特許 6117030 飛散板、研削ホイール、および、研削装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6117030

(24)【登録日】2017年3月31日

(45)【発行日】2017年4月19日

(54)【発明の名称】飛散板、研削ホイール、および、研削装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 57/02 20060101AFI20170410BHJP

   B24D 7/00 20060101ALI20170410BHJP

【ＦＩ】

   B24B57/02

   B24D7/00 Z

【請求項の数】6

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-142754(P2013-142754)

(22)【出願日】2013年7月8日

(65)【公開番号】特開2015-13355(P2015-13355A)

(43)【公開日】2015年1月22日

【審査請求日】2016年2月15日

(73)【特許権者】

【識別番号】000184713

【氏名又は名称】ＳＵＭＣＯ ＴＥＣＨＸＩＶ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】西村 好信

【審査官】 小川 真

(56)【参考文献】

【文献】 中国実用新案第２０２７８５７２２（ＣＮ，Ｕ）

【文献】 実開平０６−０８３２６０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０６−０２３６７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−０３８８６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第５１１１６２４（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ ５７／０２

Ｂ２４Ｂ ５５／０２

Ｂ２４Ｄ ７／００

Ｂ２４Ｄ ７／１０

Ｂ２３Ｑ １１／１０

Ｂ０５Ｂ １／２６

ＷＰＩ

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

供給配管を介して供給され、研削ホイールによる被研削物の研削に用いられる研削液を飛散させる飛散板であって、
前記供給配管の開口端に対向する位置において、厚さ方向が前記研削液の供給方向と略平行となるように、かつ、前記厚さ方向に略平行な回転軸を中心に回転するように配置可能な板状部材を備え、
前記板状部材には、当該板状部材の回転中心以外の箇所に、厚さ方向に貫通し前記研削液が通過可能な飛散孔が設けられ、
前記飛散孔における回転方向の後ろ側に位置する壁面は、前記供給配管に対向する対向面側の前記回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部が非対向面側の前記回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部より回転方向の前方に位置するように傾斜しており、
前記飛散孔は、前記対向面側の開口内に前記供給配管の開口縁の一部が位置するように設けられていることを特徴とする飛散板。

【請求項2】

請求項１に記載の飛散板において、
前記飛散孔における回転方向の前側に位置する壁面は、前記対向面側の前記回転方向の最も前側に位置する壁面端部が前記非対向面側の前記回転方向の最も前側に位置する壁面端部より回転方向の前方に位置するように傾斜していることを特徴とする飛散板。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載の飛散板において、
前記板状部材には、複数の前記飛散孔が設けられ、
前記複数の飛散孔は、前記板状部材の回転中心を中心とした仮想円の円周上において等間隔に設けられていることを特徴とする飛散板。

【請求項4】

供給配管を介して供給される研削液を用いて、被研削物の研削を行う研削ホイールであって、
前記供給配管の開口端に対向する位置において、厚さ方向が前記研削液の供給方向と略平行となるように、かつ、前記厚さ方向に略平行な回転軸を中心に回転するように配置可能な略板状のホイールベースと、
前記ホイールベースにおける前記供給配管に対向しない非対向面から環状に突出するように設けられ、前記被研削物に押し当てられる砥石とを備え、
前記ホイールベースには、当該ホイールベースの回転中心以外の箇所に、厚さ方向に貫通し前記研削液が通過可能な飛散孔が設けられ、
前記飛散孔における回転方向の後ろ側に位置する壁面は、前記供給配管に対向する対向面側の前記回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部が前記非対向面側の前記回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部より回転方向の前方に位置するように傾斜しており、
前記飛散孔は、前記対向面側の開口内に前記供給配管の開口縁の一部が位置するように設けられていることを特徴とする研削ホイール。

【請求項5】

供給配管と、
前記供給配管を介して供給される研削液を飛散させる請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の飛散板と、
前記飛散板が飛散させた研削液を用いて、被研削物の研削を行う研削ホイールとを備えたことを特徴とする研削装置。

【請求項6】

供給配管と、
前記供給配管を介して供給される研削液を用いて、被研削物の研削を行う請求項４に記載の研削ホイールとを備えたことを特徴とする研削装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、飛散板、研削ホイール、および、研削装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、被研削物を研削する研削ホイールとして、カップ型のものが用いられている。一般的に、カップ型の研削ホイールは、ホイールベースに設けられた環状の砥石を有している。砥石は、環状の外周方向に沿って所定間隔で設けられた、複数のチップを備える。一方、このような研削ホイールが設けられる研削装置は、研削液を供給可能な供給配管を有している。研削ホイールは、この供給配管の開口端側に設けられている。

