特許 6092349 基板搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6092349

(24)【登録日】2017年2月17日

(45)【発行日】2017年3月8日

(54)【発明の名称】基板搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20170227BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20170227BHJP

   B65G 54/02 20060101ALI20170227BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B65G49/06 Z

   B65G54/02

【請求項の数】12

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2015-222115(P2015-222115)

(22)【出願日】2015年11月12日

(65)【公開番号】特開2016-103633(P2016-103633A)

(43)【公開日】2016年6月2日

【審査請求日】2015年11月12日

(31)【優先権主張番号】10-2014-0167325

(32)【優先日】2014年11月27日

(33)【優先権主張国】KR

(31)【優先権主張番号】10-2015-0131585

(32)【優先日】2015年9月17日

(33)【優先権主張国】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】515315440

【氏名又は名称】アルバック コリア リミテッド

【氏名又は名称原語表記】ＵＬＶＡＣ ＫＯＲＥＡ，ＬＴＤ．

(74)【代理人】

【識別番号】110001427

【氏名又は名称】特許業務法人前田特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】キム ジュングン

(72)【発明者】

【氏名】キム スンギル

(72)【発明者】

【氏名】キム ナムフン

(72)【発明者】

【氏名】キム ジョンデ

(72)【発明者】

【氏名】コ ウォンイル

(72)【発明者】

【氏名】ソ ビョンホ

(72)【発明者】

【氏名】ソン スンギョン

(72)【発明者】

【氏名】イ ギタエ

(72)【発明者】

【氏名】イ サンホ

(72)【発明者】

【氏名】チョン ミンホ

(72)【発明者】

【氏名】ハン ウンヨン

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−２８９５５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１６８７１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０４７５１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−３２９７６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０２−１５２８２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０１−２０３１０６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

Ｂ６５Ｇ ５４／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板が載置されるトレイと、
前記トレイの下側に接触されて設けられた搬送基台と、
前記トレイの下側に前記搬送基台から離れて設けられ、前記トレイを磁気浮上させ、磁気力を用いて搬送する磁気搬送ユニットと、
前記トレイと接触されずに前記トレイの搬送をガイドするガイドユニットと、
を備え、
前記搬送基台は、
前記トレイの下側に接触されて設けられた接触領域と、
前記接触領域の両側面から下側に向かって延びた延長領域と、を有し、
前記磁気搬送ユニットは、
前記搬送基台の一領域と前記トレイが搬送されるチャンバーの内壁との間に設けられて前記トレイを磁気浮上させる磁気浮上部と、
前記磁気浮上部の下側に設けられて磁気力により前記磁気浮上されたトレイを一方向に搬送する磁気搬送部と、を備え、
前記磁気搬送部は、
回転軸を取り囲むように設けられた複数のマグネットを有する磁気回転手段と、
前記磁気回転手段から離れ、複数のマグネットを有する磁気搬送手段と、を備え、
前記回転軸及び磁気回転手段は、前記延長領域から離れて前記延長領域の内側に設けられ、前記磁気搬送手段は、前記延長領域の少なくとも一部に設けられている
ことを特徴とする基板搬送装置。

【請求項2】

前記磁気浮上部は、
前記搬送基台に接触され、少なくとも一つのマグネットを有する第１磁気浮上手段と、
前記第１磁気浮上手段から離隔され、少なくとも一つのマグネットを有して前記第１磁気浮上手段と引力及び斥力の少なくともいずれか一方が働く第２磁気浮上手段と、
を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項3】

前記磁気回転手段を内部に収容し、上側に第２磁気浮上手段が接触される収容手段をさらに備える
ことを特徴とする請求項２に記載の基板搬送装置。

【請求項4】

前記磁気搬送手段の複数のマグネットは、前記磁気回転手段に面する前記搬送基台の前記延長領域の少なくとも一領域に設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項5】

前記磁気回転手段の複数のマグネットは、互いに異なる極性が交互に設けられて前記回転軸を所定の角度で取り囲むように設けられ、前記磁気搬送手段の複数のマグネットは、互いに異なる極性が交互に設けられて前記磁気回転手段のマグネットと同じ角度で設けられる
ことを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。

【請求項6】

前記ガイドユニットは、
前記トレイの上部に取り付けられる第１ガイドマグネットと、
前記第１ガイドマグネットから所定の間隔を隔ててチャンバーの上側壁に設けられた第２ガイドマグネットと、
を備え、
前記第１及び第２ガイドマグネットは、斥力及び引力の少なくともいずれか一方が働く
ことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項7】

前記ガイドユニットは、前記トレイと前記チャンバーの内側壁との間に設けられる搬送ガイドをさらに備える
ことを特徴とする請求項６に記載の基板搬送装置。

【請求項8】

前記搬送ガイドは、前記延長領域と前記チャンバーの内側壁との間に設けられる
ことを特徴とする請求項７に記載の基板搬送装置。

【請求項9】

前記磁気搬送ユニットと前記ガイドユニットとの間の少なくとも一領域に設けられるスペーサ部材をさらに備える
ことを特徴とする請求項８に記載の基板搬送装置。

【請求項10】

前記スペーサ部材は、前記延長領域と前記磁気浮上部との間及び前記延長領域と前記搬送ガイドとの間のうちの少なくとも一方の領域に設けられる
ことを特徴とする請求項９に記載の基板搬送装置。

【請求項11】

前記搬送ガイドの少なくとも一部は、前記トレイに近付く方向及び前記トレイから遠ざかる方向に移動する
ことを特徴とする請求項８に記載の基板搬送装置。

【請求項12】

トラバースチャンバー内に設けられる前記搬送ガイドは、前記トレイの搬送時に前記トレイに近い第１位置に位置し、前記トレイの返送時に前記トレイから遠い第２位置に位置する
ことを特徴とする請求項１１に記載の基板搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板搬送装置に係り、特に、基板が載置されたトレイを非接触方式で搬送する基板搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ ｄｅｖｉｃｅ：ＬＣＤ）、プラズマ表示装置（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ ｄｅｖｉｃｅ：ＰＤＰ）、電界放出表示装置（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ ｄｅｖｉｃｅ：ＦＥＤ）、電気発光表示装置（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ Ｄｉｓｐｌａｙ ｄｅｖｉｃｅ：ＥＬＤ）などのフラットパネル表示装置（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ ｄｅｖｉｃｅ：ＦＰＤ）は、基板の上に複数の工程を行って製造する。すなわち、基板の上に蒸着工程、フォトリソグラフィ工程、エッチング工程が複数回繰り返し行われ、これらに加えて、洗浄、貼り合わせ、切断などの工程が行われてフラットパネル表示装置が製造される。

【0003】

この種のフラットパネル表示装置の製造工程は、最適な環境が造成された複数のチャンバーの内部において行われる。このために、基板をトレイに載置した後、トレイを垂直に又は斜めに立てて複数のチャンバーの内部を通るように搬送するインライン方法が考えられている。

