特許6095291加熱式回転基板支持体を有するウエハ処理装置

発明の名称　加熱式回転基板支持体を有するウエハ処理装置

出願人　エーエスエム　インターナショナル　エヌ．　ヴェー．　（識別番号 510283650）

　　　　特許公開件数ランキング 30184 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24450 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6095291

公報発行日　2017年3月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6095291

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6095291「加熱式回転基板支持体を有するウエハ処理装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録