6112620 電子デバイスパターンの印刷装置及びその印刷方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6112620

(24)【登録日】2017年3月24日

(45)【発行日】2017年4月12日

(54)【発明の名称】電子デバイスパターンの印刷装置及びその印刷方法

(51)【国際特許分類】

   B41F 3/20 20060101AFI20170403BHJP

   B41F 3/58 20060101ALI20170403BHJP

   B41F 3/82 20060101ALI20170403BHJP

   B41F 17/14 20060101ALI20170403BHJP

   B23Q 3/08 20060101ALI20170403BHJP

   B41M 1/02 20060101ALI20170403BHJP

   B41M 1/34 20060101ALI20170403BHJP

   H05K 3/12 20060101ALI20170403BHJP

【ＦＩ】

   B41F3/20 Z

   B41F3/20 C

   B41F3/58

   B41F3/82

   B41F17/14 E

   B23Q3/08 A

   B41M1/02

   B41M1/34

   H05K3/12 630Z

【請求項の数】7

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2014-224423(P2014-224423)

(22)【出願日】2014年11月4日

(65)【公開番号】特開2016-87916(P2016-87916A)

(43)【公開日】2016年5月23日

【審査請求日】2015年12月2日

(73)【特許権者】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】301021533

【氏名又は名称】国立研究開発法人産業技術総合研究所

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】杉原 和佳

(72)【発明者】

【氏名】小倉 晋太郎

(72)【発明者】

【氏名】牛島 洋史

【審査官】 藏田 敦之

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−０２２９４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−００５３３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２０５４７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−０５７４２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０８８２９８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ４１Ｆ ３／００− ３／８６

Ｂ２３Ｑ ３／０８

Ｂ４１Ｆ １５／２０

Ｂ４１Ｆ １７／１４

Ｈ０５Ｋ ３／１２

Ｈ０５Ｋ ３／３４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子デバイスパターンの印刷装置であって、
ワーク板を保持する保持部材を搭載するテーブルと、
前記テーブルを相対的に移動させることによって前記ワーク板にインクを塗布するための移動機構と
を有し、
前記保持部材は、少なくとも２層の多孔質板を備え、前記２層の多孔質板を介して前記ワーク板を吸引して固定し、
前記２層の多孔質板において、前記ワーク板に接する側の一の多孔質板の孔径が他の多孔質板の孔径より小さく、
前記保持部材は、前記２層の多孔質板の外周に枠形状の多孔質体を更に備え、
前記枠形状の多孔質体の孔径は、前記一の多孔質板の孔径より大きく、
前記枠形状の多孔質体は、前記ワーク板の外縁を固定する、
ことを特徴とする、電子デバイスパターンの印刷装置。

【請求項2】

前記一の多孔質板の板厚が前記他の多孔質板の板厚より小さい、ことを特徴とする、請求項１に記載の電子デバイスパターンの印刷装置。

【請求項3】

２つの前記保持部材及び２つの前記テーブルを有し、
２つの前記テーブルは、２つの前記保持部材を夫々搭載する、
ことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の電子デバイスパターンの印刷装置。

【請求項4】

前記テーブルは、前記保持部材を搭載した状態でガイド機構に脱着可能である、ことを特徴とする、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の電子デバイスパターンの印刷装置。

【請求項5】

ローラの表面の液膜を凸版で部分的に除去して反転パターンを形成し、その後、前記反転パターンをワーク板に転写する、ことを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の電子デバイスパターンの印刷装置。

【請求項6】

電子デバイスパターンの印刷装置に用いられるワーク板の保持部材であって、
少なくとも２層の多孔質板を備え、前記２層の多孔質板を介して前記ワーク板を吸引して固定し、
前記２層の多孔質板において、前記ワーク板に接する側の一の多孔質板の孔径が他の多孔質板の孔径より小さく、
前記保持部材は、前記２層の多孔質板の外周に枠形状の多孔質体を更に備え、
前記枠形状の多孔質体の孔径は、前記一の多孔質板の孔径より大きく、
前記枠形状の多孔質体は、前記ワーク板の外縁を固定する、
ワーク板の保持部材。

【請求項7】

電子デバイスパターンの印刷方法であって、
凹凸の表面形状を有する凸版を第１のテーブルで保持する凸版保持ステップと、
ワーク板を第２のテーブルで保持するワーク板保持ステップと、
前記凸版を保持した前記第１のテーブルをローラの下方に移動し、前記凹凸の表面形状の凸部で液膜を部分的に除去する反転パターン形成ステップと、
前記ワーク板を保持した前記第２のテーブルを前記ローラの下方に移動し、前記ワーク板の表面に反転パターンを転写するパターン印刷ステップと
を含み、
前記ワーク板保持ステップは、少なくとも２層の多孔質板を備える保持部材を用いて、前記２層の多孔質板を介して前記ワーク板を吸引して固定し、
前記２層の多孔質板において、前記ワーク板に接する側の一の多孔質板の孔径が他の多孔質板の孔径より小さく、
前記保持部材は、前記２層の多孔質板の外周に枠形状の多孔質体を更に備え、
前記枠形状の多孔質体の孔径は、前記一の多孔質板の孔径より大きく、
前記ワーク板保持ステップは、前記枠形状の多孔質体を用いて、前記ワーク板の外縁を更に固定する、
ことを特徴とする電子デバイスパターンの印刷方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子デバイスパターンの印刷装置及びその印刷方法に関する。

【背景技術】

【0002】

電子デバイスのパターンを形成する方法として、印刷による方法が提案されている。近年、電子デバイスのパターンは、例えば液晶ディスプレイの画素の微細化に伴って、高い寸法精度を要求されている。また、高い寸法精度のパターンを印刷する方法として、反転印刷法が提案されている。