【0003】

このような研削加工においては、被研削物を研削すると砥石が摩耗し、研削ホイールの交換が必要となる。このため、コストの増大を抑制するという観点から、研削ホイールの寿命を延ばしたいという要望がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第４９２１４３０号公報

【特許文献2】特開平９−３８８６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

研削ホイールの寿命を延ばすためには、砥石の高さ寸法を高くすることが考えられる。しかしながら、砥石の高さ寸法が高い状態で研削する場合は、低い状態の場合よりも、ウェーハ研削面までの距離が遠くなっていることから、ウェーハ研削面に必要量の研削液が供給できない不具合があった。そのため、砥石の高さ寸法が高い状態で研削する場合は、研削液の供給不足を起因として、ウェーハ１枚当たりの砥石摩耗量が増大してしまうという問題を有していた。

【0006】

そこで、砥石の高さ寸法が高い状態における砥石摩耗量を抑制するために、例えば、砥石摩耗量に応じて研削液の供給流量を変化させることが考えられる（特許文献１参照）。
しかし、特許文献１に記載のような方法では、研削液の供給流量の調整が複雑になる問題がある。

【0007】

また、放射状に配置された羽根車を備えた飛散板を用い、この飛散板を回転させることによって発生する遠心力を利用して、研削液をウェーハ研削面に供給する方法が検討されている（特許文献２参照）。しかし、この方法では、羽根車を設ける必要があることから飛散板の構造が複雑になる問題がある。
以上のことから、供給配管を介して供給される研削液を飛散させる構成において、簡単な構成で研削液の供給方向への飛散距離を長くすることが望まれている。

【0008】

本発明の目的は、簡単な構成でかつコストの増大を抑制しながら、研削液の供給方向への飛散距離を長くすることが可能な、飛散板、研削ホイール、および、研削装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の飛散板は、供給配管を介して供給され、研削ホイールによる被研削物の研削に用いられる研削液を飛散させる飛散板であって、前記供給配管の開口端に対向する位置において、厚さ方向が前記研削液の供給方向と略平行となるように、かつ、前記厚さ方向に略平行な回転軸を中心に回転するように配置可能な板状部材を備え、前記板状部材には、当該板状部材の回転中心以外の箇所に、厚さ方向に貫通し前記研削液が通過可能な飛散孔が設けられ、前記飛散孔における回転方向の後ろ側に位置する壁面は、前記供給配管に対向する対向面側の前記回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部が非対向面側の前記回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部より回転方向の前方に位置するように傾斜しており、前記飛散孔は、前記対向面側の開口内に前記供給配管の開口縁の一部が位置するように設けられていることを特徴とする。

【0010】

ここで、供給配管は、飛散板と同じ速度で、あるいは異なる速度で回転するように構成されていてもよいし、回転しないように構成されていてもよい。
本発明によれば、飛散板の飛散孔における回転方向の後ろ側に位置する壁面を、供給配管に対向する対向面側の回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部が非対向面側の回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部より回転方向の前方に位置するように傾斜させている。
上記構成の飛散板を、供給配管の開口端に対向する位置において回転させると、供給配管から排出された研削液は飛散孔に入り込む。このとき、飛散孔の回転方向の後ろ側の壁面と接触する研削液には、この壁面の傾斜が飛散板の回転方向の前方に移動することによって、供給方向への力が与えられると考えられる。したがって、研削液の供給流量を調整することなく、飛散孔の壁面を上述のように傾斜させるだけの簡単な構成で、従来の構成よりも研削液の供給方向への飛散距離を長くすることができる。
また、例えば、供給配管を回転可能な構成とした場合、研削液は、供給配管の回転によって遠心力を受けて、供給配管の内壁面に押し付けられた状態で供給配管の開口縁に向かう。そのため、供給配管の開口内に飛散孔の対向面側の開口の全てが位置し、かつ、対向面側の開口縁が供給配管の開口縁と全く重ならないように構成されていると、供給配管の全周にわたって、供給配管の開口縁に押し付けられている研削液は、飛散孔に入り込めず、供給配管中にとどまってしまう不具合を生じる。
一方、本発明によれば、飛散孔の対向面側の開口内に供給配管の開口縁の一部が位置するように構成しているため、供給配管の開口縁に押し付けられている研削液は、供給配管内にとどまることなく、飛散孔に確実に入り込むことができる。したがって、研削液の飛散量の低減を抑制できる。