【0004】

基板を搬送する搬送装置は、基板が載置されるトレイと、トレイの下部と接触されてモーターにより回転することによりトレイに推力を提供する駆動ローラーとを備える。すなわち、従来の搬送装置は、チャンバーの下側に設けられた駆動ローラーとトレイの下部とが接触され、駆動ローラーの回転力を用いてトレイを移動させる。この種の搬送装置の例が特許文献１に開示されている。

【0005】

ところが、駆動ローラーとトレイ下部との間の摩擦力が増え、その結果、粉塵（particle）が発生するという問題がある。粉塵は搬送される基板に付着されて表示装置の不良を発生させ、高仕様及び高性能デバイスの開発に伴い、デバイスの不良を発生させる原因となる。なお、チャンバーの内部を真空引きするための真空ポンプの内部に粉塵が流入し、これは、真空ポンプの故障の発生につながる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

特許文献１：大韓民国公開特許第２００３−００６８２９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明の目的は、トレイと接触されずに基板の搬送を行うことから、粉塵の発生を防ぐことのできる基板搬送装置を提供することである。

【0008】

本発明の他の目的は、トレイを磁気浮上させて搬送することから、粉塵の発生を防ぐことのできる基板搬送装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様による基板搬送装置は、基板が載置されるトレイと、前記トレイの下側に設けられ、前記トレイを磁気浮上させ、磁気力を用いて搬送する磁気搬送ユニットと、前記トレイと接触されずに前記トレイの搬送をガイドするガイドユニットとを備える。

【0010】

好ましくは、本発明の一態様による基板搬送装置は、前記トレイの下側に接触されて設けられた接触領域と、前記接触領域の両側面から下側に延びた延長領域と、を有する搬送基台をさらに備える。

【0011】

また、好ましくは、前記磁気搬送ユニットは、前記搬送基台の一領域に設けられて前記トレイを磁気浮上させる磁気浮上部と、前記磁気浮上部の下側に設けられて磁気力を用いて前記磁気浮上されたトレイを一方向に搬送する磁気搬送部とを備える。

【0012】

さらに、好ましくは、前記磁気浮上部は、前記搬送基台に接触され、少なくとも一つのマグネットを有する第１磁気浮上手段と、前記第１磁気浮上手段から離隔され、少なくとも一つのマグネットを有して前記第１磁気浮上手段と引力及び斥力の少なくともいずれか一方が働く第２磁気浮上手段とを備える。

【0013】

さらに、好ましくは、前記磁気搬送部は、回転軸と、前記回転軸を取り囲むように設けられた複数のマグネットとを有する磁気回転手段と、前記磁気回転手段から離隔され、複数のマグネットを有する磁気搬送手段とを備える。

【0014】

さらに、好ましくは、本発明の一態様による基板搬送装置は、前記磁気回転手段を内部に収容し、上側に第２磁気浮上手段が接触される収容手段をさらに備える。

【0015】

さらに、好ましくは、前記磁気搬送手段の複数のマグネットは、前記磁気回転手段に面する前記搬送基台の前記延長領域の少なくとも一領域に設けられる。

【0016】

さらに、好ましくは、前記磁気回転手段の複数のマグネットは、互いに異なる極性が交互に設けられて前記回転軸を所定の角度で取り囲むように設けられ、前記磁気搬送手段の複数のマグネットは、互いに異なる極性が交互に設けられて前記磁気回転手段のマグネットと同じ角度で設けられる。

【0017】

さらに、好ましくは、前記ガイドユニットは、前記トレイの上部に取り付けられる第１ガイドマグネットと、前記第１ガイドマグネットから所定の間隔を隔ててチャンバーの上側壁に設けられた第２ガイドマグネットとを備え、前記第１及び第２ガイドマグネットは、斥力及び引力の少なくともいずれか一方が働く。

【0018】

さらに、好ましくは、前記ガイドユニットは、前記トレイと前記チャンバーの内側壁との間に設けられる搬送ガイドをさらに備える。

【0019】

さらに、好ましくは、前記搬送ガイドは、前記延長領域と前記チャンバーの内側壁との間に設けられる。

【0020】

さらに、好ましくは、本発明の一態様による基板搬送装置は、前記磁気搬送ユニットと前記ガイドユニットとの間の少なくとも一領域に設けられるスペーサ部材をさらに備える。

【0021】

さらに、好ましくは、前記スペーサ部材は、前記延長領域と前記磁気浮上部との間及び前記延長領域と前記搬送ガイドとの間のうちの少なくとも一方の領域に設けられる。

【0022】

さらに、好ましくは、前記搬送ガイドの少なくとも一部は、前記トレイに近付く方向及び前記トレイから遠ざかる方向に移動する。

【0023】

さらに、好ましくは、トラバースチャンバー内に設けられる前記搬送ガイドは、前記トレイの搬送時に前記トレイに近い第１位置に位置し、前記トレイの返送時に前記トレイから遠い第２位置に位置する。

【発明の効果】

【0024】

本発明の実施形態による基板搬送装置は、基板が載置されるトレイの下側にトレイを磁気浮上させて搬送する磁気搬送ユニットが設けられ、トレイの上側及びトレイの側面にトレイの移動をガイドするガイドユニットが設けられる。このため、トレイと磁気搬送ユニットとの間に摩擦が生じないため粉塵が発生せず、これにより、粉塵による製品の不良が発生せず、真空ポンプなどの付属品の故障が発生しない。

【0025】

本発明の実施形態による基板搬送装置は、トレイの搬送をガイドする搬送ガイドの少なくとも一部がトレイに近付く方向及びトレイから遠ざかる方向に移動することができる。すなわち、トラバースチャンバーの搬送ガイドは、トレイの搬送時にはトレイと密接するように配置され、トレイの返送時にはトレイを位置移動し易くするためにトレイから遠くなるように配置される。このため、トラバースチャンバーにおけるトレイの位置移動時にトレイの移動マージンを増大させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】本発明の一実施形態による基板搬送装置の正面図である。

【図2】本発明の一実施形態による基板搬送装置の側面図である。

【図3】本発明の第１実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。

【図4】本発明の第１実施形態による基板搬送装置の磁気搬送部の概略を示す斜視図である。

【図5】本発明の第２実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。

【図6】本発明の第３実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。

【図7】本発明の一実施形態による基板搬送装置のガイドユニットの側面図である。

【図8】本発明の第４実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。

【図9】本発明の第５実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。

【図10】本発明の第６実施形態による基板搬送装置の側面図である。

【図11】本発明の第６実施形態による基板搬送装置の側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、添付図面に基づき、本発明の実施形態について詳細に説明する。しかしながら、本発明は以下に開示される実施形態に何ら限定されるものではなく、異なる様々な形態として実現され、単にこれらの実施形態は本発明の開示を十分たるものにし、通常の知識を有する者に発明の範囲を十分に知らせるために提供されるものである。

【0028】

図１は、本発明の一実施形態による基板搬送装置の正面図であり、図２は、本発明の一実施形態による基板搬送装置の側面図である。すなわち、基板が載置される方向からみて、図１は正面図であり、図２は側面図である。また、図３は、本発明の第１実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図であり、図４は、本発明の第１実施形態による基板搬送装置の磁気搬送部の概略を示す斜視図である。