【0003】

特許文献１には、反転印刷法として、先ずローラ転写胴（ローラ）の表面にインクを塗布し、次いで凸版（マスター板）上でローラ転写胴を回転させてインクの一部を除去し、その後ローラ転写胴の表面に残存したインクを被印刷体（ワーク板）に転写する技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平１１−５８９２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１には、被印刷体を固定する方法が記載されていない。また、特許文献１に開示されている技術では、フィルム状又はシート状などの被印刷体の外縁を挟んで固定した場合に、パターンが印刷される被印刷体の中央部で、印刷時に被印刷体の位置が局所的にずれる場合がある。更に、特許文献１に開示されている技術では、フィルム状又はシート状などの被印刷体の全面を多孔質体で吸引（固定）した場合に、多孔質体の表面の凹凸の影響で、パターンが印刷される被印刷体の中央部に凹凸が浮き出る場合がある。すなわち、特許文献１に開示されている技術では、電子デバイスのパターンの印刷で要求される高い寸法精度を実現できない場合があった。

【0006】

本発明は、上記の事情に鑑み、少なくとも２層の多孔質板を用いてワーク板を固定することによって、電子デバイスのパターンの印刷性を向上することができる印刷装置又はその印刷方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一の態様によれば、電子デバイスパターンの印刷装置であって、ワーク板を保持する保持部材を搭載するテーブルと、前記テーブルを相対的に移動させることによって前記ワーク板にインクを塗布するための移動機構とを有し、前記保持部材は、少なくとも２層の多孔質板を備え、前記２層の多孔質板を介して前記ワーク板を吸引して固定し、前記２層の多孔質板において、前記ワーク板に接する側の一の多孔質板の孔径が他の多孔質板の孔径より小さく、前記保持部材は、前記２層の多孔質板の外周に枠形状の多孔質体を更に備え、前記枠形状の多孔質体の孔径は、前記一の多孔質板の孔径より大きく、前記枠形状の多孔質体は、前記ワーク板の外縁を固定する、ことを特徴とする、電子デバイスパターンの印刷装置が提供される。２つの前記保持部材及び２つの前記テーブルを有し、２つの前記テーブルは、２つの前記保持部材を夫々搭載する、ことを特徴とする電子デバイスパターンの印刷装置であってもよい。前記保持部材は、前記２層の多孔質板の外周に枠形状の多孔質体を更に備え、前記枠形状の多孔質体の孔径は、前記一の多孔質板の孔径より大きく、前記枠形状の多孔質体は、前記ワーク板の外縁を固定する、ことを特徴とする電子デバイスパターンの印刷装置であってもよい。前記テーブルは、前記保持部材を搭載した状態で前記ガイド機構に脱着可能である、ことを特徴とする電子デバイスパターンの印刷装置であってもよい。

【0008】

ローラの表面の液膜を凸版で部分的に除去して反転パターンを形成し、その後、前記反転パターンをワーク板に転写してもよい。

【0009】

本発明の他の態様によれば、電子デバイスパターンの印刷装置に用いられるワーク板の保持部材であって、少なくとも２層の多孔質板を備え、前記２層の多孔質板を介して前記ワーク板を吸引して固定し、前記２層の多孔質板において、前記ワーク板に接する側の一の多孔質板の孔径が他の多孔質板の孔径より小さく、前記保持部材は、前記２層の多孔質板の外周に枠形状の多孔質体を更に備え、前記枠形状の多孔質体の孔径は、前記一の多孔質板の孔径より大きく、前記枠形状の多孔質体は、前記ワーク板の外縁を固定する、ワーク板の保持部材が提供される。

【0010】

本発明の他の態様によれば、電子デバイスパターンの印刷方法であって、凹凸の表面形状を有する凸版を第１のテーブルで保持する凸版保持ステップと、ワーク板を第２のテーブルで保持するワーク板保持ステップと、前記凸版を保持した前記第１のテーブルをローラの下方に移動し、前記凹凸の表面形状の凸部で液膜を部分的に除去する反転パターン形成ステップと、前記ワーク板を保持した前記第２のテーブルを前記ローラの下方に移動し、前記ワーク板の表面に反転パターンを転写するパターン印刷ステップとを含み、前記ワーク板保持ステップは、少なくとも２層の多孔質板を備える保持部材を用いて、前記２層の多孔質板を介して前記ワーク板を吸引して固定し、前記２層の多孔質板において、前記ワーク板に接する側の一の多孔質板の孔径が他の多孔質板の孔径より小さく、前記保持部材は、前記２層の多孔質板の外周に枠形状の多孔質体を更に備え、前記枠形状の多孔質体の孔径は、前記一の多孔質板の孔径より大きく、前記ワーク板保持ステップは、前記枠形状の多孔質体を用いて、前記ワーク板の外縁を更に固定する、ことを特徴とする電子デバイスパターンの印刷方法が提供される。

【0011】

前記保持部材は、前記２層の多孔質板の外周に枠形状の多孔質体を更に備え、前記枠形状の多孔質体の孔径は、前記一の多孔質板の孔径より大きく、前記ワーク板保持ステップは、前記枠形状の多孔質体を用いて、前記ワーク板の外縁を更に固定する、ことを特徴とする電子デバイスパターンの印刷方法であってもよい。

【発明の効果】

【0012】

本発明に係る電子デバイスパターンの印刷装置又はその印刷方法によれば、少なくとも２層の多孔質板を用いてワーク板を固定することによって、電子デバイスのパターンの印刷性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置の一例を説明する概略外観図である。