【0011】

また、本発明の飛散板では、前記飛散孔における回転方向の前側に位置する壁面は、前記対向面側の前記回転方向の最も前側に位置する壁面端部が前記非対向面側の前記回転方向の最も前側に位置する壁面端部より回転方向の前方に位置するように傾斜していることが好ましい。

【0012】

本発明によれば、飛散孔における回転方向の前側に位置する壁面を、対向面側の回転方向の最も前側に位置する壁面端部が非対向面側の回転方向の最も前側に位置する壁面端部より回転方向の前方に位置するように傾斜させている。
このため、供給配管から排出された研削液が飛散孔に到達すると、回転方向の前側の壁面の傾斜によって回転方向の後ろ側に案内される。したがって、飛散孔の回転方向の後ろ側の壁面によって、排出方向への力が与えられる研削液の量を増やすことができ、研削液の排出方向への飛散距離をより長くすることができる。

【0013】

また、本発明の飛散板では、前記板状部材には、複数の前記飛散孔が設けられ、前記複数の飛散孔は、前記板状部材の回転中心を中心とした仮想円の円周上において等間隔に設けられていることが好ましい。

【0014】

本発明によれば、複数の飛散孔を、板状部材の回転中心を中心とした仮想円の円周上において等間隔に設けている。
このため、仮想円の円周上において等間隔に設けられた複数の貫通孔によって、円周方向のどの方向についてもムラなく研削液を飛散させることができる。

【0017】

本発明の研削ホイールは、供給配管を介して供給される研削液を用いて、被研削物の研削を行う研削ホイールであって、前記供給配管の開口端に対向する位置において、厚さ方向が前記研削液の供給方向と略平行となるように、かつ、前記厚さ方向に略平行な回転軸を中心に回転するように配置可能な略板状のホイールベースと、前記ホイールベースにおける前記供給配管に対向しない非対向面から環状に突出するように設けられ、前記被研削物に押し当てられる砥石とを備え、前記ホイールベースには、当該ホイールベースの回転中心以外の箇所に、厚さ方向に貫通し前記研削液が通過可能な飛散孔が設けられ、前記飛散孔における回転方向の後ろ側に位置する壁面は、前記供給配管に対向する対向面側の前記回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部が前記非対向面側の前記回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部より回転方向の前方に位置するように傾斜しており、前記飛散孔は、前記対向面側の開口内に前記供給配管の開口縁の一部が位置するように設けられていることを特徴とする。

【0018】

本発明の研削ホイールによれば、ホイールベースに上記飛散板と同様の飛散孔を設けたため、研削液の供給流量を調整することなく、飛散孔の壁面を上述のように傾斜させるだけの簡単な構成で、従来の構成よりも研削液の供給方向への飛散距離を長くすることができる。また、研削ホイールの砥石の高さ寸法が高い状態でも、被研削物に必要量の研削液を供給することができ、被研削物１枚当たりの砥石摩耗量が増大してしまうことがない。したがって、研削ホイールの寿命を延ばすことができる。

【0019】

本発明の研削装置は、供給配管と、前記供給配管を介して供給される研削液を飛散させる上述の飛散板と、前記飛散板が飛散させた研削液を用いて、被研削物の研削を行う研削ホイールとを備えたことを特徴とする。以下、本発明の第一の研削装置ということもある。
本発明の他の研削装置は、供給配管と、前記供給配管を介して供給される研削液を用いて、被研削物の研削を行う上述の研削ホイールとを備えたことを特徴とする。以下、本発明の第二の研削装置ということもある。

【0020】

本発明の第一の研削装置および第二の研削装置によれば、研削液の供給流量を調整することなく、飛散孔の壁面を上述のように傾斜させるだけの簡単な構成で、従来の構成よりも研削液の供給方向への飛散距離を長くすることができる。また、上述したように、研削ホイールの寿命を延ばすことができる。さらに、砥石の高さ寸法が高い状態であっても、研削液の供給流量を調整せずに、研削液を被研削物に確実に到達させることができるため、過剰な研削液を必要とせず、製造コストを低減できる。
また、第一の研削装置においては、飛散板と研削ホイールとを別体で構成しているため、従来の研削装置に飛散板を設置するだけの簡単な構成で、上記の効果を奏することができる。また、飛散板と研削ホイールとのどちらか一方のみの交換やメンテナンスを、容易に行うことができる。
一方、第二の研削装置においては、研削ホイールに飛散孔を設けているため、交換やメンテナンスのときの取り外しや設置が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本実施形態の飛散板を備えた両頭研削加工装置の概略構成を示す断面図である。

