１で示す軸線Ｘ周りに支持部材１２０を回転させて、作動部材７とロータ部９０とを相対回転させることで、作動部材７の雄ネジ７１ａとロータ部９０の雌ネジ９５との噛み合い部分（図３参照）の長さを変える。これにより、支持部材１２０の回転方向に応じて、作動部材７と弁体６とが矢印Ｓ２で示す方向に進退移動するので、弁体６を、所定の初期位置に位置決めできる。

【0132】

そして、初期位置に配置したのち、支持部材１２０（作動部材７）の軸線Ｘ周りの角度位置を保持した状態で、支持部材１２０を係合部３５側にスライドさせて、係合部３５から延びる腕部３７の爪部３７ａを、支持部材１２０の係合段部１２２ａに係止させる。

【0133】

この状態では、支持部材１２０の係合突起１２４と、係合部３５の係合突起３５ａとが互いに嵌合しているので（図１０（ｂ）参照）、支持部材１２０は、固定側部材である仕切壁３０の係合部３５に回り止め嵌合された状態となる。

【0134】

また、支持部材１２０と係合部３５とを回り止め嵌合したのちに、弁体６（作動部材７）の位置を再度調整する場合には、支持部材１２０を係合部３５から取り外すことで、作動部材７の位置の調整を行うことができる状態（図１２の（ａ）に示す状態）になる。

【0135】

この際、仕切壁３０から延びる可撓性の腕部３７の爪部３７ａと支持部材１２０の係合段部１２２ａとの係合を解除して、支持部材１２０を軸方向にスライドさせるだけで、支持部材１２０を係合部３５から簡単に取り外すことができる。

【0136】

以上の通り、実施形態では、
第１ケース部１０と第２ケース部２０とを互いに接合して構成した本体ケース２（密閉ケース）内で、ステッピングモータ８により駆動される弁体６が、第２ケース部２０に設けた流体の給排口（ガス流入管３の開口３ａ）を開閉するバルブ装置１において、
ステッピングモータ８のロータ部９０（ロータ）を、第１ケース部１０内に配置すると共に、ロータ部９０を駆動するステータ部８０を第１ケース部１０（本体ケース２）外に配置して、ロータ部９０に設けられた永久磁石１００と、第１ケース部１０と。前記ステータ部８０のステータコア８１とが径方向に重なるように構成し、
ロータ部９０の一端側の軸部９２を回転可能に支持しながら径方向の位置を規制する軸受部材２４（第１支持部材）と、ロータ部９０の他端側の小径軸部９３を回転可能に支持しながら径方向の位置を規制する円筒壁３３を備える仕切壁３０（第２支持部材）を、それぞれ第１ケース部１０で支持させた構成とした（請求項１に相当）。

【0137】

このように構成すると、ロータ部９０の一端側の軸部９２を回転可能に支持する軸受部材２４と、ロータ部９０の他端側の小径軸部９３を回転可能に支持する円筒壁３３を備える仕切壁３０が、共通の第１ケース部１０に固定されているので、ロータ部９０の軸心精度が、共通の第１ケース部１０を基準として決まることになる。よって、ロータ部９０の軸心精度をより向上させることができる。このため、永久磁石１００と第１ケース部１０の径方向の隙間を小さくしても永久磁石１００と第１ケース部１０の接触を防止できる。よって、永久磁石１００とステータコア８１を近づけることができるので、ステッピングモータ８の効率を高めることができる。

【0138】

ロータ部９０の回転を弁体６に連結された軸部材７１の進退移動に変換するネジ送り機構を備え、
このネジ送り機構は、ロータ部９０の内周に設けられた雌ネジ９５と、軸部材７１の外周に設けられた雄ネジ７１ａから構成されると共に、これら雌ネジ９５と雄ネジ７１ａとはロータ部９０の軸線上に配置されており、
仕切壁３０（第２支持部材）は、軸部材７１を挿通させる挿通穴３２と、この挿通穴３２を囲む円筒壁３３を有しており、
ロータ部９０の他端側には、円筒壁３３に外挿支持される嵌合孔９１ｃが設けられており、ロータ部９０の他端側は、嵌合穴９１ｃの内周面と、円筒壁３３の小径部３６１（外周面）で支持されている構成とした（請求項２、３に相当）。

