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特許6113154基板上に均一な金属膜を形成するための方法及び装置
発明の名称 基板上に均一な金属膜を形成するための方法及び装置
出願人 エーシーエム リサーチ （シャンハイ） インコーポレーテッド （識別番号 510005650）
特許公開件数ランキング 1163 位（6件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 2357 位（2件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6113154
公報発行日 2017年4月12
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6113154
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