特許 6097913 シャッタ機構、シャッタ開閉方法、プログラム、及びシャッタ機構を備えた周波数調整装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6097913

(24)【登録日】2017年3月3日

(45)【発行日】2017年3月22日

(54)【発明の名称】シャッタ機構、シャッタ開閉方法、プログラム、及びシャッタ機構を備えた周波数調整装置

(51)【国際特許分類】

   C23F 4/00 20060101AFI20170313BHJP

   H03H 3/02 20060101ALI20170313BHJP

   H01L 41/18 20060101ALI20170313BHJP

   H01L 41/09 20060101ALI20170313BHJP

【ＦＩ】

   C23F4/00 A

   H03H3/02 A

   H01L41/18 101A

   H01L41/08 C

【請求項の数】8

【全頁数】21

(21)【出願番号】特願2012-138129(P2012-138129)

(22)【出願日】2012年6月19日

(65)【公開番号】特開2014-1434(P2014-1434A)

(43)【公開日】2014年1月9日

【審査請求日】2015年5月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】000146009

【氏名又は名称】株式会社昭和真空

(74)【代理人】

【識別番号】100095407

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 満

(72)【発明者】

【氏名】森 広宣

(72)【発明者】

【氏名】及川 一寿

【審査官】 橋本 和志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−０３４７１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１７２０９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−３６３７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２２８９３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−５６５８６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｆ ４／００

Ｈ０１Ｌ ４１／０９

Ｈ０１Ｌ ４１／１８

Ｈ０３Ｈ ３／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一列に配列された複数の電子部品に対向して配置され、イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品に対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板と、
前記遮蔽板を前記一列の電子部品に沿って移動させる第１の駆動部と、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタと、
前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第２の駆動部と、
前記複数のシャッタを開放し、前記遮蔽板の前記一列の電子部品が対向する面と反対の面と対向して配置されたイオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、複数の電子部品にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板を、前記第１の駆動部により前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の電子部品と隣り合う電子部品上に前記複数の孔を位置決めして停止させる制御部とを備え、
前記第１の駆動部は、前記複数のシャッタと接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させる
ことを特徴とするシャッタ機構。

【請求項2】

前記第２の駆動部は、各シャッタに対応して設けられた
ことを特徴とする請求項１に記載のシャッタ機構。

【請求項3】

前記電子部品が圧電素子から構成され、前記第１の駆動部は、当該圧電素子の発振周波数を測定する周波数測定部に接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記周波数測定部を前記一列の電子部品に沿って移動させる
ことを特徴とする請求項１または２に記載のシャッタ機構。

【請求項4】

前記第１の駆動部は、前記イオンガンと接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記イオンガンを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させる
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシャッタ機構。

【請求項5】

一列に配列された複数の圧電素子に対向して配置され、当該複数の圧電素子に対向する面と反対の面に対向して配置されたイオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の圧電素子に対応する位置に、所定数の圧電素子おきに形成された複数の孔を有し、当該複数の孔の間隔は、前記遮蔽板と前記圧電素子とを挟んで前記イオンガンの反対側に配置された周波数測定部であって、前記一列に配列された複数の圧電素子に対応する位置に配置された複数の測定部を備え当該測定部により前記圧電素子の発振周波数を測定する周波数測定部の、当該複数の測定部の間隔と同一である遮蔽板と、
前記遮蔽板と前記周波数測定部とを前記一列の圧電素子に沿って移動させる第１の駆動部と、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタと、
前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第２の駆動部と、
前記複数のシャッタを開放し、前記イオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、前記周波数測定部の測定部により測定された発振周波数に基づき複数の圧電素子にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板と前記周波数測定部とを、前記第１の駆動部により前記一列の圧電素子に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の圧電素子と隣り合う圧電素子上に前記複数の孔と前記複数の測定部とを位置決めして停止させる制御部とを備える
ことを特徴とするシャッタ機構。

【請求項6】

イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品に対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板を、前記一列に配列された複数の電子部品に対向して配置する工程と、
前記遮蔽板に形成された各前記孔に対応して設けられた複数のシャッタを第２の駆動部により開放する工程と、
前記複数のシャッタのうち開放されたシャッタと当該シャッタに対応する前記遮蔽板の各前記孔を介して、各前記電子部品にイオンガンからイオンビームを照射する工程と、
前記開放されたシャッタを前記第２の駆動部により閉塞する工程と、
第１の駆動部により、前記遮蔽板を前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した各前記電子部品と隣り合う電子部品上に各前記孔を位置決めして停止させる移動工程と、
前記複数のシャッタに接続された前記第１の駆動部により、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させる工程とを備える
ことを特徴とするシャッタ開閉方法。

【請求項7】

コンピュータを、
一列に配列された複数の電子部品に対向して配置され、イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品と対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板を、前記一列の電子部品に沿って移動させる第１の駆動部、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタを、前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第２の駆動部、
前記複数のシャッタを開放し、前記遮蔽板の前記一列の電子部品が対向する面と反対の面と対向して配置されたイオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、複数の電子部品にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板を、前記第１の駆動部により前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の電子部品と隣り合う電子部品上に前記複数の孔を位置決めして停止させる制御部
として機能させ、
前記第１の駆動部は、前記複数のシャッタと接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させることを特徴とするプログラム。

【請求項8】

請求項１乃至５のいずれか１項に記載のシャッタ機構と、
一列に配列された複数の電子部品に内蔵された圧電素子の発振周波数を測定する周波数測定部と、
測定された発振周波数が、所望の発振周波数から外れた前記圧電素子にイオンビームを照射するイオンガンとを備える
ことを特徴とする周波数調整装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シャッタを開閉するシャッタ機構、シャッタ開閉方法、プログラム、及びシャッタ機構を備えた周波数調整装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体、電子部品の製造や、水晶振動子等の圧電素子の周波数調整を行う工程において、イオンガンを用いて電子部品等にイオンビームを照射してエッチング処理を行う方法が用いられている。イオンビームを電子部品等に照射する際に、イオンビームを通過させるための孔が形成された遮蔽板、イオンビームの照射時間を調整するため孔の開閉をする板状のシャッタが用いられる。遮蔽板の孔と、孔を開閉するためのシャッタは、特許文献１に開示されるように１つの水晶振動子に対応して設けられる。
従って、複数の水晶振動子がマトリクス状に配置されたトレイを用いて、水晶振動子にイオンビームを照射する周波数調整装置においては、列ごとにイオンビームを照射するのが通例である。このような処理を行う場合、一列の水晶振動子の数に対応する孔を有する遮蔽板と、当該孔に対応する数のシャッタと、各シャッタを移動させるモータを設ける必要がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００３−２０４２３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような構成を有する周波数調整装置は、個別の水晶振動子毎に適切な処理ができる反面、近年の電子部品の極小化、電子部品間のピッチの狭小化による操作精度の低下が問題となっている。