【図2】両頭研削加工装置の要部を示す斜視図である。

【図3】飛散板の概略構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）はＡ−Ａ線断面図である。

【図4】本発明の変形例の研削ホイールを示す斜視図である。

【図5】比較例２における羽根車を設けた飛散板の概略構成を示す平面図である。

【図6】実施例２におけるチップ高さと摩耗レート比との関係を示すグラフである。

【図7】実施例３における本発明の飛散板を用いた場合の研削液の飛散状況を確認するための実験方法を示す概略図である。

【図8】実施例３における研削液の飛散状況を示すイメージ図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
［両頭研削加工装置の構成］
図１に示すように、研削装置としての両頭研削加工装置１は、内部で被研削物としてのウェーハＷを保持するキャリアリング２と、供給配管３と、この供給配管３を介して供給される研削液を飛散させる飛散板４と、この飛散板４が飛散させた研削液を用いて、ウェーハＷの研削を行う研削ホイール５と、供給配管３に研削液を供給するための図示しない研削液供給手段と、研削ホイール５でウェーハＷを研削するように駆動する図示しない研削機構とを備える。

【0023】

供給配管３は、キャリアリング２で保持されたウェーハＷの両面に対向するように配置されている。供給配管３の研削液の供給方向Ｄ１の第１先端面３１には、凸部３２が設けられている。なお、供給配管３は、凸部３２を含む先端部分から構成される略円板状のフランジと、このフランジが取り付けられる配管とを備えてもよい。

【0024】

研削ホイール５は、図１および図２に示すように、例えばダイヤモンドホイールである略円板状のホイールベース５１と、砥石５２とを備える。
ホイールベース５１の中央には、当該ホイールベース５１の両面を貫通する配置孔５１１が設けられている。この配置孔５１１には、供給配管３の凸部３２が嵌め込まれている。このような構成により、ホイールベース５１は、供給配管３の第１先端面３１に密着し、厚さ方向が研削液の供給方向Ｄ１と略平行となるように固定される。また、ホイールベース５１は、厚さ方向に略平行な回転軸を中心にして、供給配管３とともに回転方向Ｄ２に回転する。

【0025】

砥石５２は、ホイールベース５１における供給配管３と対向しない非対向面から環状に突出するように設けられ、ウェーハＷに押し当てられる。砥石５２は、円環状の砥石ベース５２１と、この砥石ベース５２１の外周方向に沿って設けられた複数のチップ５２２とを備える。
チップ５２２は、長方形板状に形成されている。また、隣り合うチップ５２２は所望の間隔寸法で配置されている。このような構成により、砥石ベース５２１と、互いに隣り合うチップ５２２との間に、高さ位置に関係なく幅寸法がチップ間隔寸法と等しいチップ間スリットが形成される。

【0026】

飛散板４は、図２、図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、略円板状の板状部材４１を備える。板状部材４１は、供給配管３の開口端である凸部３２の第２先端面３３に密着し、厚さ方向が研削液の供給方向Ｄ１と略平行となるように固定される。また、板状部材４１は、厚さ方向に略平行な回転軸を中心にして、供給配管３および研削ホイール５とともに回転方向Ｄ２に回転する。
板状部材４１には、当該板状部材４１の回転中心Ｏ以外の箇所に、厚さ方向に貫通し研削液が通過可能な複数の飛散孔４２が設けられる。なお、本実施形態では、４個の同じ形状の飛散孔４２が設けられる。
この複数の飛散孔４２は、板状部材４１の回転中心Ｏを中心とした仮想円Ｐの円周上において等間隔（９０°間隔）に設けられている。なお、本実施形態では、仮想円Ｐと、供給配管３の開口縁３４とが一致している。

【0027】

飛散孔４２は、回転方向Ｄ２の後ろ側に位置する第１壁面４２１と、回転方向Ｄ２の前側に位置する第２壁面４２２とを備える。第１壁面４２１は、供給配管３に対向する対向面４１１側の回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部４２１Ａが非対向面４１２側の回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部４２１Ｂより回転方向Ｄ２の前方に位置するように、対向面４１１に対して傾斜している。第２壁面４２２は、対向面４１１側の回転方向の最も前側に位置する壁面端部４２２Ａが非対向面４１２側の回転方向の最も前側に位置する壁面端部４２２Ｂより回転方向Ｄ２の前方に位置するように、対向面４１１に対して傾斜している。
また、飛散孔４２は、対向面４１１側の開口４２３内に供給配管３の開口縁３４の一部が位置するように設けられている。
第１壁面４２１および第２壁面４２２の傾斜は、ウェーハＷの径の大きさ、研削ホイール５の構成等により適宜調整可能であるが、板状部材４１の対向面４１１に対して３０°以上６０°以下の範囲が望ましく、４５°が特に好ましい。
なお、このような構成を有する飛散孔４２は、例えばドリル等の工具を、対向面４１１に対して斜めに貫通させることで形成することができる。このように形成される飛散孔４２は、当該飛散孔４２の中心軸に直交する断面が真円形となる。