【0029】

図１から図４を参照すると、本発明の一実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられてトレイ１００を磁気浮上させ、磁気力を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００の上部に設けられてトレイ１００の搬送をガイドするガイドユニット３００とを備える。

【0030】

トレイ１００は、中空の枠状に設けられてそこに基板が取り付けられる。すなわち、トレイ１００は、所定の長さを有する４本の棒が上下左右に所定の間隔を隔てて設けられ、棒の周縁が互いに接触されることにより中空の四角の枠状に製作される。また、トレイ１００には基板が着脱可能なように基板をクランプするクランプが複数設けられる。このとき、基板は、周縁が所定の幅にトレイ１００の四辺に接触され、クランプにより固定される。このようなトレイ１００は、基板を取り付けて垂直又は斜めの状態で搬送される。すなわち、複数のチャンバーが一方向に連結され、基板の取り付けられたトレイ１００が複数のチャンバーの内部を移動しながら基板の上に薄膜蒸着工程などの所定の工程が行われる。一方、トレイ１００が移動する複数のチャンバーは、トレイ１００に基板を載置する搬入チャンバーと、トレイ１００に載置された基板に所定の薄膜を蒸着する複数の蒸着チャンバーと、トレイ１００を持ち上げて位置を移動するトラバースチャンバーなどを備える。すなわち、トレイ１００が搬入チャンバー内において基板を載置した後に複数の蒸着チャンバーを移動しながら基板の上に複数の薄膜が蒸着され、トラバースチャンバーにおいて位置が移動して搬入チャンバーに向かって移動する。ここで、搬入チャンバーと、複数の蒸着チャンバー及びトラバースチャンバーは、真空引き状態を維持する。また、基板は、液晶表示装置をはじめとするフラットパネル表示装置を製作するための種々の基板であるが、例えば、ガラス、プラスチック、フィルムなどをはじめとする材質により作製される。さらに、トレイ１００の下部には、磁気搬送ユニット２００の一部と接触される搬送基台１１０が設けられる。搬送基台１１０は、トレイ１００の下部の全体の領域に亘って設けられる。すなわち、搬送基台１１０はトレイ１００の下部と同じ長さに設けられ、トレイ１００の下部と連結されて下側に所定の厚さを有する。このような搬送基台１１０は、トレイ１００の幅と同じ幅を有する第１領域１１１と、第１領域１１１の下側に設けられてトレイ１００の幅よりも狭く、例えば、トレイ１００よりも半分の幅に設けられた第２領域１１２とを備える。ここで、第２領域１１２に磁気搬送ユニット２００の一部が接触される。もちろん、搬送基台１１０は様々な形状に設けられる。

【0031】

磁気搬送ユニット２００は、トレイ１００を磁気浮上させてトレイ１００と非接触状態を維持しながらトレイ１００を搬送する。このような磁気搬送ユニット２００は、トレイ１００を磁気浮上させる磁気浮上部２１０と、磁気浮上部２１０と引力又は斥力が働くようにして磁気浮上部２１０により磁気浮上されたトレイ１００を搬送する磁気搬送部２２０とを備える。

【0032】

磁気浮上部２１０は、搬送基台１１０と接触されて設けられる第１磁気浮上手段２１１と、第１磁気浮上手段２１１から離れて設けられる第２磁気浮上手段２１２とを備える。ここで、第２磁気浮上手段２１２は、トレイ１００とトレイ１００が搬送される複数のチャンバーの内壁との間に設けられる。このとき、第２磁気浮上手段２１２は、トレイ１００が搬送される複数のチャンバーの内壁に固定され、チャンバーの底部から所定の高さに固定される。すなわち、基板が載置されたトレイ１００は、直列に連結された複数のチャンバーにより搬送されるが、第１磁気浮上手段２１１はトレイ１００の下部の搬送基台１１０の第２領域１１２の両側面に取り付けられ、第２磁気浮上手段２１２は第１磁気浮上手段２１１に面してトレイ１００とチャンバーとの間に設けられてチャンバー内壁又は底面に取り付けられる。このような第１磁気浮上手段２１１は、図３に示すように、搬送基台１１０の第２領域１１２の両側面に固定される第１固定部材２１１ａと、第１固定部材２１１ａの側面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第１マグネット２１１ｂと、第１固定部材２１１ａの下面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第２マグネット２１１ｃとを備える。すなわち、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃはそれぞれ一つずつ設けられてもよく、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃのうちの少なくともいずれか一方が２以上設けられてもよい。例えば、第１マグネット２１１ｂが一つ設けられ、第２マグネット２１１ｃが２以上設けられてもよい。第１固定部材２１１ａは、所定の高さ及び幅を有する略直方体状に設けられるが、搬送基台１１０の第２領域１１２に沿って第２領域１１２と同じ長さ、第２領域１１２の凹み深さ及び幅に設けられる。このため、第１磁気浮上手段２１１は、搬送基台１１０と同じ平面をなす。すなわち、第１固定部材２１１ａとその間の第２領域１１２がなす幅が、搬送基台１１０の第１領域１１１又はトレイ１００の幅と等しい。もちろん、第２領域１１２とその一方及び他方の第１磁気浮上手段２１１がなす幅が、搬送基台１１０又はトレイ１００の幅よりも広くても狭くてもよい。また、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃは、第１固定部材２１１ａに所定の深さに埋め込まれる。すなわち、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃの表面が第１固定部材２１１ａの表面と同じ平面をなすように、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃは第１固定部材２１１ａに所定の深さに設けられる。一方、第１固定部材２１１ａは、マグネットによる磁力に反応しない金属、セラミック、プラスチックなどの物質により作製されるが、例えば、タングステンにより作製される。第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１から所定の間隔を隔てて第１磁気浮上手段２１１に面するように設けられる。すなわち、第２磁気浮上手段２１２はチャンバーの内壁側に設けられ、第１磁気浮上手段２１１から離れて内面が第１磁気浮上手段２１１に面するように設けられる。このような第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１の第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて面する第２固定部材２１２ａと、第１磁気浮上手段２１１の第１マグネット２１１ｂ及び第２マグネット２１１ｃにそれぞれ面する第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃとを備える。ここで、第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃは、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃの数に対応してそれぞれ一つずつ設けられてもよく、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃのうちの少なくともいずれか一方が２以上設けられてもよい。例えば、第１マグネット２１１ｂが一つ設けられ、第２マグネット２１１ｃが２以上設けられる場合、第３マグネット２１２ｂが一つ設けられ、第４マグネット２１２ｃが２以上設けられてもよい。また、第２固定部材２１２ａは、チャンバーの内壁又はチャンバーの底面と連結されて固定され、断面が矩形状を呈する第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて一方の側がＬ字状に設けられ、他方の側がＬ字の左右対称形状に設けられる。一方、第１マグネット２１１ｂ及び第３マグネット２１２ｂは互いに異なる極性を有し、これにより、引力が働く。しかしながら、第２マグネット２１１ｃ及び第４マグネット２１２ｃは互いに同じ極性を有し、これにより、斥力が働く。第２及び第４マグネット２１１ｃ，２１２ｃの間に斥力が働くので、トレイ１００を磁気浮上させることができ、第１及び第３マグネット２１１ｂ，２１２ｂの間に引力が働くので、トレイ１００の上下動を防ぐことができる。すなわち、第２及び第４マグネット２１１ｃ，２１２ｃの間の斥力によりトレイ１００が磁気浮上して上側に移動するが、第１及び第３マグネット２１１ｂ，２１２ｂの間に引力が働くので、これを抑えることができる。一方、第２固定部材２１２ａは、第１固定部材２１１ａと同様に、マグネットによる磁力に反応しない金属、セラミック、プラスチックなどの物質により作製されるが、例えば、タングステンにより作製される。一方、第１磁気浮上手段２１１は、トレイ１００の長手方向、すなわち、トレイ１００の進行方向に搬送基台１１０の全体の領域に亘って設けられ、第２磁気浮上手段２１２は、トレイ１００が移動する領域の全体に亘って設けられる。すなわち、トレイ１００が複数のチャンバーの内部を通るため、第２磁気浮上手段２１２は第１磁気浮上手段２１１に面する領域の複数のチャンバー内壁に設けられる。しかしながら、第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の少なくともいずれか一方は所定の間隔を隔てて複数設けられる。例えば、第２磁気浮上手段２１２が長手方向に全体の領域に亘って設けられ、第１磁気浮上手段２１１が所定の間隔を隔てて複数設けられる。また、第１磁気浮上手段２１１の第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃと、第２磁気浮上手段２１２の第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃは、長手方向に全体の領域に亘って設けられ、所定の間隔を隔てて複数設けられる。例えば、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃが全体の領域に亘って設けられ、第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃが所定の間隔を隔てて設けられる。一方、第１磁気浮上手段２１１と第２磁気浮上手段２１２との間にこれらの間の間隔を維持するためのスペーサ部材２１３が設けられる。すなわち、互いに面する第１及び第３マグネット２１１ｂ，２１２ｂは引力が働くので、トレイ１００が磁気浮上により移動する間に第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間隔が狭くなったり、第１及び第３マグネット２１１ｂ，２１２ｂがくっついたりすることがあるが、スペーサ部材２１３が設けられるので、第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間隔を維持することができる。このようなスペーサ部材２１３は、第１及び第３マグネット２１１ｂ，２１２ｂの下側領域に設けられる。すなわち、スペーサ部材２１３は、第１磁気浮上手段２１１の外側面と第２磁気浮上手段２１２の内側面との間に設けられる。なお、スペーサ部材２１３は、第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間に長手方向に全体の領域に亘って所定の間隔を隔てて複数設けられる。