【0005】

すなわち、トレイ上に極小サイズの水晶振動子等の電子部品をより多く配列すると、隣り合う電子部品同士の間隔が狭くなる。電子部品間の間隔が狭くなると、電子部品毎に対応して設けられる板状のシャッタの幅も狭くなり、シャッタ間のピッチも狭くなる。
シャッタ間のピッチが狭くなると、各シャッタに取り付けられたモータの間隔も狭くなり、モータを並列して配置するには設置スペースの点で限界が生じていた。また、シャッタ間のピッチに適合するために、モータをシャッタの移動方向にずらして配置することもできるが、数が増えると、ずらした分のスペースを必要とし、イオンビーム処理を行う真空チャンバー自体の大型化につながり好ましくない。また、シャッタ長が長くなり信頼性が低下する。

【0006】

本発明は、以上のような課題を解決するためのものであり、複数の電子部品の間隔が狭く配置されていても当該電子部品に対する処理が適切にできるシャッタ機構、シャッタ開閉方法、プログラム、及びシャッタ機構を備えた周波数調整装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係るシャッタ機構は、
一列に配列された複数の電子部品に対向して配置され、イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品に対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板と、
前記遮蔽板を前記一列の電子部品に沿って移動させる第１の駆動部と、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタと、
前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第２の駆動部と、
前記複数のシャッタを開放し、前記遮蔽板の前記一列の電子部品が対向する面と反対の面と対向して配置されたイオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、複数の電子部品にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板を、前記第１の駆動部により前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の電子部品と隣り合う電子部品上に前記複数の孔を位置決めして停止させる制御部とを備え、
前記第１の駆動部は、前記複数のシャッタと接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させることを特徴とする。

【0008】

前記第２の駆動部は、各シャッタに対応して設けられてもよい。

【0010】

前記電子部品が圧電素子から構成され、前記第１の駆動部は、当該圧電素子の発振周波数を測定する周波数測定部に接続し、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記周波数測定部を前記一列の電子部品に沿って移動してもよい。

【0011】

前記第１の駆動部は、前記イオンガンと接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記イオンガンを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させてもよい。
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係るシャッタ機構は、
一列に配列された複数の圧電素子に対向して配置され、当該複数の圧電素子に対向する面と反対の面に対向して配置されたイオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の圧電素子に対応する位置に、所定数の圧電素子おきに形成された複数の孔を有し、当該複数の孔の間隔は、前記遮蔽板と前記圧電素子とを挟んで前記イオンガンの反対側に配置された周波数測定部であって、前記一列に配列された複数の圧電素子に対応する位置に配置された複数の測定部を備え当該測定部により前記圧電素子の発振周波数を測定する周波数測定部の、当該複数の測定部の間隔と同一である遮蔽板と、
前記遮蔽板と前記周波数測定部とを前記一列の圧電素子に沿って移動させる第１の駆動部と、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタと、
前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第２の駆動部と、
前記複数のシャッタを開放し、前記イオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、前記周波数測定部の測定部により測定された発振周波数に基づき複数の圧電素子にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板と前記周波数測定部とを、前記第１の駆動部により前記一列の圧電素子に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の圧電素子と隣り合う圧電素子上に前記複数の孔と前記複数の測定部とを位置決めして停止させる制御部とを備えることを特徴とする。

【0012】

上記目的を達成するため、本発明の第３の観点に係るシャッタ開閉方法は、
イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品に対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板を、前記一列に配列された複数の電子部品に対向して配置する工程と、
前記遮蔽板に形成された各前記孔に対応して設けられた複数のシャッタを第２の駆動部により開放する工程と、
前記複数のシャッタのうち開放されたシャッタと当該シャッタに対応する前記遮蔽板の各前記孔を介して、各前記電子部品にイオンガンからイオンビームを照射する工程と、
前記開放されたシャッタを前記第２の駆動部により閉塞する工程と、
第１の駆動部により、前記遮蔽板を前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した各前記電子部品と隣り合う電子部品上に各前記孔を位置決めして停止させる移動工程と、
前記複数のシャッタに接続された前記第１の駆動部により、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させる工程とを備えることを特徴とする。

【0013】

上記目的を達成するため、本発明の第４の観点に係るプログラムは、
コンピュータを、
一列に配列された複数の電子部品に対向して配置され、イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品と対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板を、前記一列の電子部品に沿って移動させる第１の駆動部、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタを、前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第２の駆動部、
前記複数のシャッタを開放し、前記遮蔽板の前記一列の電子部品が対向する面と反対の面と対向して配置されたイオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、複数の電子部品にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板を、前記第１の駆動部により前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の電子部品と隣り合う電子部品上に前記複数の孔を位置決めして停止させる制御部として機能させ、
前記第１の駆動部は、前記複数のシャッタと接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させることを特徴とする。

【0014】

上記目的を達成するため、本発明の第５の観点に係る周波数調整装置は、
前記シャッタ機構と、
一列に配列された複数の電子部品に内蔵された圧電素子の発振周波数を測定する周波数測定部と、
測定された発振周波数が、所望の発振周波数から外れた前記圧電素子にイオンビームを照射するイオンガンとを備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、複数の電子部品の間隔が狭く配置されていても当該電子部品に対する処理が適切にできるシャッタ機構、シャッタ開閉方法、プログラム、及びシャッタ機構を備えた周波数調整装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の実施の形態に係るシャッタ機構を備えた周波数調整装置を模式的に示す図である。

【図2】本実施の形態に係るシャッタ機構のトレイ搬送機構を示す上面図である。

【図3】本実施の形態に係るシャッタ機構におけるシャッタ、遮蔽板、トレイ、及びコンタクトの位置関係を模式的に示す図であり、（ａ）は、側面図、（ｂ）は背面図である。

【図4】本実施の形態に係るシャッタ機構のＹ軸移動機構を示す図であり、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、トレイを外した状態の上面図、（ｃ）は、可動台の上面図であり、（ｄ）は可動台の他の実施例を示す。

【図5】本実施の形態に係るシャッタの往復移動機構を示す図であり、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）のシャッタを一部取り外した状態を示す上面図である。

【図6】本実施の形態に係る１つのシャッタの往復移動機構の要部構造を示す図であり、（ａ）は、リンクがストッパに接触せずに中立の位置にある状態を示す図、（ｂ）は、リンクが一方に傾いてストッパが作用した状態を示す図、（ｃ）は、リンクが他方に傾いてストッパが作用した状態を示す図である。

【図7】本実施の形態に係るトレイと、シャッタと遮蔽板との動きを模式的に示す図であり、（ａ）は、ｎ列目の第１グループの水晶振動子の列上に、遮蔽板とシャッタが位置している状態を示す図であり、（ｂ）は、遮蔽板とシャッタが、Ｙ軸方向に移動した状態を示す図であり、（ｃ）は、トレイをＸ軸方向に移動した状態を示す図である。

