特許6086518単列多層構造に基づく電界式タイムグレーティング直線変位センサ

発明の名称　単列多層構造に基づく電界式タイムグレーティング直線変位センサ

出願人　重慶理工大学　（識別番号 516148461）

　　　　特許公開件数ランキング 14110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3945 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6086518

公報発行日　2017年3月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6086518

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