特許6121609電気回路および薄膜熱構造に関するカーボンナノチューブ・シート材料をエッチングする方法

発明の名称　電気回路および薄膜熱構造に関するカーボンナノチューブ・シート材料をエッチングする方法

出願人　レイセオン　カンパニー　（識別番号 503455363）

　　　　特許公開件数ランキング 781 位（29件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 524 位（41件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6121609

公報発行日　2017年4月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6121609

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