【0033】

磁気搬送部２２０は、搬送基台１１０の下側から所定の間隔を隔てて設けられる磁気回転手段２２１と、搬送基台１１０の下側に磁気回転手段２２１から所定の間隔を隔てて設けられる磁気搬送手段２２２とを備える。磁気回転手段２２１は、搬送基台１１０の下側から所定の間隔を隔てて設けられる。ここで、磁気回転手段２２１は、トレイ１００の幅と等しく設けられてもよく、トレイ１００の幅よりも広く又は狭くなるように設けられてもよい。このような磁気回転手段２２１は、図３及び図４に示すように、回転軸２２１ａと、回転軸２２１ａの表面に形成される複数の第５マグネット２２１ｂとを備える。回転軸２２１ａは、略円形の棒状に設けられて回転モーター（図示せず）により一方向及び他方向に回転する。また、複数の第５マグネット２２１ｂは、回転軸２２１ａの表面を所定の角度で取り囲む形状に設けられるが、例えば、ねじ山状に形成される。すなわち、複数の第５マグネット２２１ｂは、図４に示すように、回転軸２２１ａの上に、例えば、４５°の角度で取り囲むように複数設けられる。このとき、複数の第５マグネット２２１ｂは、回転軸２２１ａを例えば、４５°の角度で取り囲みながらＳ極及びＮ極が交互に設けられる。磁気搬送手段２２２は、搬送基台１１０の下側に設けられる。すなわち、磁気搬送手段２２２は、磁気浮上部２１０の間の搬送基台１１０の第２領域１１２の下側に設けられる。このような磁気搬送手段２２２は、互いに異なる極性のマグネットが繰り返し設けられる。すなわち、磁気搬送手段２２２は、図４に示すように、搬送基台１１０の第２領域１１２の下側に固定される第３固定部材２２２ａと、第３固定部材２２２ａの一方の面に設けられる複数の第６マグネット２２２ｂとを備え、複数の第６マグネット２２２ｂは、互いに異なる極性、すなわち、Ｓ極及びＮ極が交互に設けられる。このとき、磁気搬送手段２２２の複数の第６マグネット２２２ｂは、磁気回転手段２２１の複数の第５マグネット２２１ｂと同じ角度、例えば、４５°の角度を有するように設けられる。このため、磁気回転手段２２１の回転による極性と磁気搬送手段２２２の極性が互いに異なるか、あるいは、互いに同じであり、これにより、引力又は斥力が働くので、磁気回転手段２２１の回転につれて磁気搬送手段２２２が一方向に移動する。すなわち、磁気回転手段２２１の回転運動が磁気搬送手段２２２により直線運動に変換されて磁気浮上されたトレイ１００を移動させる。

【0034】

ガイドユニット３００は、トレイ１００の上部に取り付けられる第１ガイドマグネット３１０と、第１ガイドマグネット３１０から所定の間隔を隔ててチャンバーの上側壁に設けられる第２ガイドマグネット３２０とを備える。ここで、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０は、互いに斥力が働くように同じ極性を有していてもよく、互いに引力が働くように互いに異なる極性を有していてもよい。また、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０は、様々な形状に設けられる。例えば、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０が互いに面する直線状に設けられる。また、第１ガイドマグネット３１０は円形の棒状に設けられ、第２ガイドマグネット３２０は、第１ガイドマグネット３１０を上側から取り囲むように、例えば、逆Ｕ字状に折れ曲がった断面を有する。すなわち、第２ガイドマグネット３２０は、第１ガイドマグネット３１０を所定の間隔を隔てて取り囲むように設けられる。このため、トレイ１００の上端部は、第１ガイドマグネット３１０の両側面において第２ガイドマグネット３２０により第１ガイドマグネット３１０を押したり引っ張ったりする力が働くので、トレイ１００が搬送されながら倒れないようにガイドされる。