【0028】

また、飛散板４の厚みを調整することで、研削液の飛散方向を調整することができる。なお、飛散板４の厚みが薄すぎると、第１壁面４２１の高さが低くなり過ぎて、研削液の飛散が弱くなってしまい、他方、飛散板４の厚みが厚すぎると、第１壁面４２１の高さが高くなり過ぎて、研削液が必要以上に強く飛散してしまうため、いずれも、所望の方向に研削液を飛散させることが難しくなるおそれがある。そのため、飛散板４の厚みは、供給配管３の開口３４の径、飛散板４の飛散孔４２の径や配置位置、研削液の供給流量などによって、適宜調整する必要がある。

【0029】

研削機構は、鉛直方向に立てられたウェーハＷの両側において、研削ホイール５を回転させ、ウェーハＷの中心よりも下方の位置に砥石５２を押し当てる。そして、この押し当てと同時に、研削ホイール５内に研削液を供給するとともにウェーハＷを回転させることで、ウェーハＷを研削する。

【0030】

［両頭研削加工方法］
次に、上述の飛散板４を備えた両頭研削加工装置１を用いた両頭研削加工方法について説明する。
図１に示すように、２個の研削ホイール５を両頭研削加工装置１に装着する。そして、両頭研削加工装置１は、研削ホイール５をウェーハＷの両面にそれぞれ押し当てるとともに、研削ホイール５内に研削液を供給する。さらに、両頭研削加工装置１は、供給配管３、飛散板４および研削ホイール５を回転方向Ｄ２に回転させるとともに、キャリアリング２で保持されたウェーハＷを回転方向Ｄ３に回転させることで、ウェーハＷを研削する。その後、当該研削したウェーハＷを新しいウェーハＷに交換して、次の研削を行う。

【0031】

研削液は特に限定されないが、水、水溶性研削液、不水溶性研削液、乳化油などが挙げられる。
また、１個の研削ホイール５における、研削液供給流量は、１．３Ｌ／ｍｉｎ以上であることが好ましい。研削液供給流量が１．３Ｌ／ｍｉｎ未満であると、研削液の供給方向Ｄ１への飛散距離を長くできないおそれがある。
また、研削ホイール５の回転数は、４５００ｒｐｍ以上５５００ｒｐｍ以下であることが好ましい。研削ホイール５の回転数が４５００ｒｐｍ未満であると、研削液の供給方向Ｄ１への飛散距離を長くできないおそれがある。

【0032】

研削時において、回転方向Ｄ２に回転している供給配管３に、研削液が供給されると、研削液は、供給配管３の回転によって遠心力を受けて、供給配管３の内壁面に押し付けられた状態で供給配管３の開口縁３４に向かう。そして、開口縁３４の一部が飛散孔４２の対向面４１１側の開口４２３内に位置しているため、供給配管３の内壁面に押し付けられた研削液は、供給配管３中にとどまることなく、開口縁３４および開口４２３を介して飛散孔４２に入り込むことができる。研削液が開口縁３４を通過するとき、研削液には、回転方向Ｄ２と略平行な開口縁３４の接線方向への力が与えられる。そして、研削液は、開口縁３４の接線方向への力と、供給方向Ｄ１への力との合力によって、凸部３２の第２先端面３３に対して斜めの方向に移動しながら、飛散板４の飛散孔４２に入り込む。