【図8】図７に示す実施の形態に係るシャッタ機構のシャッタ開閉動作の処理の流れを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の一実施の形態に係るシャッタ機構、及びシャッタ機構を備えた周波数調整装置について、図面を参照して説明する。
以下では、理解を容易にするため、シャッタ機構を利用して本発明が実現される実施の形態を説明するが、以下に説明する実施の形態は説明のためのものであり、本願発明の範囲を制限するものではない。したがって、当業者であればこれらの各要素もしくは全要素をこれと均等なものに置換した実施の形態を採用することが可能であるが、これらの実施の形態も本発明の範囲に含まれる。

【0018】

図１は、本実施の形態に係るシャッタ機構を備えた周波数調整装置を模式的に示す図である。理解を容易にするために、搬送されるキャリアの搬送方向をＸ軸、キャリアの奥行き方向をＹ軸、キャリアの面に垂直な方向をＺ軸とする。

【0019】

周波数調整装置１は、エッチング室３内に配置され、エッチング室３は、ゲートバルブ５を介して仕込室２と接続されている。周波数調整装置１は、コンタクト１０と、イオンガン１１と、シャッタ１２と、第１制御部１３と、トレイ搬送装置１４と、遮蔽板１６と、第２制御部１９とから構成される。

【0020】

コンタクト１０は、水晶振動子７の発振周波数を測定するものである。発振周波数を測定される水晶振動子７は、トレイ６の収容部９に収容され、トレイ６は、キャリア８に搭載されてエッチング室３に搬入される。

【0021】

キャリア８は、図２に示すように、好ましくは、矩形形状であり、金属材等からなる。キャリア８上に形成された溝部にトレイ６が載置される。トレイ６には、複数の水晶振動子７を収容するための複数の収容部９が、マトリクス状に形成されている。本実施の形態では、トレイ６には、搬送方向（矢印Ａ）と垂直なＹ軸方向に１２行、搬送方向と平行なＸ軸方向に１７列の収容部９が、形成されている。すなわち、トレイ６上には、一列に１２個の収容部９が形成され、このような列が１７列あるので、全部で２０４個の収容部９が形成されている。各収容部９は、図１に示すように貫通孔として形成され、上部は、水晶振動子７を受け入れるために大きく開口され、下部は、イオンガン１１から照射されるイオンビームを適切な箇所に照射させるために小さく開口されている。

【0022】

コンタクト１０は、トレイ６の上方に、収容部９の列と平行に配置される。図１に示すように、コンタクト１０は、トレイ６に向かって突出するプローブピン１５を有している。プローブピン１５は、２本のピンを一組とする。プローブピン１５は、トレイ６上の収容部９の一列に沿って、一列の収容部９（収容された水晶振動子７）に対して、所定の水晶振動子の数おきに間隔を置いて設けられる。
なお、コンタクト１０は、コンタクト搬送装置２５に取り付けられたＸＹステージ２６により、Ｙ軸方向に移動される。

【0023】

プローブピン１５を有するコンタクト１０は、コンタクト搬送装置２５により、Ｚ軸方向に上下移動し、プローブピン１５が発振周波数測定対象の水晶振動子７に接触して、発振周波数の測定を行う。

【0024】

第１制御部１３は、コンタクト１０の上下移動、イオンガン１１の照射量、トレイ６のＸ軸方向への移動、シャッタ１２の開閉を制御するものである。なお、第１制御部１３は、後述する第２制御部１９と連動して、トレイ６の移動、イオンガン１１の照射、コンタクト１０の上下移動、シャッタ１２の開閉を行う。第１制御部１３は、コンタクト１０により測定された水晶振動子７の発振周波数が、所望の発振周波数か否かを判断する。そして、所望の発振周波数でないときには、水晶振動子７にイオンガン１１からイオンビームを照射して、所望の発振周波数になるまで水晶振動子７をエッチングするように指示する。

【0025】

イオンガン１１は、トレイ６の下方に配置され、イオンビームを水晶振動子７に照射する。イオンガン１１によるイオンビームの照射量は、第１制御部１３により制御され、照射対象となる水晶振動子の発振周波数が、目標とする発振周波数に一致するまで行われる。

【0026】

遮蔽板１６は、トレイ６のイオンビームが照射される側に配置され、トレイ６に収容された一列の水晶振動子７に対向して配置される。遮蔽板１６には、一列の水晶振動子７に対して所定の水晶振動子の数おきに間隔を置いて複数の孔１７が形成されている。複数の孔１７の数は、コンタクト１０の一対のプローブピン１５の数と同一である。

【0027】

シャッタ１２は、遮蔽板１６よりイオンガン１１側に配置され、シャッタ１２の開放時間によりイオンビームの水晶振動子７への照射量を制御する。シャッタ１２は、遮蔽板１６の各々の孔１７に対応して、複数設けられる。シャッタ１２の開閉機構については、後述する。

【0028】

第２制御部１９は、遮蔽板１６、複数のシャッタ１２、コンタクト１０を、Ｙ軸方向に所定距離移動させるように制御する。第２制御部１９の具体的な制御方法については、後述する。

【0029】

図２は、トレイ６のＸ軸方向への搬送機構を示す上面図である。
トレイ搬送装置１４は、一対のガイドレール２１と、ガイドレール２１と平行に配置されたボールねじ軸２８と、ボールねじナット２９と、チャック機構２２とからなる。

【0030】

ボールねじ軸２８は、円柱軸の表面にねじ溝が形成され、ボールねじナット２９の内面に形成されたねじ溝と螺合する。そして、ボールねじ軸２８が、図１に示すモータ４によって回転されると、螺合されたボールねじナット２９が、Ｘ軸方向に並進する。モータ４はエッチング室３の外部に配置され、ボールねじ軸２８はエッチング室に対して固定で取付けられる。
ボールねじナット２９は、キャリア８に向かって垂直に伸びるチャック機構２２に固定されている。

【0031】

チャック機構２２は、アームベース２３とマグネット部２４とからなる。アームベース２３は、キャリア８の搬送方向（Ａ方向）に垂直に配置され、キャリア８側にマグネット部２４を有する。チャック機構２２に対向するキャリア８の端部には、磁性体（図示せず）が形成され、チャック機構２２側のマグネット部２４とキャリア８側の磁性体が磁力により結合する。キャリア８は、チャック機構２２との結合により、Ｘ軸方向の位置決めがなされる。

【0032】

また、トレイ６の上方には、キャリア搬送方向と垂直に、トレイ搬送装置１４をまたいで、コンタクト搬送装置２５が設置されている。コンタクト搬送装置２５は、側面視（Ｘ軸方向から見て）で門形形状を有し、トレイ搬送装置１４のトレイ搬送方向の両側面をまたぐように配置される。すなわち、コンタクト搬送装置２５は、トレイ搬送装置１４の当該両側面に当接して立設する２本の側柱２７と、２本の側柱２７の上部で２本の側柱２７の間に配置され当該２本の側柱を繋ぐ柱状の天板３０とからなる。

