特許6101693フォトレジスト洗浄溶液用のパーフルオロアルキルスルホンアミド界面活性剤

発明の名称　フォトレジスト洗浄溶液用のパーフルオロアルキルスルホンアミド界面活性剤

出願人　スリーエム　イノベイティブ　プロパティズ　カンパニー　（識別番号 505005049）

　　　　特許公開件数ランキング 330 位（89件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 228 位（127件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6101693

公報発行日　2017年3月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6101693

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