発明の名称 シャッタ機構、シャッタ開閉方法、プログラム、及びシャッタ機構を備えた周波数調整装置
出願人 株式会社昭和真空 (識別番号 146009)
特許公開件数ランキング 1788 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1520 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6097913
公報発行日 2017年3月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6097913
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