【0033】

天板３０の下面には、トレイ６上方でＸＹ方向に移動可能な板状のＸＹステージ２６が、取り付けられている。ＸＹステージ２６の下面には、ＸＹステージ２６の移動に伴って移動するコンタクト１０が搭載される。このＸＹステージ２６は、第２制御部１９により制御され、複数のシャッタ１２及び遮蔽板１６の動きと連動して、Ｙ軸方向にコンタクト１０を移動する。ＸＹステージ２６は、プローブピン１５の位置調整にも用いられる。２本の側柱２７は図示しない昇降駆動装置に接続され、コンタクト搬送装置２５全体がＺ軸方向に上下動する。

【0034】

次に、本実施の形態に係るシャッタ機構について、図３〜６を用いて、詳述する。
図３は、本実施の形態に係るシャッタ機構において、コンタクト１０と、トレイ６と、遮蔽板１６と、シャッタ１２との位置関係を示す概念図であり、図３（ａ）は、シャッタ機構の位置関係を示す側面図、図３（ｂ）は、同じく背面図である。

【0035】

図３（ａ）に示すように、マトリクス状に水晶振動子７を配置したトレイ６の上方には、水晶振動子７の発振周波数を測定するためのコンタクト１０が配置される。コンタクト１０は、トレイ６の搬送方向（矢印Ａ）に垂直に位置する水晶振動子７の一列に対応する位置に、一対のプローブピン１５を備えている。一対のプローブピン１５は、一列に配列された水晶振動子７の所定数おきに配置される。すなわち、一列に配列された水晶振動子７に対して、１つおき、あるいは２つおきなど、所定の数おきに配置される。

【0036】

また、遮蔽板１６は、トレイ６のコンタクト１０と対向する面と反対の面の側に、配置され、イオンビームを通過させるための複数の孔１７を有する。当該複数の孔１７は、コンタクト１０の一対のプローブピン１５に対応する位置に配置されるように設けられる。すなわち、コンタクト１０の一対のプローブピン１５と同様に、一列に配列された水晶振動子７の所定数おきに配置される。所定数の数は、一対のプローブピンと、複数の孔１７は同一である。

【0037】

さらに、複数のシャッタ１２が、遮蔽板１６のトレイ６と対向する面と反対の面の側に、配置される。複数のシャッタ１２は、遮蔽板１６の複数の孔１７に対応するように設けられる。したがって、一対のプローブピン１５と、遮蔽板１６の孔１７と、シャッタ１２は、Ｚ軸上で同一線上に配置されることになる。各シャッタ１２は、各シャッタ１２毎に設けられたソレノイド３１によって往復移動し、往復移動することで、遮蔽板１６の孔１７の開放又は閉塞をする。シャッタ１２は幅方向（Ｙ軸方向）の中心を対応する孔１７の中心に一致して配置される。孔１７の開口幅よりもシャッタ１２による遮蔽幅の方が大きく、かつシャッタによる遮蔽幅の中央に孔１７を配置するため、シャッタの端からイオンビームが回り込んで孔１７を通過することを防止でき、シャッタの信頼性を高めることができる。更に本発明の構成により極小ピッチの素子を対象とする処理であってもシャッタ幅を広くすることができるため、シャッタによる確実な遮蔽が可能となる。

【0038】

本実施の形態において、トレイ６の収容部９に収容された水晶振動子７は、１２行（Ｙ軸方向）×１７列（Ｘ軸方向）のマトリクス状に配置されている。すなわち、トレイ６のＹ軸に沿って、１２個の水晶振動子７が一列に配置される。Ｙ軸方向の一列に配置された水晶振動子７に対向する位置に遮蔽板１６が配置され、遮蔽板１６には、一列の水晶振動子７に対して、１つおきに孔１７が開口されている。当該孔１７は、一列の水晶振動子７に対して１つおきに設けられるので、６個の孔１７が設けられることになる。

【0039】

また、遮蔽板１６に対向して配置されるシャッタ１２は、遮蔽板１６の複数の孔１７のそれぞれに対応して設けられるので、６つのシャッタ１２が設けられる。また、６つのシャッタ１２の各々には、当該シャッタ１２を往復運動させるための第２の駆動部であるソレノイド３１が接続される。

【0040】

コンタクト１０と、トレイ６と、遮蔽板１６と、シャッタ１２とが、上述した位置関係及び構成を有することで、コンタクト１０の隣り合う一対のプローブピンの間隔、遮蔽板１６の隣り合う孔１７の間隔、孔１７に対応する隣り合うシャッタの間隔を、トレイ６上に一列に配置された隣り合う水晶振動子の間隔とは同一にする必要はなく、隣り合う水晶振動子の間隔よりも広く設定することができる。
したがって、トレイ６に収容された水晶振動子７の隣り合う間隔が狭くなっても、シャッタ間のピッチを狭めることなく、適切にイオンビームを水晶振動子７に照射することができる。

【0041】

ソレノイド３１は、複数のシャッタ１２ごとに設けられることにより、イオンビームの照射量の制御を各水晶振動子７の発振周波数特性に応じて、適切に行うことができる。

【0042】

また、シャッタ間のピッチを狭めることなく、シャッタを配置できるので、シャッタの幅を細くして、シャッタの信頼性及び強度を低下させることもない。

【0043】

図４は、本実施の形態に係るシャッタ機構において、遮蔽板１６、シャッタ１２をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸移動機構を示す図である。図４（ａ）は、Ｙ軸移動機構の構成を示す側面図、図４（b）は、Ｙ軸移動機構において、コンタクト１０及びトレイ６を除いた状態の上面図、図４（c）は、トレイ６、遮蔽板１６、シャッタ１２、ソレノイド３１を外した可動台の上面図である。

【0044】

制御部４０は、第１制御部１３と第２制御部１９とから構成され、第１制御部１３と第２制御部１９とが連動して、制御を行うことにより、トレイ６のＸ軸方向への搬送、水晶振動子７へのイオンビーム照射、複数のシャッタの開閉、複数のシャッタ・遮蔽板・コンタクトのＹ軸方向への移動を可能とする。また、制御部４０は、ＰＣ（Personal Computer）に接続されており、ＰＣに操作者により所望の条件が入力されると、その条件を満たすように、制御部４０が全体の制御を行う。

【0045】

可動台４１は、好ましくは長方形状に形成されており、その上面に、トレイ６の水晶振動子７の一列に対して、所定数おきに孔１７を有する遮蔽板１６と、遮蔽板１６の下方に配置され、遮蔽板１６の孔に対応する数の複数のシャッタ１２と、複数のシャッタ１２の各々に接続されたソレノイド３１とを載置する。