【図2】本発明の実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置の印刷方法を説明する説明図である。

【図3】本発明の実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置の保持部材の一例を説明する概略外観図である。

【図4】本発明の実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置の保持部材の例（２層の多孔質板）を説明する分解図である。

【図5】本発明の実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置の保持部材の他の例（２層の多孔質板及び枠形状の多孔質体）を説明する分解図である。

【図6】本発明の実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置の保持部材であって、多孔質板の表面形状を説明する説明図である。

【図7】本発明の実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置の動作の一例を説明するフローチャート図である。

【図8】本発明の実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置の印刷結果の一例を説明する説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

添付の図面を参照しながら、限定的でない例示の実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置（以下、「印刷装置１００」という）を用いて、本発明の一実施形態を説明する。本実施形態は、以下に説明する印刷装置１００以外でも、ローラ（例えばローラ転写胴）の表面に形成されたパターンを所定の表面（例えばワーク板）に転写するもの（装置、機器、ユニット、システムなど）であれば、いずれのものにも用いることができる。

【0015】

なお、以後の説明において、添付の全図面の記載の同一又は対応する装置、部品又は部材には、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面は、特に説明しない限り、装置、部品若しくは部材間の限定的な関係を示すことを目的としない。したがって、具体的な相関関係は、以下の限定的でない実施形態に照らし、当業者により決定することができる。

【0016】

本発明の一実施形態に係る印刷装置１００を用いて、下記に示す順序で本実施形態を説明する。

【0017】

１．印刷装置の構成
２．テーブル（保持部材）の構成
２−１ 保持部材の例（２層の多孔質板）
２−２ 保持部材の他の例（２層の多孔質板及び枠形状の多孔質体）
３．印刷装置の動作の例
［１．印刷装置の構成］
図１及び図２を用いて、本実施形態に係る印刷装置１００を説明する。ここで、図１は、印刷装置１００の一例を説明する概略外観図である。図２は、印刷装置１００の印刷方法を説明する説明図である。なお、図１に示す印刷装置１００は一例であり、本実施形態に係る印刷装置は図１に示すものに限定されるものではない。

【0018】

図１において、Ｘ方向は、テーブル（後述するマスターテーブルＴｍ、ワークテーブルＴｗ）を移動させる方向である。Ｙ方向は、Ｘ方向に直交する方向で、マスターテーブルＴｍ等の幅方向である。Ｚ方向は、鉛直方向（Ｘ方向とＹ方向に直交する方向）である。θ方向は、Ｚ軸を中心とした回転方向である。

【0019】

印刷装置１００は、ローラの表面の液膜を凸版で部分的に除去して反転パターンを形成し、その後反転パターンをワーク板に転写する方法（反転印刷法）を用いる装置である。すなわち、印刷装置１００は、ローラの回転動作と凸版（マスター版）の直進動作とを同期させてローラの表面に反転パターンを形成し、ローラの回転動作とワーク板（被印刷体）の直進動作とを同期させてローラの表面の反転パターンを被印刷体に印刷（転写）する。

【0020】

印刷装置１００は、例えば電子デバイスのパターン（プリンテッドエレクトロニクスデバイスなど）を製造するときに、印刷機として用いることができる。また、印刷装置１００は、例えば半導体製造工程においてラインアンドスペース等のパターンを被印刷体（半導体基板）上に形成するときに用いられる、半導体製造装置として用いることができる。

【0021】

図１に示すように、印刷装置１００は、ローラ支持部Ｂｋｐに回転可能に支持されたローラ（ローラ転写胴、転写ローラなど）Ｂｋと、ローラＢｋの表面に液膜（例えばインク膜）を形成するインクコータＩｃｔと、を備える。また、印刷装置１００は、反転パターンを形成する凸版Ｐｒを保持するマスターテーブル（第１のテーブル）Ｔｍと、反転パターンが転写されるワーク板Ｐｗを保持するワークテーブル（第２のテーブル）Ｔｗと、を備える。更に、印刷装置１００は、マスターテーブルＴｍ及びワークテーブルＴｗをローラＢｋの下方（図中のＸ方向）に夫々移動するガイド機構Ｇｄと、ローラＢｋを回転する回転駆動部３１Ｒと、を備える。なお、マスターテーブルＴｍ及びワークテーブルＴｗは、ガイド機構Ｇｄに脱着可能な構成であってもよい。

【0022】

図２（ａ）に示すように、印刷装置１００は、本実施形態では、回転駆動部３１Ｒを用いてローラＢｋを回転し、インクコータＩｃｔを用いてインクタンクＩｔｋの液体（インク）をローラＢｋの表面に供給する。具体的には、印刷装置１００は、インクコータＩｃｔの先端とローラＢｋの表面とを所定の間隔に設定し、ローラＢｋを図中のＲａ方向に回転させて、ローラＢｋの表面の所望の領域に所望の膜厚で液体（インク）を供給する。このとき、印刷装置１００は、ローラＢｋの表面に液膜ＰＴａを形成する。

【0023】

次に、印刷装置１００は、図２（ｂ）に示すように、ガイド機構Ｇｄを用いて凸版ＰｒをＸ方向に移動させ（図中のＭｂ）、図中のＲｂ方向に回転するローラＢｋの表面に凸版Ｐｒの凸部Ｐｒａを順次接触させる。このとき、ローラＢｋの表面の液膜ＰＴａは部分的に除去される。すなわち、印刷装置１００は、ローラＢｋの表面に反転パターンＰＴｂを形成する。