【0035】

一方、本発明のマグネットは、コアとコイルが組み合わせられた電磁石を用いるか、永久磁石を用いるか、あるいは、電磁石と永久磁石を組み合わせて用いる。

【0036】

上述したように、本発明の一実施形態による基板搬送装置は、基板が載置されるトレイ１００の下側にトレイ１００を磁気浮上させて搬送する磁気搬送ユニット２００が設けられ、トレイ１００の上側にトレイ１００をガイドするガイドユニット３００が設けられる。また、磁気搬送ユニット２００は、トレイ１００を磁気浮上させる磁気浮上部２１０と、磁気力を用いて回転運動を直線運動に変換して磁気浮上されたトレイ１００を移動させる磁気搬送部２２０とを備える。このため、本発明の一実施形態による基板搬送装置は、磁気浮上部２１０を用いてトレイ１００を磁気浮上させた後、磁気搬送部２２０が一方向に回転して磁気浮上されたトレイ１００を一方向に移動させる。このような本発明の一実施形態は、トレイ１００と磁気搬送ユニット２００との間に摩擦が生じないため粉塵が発生しない。このため、粉塵による製品の不良が発生せず、真空ポンプなどの付属品の故障が発生しない。

【0037】

一方、本発明による基板搬送装置は、トレイ１００の下部からトレイ１００を磁気浮上させ、磁気力を用いてトレイ１００を搬送する種々の方式により実現可能である。すなわち、トレイ１００の下部の構造が種々に変更可能である。このような本発明の他の例が、図５及び図６に示されている。図５は、本発明の第２実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図であり、これを用いて本発明の第２実施形態を説明すれば、下記の通りである。

【0038】

図５を参照すると、本発明の第２実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられて磁気浮上を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００の上部に設けられてトレイ１００の搬送をガイドするガイドユニット３００とを備える。ここで、本発明の第１実施形態と同じ構成についての説明を省略するか、あるいは、簡略化する。

【0039】

トレイ１００の下側に搬送基台１１０が設けられるが、搬送基台１１０は、トレイ１００の幅と同じ第１領域１１１と、第１領域１１１の下側に設けられて第１領域１１１よりも狭い第２領域１１２と、第２領域１１２の下側に磁気回転手段２２１を取り囲むように設けられる第３領域１１３とを備える。第３領域１１３は、第２領域１１２から下側に延びる延長部と、延長部の下側に水平に設けられる水平部１１３ａと、水平部１１３ａの両側から下側に延びる垂直部１１３ｂ，１１３ｃとを備える。ここで、水平部１１３ａは、磁気回転手段２２１の幅よりも広く設けられ、垂直部１１３ｂ，１１３ｃは、磁気回転手段２２１の高さよりも高く設けられる。このため、水平部１１３ａと、その両側の垂直部１１３ｂ，１１３ｃが磁気回転手段２２１の上部及び側部を取り囲むように設けられる。

【0040】

磁気搬送ユニット２００は、トレイ１００を磁気浮上させる磁気浮上部２１０と、磁気浮上部２１０と引力又は斥力が働くようにして磁気浮上部２１０により磁気浮上されたトレイ１００を搬送する磁気搬送部２２０とを備える。磁気浮上部２１０は、搬送基台１１０の第２領域１１２に設けられる第１磁気浮上手段２１１と、第１磁気浮上手段２１１から離れて設けられる第２磁気浮上手段２１２と、第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間の間隔を維持するためのスペーサ部材２１３と、第２磁気浮上手段２１２を支持する支持手段２１４とを備える。第１磁気浮上手段２１１は、搬送基台１１０の第２領域１１２の側面及び下面に固定される第１固定部材２１１ａと、第１固定部材２１１ａの側面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第１マグネット２１１ｂと、第１固定部材２１１ａの下面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第２マグネット２１１ｃとを備える。第１固定部材２１１ａは、一方の側がＬ字状に設けられ、他方の側がＬ字の左右対称形状に設けられる。このとき、第１固定部材２１１ａは、搬送基台１１０の第１領域１１１よりも突出して設けられる。すなわち、第１固定部材２１１ａとその間の第２領域１１２がなす幅が、搬送基台１１０の第１領域１１１又はトレイ１００の幅よりも広い。また、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃはそれぞれ一つずつ設けられてもよく、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃのうちの少なくともいずれか一方が２以上設けられてもよい。例えば、第１マグネット２１１ｂが一つ設けられ、第２マグネット２１１ｃが２以上設けられてもよい。第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１から所定の間隔を隔てて第１磁気浮上手段２１１に面するように設けられる。このような第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１の第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて面する第２固定部材２１２ａと、第１磁気浮上手段２１１の第１マグネット２１１ｂ及び第２マグネット２１１ｃにそれぞれ面する第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃとを備える。ここで、第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃは、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃの数に対応してそれぞれ一つずつ設けられてもよく、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃのうちの少なくともいずれか一方が２以上設けられてもよい。例えば、第１マグネット２１１ｂが一つ設けられ、第２マグネット２１１ｃが２以上設けられる場合、第３マグネット２１２ｂが一つ設けられ、第４マグネット２１２ｃが２以上設けられる。また、第２固定部材２１２ａは、第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てるように一方の側がＬ字状に設けられ、他方の側がＬ字の左右対称形状に設けられる。支持手段２１４は、第２磁気浮上手段２１２の下側に設けられて第２磁気浮上手段２１２を支持する。すなわち、支持手段２１４は、第２磁気浮上手段２１２の水平部とチャンバーの底面との間に設けられて第２磁気浮上手段２１２の水平部を支持する。支持手段２１４が第２磁気浮上手段２１２の水平部を支持するので、第２磁気浮上手段２１２を一層安定的に支持することができる。すなわち、第２磁気浮上手段２１２の垂直部は、チャンバーの内壁から固定され、水平部が支持手段２１４に支持されるので、一層安定的に第２磁気浮上手段２１２が実現可能である。支持手段２１４の内側には搬送基台１１０の一部及び磁気搬送部２２０が設けられる。すなわち、支持手段２１４の内側に搬送基台１１０の第３領域１１３が設けられ、第３領域１１３の内側に磁気搬送部２２０が設けられる。

【0041】

磁気搬送部２２０は、磁気回転手段２２１と、磁気回転手段２２１から所定の間隔を隔てて設けられる磁気搬送手段２２２とを備えるが、磁気回転手段２２１は、搬送基台１１０の水平部１１３ａ及び垂直部１１３ｂ，１１３ｃから所定の間隔を隔ててその内側に設けられ、磁気搬送手段２２２は、水平部１１３ａ及び垂直部１１３ｂ，１１３ｃの少なくとも一領域に設けられる。磁気回転手段２２１は、本発明の一実施形態と同様に、回転軸２２１ａと、回転軸２２１ａの表面を所定の角度で取り囲むように設けられる複数の第５マグネット２２１ｂとを備える。磁気搬送手段２２２は、垂直部１１３ｂ，１１３ｃに設けられる。すなわち、磁気搬送手段２２２は、磁気回転手段２２１の両側に設けられる。もちろん、磁気搬送手段２２２は、水平部１１３ａに設けられてもよく、水平部１１３ａ及び垂直部１１３ｂ，１１３ｃの両方に設けられてもよい。このような磁気搬送手段２２２は、所定の固定部材が設けられ、固定部材の上にＳ極及びＮ極の極性が交互に設けられる。このとき、磁気搬送手段２２２は、磁気回転手段２２１の第５マグネット２２１ｂと同じ角度、例えば、４５°の角度を有するように設けられる。このため、磁気回転手段２２１の回転による極性と磁気搬送手段２２２の極性が同じ極性を有し、これにより、引力が働くので、磁気回転手段２２１の回転につれて磁気搬送手段２２２が一方向に移動する。すなわち、磁気回転手段２２１の回転運動が磁気搬送手段２２２により直線運動に変換されて磁気浮上されたトレイ１００を移動させる。