【0046】

複数のシャッタ１２は、可動台４１の長辺と平行に配置される。複数のシャッタ１２の一端部側は、ソレノイド３１に接続され、他端部側は、遮蔽板１６の下面の孔１７近傍に配置される。複数のシャッタ１２は、ソレノイド３１により往復移動されることにより、遮蔽板１６の下面側から遮蔽板１６の孔１７を開放または閉塞する。

【0047】

複数のシャッタ１２は、一体のユニットとして移動させることが可能である。可動台４１の下部に設けた駆動部４２が、第２制御部１９により制御されることにより、可動台４１をＹ軸方向に移動させる。可動台４１がＹ軸方向に移動することにより、複数のシャッタ１２も一体としてＹ軸方向に移動する。

【0048】

可動台４１の下部には、イオンビームを出射するイオンガン１１が配置される。そして、可動台４１のイオンガンに対応する位置には、イオンガン１１から出射されるイオンビームを通過されるための通過孔４４がスリット状に形成されている。

【0049】

また、可動台４１は、その下部に配置される一対のガイド部４３によって支持されている。一対のガイド部４３は、可動台４１の２つの短辺に沿って、通過孔４４を挟んで可動台４１に取り付けられる。ガイド部４３は、例えばレールと、当該レールが貫通するブロックからなり、ブロックの上面が可動台４１の下面に接着される。ブロックがレールに沿って移動することにより、可動台４１を円滑に移動することができる。

【0050】

さらに、可動台４１の下部には、ソレノイド３１が設けられる側の短辺に沿って駆動部４２が設けられる。駆動部４２は、モータ４５と、モータ４５に接続され、円柱軸の外周にねじ溝が形成されているボールねじ軸４６と、ボールねじ軸４６のねじ溝と螺合するねじ溝が内周に形成されているボールねじナット４７とから構成される。モータ４５には、例えばパルスモータが使用される。

【0051】

ボールねじナット４７は、その上面が可動台４１に接続されており、モータ４５の回転によりボールねじ軸４６が回転し、ボールねじナットが並進すると、可動台４１も並進する。可動台４１が並進することにより、可動台４１上の複数のシャッタ１２及び遮蔽板１６が、Ｙ軸方向に移動する。

【0052】

可動台４１のＹ軸方向の移動は、モータ４５の回転を制御することにより、シャッタ１２及び遮蔽板１６のピッチ送り移動として実現される。可動台４１の移動ピッチは、イオンビーム照射がされる水晶振動子７の配列ピッチに応じて、適宜、調整をするように制御することが可能である。
図４（ｄ）に可動台の他の実施例を示す。可動台４９は、その上面に、トレイ６の水晶振動子７の一列に対して、所定数おきに孔１７を有する遮蔽板１６と、遮蔽板１６の下方に配置され、遮蔽板１６の孔に対応する数の複数のシャッタ１２と、複数のシャッタ１２の各々に接続されたソレノイド３１と、イオンガン１１と、コンタクト搬送装置２５を載置する。モータ４５により、可動台４９に載置された遮蔽板１６、シャッタ１２、コンタクト１０、イオンガン１１を一体にＹ軸方向に移動させることができる。可動台４９にイオンガンを搭載することで、小型イオンガンであっても大面積の基板を処理することが可能となる。

【0053】

次に、シャッタ１２の往復移動の機構について、図５及び６を参照して説明する。図５は、シャッタの往復移動機構を示す図であり、図５（ａ）は、上面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のシャッタを一部外した状態を示す上面図である。図６は、図５における１つのシャッタに対応するシャッタ往復移動機構の要部を示す図であり、図６（ａ）は、リンクがストッパに接触せずに中立の位置にある状態を示す図、図６（ｂ）は、リンクが一方に傾いてストッパが作用した状態を示す図、図６（ｃ）は、リンクが他方に傾いてストッパが作用した状態を示す図である。

【0054】

往復移動機構５０は、ソレノイド３１と、シャッタ１２と、ソレノイド３１とシャッタ１２を接続するリンク５４と、ストッパ５２とからなる。説明を容易にするために、図５において、遮蔽板１６の孔１７の位置を図示する。孔１７は、実際には、シャッタ１２の上部に配置される。

【0055】

シャッタ１２は、細長形状の板状部材からなり、一端部で遮蔽板１６の孔１７を開放、閉塞するように配置され、他端側でソレノイド３１と接続するように配置される。ソレノイド３１は、回転軸５５を中心に回転する。リンク５４は、長方形状の板状部材であり、その中央部において、ソレノイド３１の回転軸５５と接続され、接続された箇所をリンク機構の固定端として機能させる。リンク５４の一端部は、ピン５３を介してシャッタ１２に係合され、当該一端部をリンク機構の自由端として機能させる。このように、ソレノイド３１の回転軸５５と、リンク５４と、シャッタ１２とを接続してリンク機構を構成し、ソレノイド３１の回転を直線運動に変換して、シャッタ１２の往復移動が可能となる。

【0056】

ソレノイド３１は、複数のシャッタ１２のそれぞれ接続されており、複数のシャッタを個別に往復移動制御する。シャッタ１２は、遮蔽板１６に形成された複数の孔１７の間隔に対応するシャッタ１２間の間隔を保つ必要があり、ソレノイド３１も同様の間隔を保つように配置されなくてはならない。そのため、複数のソレノイド３１は、シャッタ１２の配置間隔が狭くなると、シャッタ１２の移動方向と垂直な方向に一列に並べることは困難である。したがって、隣り合うソレノイド３１は、シャッタ１２の移動方向に垂直な方向に間隔を隔てるとともに、シャッタ１２の往復移動方向に沿って、その回転軸を間隔を隔てて配置される。

【0057】

本実施の形態においては、６本のシャッタ１２ａ〜１２ｆと、これらのシャッタにそれぞれ対応するソレノイド３１ａ〜３１ｆが設けられている。シャッタ１２ａ〜１２ｃに対応するソレノイド３１ａ〜３１ｃは、シャッタ１２が往復移動する方向に間隔を隔てて配置され、ソレノイド３１ａ、ソレノイド３１ｂ、ソレノイド３１ｃの順に遮蔽板１６の孔１７から遠ざかるように配置される。そして、シャッタ１２ｄ〜１２ｆに対応するソレノイド３１ｄ〜３１ｆも、シャッタ１２が往復移動する方向に間隔を隔てて配置され、ソレノイド３１ｄ、ソレノイド３１ｅ、ソレノイド３１ｆの順に遮蔽板１６の孔１７から遠ざかるように配置される。

【0058】

また、遮蔽板１６の孔１７からソレノイド３１が配置される位置までの距離に応じて、個別のストッパが近接して設けられる。ストッパ５２は、棒状の形態を有し、シャッタ１２に対して垂直に配置され、ソレノイドが近接する位置には、半円形状の凸部が形成される。