【0139】

このように構成すると、ロータ部９０の軸線上に、ロータ部９０の軸線方向に移動する部材を配置した構成であっても、ロータ部９０の両端で径方向の位置を規制することができる。また、歯車輪列を用いることなくロータ部９０の回転を弁体６の進退移動に変換することができるので、第１ケース部１０を小型化させることができる。

【0140】

軸線Ｘ方向から見た軸部９２と仕切壁３０の外形は、それぞれ円形を成しており、
第１ケース部１０は、ロータ部９０の外径Ｄ１よりも小さい外径Ｄ３の円筒状の支持部１１１（小径部）と、ロータ部９０の外径Ｄ１よりも大きい外径Ｄ４（図９参照）の円筒状の大径部１２ｂと、を有しており、軸受部材２４と仕切壁３０は、支持部１１１と大径部１２ｂに、それぞれ圧入により位置決めされている構成とした（請求項４に相当）。

【0141】

このように構成すると、ロータ部９０の一端側と他端側の位置決めが、それぞれ円と円との当接により行われることになるので、回転方向の位置決めが不要になると共に、軸心精度が向上する。

【0142】

軸受部材２４（第１支持部材）は、ロータ部９０の軸線方向の位置を規制するスラスト軸受部２４１を備え、スラスト軸受部２４１と軸部材７１と弁体９０とガス流入管３の開口３ａ（給排口）が、ロータ部９０の軸線上に配置されている構成とした（請求項５に相当）。

【0143】

このように構成すると、弁体９０が開口３ａを押し付ける反力によってロータ部９０が径方向に傾く力を低減できる。また、弁体９０が開口３ａを押し付ける反力を、軸受部材２４のスラスト軸受部２４１で支持することができるため、弁体の反力を支持する部材をロータのスラスト軸受と共用できる。

【0144】

第１ケース部１０および第２ケース部２０は、それぞれ有底筒形状を有しており、
第１ケース部１０において大径部１２ｂは、第２ケース部２０側に位置しており、
大径部１２ｂ（第１ケース部１０）の第２ケース部２０側の開口と、第２ケース部２０の第１ケース部１０側の開口には、それぞれ径方向外側に延びる鍔部１３、２３が全周に亘って設けられており、第１ケース部１０と第２ケース部２０は、互いに重ね合わせた鍔部１３、２３同士の外径側を溶接により接合して、本体ケース２を構成しており、仕切壁３０は、樹脂材料（例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド））から構成されている構成とした（請求項６に相当）。

【0145】

このように構成すると、第１ケース部１０の鍔部１３と第２ケース部２０の鍔部２３との溶接位置Ｗは、仕切壁３０が第１ケース部１０の大径部１２ｂに圧入により固定される位置よりも径方向外側になるので、溶接時に作用する熱により、樹脂材料からなる仕切壁３０の外径側が変形することが好適に防止される。

【0146】

ここで、仕切壁３０のみならず、バルブ装置１において用いられている総ての樹脂材料を、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）にすることが好ましい。

【0147】

ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）は、耐熱性に優れているので、バルブ装置１における樹脂製の部品（部位）をＰＰＳで構成すると、例えばバルブ室５に流入する流体が、高温の熱媒体である場合でも、高温に起因する樹脂製の部品（部位）への影響を抑えることができる。具体的には、熱の変化に起因する部品（部位）の寸法変化が小さくなるので、熱により設計性能が狂うことのないバルブ装置とすることができる。

【0148】

第１ケース部１０の鍔部１３と第２ケース部２０の鍔部２３は、仕切壁３０の外周縁３１ｆから径方向外側に所定距離ｈ３離間した位置で互いに接合されており、
仕切壁３０の外周縁３１ｆの径方向外側に、第１ケース部１０の鍔部１３と第２ケース部２０の鍔部２３との間に形成された空間Ｓ（隙間）が設けられている構成とした（請求項７に相当）。

【0149】

このように構成すると、溶接時に作用する熱が、仕切壁３０に作用することをいっそう防止できるので、樹脂材料からなる仕切壁３０の外径側が変形することが好適に防止される。