【0033】

飛散孔４２に入り込んだ研削液は、回転方向Ｄ２の後ろ側の第１壁面４２１と接触する。そして、第１壁面４２１の傾斜が回転方向Ｄ２の前方（図３（Ｂ）中下方）に移動することによって、研削液には、供給方向Ｄ１への力が与えられると考えられる。したがって、第１壁面４２１を上述のように傾斜させない場合と比べて、研削液の供給方向Ｄ１への飛散距離が長くなり、砥石５２の高さ寸法が高い研削ホイール５の使い始めの状態でも、ウェーハＷに必要量の研削液が供給される。
また、研削液が飛散孔４２に入り込むと、回転方向Ｄ２の前側の第２壁面４２２の傾斜によって、回転方向Ｄ２の後ろ側に案内される。そして、この回転方向Ｄ２の後ろ側に案内された研削液には、回転方向Ｄ２に移動する第１壁面４２１によって、上述のように供給方向Ｄ１への力が与えられると考えられる。したがって、第２壁面４２２を設けない場合と比べて、研削液の供給方向Ｄ１への飛散距離がさらに長くなる。
さらに、複数の飛散孔４２が仮想円Ｐの円周上において等間隔に設けられているため、図２に一点鎖線で示すような略円錐台状の飛散軌跡Ｔを描きながら、円周方向のどの方向についてもムラなく研削液が飛散する。
そして、飛散板４による飛散によって、必要量の研削液がムラなくウェーハＷに供給され、研削ホイール５によって研削が行われる。

【0034】

なお、研削の状態の良否の評価としては、研削加工毎に測定した砥石５２の摩耗量（砥石摩耗量）における、研削前後の砥石摩耗量の変化量を用いることができる。この変化量が、砥石寿命にわたって２０％以内であることが好ましい。具体的には、砥石摩耗量は１．５μｍ／枚以上１．８μｍ／枚以下であることが好ましい。

【0035】

また、研削したウェーハＷの評価としては、ウェーハＷの研削前後のＢｏｗ（反りの向き、大きさ）の変化量を用いることができる。Ｂｏｗの値は、表裏面の損傷やそれに付随する残留応力のバランスを示す指標となり、研削前後のＢｏｗの変化量が０に近づく程、表裏面の損傷状態、残留応力が等しい。即ち、表裏面の研削状態が等しいことを示す。
ここで、Ｂｏｗとは、ウェーハ全体としての反りを表現する指標の１つであって、ウェーハの中心基準面からウェーハの中点における中心面までの変位により表すものであり、このときの中心基準面は中心面上の３点（Ｂｏｗ−３Ｐ）又はベストフィット（Ｂｏｗ−ｂｆ）基準により作られるものである。よって、Ｂｏｗ値にあってはプラス（＋）で表されたものは凸型の反りを有するものとなり、マイナス（−）で表されたものは凹型の反りを有するものとなる。例えば、光学センサ式の平坦度測定器（LapmasterSFT社製Wafercom）などを使用して反り量を測定することができる。
そして、研削前のウェーハＷのＢｏｗの値からの、研削後のＢｏｗの値の変化量が、−１０μｍ以上＋１０μｍ以下であることが好ましい。

【0036】

［実施形態の作用効果］
上述したような本実施形態では、以下のような作用効果を奏することができる。
（１）飛散板４の飛散孔４２における回転方向Ｄ２の後ろ側に位置する第１壁面４２１を、対向面４１１側の回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部４２１Ａが非対向面４１２側の回転方向の最も後ろ側に位置する壁面端部４２１Ｂより、回転方向Ｄ２の前方に位置するように傾斜させている。
このため、上述のように、第１壁面４２１が回転方向Ｄ２へ移動することによって、研削液に供給方向Ｄ１の力が与えられ、研削液の供給方向Ｄ１への飛散距離が長くなる。したがって、研削液の供給流量を調整することなく、第１壁面４２１を上述のように傾斜させるだけの簡単な構成で、研削液の供給方向Ｄ１への飛散距離を長くすることができる。
また、研削ホイール５の砥石５２の高さ寸法が高い状態でも、ウェーハＷに必要量の研削液を供給することができるため、ウェーハ１枚当たりの砥石摩耗量が増大してしまうことがない。したがって、研削ホイール５の寿命を延ばすことができる上、研削したウェーハＷの品質も維持できる。
さらに、砥石５２の高さ寸法が高い状態であっても、研削液の供給流量を制御せずに、研削液をウェーハＷに確実に到達させることができるため、過剰な研削液を必要とせず、製造コストを低減できる。
そして、飛散させた研削液をウェーハＷに直接到達させることができるので、ウェーハＷの研削面を洗浄する効果も併せて得られる。

【0037】

（２）飛散板４の飛散孔４２における回転方向Ｄ２の前側に位置する第２壁面４２２を、対向面４１１側の回転方向の最も前側に位置する壁面端部４２２Ａが非対向面４１２側の回転方向の最も前側に位置する壁面端部４２２Ｂより、回転方向Ｄ２の前方に位置するように傾斜させている。
このため、上述のように、研削液を第２壁面４２２の傾斜によって回転方向Ｄ２の後ろ側に案内することができ、排出方向への力が与えられる研削液の量を増やすことができ、研削液の排出方向への飛散距離をより長くすることができる。結果として、より多くの研削液をウェーハＷの研削面に到達させることができ、より一層品質が安定した研削を実施できる。