【0059】

すなわち、遮蔽板１６の孔１７から一番近い位置に設けられるソレノイド３１ａ、３１ｄの近傍には、第１のストッパ５６が、２番目に近い位置に設けられるソレノイド３１ｂ、３１ｅの近傍には、第２のストッパ５７が、一番遠い位置に設けられるソレノイド３１ｃ、３１ｆの近傍には、第３のストッパ５８が、それぞれ設けられる。孔１７からの距離が等しいソレノイドに関しては共通部材のストッパが各ソレノイドの開閉角度を制御するため、ソレノイド周辺の機構を簡素化することができる。

【0060】

第１のストッパ５６のソレノイド３１ａ、３１ｄが配置される位置には、第１の凸部５９が、第２のストッパ５７のソレノイド３１ｂ、３１ｅの位置には、第２の凸部６０が、第３のストッパ５８のソレノイド３１ｃ、３１ｆの位置には、第３の凸部６１が、それぞれ形成されている。
ストッパ５６〜５８は、リンク５４の動きを規制する部材であり、リンク５４の動きが規制されることにより、シャッタ１２の往復移動の距離が決定される。シャッタ１２の往復移動の距離は、リンク５４の長さを調整することにより、変更可能である。また、ストッパに設けられた凸部５９〜６１の大きさを変更することによっても、シャッタ１２の往復移動の距離を変更することが可能である。

【0061】

このような構成を有する往復移動機構５０のストッパ５２の作用について、図６を参照して説明する。リンク５４は、第３のストッパ５８が作用していないときには、図６（ａ）に示すように、棒状のストッパと平行な状態となっている。図６（ｂ）に示すように、ソレノイド３１が一定方向に回転すると、リンク５４は、回転軸５５を固定端としてリンク５４は、揺動する。揺動したリンク５４の一端側（図示右側）が第３のストッパ５８に接触すると、リンク５４とピン５３で接続されたシャッタ１２は移動を規制される。この状態で、シャッタ１２は、遮蔽板１６の孔１７を開放している。

【0062】

一方、図６（ｃ）に示すように、ソレノイド３１が反対方向に回転すると、リンク５４の他端側（図示左側）が第３のストッパ５８と接触する。リンク５４が第３のストッパ５８に接触することにより、シャッタ１２は移動を規制され、シャッタ１２は、遮蔽板１６の孔１７上で孔を閉塞する状態となる。

【0063】

このように、リンク５４は、回転軸５５中心として揺動した場合に、第３のストッパ５８の凸部６１があることによって、両端部が第３のストッパ５８に当接し、動きが規制される。リンク機構の自由端となるピン５３の揺動する角度によって、シャッタ１２の移動距離が決定される。リンクの長さが短ければ、揺動する角度が大きいので、シャッタ１２に移動距離は長くなり、リンクの長さが長ければ、揺動する角度が小さいので、シャッタ１２の移動距離は短くなる。なお、リンク５４の揺動角度は、例えば、６０°とすることが好ましい。揺動角度が小さいほどシャッタ開閉の動作時間を短縮することができる。また、リンク５４の中心位置でソレノイドの回転軸に連結することにより、リンク５４をバランスよく動作させることができる。更に、リンク５４の両端をストッパに当接する構成により、シャッタ開時のストッパとシャッタ閉時のストッパとをそれぞれ別に設ける必要がなく、部品点数を減らすことができる。

【0064】

複数のシャッタ１２間には、シャッタの動きをガイドするためのシャッタガイド５１が設けられており、シャッタ１２の動きを円滑に行う役目を果たす。

【0065】

次に、本実施の形態における周波数調整装置の動作を図１を用いて説明する。

【0066】

図１に示すように、水晶振動子７が収容部９に収容されたトレイ６を、キャリア８上に載置して、仕込室２に搬入する。仕込室２が所定の真空状態になるように真空引きされ、所定の真空状態になると、ゲートバルブ５が解放され、キャリア８は、所定の真空状態となっているエッチング室３に搬入される。

【0067】

キャリア８は、搬入の際には、ガイドレール２１の案内部（図示せず）に案内されて、ガイドレール２１内に配置される。
そして、ガイドレール２１内に搬入されたキャリア８の一端部に設けられた磁性体が、チャック機構２２のマグネット部２４に結合される。ボールねじ軸２８が駆動部４２により回転駆動され、ボールねじ軸２８に螺合するボールねじナット２９がＸ軸方向に並進する。ボールねじナット２９に固定されたチャック機構２２及びチャック機構２２に結合されたキャリア８は、ボールねじナット２９の並進方向と同一方向に搬送される。

【0068】

ボールねじ軸２８は、ガイドレール２１と平行に配置され、ガイドレール２１に垂直に配置されたキャリア８が、ボールねじナット２９とともに並進するので、キャリア８は、ボールねじ軸２８を基準として、Ｙ軸方向の位置決めがされる。

【0069】

チャック機構２２に結合されたキャリア８は、ボールねじ軸２８が所定量回転することより、所定の距離をＸ軸方向に移動される。そして、キャリア８は、トレイ６に収容された水晶振動子７の搬送方向（矢印Ａ方向）の第１番目の列が、コンタクト１０の下部の位置に配置されるまで移動され、停止される。

【0070】

図１に示すように、キャリア８の移動が停止されると、トレイ６に収容された水晶振動子７の発振周波数が測定される。発振周波数は、コンタクト１０に設けられた一対のプローブピン１５により測定される。測定された発振周波数のデータは、第１制御部１３に送信される。第１制御部１３において、発振周波数の調整が必要であると判断されると、所定の時間シャッタ１２を開き、イオンガン１１からイオンビームを水晶振動子７に照射する。

【0071】

シャッタ機構の動作について、さらに図３〜図７を用いて詳細に説明する。
キャリア８は、トレイ６に収容された水晶振動子７の搬送方向（Ｘ軸のＡ方向）の第１番目の列の位置まで移動され、停止される。このとき、遮蔽板１６の孔１７は、トレイ６上の第１番目の列に配列された水晶振動子７に対して、１つおきに形成されているため、トレイ６と遮蔽板１６とシャッタ１２とは、図３に示すような位置関係に配置される。すなわち、遮蔽板１６の孔１７、コンタクト１０のプローブピン１５、及びシャッタ１２は、図３において便宜上黒色で示した水晶振動子７に対して対向するように位置している。ここで、説明を容易にするために、黒色で示した水晶振動子を第１グループの水晶振動子７ａとし、第１グループの水晶振動子７ａに対して、隣り合う水晶振動子を白色で示した第２グループの水晶振動子７ｂとする。