【0024】

次いで、印刷装置１００は、図２（ｃ）に示すように、ガイド機構Ｇｄを用いてワーク板ＰｗをＸ方向に移動させ（図中のＭｃ）、図中のＲｃ方向に回転するローラＢｋの表面の反転パターンＰＴｂとワーク板Ｐｗの表面とを接触させる。このとき、ワーク板Ｐｗの表面には、反転パターンＰＴｂが転写される。すなわち、印刷装置１００は、ワーク板Ｐｗ（被印刷体）の表面にパターンＰＴｃを形成する。

【0025】

これにより、印刷装置１００は、所望のパターン（ＰＴｃ）を被印刷体（ワーク板Ｐｗの表面）に印刷（転写）することができる。

【0026】

ローラＢｋは、反転パターンＰＴｂをワーク板Ｐｗに転写する回転体である。ローラＢｋは、凸版Ｐｒにより、ローラＢｋの表面に反転パターンＰＴｂを形成される。

【0027】

ローラＢｋは、本実施形態では、ローラＢｋの外周にシリコーン製の撥水性ブランケットＢｋｓ（図２）が巻かれた円柱を用いる。また、ローラＢｋは、回転中心軸３１ｒ（図２）に回転可能に支持されている。また、ローラＢｋは、回転駆動部３１Ｒの駆動によって、回転中心軸３１ｒを回転中心に回転される。なお、ローラＢｋは、ピニオン、クラッチ又は減速機（不図示）などを用いて、撥水性ブランケットＢｋｓを非連動に回転する構成であってもよい。

【0028】

凸版Ｐｒは、凹凸の表面形状を有する版（マスター板など）である。凸版Ｐｒは、本実施形態では、平板を用いる。また、凸版Ｐｒは、マスターテーブルＴｍに載置されている。更に、凸版Ｐｒは、ガイド機構Ｇｄによって、Ｘ方向（図２）に移動される。

【0029】

凸版Ｐｒは、ワーク板Ｐｗに印刷されるパターンの反転パターンに対応する凸部Ｐｒａをその表面に形成されている。また、凸版Ｐｒは、凸部ＰｒａをローラＢｋの表面に接触させることによって、ローラＢｋの表面の液膜（図２のＰＴａ）から部分的に液体（インク）を除去し、反転パターン（図２のＰＴｂ）を形成する。

【0030】

ワーク板Ｐｗは、パターンを形成される被印刷体である。ワーク板Ｐｗは、本実施形態では、フィルム状又はシート状などの被印刷体を用いる。また、ワーク板Ｐｗは、ワークテーブルＴｗに載置されている。更に、ワーク板Ｐｗは、ガイド機構Ｇｄによって、Ｘ方向（図２）に移動される。

【0031】

ワーク板Ｐｗは、ローラＢｋの表面に形成された反転パターン（図２のＰＴｂ）が転写される。すなわち、ワーク板Ｐｗは、所望のパターン（図２のＰＴｃ）が印刷される。

【0032】

ガイド機構Ｇｄは、マスターテーブルＴｍとワークテーブルＴｗとをローラＢｋの下方（図１のＸ方向）に夫々移動する機構である。ガイド機構Ｇｄは、本実施形態では、リニアガイドを用いる。なお、ガイド機構Ｇｄは、マスターテーブルＴｍ等を移動することができる公知の機構を用いてもよい。

【0033】

マスターテーブルＴｍは、凸版Ｐｒを載置され、凸版Ｐｒを固定するものである。マスターテーブルＴｍは、少なくとも２層の多孔質板を備える保持部材（後述する図３（ａ）の１０Ａ、又は、図３（ｂ）の１０Ｂ）を用いて、２層の多孔質板を介して凸版Ｐｒを吸引して固定する。また、マスターテーブルＴｍは、ガイド機構Ｇｄによって、凸版Ｐｒを固定した状態で搬送方向（図１のＸ方向）に移動される。マスターテーブルＴｍは、いわゆるポーラスチャック又は真空チャックを用いてもよい。

【0034】

なお、マスターテーブルＴｍは、載置された凸版ＰｒをＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方向に微動可能な機構（不図示）を組み込まれた構成であってもよい。これにより、マスターテーブルＴｍは、凸版Ｐｒの位置ズレを調整することができる。

【0035】

ワークテーブルＴｗは、ワーク板Ｐｗを載置され、ワーク板Ｐｗを固定するものである。ワークテーブルＴｗは、少なくとも２層の多孔質板を備える保持部材（後述する図３（ａ）の１０Ａ、又は、図３（ｂ）の１０Ｂ）を用いて、２層の多孔質板を介してワーク板Ｐｗを吸引して固定する。また、ワークテーブルＴｗは、ガイド機構Ｇｄによって、ワーク板Ｐｗを固定した状態で搬送方向（図１のＸ方向）に移動される。ワークテーブルＴｗは、いわゆるポーラスチャック又は真空チャックを用いてもよい。

【0036】

なお、ワークテーブルＴｗは、載置されたワーク板ＰｗをＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方向に微動可能な機構（不図示）を組み込まれた構成であってもよい。これにより、ワークテーブルＴｗは、ワーク板Ｐｗの位置ズレを調整することができる。

【0037】

凸版Ｐｒ及びワーク板Ｐｗを固定する保持部材の構成は、後述する［２．テーブル（保持部材）の構成］で説明する。

【0038】

［２．テーブル（保持部材）の構成］
図３乃至図６を用いて、本実施形態に係るマスターテーブルＴｍの保持部材の構成及びワークテーブルＴｗの保持部材の構成を主に説明する。なお、マスターテーブルＴｍの保持部材とワークテーブルＴｗの保持部材とは同じ構成のものを用いるため、以下の説明ではワークテーブルＴｗの保持部材を説明し、マスターテーブルＴｍの保持部材の説明を省略する。