【0150】

特に、仕切壁３０では、外周縁３１ｆの径方向内側に、第１ケース部１０側に突出して環状壁３４が設けられており、仕切壁３０は、第１ケース部１０の大径部１２ｂに、環状壁３４を圧入して取り付けられており、この環状壁３４により、仕切壁３０の第１ケース部１０に対する位置決めが行われるようになっている構成とした。

【0151】

そのため、溶接熱がこの環状壁３４まで伝わって環状壁３４が変形すると、仕切壁３０の位置決めが損なわれることになる。

【0152】

そうすると、この仕切壁３０と一体に形成されている円筒壁３３で回転可能に支持されているロータ部９０の他端側の位置決めも損なわれることになる。

【0153】

上記のように構成して、溶接時の熱が環状壁３４まで伝わり難くすることで、環状壁３４の変形を防止して、仕切壁３０と、ロータ部９０の他端側（小径軸部９３側）の位置決めが損なわれることを防止できるので、ロータ部９０の軸心精度が悪化することを好適に防止できる。

【0154】

仕切壁３０は、本体ケース２内を第１ケース部１０側の空間（ロータ収容室）と、第２ケース部２０側の空間（バルブ室５）とに区画しており、仕切壁３０には、第１ケース部１０側の空間と、第２ケース部２０側の空間とを連通させる貫通穴３１ｃ、３１ｄ（連通穴）が設けられている構成とした（請求項８に相当）。

【0155】

第２ケース部２０内の空間（バルブ室５）内には、熱媒体などの流体が流入するようになっており、このバルブ室５内に流入する流体により、第１ケース部１０側の空間と第２ケース部２０側の空間（バルブ室５）との間に圧力差が発生すると、仕切壁３０が変形する虞がある。

【0156】

仕切壁３０が変形すると、この仕切壁３０で支持されているロータ部９０の他端側（小径軸部９３）の位置がズレることがあり、かかる場合には、ロータ部９０の軸心精度が悪化してしまう。

【0157】

貫通穴３１ｃ、３１ｄを設けることで、第１ケース部１０側の空間内の圧力と第２ケース部２０側の空間内（バルブ室５内）の圧力とを均等にできるので、圧力差に起因する仕切壁３０の変形を好適に防止して、ロータ部９０の軸心精度の悪化を防止できる。

【0158】

仕切壁３０には、第２ケース部２０の鍔部２３に係合して、仕切壁３０を回り止めする係合突起３１１（係合部）が設けられている構成とした（請求項９に相当）。

【0159】

このように構成すると、第１ケース部１０側の空間内と第２ケース部２０側の空間内との圧力差などにより、仕切壁３０の第１ケース部１０の大径部１２ｂに圧入されている環状壁３４圧入強度が弱くなったとしても、仕切壁３０がロータ部９０と一体に回転することを好適に防止できる。

【0160】

特に、ステッピングモータ８のロータ部９０の回転を、作動部材７の軸方向の進退移動に変換するネジ送り機構と、ロータ部９０の回転角度を規制する規制手段と、を備え、ネジ送り機構が、仕切壁３０の円筒壁３３に固定されて作動部材７を回転不能かつ軸方向に移動可能に支持する支持部材１２０と、作動部材７とロータ部９０に設けられて互いに噛み合う雄ネジ７１ａおよび雌ネジ９５と、から構成される場合には、ロータ部９０の回転を作動部材７の進退移動に確実に変換できることになる。

【0161】

さらに、実施の形態では、支持部材１２０を、仕切壁３０と一体に形成された係合部３５に着脱可能に構成した。

【0162】

このように構成すると、支持部材１２０が係合部３５に取り付けられていない状態では、作動部材７をロータ部９０に対して相対回転させることができる。

【0163】

よって、この状態で、ロータ部９０の回転を阻止しつつ作動部材７を回転させることで、作動部材７を軸方向に移動させて、作動部材７の雄ネジ７１ａと、ロータ部９０の雌ネジ９５との咬み合い部分の長さを変更できるので、作動部材７の軸方向における位置を、所望の位置に調整でき、作動部材７の軸方向の位置決めを正確に行うことができる。

【0164】

また、支持部材１２０は、係合部３５に対して弁体６側から着脱可能であるので、バルブ装置１を組み立てたあとでも、第１ケース部１０と第２ケース部２０とが互い溶接で接合される前であれば、支持部材１２０を適宜取り外して、第１ケース部１０に仕切壁３０が取り付けられた状態で作動部材７の軸方向における位置調整を簡単に行うことができる。