【0072】

このような位置関係で、コンタクト１０は、プローブピン１５により第１グループの水晶振動子７ａの発振周波数を測定する。測定された発振周波数から、各水晶振動子に照射すべきイオンビームの量を第１制御部１３により算出する。複数のシャッタ１２は、ソレノイド３１により開放され、遮蔽板１６の孔１７を介して、シャッタ１２の背面に設けられたイオンガン１１からイオンビームが第１グループの水晶振動子７ａに照射される。

【0073】

イオンビームは、各水晶振動子に対して、算出された必要な量を照射し、必要な量を照射された水晶振動子に対応するシャッタ１２をソレノイド３１により移動して、遮蔽板１６の孔１７を閉塞する。本実施形態では、イオンビームの照射と同時に発振周波数を測定し、水晶振動子が所望の発振周波数となる時点で遮蔽板１６の対応する孔１７が閉塞されるように、シャッタ１２をソレノイド３１により駆動させるが、イオンビーム照射時間を予め算出してシャッタ１２を時間制御にて閉塞してもよい。一列に配置された水晶振動子に対して、全ての第１グループの水晶振動子７ａに対してイオンビームの照射が完了すると、トレイ搬送装置１４により、トレイ６が図２のＡ方向に移動される。トレイ６は、コンタクト１０、遮蔽板１６の孔１７、シャッタ１２が、マトリクス状に配置された第１グループの水晶振動子７ａの２列目に位置するように移動する。そして、１列目の水晶振動子に対する処理と同様の処理を行い、同じ処理を最後のｍ列（実施例では第１７番目の列）まで行う。トレイ６に収容された第１グループの水晶振動子７ａの搬送方向（Ｘ軸のＡ方向）のｍ番目の列がコンタクト１０、遮蔽板１６の孔１７、シャッタ１２に対面する状態にて、第２制御部１９により、モータ４５を駆動するように指示が出され、モータ４５が必要な量回転することで、可動台４１がＹ軸方向に移動する。Ｙ軸方向への移動は、遮蔽板１６の孔１７が、イオンビームの照射が終了した第１グループの水晶振動子７ａのとなりの第２グループの水晶振動子７ｂ上に位置するまで、たとえば５mm移動する。

【0074】

可動台４１がＹ軸方向に移動することで、可動台４１上に載置された複数のシャッタ１２が一体となってＹ軸方向に移動し、同じく可動台４１上に載置された遮蔽板１６もＹ軸方向に移動する。可動台４１がＹ軸方向に移動することにより、複数のシャッタ１２と遮蔽板１６の複数の孔は、第２グループの水晶振動子７ｂに対向して、位置決めされることになる。

【0075】

一方、コンタクト搬送装置２５のＸＹステージ２６は、第２制御部１９により制御されて、可動台４１と同期して、同一の距離をＹ軸方向に移動する。そして、コンタクト１０のプローブピン１５は、シャッタ１２と遮蔽板１６の孔１７と同様に、第２グループの水晶振動子７ｂに対向して、位置決めされることになる。

【0076】

このように、コンタクト１０のプローブピン１５と、遮蔽板１６の孔１７と、シャッタ１２が、トレイ６に収容された第２グループの水晶振動子７ｂに対向する位置まで移動すると、第１グループの水晶振動子７ａの場合と同様に、プローブピン１５が下降して、第２グループの水晶振動子７ｂの発振周波数が測定される。測定された発振周波数に基づき、第１制御部１３は、各水晶振動子７に対して、照射するイオンビームの量を算出する。

【0077】

そして、再度、シャッタ１２がソレノイド３１により移動され、シャッタ１２は、遮蔽板１６の孔１７を開放する。孔１７が開放されると、イオンガン１１により第２グループの水晶振動子７ｂに対して、イオンビームが照射される。算出された量のイオンビームを照射された水晶振動子に対応するシャッタ１２は、ソレノイド３１が可動することで閉塞され、イオンビームの照射を遮断する。残りの水晶振動子についても、算出されたイオンビームの照射が終了するまで、シャッタ１２を開放して、イオンビームの照射を継続する。第２グループの全ての水晶振動子７ｂに対するイオンビームの照射が完了すると、シャッタ１２が移動して、全ての孔１７は閉塞される。

【0078】

なお、発振周波数の調整が不要である水晶振動子７には、イオンビームの照射は行う必要がないので、そのような水晶振動子に対応する遮蔽板１６の孔１７に対応するシャッタ１２は、開放する方向に移動しない。

【0079】

このようにして、ｍ列目の水晶振動子７ｂへのイオンビームの照射が終了すると、トレイ６は、コンタクト１０、遮蔽板１６の孔１７、シャッタ１２が、マトリクス状に配置された水晶振動子７ｂのｍ−１列目に位置するように移動する。そして、ｍ列目の水晶振動子７ｂに対する処理と同様の処理を行い、同じ処理を１列目まで行う。実施例では、第１グループの水晶振動子７ａに対して１列目からｍ列目までの処理を実施した後、可動台４１をＹ軸方向に移動して第２グループの水晶振動子７ｂに対してｍ列目から1列目までの処理を実施することでタクトタイムを短縮するが、可動台４１のＹ軸方向への搬送とキャリア８のＸ軸方向への搬送のタイミングは適宜組み合わせてよい。

【0080】

例えば図７は、キャリア８のＸ軸方向への搬送と可動台４１のＹ軸方向への搬送を交互に繰り返す実施例である。図７は、トレイ６と、シャッタ１２と遮蔽板１６との動きを模式的に示す図である。
図７（ａ）は、ｎ列目の第１グループの水晶振動子７ａの列上に、遮蔽板１６とシャッタ１２が位置している状態を示す。この状態で、第１グループの水晶振動子７ａ対してイオンビームの照射が全て終了すると、図７（ｂ）に示すように、ｎ列目の第２グループの水晶振動子上に遮蔽板１６とシャッタ１２が位置するように、Ｙ軸方向に遮蔽板１６とシャッタ１２が移動する。

【0081】

図７（ｂ）に示す状態で、第２グループの水晶振動子７ｂに対してイオンビームが照射され、全ての第２グループの水晶振動子７ｂに対してイオンビームの照射が終了すると、遮蔽板１６とシャッタ１２は、第２制御部１９により制御されて、Ｙ軸方向の元の位置に戻る。それと同時に、トレイ６は、トレイ搬送装置１４によりＸ軸方向に移動され、図７（ｃ）に示すように、ｎ＋１列目の水晶振動子の列上に遮蔽板１６とシャッタ１２とが配置される位置まで、搬送される。なお、遮蔽板１６とシャッタ１２をＹ軸方向の元の位置に戻す処理と、トレイ６をＸ軸方向に移動する処理は、どちらを先に行ってもよい。