【0039】

ここで、図３（ａ）は、本実施形態に係る印刷装置１００の保持部材の例（１０Ａ）を説明する概略外観図である。図３（ｂ）は、本実施形態に係る印刷装置１００の保持部材の他の例（１０Ｂ）を説明する概略外観図である。図４は、保持部材の例（１０Ａ）を説明する分解図である。図５は、保持部材の他の例（１０Ｂ）を説明する分解図である。

【0040】

図６（ａ）は、保持部材の一の多孔質板（例えば図３（ａ）の１１）の表面形状（表面粗さ）を示す概略等高線図である。図６（ｂ）は、保持部材の他の多孔質板（例えば図３（ａ）の１２）の表面形状（表面粗さ）を示す概略等高線図である。

【0041】

なお、本実施形態に係る保持部材（及び多孔質板）は、図３乃至図６に示すものに限定されるものではない。すなわち、本実施形態に係る保持部材の多孔質板は、印刷時の寸法精度及び印刷されるワーク板の仕様（形状、大きさ、重さなど）に応じて、適宜変更されうる。また、図３（ａ）及び図４では、２枚の多孔質板の例を示しているが、本実施形態に係る保持部材は、多孔質板の枚数を２枚に限定されるものではない。すなわち、本実施形態に係る保持部材は、３枚以上の多孔質板を積層して、ワーク板Ｐｗ又は凸版Ｐｃを保持（又は固定）するものであってもよい。

【0042】

［２−１ 保持部材の例（２層の多孔質板）］
図３（ａ）に示すように、ワークテーブルＴｗａ及びマスターテーブルＴｍａは、保持部材１０Ａと枠部材２０Ａとを備える。

【0043】

図３（ａ）及び図４に示すように、保持部材１０Ａは、２層の多孔質板として、第１の多孔質板（一の多孔質板）１１と、第２の多孔質板（他の多孔質板）１２とを備える。また、保持部材１０Ａは、図４に示すように、第１の多孔質板１１及び第２の多孔質板１２を固定（保持）する枠部材２０Ａに積層して配置されている。また、第１の多孔質板１１は、ワーク板Ｐｗに接する側（外側）に配置されている。第２の多孔質板１２は、第１の多孔質板１１の内側に配置されている。なお、第１の多孔質板１１と枠部材２０Ａは同一平面となるように配置されている。また、第１の多孔質板１１及び第２の多孔質板１２を枠部材２０Aに配置した後に上面を研磨してもよい。

【0044】

図４に示すように、枠部材２０Ａは、バッファ部２１ａを形成する開口部と、開口部の内部の気体を給排気する給排気部２２ａとを備える。給排気部２２ａは、バッファ部２１ａの内部の気体を吸気する、又は、バッファ部２１ａの内部に気体を供給する配管系である。

【0045】

第１の多孔質板１１及び第２の多孔質板１２の孔径及び板厚は、印刷時のパターンの精度及び印刷されるワーク板の仕様（形状、大きさ、重さなど）に応じて、適宜変更されうる。また、第１の多孔質板１１及び第２の多孔質板１２の孔径及び板厚は、実験又は計算で予め定められる寸法を用いてもよい。更に、第１の多孔質板１１及び第２の多孔質板１２の孔径は、例えば０．０１μｍから１０μｍの範囲内のものとしてもよい。また、第１の多孔質板１１及び第２の多孔質板１２の板厚は、例えば１ｍｍから０．０１ｍｍの範囲内のものとしてもよい。

【0046】

第１の多孔質板１１は、例えばプラズマ溶射等により製造されるアルミナ多孔体で、板厚１００から２００μｍのものを用いてもよい。第１の多孔質板１１は、導電性の多孔質体を用いて、静電気の帯電による微粒子（例えばゴミ、ダスト、塵、埃）が付着することを防止するものであってもよい。また、第２の多孔質板１２は、例えば＃１００程度の気孔を備えるポーラス板で、凸版Ｐｃ及びワーク板Ｐｗの荷重に対する変形耐性のある板厚のものを用いてもよい。

【0047】

ワークテーブルＴｗａは、給排気部２２ａを用いてバッファ部２１ａの内部の気体を吸気（例えば真空引き）することによって、バッファ部２１ａの内部を減圧し、２層の多孔質板（１１、１２）を介して、ワークテーブルＴｗａに載置したワーク板Ｐｗの全面を吸引して固定する。また、ワークテーブルＴｗａは、給排気部２２ａを用いてバッファ部２１ａの内部に気体を供給することによって、ワークテーブルＴｗａに載置したワーク板Ｐｗの吸引（固定）を解除する。これにより、ワークテーブルＴｗａは、例えばフィルム状又はシート状などのワーク板Ｐｗを固定する場合に、印刷時に、パターンが印刷されるワーク板Ｐｗの中央部で、ワーク板Ｐｗの位置が局所的にずれることを防止することができる。

【0048】

本実施形態に係る保持部材１０Ａは、２層の多孔質板において、ワーク板Ｐｗに接する側の第１の多孔質板１１の孔径を、第２の多孔質板１２の孔径より小さくする。第１の多孔質板１１の孔径を第２の多孔質板１２の孔径より小さくした場合に、第１の多孔質板１１の表面粗さは例えば図６（ａ）となり、第２の多孔質板１２の表面粗さは例えば図６（ｂ）となる。これにより、ワークテーブルＴｗａ（印刷装置１００）は、フィルム状又はシート状などのワーク板Ｐｗを吸引（固定）する場合に、ワーク板Ｐｗに接する側の第１の多孔質板１１の孔径を小さくすることによって、多孔質体の表面の凹凸がワーク板Ｐｗに浮き出ることを防止することができる。