【0165】

作動部材７の嵌合部７２では、支持部材１２０に支持される凹溝７２ａが軸方向に沿って設けられており、支持部材１２０は、凹溝７２ａの軸方向における一部を支持すると共に、作動部材７を支持した状態で軸方向にスライドさせて、係合部３５に対して着脱される構成とした。

【0166】

このように構成すると、支持部材１２０を軸方向にスライドさせるだけで、係合部３５に取り付けることができるので、支持部材１２０の係合部３５への取り付けを、簡単に行うことができる。

【0167】

特に、支持部材１２０は、係合部３５の腕部３７の先端に設けられた爪部３７ａを支持部材１２０の係合段部１２２ａに係止させて、係合部３５に取り付けられるので、支持部材１２０の係合部３５への取り付けを、特別な工具などを用いることなく、簡単に行うことができる。

【0168】

また、支持部材１２０と係合部３５とは、互いに噛み合う係合突起１２４、３５ａにより相対回転が規制されている構成とした。

【0169】

作動部材７は、支持部材１２０に回転不能に支持されているので、支持部材１２０が回転すると作動部材７もまた回転し、雄ネジ７１ａと雌ネジ９５との咬み合い部分の長さが変化して、作動部材７の軸方向の位置が変化する。

【0170】

作動部材７の位置を調整したのちに支持部材１２０を係合部３５に取り付ける場合、係合突起１２４、３５ａ同士の位置合わせのために、支持部材１２０を係合部３５に対して僅かに回転させる必要があり、この僅かな回転により作動部材７の位置が調整された位置から外れてしまう。

【0171】

上記のように構成すると、係合突起１２４の１つ分の分解能が、係合部３５に支持部材１２０を取り付けるときの支持部材１２０の角度の分解能となり、係合突起１２４の数を増やすことで分解能をより向上させて、作動部材７が調整後の位置から大きく外れることを防ぐことができる。

【0172】

また、係合突起１２４の１つ分の分解能が、作動部材７の軸方向の位置調整を行う際の最小の移動量を規定する分解能となる。よって、係合突起１２４、３５ａにより相対回転を規制することで、支持部材１２０の軸線Ｘ周りの分解能と共に、作動部材７の軸方向の位置調整の分解能（精度）が向上する。

【0173】

また、ガス流入管３とガス排出管４とが接続されたバルブ室５と、バルブ室５内で、ガス流入管３の開口３ａを開閉する弁体６と、を備え、バルブ装置１の作動部材７で、弁体６を開口３ａの開閉方向に進退移動させるバルブ駆動装置であって、ロータ部９０には、ゼネバ歯車１１０の度当たり１１２ｄ、１１２ｅで回転が規制される回転角度が、ロータ部９０が時計回り方向に回転する場合と、反時計回り方向に回転する場合とに一つずつ、合計２つ設定されており、作動部材７は、ロータ部９０が２つの回転角度のうちの一方の回転角度に達したときに、弁体６を開口３ａを閉じる位置に配置させるように設定されている構成とした。

【0174】

このように構成すると、バルブ室５内に弁体６の位置を検出するためのセンサなどを設けずに、開口３ａを閉状態にするときの弁体６の位置を正確に合わせることができる。

【0175】

また、弁体６は、スプリング７６により、開口３ａを閉じる方向に付勢されている構成としたので、弁体６が、ガスの流入口となる開口３ａに付勢された状態で、開口３ａを閉鎖している状態での付勢力（開口３ａを閉じる力）を一定にすることができる。

【0176】

特に、ロータ部９０が、図６の（ｂ）に示す位置から反時計回り方向に１回転した時点で、弁体６が、ガス流入管３の取付部材２７（図１参照）に当接し、そこからロータ部９０がさらに１回転して、図６の（ａ）に示す位置に達するまでの間は、弁体６と作動部材７とが、スプリング７６（図３参照）を圧縮しながら、軸線Ｘの軸方向で相対移動するように構成したので、弁体６はスプリング７６の付勢力を受けつつ開口３ａを閉鎖する位置に配置される。