【0038】

（３）複数の飛散孔４２を、板状部材４１の仮想円Ｐの円周上において等間隔に設けている。
このため、円周方向のどの方向についてもムラなく研削液を飛散させることができ、研削ムラを抑制できる。

【0039】

（４）飛散孔４２を、対向面４１１側の開口４２３内に供給配管３の開口縁３４の一部が位置するように設けている。
このため、供給配管３の回転により供給配管３の内壁面に押し付けられた研削液を、供給配管３中にとどまらせることなく、開口縁３４および開口４２３を介して飛散孔４２に入り込ませることができ、研削液の飛散量の低減を抑制できる。

【0040】

（５）飛散板４と、研削ホイール５とを別体で構成している。
このため、従来の両頭研削加工装置に飛散板４を設置するだけの簡単な構成で、上記の効果を奏することができる。また、飛散板４と研削ホイール５とのどちらか一方のみの交換やメンテナンスを、容易に行うことができる。

【0041】

［他の実施形態］
なお、本発明は上記実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の改良および設計の変更などが可能である。
すなわち、上記実施形態では、飛散板４と研削ホイール５とを別体で構成したが、図４に示すように、一体としてもよい。
図４に示す研削ホイール６は、例えばダイヤモンドホイールである略円板状のホイールベース６１と、砥石５２とを備える。ホイールベース６１の回転中心以外の４箇所には、飛散孔４２が設けられている。飛散孔４２は、上記実施形態の飛散板４に設けられたものと同じ形状を有している。
このような構成にすれば、上記実施形態と同様の作用効果に加え、研削ホイール６に飛散孔４２を設けているため、交換やメンテナンスのときの取り外しや設置が容易になる。

【0042】

また、上記実施形態では、１本の配管から構成された供給配管３としたが、供給配管３を複数本設ける構成とし、供給配管３の本数を、飛散板４の飛散孔４２の数に対応する数としてもよい。
さらに、飛散孔４２の個数は、１〜３個であってもよいし、４個以上であってもよい。
また、４個の飛散孔４２の形状は、互いに異なっていてもよいし、当該飛散孔４２の中心軸に直交する断面が真円形ではなく、楕円形や多角形であってもよい。
さらに、飛散孔４２の第２壁面４２２を対向面４１１に対して傾斜させずに、図３（Ｂ）中二点鎖線で示すように、対向面４１１に直交させてもよい。

【0043】

さらに、上記実施形態では、研削装置を、鉛直方向に立てられたウェーハＷの両側を同時に研削する両頭研削加工装置１として説明したが、水平方向に保持されたウェーハＷの両側を同時に研削する水平式の両頭研削加工装置でもよい。また、ウェーハＷの片面のみを研削する片面研削加工装置でもよい。
さらに、供給配管３を回転させずに、飛散板４および研削ホイール５のみを回転させてもよい。また、供給配管３と、飛散板４と、研削ホイール５との回転方向や回転速度は、異なっていてもよい。

【実施例】

【0044】

次に、本発明を実施例および比較例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。

【0045】

＜実施例１＞
実施例１として、上記実施形態の飛散板４を備える両頭研削加工装置１を使用し、飛散板４で飛散させた研削液を用いてウェーハＷを研削した。なお、研削条件は、砥石５２のチップ５２２の高さ（チップ高さ）寸法を１５ｍｍ、研削液供給流量を１．６Ｌ／ｍｉｎ一定とした。
比較例１として、上記実施形態の両頭研削加工装置１から飛散板４を取り外し、供給配管３から供給される研削液を飛散板４で飛散させずに、上記実施例１と同様の研削条件によりウェーハＷを研削した。
また、比較例２として、図５に示す羽根車９３１と、供給配管３の開口縁３４と略等しい形状の貫通孔９３２とを設けた飛散板９３を、飛散板４の代わりに供給配管３に取り付け、研削液を飛散板９３で飛散させて、上記実施例１と同様の研削条件によりウェーハＷを研削した。
実施例１、比較例１，２で得られた、研削後のウェーハＷの形状をＢｏｗにより測定した。また、実施例１、比較例１，２の条件で１枚のウェーハＷの研削を終えた砥石５２のチップ高さ寸法を測定し、砥石摩耗量を求めた。
実施例１では、砥石摩耗量が１．３６μｍ、Ｂｏｗ−ｂｆが６．１４μｍであった。これに対して、比較例１では砥石摩耗量が２．１６μｍ、Ｂｏｗ−ｂｆが−１８．７μｍ、比較例２では砥石摩耗量が２．０８μｍ、Ｂｏｗ−ｂｆが−２０．１μｍであった。
実施例１では、砥石摩耗量が小さく、また研削後のウェーハＷのＢｏｗ値も１０μｍ未満の結果になっており、ウェーハＷの研削面に研削液が必要量到達していることが裏付けられている。一方で、比較例１，２では、ウェーハＷの研削面に、研削液が十分に供給されていないために、砥石摩耗量が大きくなり、研削後のウェーハＷに反りが生じていることが推察される。

