特許6095586ゲッター部材収納具、ゲッター装置及びゲッターポンプ

発明の名称　ゲッター部材収納具、ゲッター装置及びゲッターポンプ

出願人　有限会社真空実験室　（識別番号 503008974）

　　　　特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6095586

公報発行日　2017年3月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6095586

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