【0177】

よって、ガス流入管３内の流体（ガス）の圧力に抗しつつ、弁体６による開口３ａの閉鎖を確実に行うことができる。

【0178】

前記した実施の形態では、仕切壁３０に設けた係合突起３１１を、第２ケース部２０の鍔部２３に設けた係合凹部２３３に係合させて、仕切壁３０を回り止めする構成としたが、係合突起３１１をロータ部９０側に突出させて、第１ケース部１０の鍔部１３に設けた係合凹部に係合させて仕切壁３０を回り止めするようにしても良い。

【0179】

また、係合突起を、仕切壁３０の基部３１における第１ケース部１０側と第２ケース部２０側の両方に設け、これらを、第１ケース部１０と第２ケース部２０にそれぞれ設けた係合凹部に係合させて、仕切壁３０を回り止めするようにしても良い。

【0180】

さらに、第１ケース部１０および／または第２ケース部２０に仕切壁３０側に突出する係合突起を設け、仕切壁３０にこの係合突起が係合する係合凹部を設けた構成としても良い。

【符号の説明】

【0181】

１ バルブ装置
２ 本体ケース（密閉ケース）
３ ガス流入管
４ ガス排出管
５ バルブ室
６ 弁体
７ 作動部材
８ ステッピングモータ
１０ 第１ケース部
１１ 底部
１２ 周壁部
１２ａ 小径部
１２ｂ 大径部
１３ 鍔部
１３ａ 外周縁
２０ 第２ケース部
２１ 底部
２２ 周壁部
２２ａ 開口
２３ 鍔部
２４ 軸受部材
２６ 取付部材
２６ａ 係止部
２７ 取付部材
２７ａ 先端部
２８ 貫通穴
２８ａ 縮径部
３０ 仕切壁
３１ 基部
３１ｃ 貫通穴
３１ｄ 貫通穴
３１ｅ 溝
３１ｆ 外周縁
３２ 挿通穴
３３ 円筒壁
３４ 環状壁
３５ 係合部
３５ａ 係合突起
３６ 開口
３７ 腕部
３７ａ 爪部
３８ 軸受部
３８ａ 軸受穴
３９ 支持部材
３９ａ 突起
６１ 係合部材
６２ 円板部
６２ａ 開口
６２ｂ 二面幅部
６３ 周壁部
６３ａ 小径部
６３ｂ 大径部
６４ フランジ部
６５ 当接部材
７１ 軸部材
７１ａ 雄ネジ
７２ 嵌合部
７２ａ 凹溝
７３ 連結部
７３ａ 突起
７４ スプリング支持部
７４ａ 円柱部
７４ｂ フランジ部
７６ スプリング
８０ ステータ部
８１ ステータコア
８１ａ 内周部
８１ｂ 円板部
８２ ボビン
８３ 駆動コイル
８４ 端子
８５ コネクタ端子
８６ 回路基板
８７ モータカバー
８７ａ 係合爪
８８ モータケース
９０ ロータ部
９１ 本体部
９１ａ 封止端
９１ｂ 突出部
９１ｃ 嵌合穴
９２ 軸部
９３ 小径軸部
９３ａ ゼネバピン
９３ｂ 膨出部
９３ｃ ストッパ部
９３ｄ 歯溝部
９３ｅ 先端部
９５ 雌ネジ
１００ 永久磁石
１１０ ゼネバ歯車
１１１ 支持部
１１２ 大径部
１１２ａ 歯溝部
１１２ｂ 歯部
１１２ｃ 突出部
１１２ｄ 両側部
１１５ ブラケット部材
１１５ａ 軸受穴
１１５ｂ 腕部
１１５ｃ 開口部
１１６ 回転軸
１２０ 支持部材
１２１ 基部
１２１ａ 突出部
１２２ フランジ部
１２２ａ 係合段部
１２２ｂ 当接面
１２３ 中央開口
１２４ 係合突起
１４０ 板バネ
１４１ 脚部
２３１ 基部
２３２ 外周縁
２３３ 係合凹部
２４１ スラスト軸受部
２４２ ラジアル軸受部
３１１ 係合突起
３６１ 小径部
３６２ 大径部
Ｓ 空間
Ｗ 溶接位置
Ｘ 軸線
Ｘ’ 軸線
ｈ３ 所定距離

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】