【0042】

図６は、本発明の第３実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。

【0043】

図６を参照すると、本発明の第３実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられて磁気浮上を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００の上部に設けられてトレイ１００の搬送をガイドするガイドユニット３００とを備える。ここで、本発明の第３実施形態は、図５を用いて説明した本発明の第２実施形態と磁気搬送ユニット２００の磁気浮上部２１０の構造に相違点があり、これを中心として本発明の他の実施形態について説明すれば、下記の通りである。

【0044】

磁気搬送ユニット２００の磁気浮上部２１０は、搬送基台１１０の第２領域１１２に設けられる第１磁気浮上手段２１１と、第１磁気浮上手段２１１から離れて設けられる第２磁気浮上手段２１２と、第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間の間隔を維持するためのスペーサ部材２１３と、第２磁気浮上手段２１２を支持する支持手段２１４とを備える。第１磁気浮上手段２１１は、搬送基台１１０の第２領域１１２の側面及び下面に固定され、一方の側がＬ字状に設けられ、他方の側がＬ字の左右対称形状に設けられる第１固定部材２１１ａと、第１固定部材２１１ａの上面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第１マグネット２１１ｂと、第１固定部材２１１ａの下面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第２マグネット２１１ｃとを備える。すなわち、本発明の第１及び第２実施形態においては、第１マグネット２１１ｂが第１固定部材２１１ａの側面に設けられていたが、本発明の第３実施形態においては、第１マグネット２１１ｂが第１固定部材２１１ａの上面に設けられる。ここで、第１マグネット２１１ｂは、搬送基台１１０の第１領域１１１の側面から離れて第１固定部材２１１ａの上面に設けられる。また、第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１から所定の間隔を隔てて第１磁気浮上手段２１１に面するように設けられる。このような第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１の第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて面する第２固定部材２１２ａと、第１磁気浮上手段２１１の第１マグネット２１１ｂ及び第２マグネット２１１ｃにそれぞれ面する第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃとを備える。ここで、第２固定部材２１２ａは、第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて第１固定部材２１１ａの上面と向かい合うように一方の側が「逆コ」字状に設けられ、他方の側が「コ」字状に設けられる。ところが、第２固定部材２１２ａは上側が短くて下側が長い形状に設けられ、全領域に亘って第１固定部材２１１ａと等間隔を隔てている。ここで、第１マグネット２１１ｂ及び第３マグネット２１２ｂは互いに異なる極性を有し、これにより、引力が働き、第２マグネット２１１ｃ及び第４マグネット２１２ｃは互いに同じ極性を有し、これにより、斥力が働く。なお、第１固定部材２１１ａの側面及びこれに面する第２固定部材２１２ａの側面にも互いに引力が働くマグネットがさらに設けられる。

【0045】

図７は、本発明の一実施形態によるガイドユニット３００の側面図である。

【0046】

図７を参照すると、本発明の一実施形態によるガイドユニット３００は、トレイ１００の上部に取り付けられる第１プレート３１１と、第１プレート３１１の上に設けられる第１ガイドマグネット３１０と、チャンバーの上側壁に固定される第２プレート３２１と、第１ガイドマグネット３１０から所定の間隔を隔てて第２プレート３２１の上に設けられる第２ガイドマグネット３２０と、第２プレート３２１の側面からその下側に延びる側面プレート３３０と、第１プレート３１１の側面に設けられる第３ガイドマグネット３４０と、第３ガイドマグネット３４０から所定の間隔を隔てて面し、側面プレート３３０に設けられる第４ガイドマグネット３５０と、側面プレート３３０の所定の領域に設けられて側面プレート３３０とガイドマグネット３１０，３２０，３４０，３５０との間の間隔を維持する第２スペーサ部材３６０とを備える。ここで、第３及び第４ガイドマグネット３４０，３５０は、第２ガイドマグネット３２０の上側の第２プレート３２１及びこれに面する側面プレート３３０の間に設けられてもよく、第１プレート３１１及びこれに面する側面プレート３３０の間と第２プレート３２１及びこれに面する側面プレート３３０の間の両領域に設けられてもよい。また、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０は互いに斥力が働くように同じ極性を有していてもよく、互いに引力が働くように互いに異なる極性を有していてもよい。さらに、第３及び第４ガイドマグネット３４０，３５０は、互いに斥力が働くように同じ極性を有していてもよい。このため、トレイ１００の上端部は、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０の引力又は斥力及び第３及び第４ガイドマグネット３４０，３５０の斥力によりトレイ１００が倒れないようにガイドされながら搬送される。すなわち、第３及び第４ガイドマグネット３４０，３５０により側面において斥力が働くので、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０を用いる場合に比べてトレイ１００の垂直搬送が一層円滑になる。なお、第２スペーサ部材３６０がさらに設けられるので、トレイ１００の揺動幅を一定に維持することができ、これにより、トレイ１００の垂直搬送が一層円滑になる。

【0047】

一方、トレイ１００の下側にトレイ１００の搬送をガイドする搬送ガイドがさらに設けられる。搬送ガイドは、トレイ１００を間に挟んでトレイ１００から所定の間隔を隔てて設けられる。搬送ガイドは、トレイ１００とチャンバー内壁との間に設けられる。すなわち、搬送ガイドは、チャンバーの側面とトレイ１００との間にトレイ１００から所定の間隔を隔てて２つ設けられる。例えば、搬送ガイドは、図３、図５及び図６の磁気浮上部２１０の外側に設けられる。すなわち、搬送ガイドは、磁気浮上部２１０の第２磁気浮上手段２１２とチャンバー内壁との間に設けられる。搬送ガイドが第２磁気浮上手段２１２とチャンバー内壁との間に設けられる場合、第２磁気浮上手段２１２はチャンバーの底面から固定される。このような搬送ガイドを備える基板搬送装置を図８及び図９を用いて説明すれば、下記の通りである。

【0048】

図８は、本発明の第４実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。

【0049】

図８を参照すると、本発明の第４実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられて磁気浮上を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００をガイドするためのガイドユニット３００とを備える。ガイドユニット３００は、トレイ１００の上側及び下側に設けられるが、トレイ１００の上側には、図７に示す構成要素が設けられ、トレイ１００の下側にはトレイ１００の搬送をガイドする搬送ガイド３７０が設けられる。ここで、本発明の第４実施形態を説明するに当たって、前記第１から第３実施形態と同じ構成についてはその説明を簡略化するか、又は、省略する。