【0046】

＜実施例２＞
実施例２として、上記実施形態の飛散板４を備える両頭研削加工装置１を使用し、飛散板４で飛散させた研削液を用いて、複数枚のウェーハＷの研削を行い、それぞれのチップ高さにおける摩耗レート（ウェーハ１枚あたりの摩耗量）を求めた。
比較例３として、図５に示す飛散板９３を飛散板４の代わりに取り付けたこと以外は、実施例２と同様にして、複数枚のウェーハＷの研削を行い、それぞれのチップ高さにおける摩耗レートを求めた。
得られた結果に基づく摩耗レート比とチップ高さの関係を図６に示す。なお、図６の縦軸に示す摩耗レート比は、実施例２の摩耗レートに対する比較例３の摩耗レートである。
図６から明らかなように、チップ高さがＨより小さい場合は、摩耗レート比はほぼ１であり、実施例２の摩耗レートと、比較例３の摩耗レートとが、ほぼ同一の摩耗レートであることが判る。一方で、チップ高さがＨより大きくなるにつれて、摩耗レート比が１よりも高くなる傾向がみられた。
また、上記実施例１と比較例２との関係から、チップ高さ寸法が高い状態では、図５に示す飛散板９３を用いて研削すると、砥石摩耗量が増大することが確認されている。
このことから、比較例３ではチップの高さ寸法が高くなると、摩耗レートが増大する傾向がみられるのに対し、実施例２では、チップの高さ寸法が高くても、摩耗レートは大きな変動を生じていないことが判る。

【0047】

＜実施例３＞
図７に示すように、本発明の飛散板４による研削液の飛散状況を確認するために上記実施形態の飛散板４を備える両頭研削加工装置１を用い、研削ホイール５のチップ５２２から０．１ｍｍ離れた位置にガラス板７を配置した。配置したガラス板７は透明である。また、図７の上方に示すように、ガラス板７は、研削液の飛散状況が分かりやすくなるように、所定の間隔で目盛がふってあるものを使用した。このような構成により、上記実施形態と同様に両頭研削加工装置１を駆動したときに、飛散板４で飛散されてウェーハＷに到達する研削液の飛散状況をガラス板７越しに確認することができる。

【0048】

飛散板４で飛散された研削液の飛散状況を、ガラス板７越しに確認したところ、図８に示すような結果が得られた。なお、図８の内側に位置する円Ｃ１は、研削液が到達していない領域を示し、図８の外側に位置する円Ｃ２は、研削時に、砥石５２のチップ５２２とウェーハＷとが接触する領域を示している。また、矢印はガラス板７に到達した研削液の進行方向を示している。
飛散板４から飛散した研削液は、図８に示すように、円Ｃ１の外周付近でガラス板７と衝突し、ガラス板７に衝突した研削液は、矢印で示す旋回流を生じさせながら、回転中心から外側に向かって流れていることが確認できた。また、円Ｃ１に示す、研削液が到達していない領域は、円Ｃ２に示す、チップ５２２とウェーハＷとが接触する領域よりも、より内側に位置している。この結果から、飛散させた研削液は、砥石５２のチップ５２２とウェーハＷとの接触領域に十分にいきわたっていることが確認できた。

【符号の説明】

【0049】

１…両頭研削加工装置、３…供給配管、４…飛散板、４１…板状部材、４１１…対向面、４１２…非対向面、４２…飛散孔、４２１…第１壁面、４２１Ａ…端部、４２１Ｂ…端部、４２２…第２壁面、４２２Ａ…端部、４２２Ｂ…端部、５…研削ホイール、５１…ホイールベース、５２…砥石、６…研削ホイール、６１…ホイールベース、Ｄ１…供給方向、Ｄ２…回転方向、Ｏ…回転中心、Ｐ…仮想円。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】