【0082】

遮蔽板１６とシャッタ１２は、Ｙ軸方向の元の位置に戻されるので、遮蔽板１６の孔１７と、シャッタ１２は、ｎ＋１列目の第１グループの水晶振動子７ａに対応する位置に位置決めされる。この状態で、シャッタ１２を開閉してイオンビームを照射する。このような移動を最後の列まで繰り返す。あるいは遮蔽板１６とシャッタ１２をＹ軸方向の元の位置に戻さずにトレイ６をＸ軸方向に搬送して、ｎ＋１列目の第２グループの水晶振動子７ｂを処理した後、ｎ＋１列目の第１グループの水晶振動子７ａを処理してよい。

【0083】

トレイ６に収容された水晶振動子７の全てについて、イオンビームによる発振周波数調整処理が終了する。そして、エッチング室３内での全ての処理が終了すると、ゲートバルブ５が開き、キャリア８（トレイ６）はエッチング室３から仕込室２に、取り出される。

【0084】

次に、図７に示す実施の形態に係るシャッタ開閉動作の制御を、図８に示すフローチャートを用いて説明する。他の実施の形態に係るシャッタ開閉動作の制御は説明を省略する。

【0085】

トレイ６がエッチング室３に搬入されて、トレイ搬送装置１４により、トレイ６上の一列目の水晶振動子７がコンタクト１０の下部に位置するまで、搬送されると、シャッタ開閉動作の制御が開始する。搬送されたトレイ６上の第１グループの水晶振動子７ａは、コンタクト１０のプローブピン１５により発振周波数が測定される。（ステップＳ８０１）。第１制御部１３により目標とする発振周波数と、測定された発振周波数とを比較し、イオンビームの照射の要否を水晶振動子７毎に決定する。第１グループの水晶振動子７ａに対向する遮蔽板１６の、各孔１７に対応するシャッタ１２を開放する（ステップＳ８０２）。

【0086】

そして、イオンガン１１によりイオンビームを第１グループの水晶振動子７ａに照射する（ステップＳ８０３）。目標とされる発振周波数に一致する水晶振動子に対応するシャッタ１２から閉塞し、全ての水晶振動子に対するイオンビーム照射が完了すると、全てのシャッタ１２が閉塞することになる（ステップＳ８０４）。全てのシャッタが閉塞されるとイオンビームが照射された水晶振動子のグループが、一列に配置された水晶振動子のうち最後のグループであるかが判断される（ステップＳ８０５）。

【0087】

水晶振動子が最後のグループでないと判断されると（ステップＳ８０５；ＮＯ）、遮蔽板１６及び複数のシャッタ１２を一体として、Ｙ軸方向に移動させる（ステップＳ８０６）。遮蔽板１６と複数のシャッタ１２は、第２グループの水晶振動子７ｂが配置された位置まで、移動する。

【0088】

そして、第２グループの水晶振動子７ｂについて、コンタクト１０により発振周波数が測定され（ステップＳ８０１）、第１グループの水晶振動子７ａの場合と同様の処理が施される。

【0089】

水晶振動子が最後のグループであると判断されると（ステップＳ８０５；ＹＥＳ）、トレイ６をＸ軸方向に移動させる。（ステップＳ８０７）。次に、トレイ６上で処理した列が最後の列であったか否かが判断され（ステップＳ８０８）、トレイ上の最後の列の水晶振動子に対する処理でないと判断されると（ステップＳ８０８；ＮＯ）、処理をした水晶振動子の次の列の水晶振動子の第１グループの水晶振動子７ａ上に移動しているコンタクト１０により、第１グループの水晶振動子７ａの周波数測定が開始される（ステップＳ８０１）。そして、前列の場合と同様に処理が進められる。
トレイ６上の最後の列に対するイオンビーム照射が終了したと判断されると（ステップＳ８０８；ＹＥＳ）、シャッタ開閉動作の処理は終了する。

【0090】

本実施の形態では、処理される対象として、水晶振動子を例として説明したが、本実施の形態は、これに限定されない。電子回路を搭載した回路基板なども対象となる。また、トレイ６の凹部に収容される形態に限られず、複数の圧電素子が形成されたシート基板を用いてもよい。

【0091】

また、本実施の形態では、トレイ６上には、１２行１７列のマトリクス状の収容部９が形成されることを例に説明したが、本実施の形態は、これに限定されない。収容部の数は、半導体等の製造工程の段階、規模によりことなり、トレイ上にどのような容量の収容部を設けるかは、適宜選択される。また、トレイのサイズ、形状も同様に、任意に選択することが可能である。

【0092】

なお、上記実施の形態においては、複数のシャッタ１２に対して、対応するソレノイドを設けたシャッタ機構を例にして説明したが、複数のシャッタ１２にそれぞれソレノイドを設けるのではなく、いくつかのシャッタをひとつのソレノイドで可動させるようにしてもよい。

【0093】

また、上記実施の形態においては、複数のシャッタと、遮蔽板と、コンタクトを一体として、Ｙ軸方向に移動させる構成としたが、個別に移動させるようにしてもよい。
また、上記実施の形態においては第一の制御部と第二の制御部を用いているが一つの制御部でもよい。
また、上記実施の形態においては、遮蔽板１６の孔１７の数に一致するプローブピン１５の数を設けているが、コンタクト１０をＹ軸方向に駆動して水晶振動子間で切替る手段を設ければ、プローブピン１５の数は孔１７の数より少なくてもよい。あるいは、搬送方向（矢印Ａ）と垂直なＹ軸方向に配列された電子部品と同数（上記実施の形態では１２個）のプローブピン１５を設け、コンタクト１０はY軸方向に搬送せず固定のまま測定してもよい。

【0094】

また、上記実施の形態においては、複数のシャッタと、遮蔽板と、コンタクトとをＹ軸方向に移動させる構成としたが、遮蔽板と、コンタクトのみをＹ軸方向に移動させるようにしてもよい。

【符号の説明】

【0095】

１ 周波数調整装置
２ 仕込室
３ エッチング室
５ ゲートバルブ
６ トレイ
７ 水晶振動子
７ａ 第１グループの水晶振動子
７ｂ 第２グループの水晶振動子
８ キャリア
９ 収容部
１０ コンタクト
１１ イオンガン
１２ シャッタ
１３ 第１制御部
１４ トレイ搬送装置
１５ プローブピン
１６ 遮蔽板
１７ 孔
２１ ガイドレール
２２ チャック機構
２３ アームベース
２４ マグネット部
２５ コンタクト搬送装置
２６ ＸＹステージ
２７ 側柱
２８ ボールねじ軸
２９ ボールねじナット
３０ 天板
３１ ソレノイド
４１ 可動台
４２ 駆動部
４３ ガイド部
４４ 通過孔
４５ モータ
４６ ボールねじ軸
４７ ボールねじナット
４９ 可動台
５０ 往復移動機構
５１ シャッタガイド
５２ ストッパ
５３ ピン
５４ リンク
５５ 回転軸
５６ 第１のストッパ
５７ 第２のストッパ
５８ 第３のストッパ
５９ 第１の凸部
６０ 第２の凸部
６１ 第３の凸部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】