【0050】

トレイ１００は、下側に搬送基台１１０が設けられるが、搬送基台１１０は、トレイ１００の幅と同じ幅を有する第１領域１１１と、第１領域１１１の側面に設けられ、磁気回転手段２２１を取り囲むように設けられる延長領域１１４とを備える。すなわち、延長領域１１４は、第１領域１１１の側面から下側に延びて設けられる。ここで、延長領域１１４は、磁気回転手段２２１から所定の間隔を隔てて磁気回転手段２２１の幅よりも広く設けられる。このような延長領域１１４は、所定の幅及び長さを有するプレート状に設けられる。また、延長領域１１４の内側の所定の領域にはスペーサ部材２１３が設けられる。すなわち、図６を用いて説明した本発明の第３実施形態は、スペーサ部材２１３が第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間の間隔を維持するためにこれらの間に設けられるが、本発明の第４実施形態においては、トレイ１００に繋がる延長領域１１４と磁気搬送部２２０との間の間隔を維持するために、延長領域１１４と磁気搬送部２２０との間の延長領域１１４の内側にスペーサ部材２１３が設けられる。もちろん、スペーサ部材２１３は、磁気搬送部２２０の一領域に設けられてもよい。すなわち、スペーサ部材２１３は、延長領域１１４と磁気搬送部２２０との間に、且つ、延長領域１１４又は磁気搬送部２２０の所定の領域に固定される。一方、延長領域１１４の少なくとも一領域、すなわち、外側領域には少なくとも一つの第７マグネット１１５が設けられる。

【0051】

磁気搬送ユニット２００は、トレイ１００を磁気浮上させる磁気浮上部２１０と、磁気浮上部２１０と引力又は斥力が働くようにして磁気浮上部２１０により磁気浮上されたトレイ１００を搬送する磁気搬送部２２０とを備える。磁気浮上部２１０は、搬送基台１１０の第１領域１１１に固定される第１磁気浮上手段２１１と、第１磁気浮上手段２１１から離れて設けられる第２磁気浮上手段２１２とを備える。第１磁気浮上手段２１１は、搬送基台１１０の第１領域１１１の下面に固定される第１固定部材２１１ａと、第１固定部材２１１ａの下面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第１マグネット２１１ｂとを備える。第１固定部材２１１ａは、上側が第１領域１１１の下側に結合され、底面が水平をなす。このとき、第１固定部材２１１ａの幅は、第１領域１１１の幅よりも広く設けられる。第１固定部材２１１ａが第１領域１１１の幅よりも広く設けられるため、第１固定部材２１１ａの側面に接触されて下側に延びる延長領域１１４が第１領域１１１の幅よりも広く設けられる。また、第１固定部材２１１ａの下側の第１マグネット２１１ｂは少なくとも一つ設けられるが、例えば、等間隔にて３つ設けられる。第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１から所定の間隔を隔てて第１磁気浮上手段２１１に面するように設けられる。このような第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１の第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて面する第２固定部材２１２ａと、第１磁気浮上手段２１１の少なくとも一つの第１マグネット２１１ｂに面する少なくとも一つの第３マグネット２１２ｂとを備える。さらに、第２固定部材２１２ａは、第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて第１固定部材２１１ａと同じ形状に設けられる。例えば、第１及び第２固定部材２１１ａ，２１２ａは、矩形の断面形状を有する。このとき、第２磁気浮上手段２１２の第２固定部材２１２ａは、磁気搬送部２２０の一領域に固定される。

【0052】

磁気搬送部２２０は、磁気回転手段２２１と、磁気回転手段２２１から所定の間隔を隔てて設けられる磁気搬送手段２２２と、磁気回転手段２２１を内側に収容する収容手段２２３とを備える。収容手段２２３は、内部に磁気回転手段２２１を収容し、下側がチャンバーの底面に固定される。このとき、収容手段２２３は、中空状に設けられて磁気回転手段２２１が内部に収容されて回転自在となる。また、収容手段２２３は、側面において磁気搬送手段２２２の少なくとも一部が露出されるように設けられる。さらに、収容手段２２３の上部面には第２磁気浮上手段２１２が設けられる。すなわち、収容手段２２３の上部に第２磁気浮上手段２１２の第２固定部材２１２ａが固定される。磁気搬送手段２２２は、少なくとも一つのマグネットを備え、磁気回転手段２２１に面する延長領域１１４に設けられる。すなわち、延長領域１１４が収容手段２２３から所定の間隔を隔てて収容手段２２３の外側に設けられ、延長領域１１４の内側には収容手段２２３内に収容される磁気回転手段２２１に面するように少なくとも一つのマグネットを有する磁気搬送手段２２２が設けられる。

【0053】

一方、磁気搬送ユニット２００とチャンバーとの間には搬送ガイド３７０が設けられる。すなわち、ガイドユニット３００が上側及び下側においてトレイ１００の搬送をガイドするが、トレイ１００の下側に磁気搬送ユニット２００の側面において磁気搬送ユニット２００の搬送をガイドする搬送ガイド３７０が設けられる。このような搬送ガイド３７０は、磁気搬送ユニット２００とチャンバーの内側面との間に設けられ、所定の幅及び高さを有する。また、搬送ガイド３７０は、内側の所定の領域に少なくとも一つのマグネットが設けられる。すなわち、搬送ガイド３７０は、磁気搬送ユニット２００とチャンバーとの間に高さ方向に設けられる垂直プレート３７１と、垂直プレート３７１の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第８マグネット３７２とを備える。垂直プレート３７１は、例えば、第１磁気浮上手段２１１の高さに設けられる。すなわち、垂直プレート３７１は、搬送基台１１０の第１領域１１１と第１磁気浮上手段２１１の第１固定部材２１１ａとの間の境界面までの高さに設けられる。また、垂直プレート３７１には少なくとも一つの第８マグネット３７２が設けられるが、第８マグネット３７２は、延長領域１１４に設けられる第７マグネット１１５に面するように設けられる。このとき、延長領域１１４の第７マグネット１１５及び垂直プレート３７１の第８マグネット３７２は、互いに異なる極性又は同じ極性を有していてもよく、これにより、引力又は斥力が働く。一方、蒸着チャンバー内の搬送ガイド３７０は固定され、トラバースチャンバー内の搬送ガイド３７０は、トレイ１００から遠ざかる方向及びトレイ１００に近付く方向に移動する。このとき、トラバースチャンバー内の搬送ガイドは、磁気浮上を用いて非接触式で移動する。すなわち、トラバースチャンバーの搬送ガイド３７０は、図４を用いて説明した磁気搬送部と同じ原理を利用する。例えば、垂直プレート３７１の下側に垂直プレート３７１から離れて回転軸（図示せず）と、回転軸の表面に複数のマグネット（図示せず）が設けられる磁気回転手段が設けられ、磁気回転手段から離れて垂直プレート３７１の下面に互いに異なる極性のマグネットが所定の間隔を隔てて設けられる。このため、垂直プレート３７１の下側の磁気回転手段の回転による極性とその上側の磁気搬送手段の極性が互いに同一又は異なり、これにより、引力又は斥力が働くので、磁気回転手段の回転につれて磁気搬送手段が一方向又は他方向に移動する。すなわち、磁気回転手段の回転運動が磁気搬送手段により直線運動に変換されて磁気浮上された垂直プレート３７１を移動させる。