【0049】

また、本実施形態に係る保持部材１０Ａは、２層の多孔質板において、ワーク板Ｐｗに接する側の第１の多孔質板１１の板厚を第２の多孔質板１２の板厚より小さくする。これにより、ワークテーブルＴｗａ（印刷装置１００）は、フィルム状又はシート状などのワーク板Ｐｗを吸引（固定）する場合に、第１の多孔質板１１の孔径を小さくしたとしても板厚が比較的小さいため、通過する気体の流体の抵抗を低減することができる。さらに、板厚が比較的大きい第２の多孔質板１２の平面度によってワーク板Ｐｗの平面度を確保することができる。すなわち、ワークテーブルＴｗａ（印刷装置１００）は、第１の多孔質板１１及び第２の多孔質板１２を用いてワーク板Ｐｗを吸引し、ワーク板Ｐｗの平面度を維持することができるので、パターンの欠陥の発生を防止し、高精度の電子デバイスのパターンを形成することができる。

【0050】

更に、本実施形態に係る保持部材１０Ａは、２層の多孔質板において、ワーク板Ｐｗに接する側の第１の多孔質板１１の孔径を小さくすることによって、外部から保持部材１０Ａの表面に吸引（及び付着）される微粒子（ゴミなど）を防止することができる。また、本実施形態に係る保持部材１０Ａは、第１の多孔質板１１の孔径を小さくすることによって、微粒子（ゴミなど）が内部から保持部材１０Ａの表面に排出されることを防止することができる。これにより、ワークテーブルＴｗａ（印刷装置１００）は、第１の多孔質板１１とワーク板Ｐｗとの間に微粒子（ゴミなど）などが挟まれることを防止することができるので、パターンの欠陥の発生を防止し、高精度の電子デバイスのパターンを形成することができる。

【0051】

なお、マスターテーブルＴｍａは、上記のワークテーブルＴｗａと同様に、第１の多孔質板１１及び第２の多孔質板１２を用いて凸版Ｐｒを吸引し、凸版Ｐｒの平面度を維持することができる。これにより、マスターテーブルＴｍａ（印刷装置１００）は、高精度の電子デバイスのパターンの形成に用いる反転パターンを形成することができる。

【0052】

［２−２ 保持部材の他の例（２層の多孔質板及び枠形状の多孔質体）］
図３（ｂ）に示すように、ワークテーブルＴｗｂ及びマスターテーブルＴｍｂは、保持部材１０Ｂと枠部材２０Ｂとを備える。

【0053】

図３（ｂ）及び図５に示すように、保持部材１０Ｂは、２層の多孔質板（第１の多孔質板１１、第２の多孔質板１２）に加え、第３の多孔質板として枠形状の多孔質体１３を更に備える。また、保持部材１０Ｂは、図５に示すように、（上記の［２−１ 保持部材の例（２層の多孔質板）］と同様に）第１の多孔質板１１及び第２の多孔質板１２を固定（保持）する枠部材２０Ｂに配置され、第１の多孔質板１１がワーク板Ｐｗに接する側（外側）に配置されている。なお、第１の多孔質板１１、枠形状の多孔質体１３、枠部材２０Ａは同一平面となるように配置されている。また、第１の多孔質板１１、第２の多孔質板１２、枠形状の多孔質体１３を枠部材２０Ｂに配置した後に上面を研磨してもよい。

【0054】

枠形状の多孔質体１３は、２層の多孔質板（第１の多孔質板１１、第２の多孔質板１２）の外周に配置されている。枠形状の多孔質体１３の孔径は、第１の多孔質板（一の多孔質板）１１の孔径より大きい。ここで、枠形状の多孔質体１３の孔径は、印刷されるワーク板の仕様（形状、大きさ、重さなど）に応じて、適宜変更されうる。また、枠形状の多孔質体１３の孔径は、実験又は計算で予め定められる寸法を用いてもよい。

【0055】

図５に示すように、枠部材２０Ｂは、枠形状の多孔質体１３に対応する位置にバッファ部２１ｂを形成する開口部と、開口部の内部の気体を給排気する給排気部２２ｂとを更に備える。給排気部２２ｂは、バッファ部２１ｂの内部の気体を吸気する、又は、バッファ部２１ｂの内部に気体を供給する配管系である。なお、図５に示すように、枠部材２０Ｂは、（上記の［２−１ 保持部材の例（２層の多孔質板）］と同様に）バッファ部２１ａの内部の気体を給排気する給排気部２２ａを備える。

【0056】

ワークテーブルＴｗｂは、給排気部２２ｂを用いてバッファ部２１ｂの内部の気体を吸気することによって、枠形状の多孔質体１３を介して、ワークテーブルＴｗに載置したワーク板Ｐｗの外縁を吸引して固定する。ここで、ワークテーブルＴｗｂは、枠形状の多孔質体１３の孔径が第１の多孔質板１１の孔径より大きいため、上記［２−１ 保持部材の例（２層の多孔質板）］の保持部材１０Ａよりも大きい吸引力でワーク板Ｐｗを吸引（固定）することができる。また、ワークテーブルＴｗｂは、枠形状の多孔質体１３を用いて、大きい吸引力でワーク板Ｐｗの外縁を吸引（固定）することができるので、上記［２−１ 保持部材の例（２層の多孔質板）］の保持部材１０Ａよりも、印刷時にワーク板Ｐｗが捲れ上がることを更に防止することができる。更に、ワークテーブルＴｗｂは、給排気部２２ｂを用いて、印刷終了後に、枠形状の多孔質体１３のバッファ部２１ｂに気体を供給することによって、枠形状の多孔質体１３を経由して噴出する気体によりワーク板Ｐｗの外縁を持ち上げることができ、ワーク板Ｐｗを容易に取り外しすることができる。