【0054】

図９は、本発明の第５実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。

【0055】

図９を参照すると、本発明の第５実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられて磁気浮上を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００をガイドするためのガイドユニット３００とを備える。ガイドユニット３００は、トレイ１００の上側及び下側に設けられるが、トレイ１００の上側には図７に示す構成要素が設けられ、トレイ１００の下側にはトレイ１００の搬送をガイドする搬送ガイド３７０が設けられる。ここで、本発明の第５実施形態は、図８を用いて説明した本発明の第４実施形態とはスペーサ部材２１３の形成位置に相違点がある。すなわち、本発明の第５実施形態による基板搬送装置は、本発明の第４実施形態による基板搬送装置と全ての構成が同じであり、スペーサ部材２１３が搬送ガイド３７０と延長領域１１４との間に設けられる点に相違点がある。スペーサ部材２１３は、搬送ガイド３７０と延長領域１１４との間の延長領域１１４又は搬送ガイド３７０の所定の領域に設けられる。例えば、延長領域１１４の第７マグネット１１５の下側に設けられる。このようにスペーサ部材２１３が磁気搬送ユニット２００と搬送ガイド３７０との間に設けられるので、磁気搬送ユニット２００が揺動する場合であっても、磁気搬送ユニット２００が搬送ガイド３７０の内側において搬送可能である。もちろん、スペーサ部材２１３は、搬送ガイド３７０と延長領域１１４との間だけではなく、延長領域１１４と磁気搬送部２２０との間に設けられる。すなわち、スペーサ部材２１３は、少なくとも２以上の領域に少なくとも２以上設けられる。

【0056】

一方、搬送ガイド３７０は、少なくとも一部が一方向及びこれと向かい合う他の方向に移動する。例えば、蒸着チャンバー内の搬送ガイドは固定され、トラバースチャンバー内の搬送ガイドは可動である。すなわち、トラバースチャンバー内に設けられる搬送ガイドはトレイ１００が蒸着チャンバーから移動する場合、トレイ１００と第１間隔を維持してトレイ１００の搬送をガイドし、トレイ１００の搬送が終わって搬入チャンバーに向かって返送される場合、チャンバーの内壁に向かって移動してトレイ１００とは第１間隔よりも広い第２間隔を維持する。トラバースチャンバー内において搬送ガイドが移動することにより、トレイ１００の位置移動時にトレイ１００の移動マージンが大きくなる。すなわち、トレイ１００が磁力に影響されなくなって円滑なトラバース、すなわち、レーンが変更可能になる。このような搬送ガイド３７０が移動する基板搬送装置を図１０及び図１１を用いて説明すれば、下記の通りである。

【0057】

図１０及び図１１を参照すると、本発明の第６実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられて磁気浮上を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００の下側に設けられてトレイ１００の搬送をガイドする搬送ガイド３７０を有するガイドユニット３００とを備える。搬送ガイド３７０は、向かい合う一方向及び他方向に移動可能であるが、トレイ１００に近付く方向及びトレイ１００から遠ざかる方向に移動可能である。このような移動可能な搬送ガイド３７０は、少なくともトラバースチャンバー内に設けられる。

【0058】

搬送ガイド３７０は、垂直プレート３７１ａ及び水平プレート３７１ｂを備え、垂直プレート３７１ａが水平プレート３７１ｂの上側に設けられる。すなわち、垂直プレート３７１ａは、水平プレート３７１ｂの所定の領域から上方に垂直に設けられる。また、垂直プレート３７１ａには、トレイ１００の延長領域１１４に設けられる第７マグネット１１５に面するように少なくとも一つの第８マグネット３７２が設けられる。水平プレート３７１ｂは、垂直プレート３７１ａの下側に水平に設けられる。ここで、水平プレート３７１ｂの下側には移動部３９５が設けられる。移動部３９５は、下側の少なくとも一部の領域がガイドレール３９０を取り囲むように設けられ、ガイドレール３９０に沿って向かい合う一方向及び他方向に移動可能である。移動部３９５が移動するにつれて、その上側に配設される搬送ガイド３７０が移動する。ガイドレール３９０の下側には、支持部３８０が設けられる。支持部３８０は、ガイドレール３９０とその上側の搬送ガイド３７０を支持する。また、支持部３８０の内部には、移動部３９５を駆動するための駆動手段（図示せず）が設けられる。駆動手段としては、シリンダー、モーターなどが挙げられ、移動部３９５を、図１０に示すように、トレイ１００に近付く一方向に移動させ、且つ、図１１に示すように、トレイ１００から遠ざかる他の方向に移動させる。ここで、搬送ガイド３７０は、蒸着チャンバーからトレイ１００が搬送される場合、トレイ１００に近付く第１位置に位置する。ところが、トレイ１００を搬入チャンバーに向かって返送するためにレーンが変更される場合、すなわち、トラバースされる場合、駆動手段により移動部３９５が駆動されて搬送ガイド３７０がトレイ１００から遠ざかる方向に移動して第２位置に位置する。搬送ガイド３７０が移動した後、トレイ１００は持ち上げられた後にトラバースされて搬入チャンバーに向かって返送され、次いで、搬送ガイド３７０は再び第１位置に移動する。

【0059】

一方、本発明の技術的思想は前記実施形態により具体的に記述されたが、前記実施形態はその説明のためのものであり、その制限のためのものではない。なお、本発明の技術分野における当業者は、本発明の技術思想の範囲内において種々の実施形態が採用可能であるということが理解できる筈である。

【符号の説明】

【0060】

１００ トレイ
１１０ 搬送基台
１１１ 第１領域
１１２ 第２領域
１１３ 第３領域
１１３ａ 水平部
１１３ｂ，１１３ｃ 垂直部
１１４ 延長領域
１１５ 第７マグネット
２００ 磁気搬送ユニット
２１０ 磁気浮上部
２１１ 第１磁気浮上手段
２１１ａ 第１固定部材
２１１ｂ 第１マグネット
２１１ｃ 第２マグネット
２１２ 第２磁気浮上手段
２１２ａ 第２固定部材
２１２ｂ 第３マグネット
２１２ｃ 第４マグネット
２１３ スペーサ部材
２１４ 支持手段
２２０ 磁気搬送部
２２１ 磁気回転手段
２２１ａ 回転軸
２２１ｂ 第５マグネット
２２２ 磁気搬送手段
２２２ａ 第３固定部材
２２２ｂ 第６マグネット
２２３ 収容手段
３００ ガイドユニット
３１０ 第１ガイドマグネット
３１１ 第１プレート
３２０ 第２ガイドマグネット
３２１ 第２プレート
３３０ 側面プレート
３４０ 第３ガイドマグネット
３５０ 第４ガイドマグネット
３６０ 第２スペーサ部材
３７０ 搬送ガイド
３７１ 垂直プレート
３７１ａ 垂直プレート
３７１ｂ 水平プレート
３７２ 第８マグネット
３８０ 支持部
３９０ ガイドレール
３９５ 移動部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】