【0057】

なお、マスターテーブルＴｍｂは、上記のワークテーブルＴｗｂと同様に、枠形状の多孔質体１３を用いて凸版Ｐｒを吸引する。

【0058】

以上のとおり、本実施形態に係る印刷装置１００（保持部材１０Ａ、１０Ｂ）によれば、保持部材（１０Ａ又は１０Ｂ）を用いて、被印刷体（ワーク板Ｐｗ）をテーブル（Ｔｍａ若しくはＴｗａ、又は、Ｔｍｂ若しくはＴｗｂ）に固定することができる。本実施形態に係る印刷装置１００（保持部材１０Ａ、１０Ｂ）によれば、例えば機械式固定法などで固定することができないフィルム状又はシート状などの被印刷体を吸引して固定することができる。また、本実施形態に係る印刷装置１００（保持部材１０Ａ、１０Ｂ）によれば、保持部材（１０Ａ又は１０Ｂ）を用いて、被印刷体の全面を吸引（固定）することができるので、フィルム状又はシート状などの被印刷体の外縁を挟んで固定する場合と比較して、パターンが印刷される被印刷体の中央部で被印刷体の位置が局所的にずれることを防止することができる。

【0059】

更に、本実施形態に係る印刷装置１００（保持部材１０Ａ、１０Ｂ）によれば、被印刷体に接する側の第１の多孔質板（１１）の孔径を小さくすることによって、多孔質の表面の凹凸が被印刷体に浮き出ることを防止することができる。また、本実施形態に係る印刷装置１００（保持部材１０Ａ、１０Ｂ）によれば、被印刷体に接する側の第１の多孔質板（１１）の孔径を小さくすることによって、保持部材（１０Ａ、１０Ｂ）と被印刷体との間に挟まれる微粒子（ゴミなど）を低減することができる。

【0060】

すなわち、本実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置１００によれば、少なくとも２層の多孔質板を用いて被印刷体（ワーク板Ｐｗ）を固定し、且つ、被印刷体に接する側の多孔質板（１１）の孔径を小さくすることによって、多孔質の表面の凹凸が被印刷体に浮き出ることに起因する印刷パターンの欠陥の発生を防止することができる。これにより、本実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置１００によれば、電子デバイスのパターンの印刷性を向上することができる。

【0061】

［３．印刷装置の動作の例］
図７を用いて、本発明の実施形態に係る印刷装置の動作（電子デバイスパターンの印刷方法）の例を説明する。ここで、図７は、本実施形態に係る印刷装置１００の動作の一例を説明するフローチャート図である。図８は、印刷装置１００の印刷結果（実験結果）の一例を説明する説明図である。

【0062】

本実施形態に係る印刷装置１００は、前述の図２で説明したとおり、ローラＢｋの表面の液膜を凸版Ｐｃで部分的に除去して反転パターンＰＴｂを形成し、その後、反転パターンＰＴｂをワーク板Ｐｗに転写する反転印刷法を用いる。以下に具体的に説明する。

【0063】

図７に示すように、印刷装置１００（図１）は、ステップＳ７０１において、印刷装置１００に入力された情報に基づいて、印刷する動作を開始する。開始後、印刷装置１００は、ステップＳ７０２に進む。

【0064】

ステップＳ７０２において、印刷装置１００は、凸版保持ステップとして、凸版Ｐｃ（図１）をマスターテーブルＴｍで保持（固定）する。次いで、ステップＳ７０３において、印刷装置１００は、ワーク板保持ステップとして、ワーク板Ｐｗ（図１）をワークテーブルＴｗで保持（固定）する。その後、印刷装置１００は、ステップＳ７０４に進む。なお、凸版Ｐｃ及びワーク板Ｐｗを固定する方法は、前述の［２．テーブル（保持部材）の構成］で説明した方法と同様のため、説明を省略する。

【0065】

ステップＳ７０４において、印刷装置１００は、インクコータＩｃｔを用いて、ローラＢｋの表面に液膜（インク膜）ＰＴａを形成する（図２（ａ））。その後、印刷装置１００は、ステップＳ７０５に進む。

【0066】

ステップＳ７０５において、印刷装置１００は、反転パターン形成ステップとして、凸版Ｐｃを保持（固定）したマスターテーブルＴｍをローラＢｋの下方に移動する。このとき、印刷装置１００は、ローラＢｋの回転とマスターテーブルＴｍの移動とを同期させ、凸版Ｐｃの凸部Ｐｃａで液膜を部分的に除去し、ローラＢｋの表面に反転パターンＰＴｂを形成する（図２（ｂ））。その後、印刷装置１００は、ステップＳ７０６に進む。

【0067】

ステップＳ７０６において、印刷装置１００は、パターン印刷ステップとして、ワーク板Ｐｗを保持（固定）したワークテーブルＴｗをローラＢｋの下方に移動する。このとき、印刷装置１００は、ローラＢｋの回転とワークテーブルＴｗの移動とを同期させ、ローラＢｋの表面の反転パターンＰＴｂをワーク板Ｐｗの表面に転写する（図２（ｃ））。すなわち、印刷装置１００は、ワーク板Ｐｗの表面に所望のパターンＰＴｃを印刷（形成）する。その後、印刷装置１００は、ステップＳ７０７に進む。

【0068】

ステップＳ７０７において、印刷装置１００は、印刷動作を終了するか否かを判断する。印刷装置１００は、例えば印刷装置１００に入力された情報に基づいて、印刷動作を終了するか否かを判断することができる。印刷動作を終了すると判断した場合には、印刷装置１００は、図中のＥＮＤに進み、印刷する動作を終了する。なお、印刷装置１００は、印刷する動作を終了する場合に、ワーク板Ｐｗを吸引して固定している状態のワークテーブルＴｗを後工程に移動することによって、ワーク板Ｐｗを搬送してもよい。印刷動作を終了しないと判断した場合には、印刷装置１００は、ステップＳ７０２に戻り、印刷する動作を繰り返す。

【0069】

（実験結果）
印刷装置１００の効果を確認するため、被印刷体Ｔｓｔ１、Ｔｓｔ２及びＴｓｔ３の表面にテスト印刷する実験を実施した。比較のため、被印刷体Ｔｓｔ１の表面粗さを小さくし、被印刷体Ｔｓｔ２の表面粗さを中程度とし、被印刷体Ｔｓｔ３の表面粗さを大きくした。被印刷体Ｔｓｔ１は例えば算術平均粗さＲａ（ＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１）０．１μｍであり、被印刷体Ｔｓｔ２は例えば算術平均粗さＲａ０．５μｍであり、被印刷体Ｔｓｔ３は例えば算術平均粗さＲａ５μｍである。

【0070】

図８に、印刷装置１００の印刷結果の一例を示す。図８の行Ｐｈ１は、被印刷体（Ｔｓｔ１、Ｔｓｔ２、Ｔｓｔ３）の表面写真（印刷前）である。図８の行Ｐｈ２は、被印刷体（Ｔｓｔ１、Ｔｓｔ２、Ｔｓｔ３）にライン状の印刷パターンを印刷した結果である。図８の行Ｐｈ３は、被印刷体（Ｔｓｔ１、Ｔｓｔ２、Ｔｓｔ３）にドッド状の印刷パターンを印刷した結果である。

【0071】

図８に示すように、印刷装置１００は、本実験では、比較的表面粗さが小さい被印刷体Ｔｓｔ１において、ライン状の印刷パターン及びドッド状の印刷パターンを精度よく印刷することができた。一方、印刷装置１００は、比較的表面粗さが中程度の被印刷体Ｔｓｔ２において、ライン状の印刷パターン及びドッド状の印刷パターンの精度が低下した。更に、印刷装置１００は、比較的表面粗さが大きい被印刷体Ｔｓｔ３において、ライン状の印刷パターン及びドッド状の印刷パターンを印刷することができなかった。

【0072】

すなわち、本実験により、反転印刷法を用いる場合には、印刷性（印刷されたパターンの寸法精度）が被印刷体の表面粗さに依存することを確認した。また、反転印刷法を用いる場合には、載置された被印刷体（例えばフィルム状の被印刷体）を固定（保持）する部材の表面形状に凹凸がある場合で、その凹凸が被印刷体に浮き出るときに、印刷性が低下することを確認した。

【0073】

本実施形態に係る印刷装置１００は、少なくとも２層の多孔質板を用いて被印刷体（ワーク板Ｐｗ）を固定し、且つ、被印刷体に接する側の多孔質板（図４、図５の１１）の孔径を小さくすることによって、多孔質の表面の凹凸が被印刷体に浮き出ることに起因する印刷パターンの欠陥の発生を防止することができる。また、本実施形態に係る印刷装置１００は、少なくとも２層の多孔質板を用いて被印刷体を固定し、且つ、被印刷体に接する側の多孔質板の孔径を印刷精度（寸法精度）に対応して設定することによって、所望の寸法精度（印刷精度）で印刷パターンを印刷することができる。これにより、本実施形態に係る電子デバイスパターンの印刷装置１００によれば、電子デバイスのパターンの印刷性及び生産性を向上することができる。

【0074】

なお、本実施形態に係る印刷装置１００は、反転印刷法を用いた場合について説明したが、これにとらわれない。例えば、凸版印刷法、グラビア印刷法、シルクスクリーン印刷法を用いた際の被印刷体の固定に用いることができる。被印刷体としては、PCやPETなどの可撓性のプラスチック基板に対して好適に用いられるが、ガラス基板や半導体基板などの可撓性でない基板に用いても良い。

【0075】

以上、本発明の実施形態を参照しながら、本発明を説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されることなく、添付の特許請求の範囲に照らし、種々に変更又は変形することが可能である。

【符号の説明】

【0076】

１００ ： 電子デバイスパターンの印刷装置
１０Ａ，１０Ｂ ： 保持部材
１１ ： 第１の多孔質板（一の多孔質板）
１２ ： 第２の多孔質板（他の多孔質板）
１３ ： 第３の多孔質板（枠形状の多孔質体）
２０Ａ，２０Ｂ ： 枠部材
２１ａ，２１ｂ ： バッファ部
２２ａ，２２ｂ ： 給排気部
３１Ｒ： 回転駆動部
３１ｒ： 回転軸
Ｂｋ ： ローラ（ローラ転写胴など）
Ｂｋｐ： ローラ支持部
Ｂｋｓ： 撥水性ブランケット
Ｇｄ ： リニアガイド（ガイド機構）
Ｉｃｔ： インクコータ
Ｉｔｋ： インクタンク
ＰＴａ： 液膜（インク膜など）
ＰＴｂ： 反転パターン
ＰＴｃ： パターン（印刷パターンなど）
Ｐｃ ： 凸版（マスター版など）
Ｐｃａ： 凸版の凸部
Ｐｗ ： ワーク板（被印刷体など）
Ｔｍ，Ｔｍａ，Ｔｍｂ ： マスターテーブル（第１のテーブル）
Ｔｗ，Ｔｗａ，Ｔｗｂ ： ワークテーブル（第２のテーブル）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】