特許 6125306 ダイアフラムポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6125306

(24)【登録日】2017年4月14日

(45)【発行日】2017年5月10日

(54)【発明の名称】ダイアフラムポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04B 45/053 20060101AFI20170424BHJP

   F04B 45/04 20060101ALI20170424BHJP

【ＦＩ】

   F04B45/053 B

   F04B45/04 F

【請求項の数】1

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2013-90296(P2013-90296)

(22)【出願日】2013年4月23日

(65)【公開番号】特開2014-214629(P2014-214629A)

(43)【公開日】2014年11月17日

【審査請求日】2016年2月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】593145179

【氏名又は名称】株式会社ワイ・テイ・エス

(74)【代理人】

【識別番号】100134832

【弁理士】

【氏名又は名称】瀧野 文雄

(74)【代理人】

【識別番号】100060690

【弁理士】

【氏名又は名称】瀧野 秀雄

(74)【代理人】

【識別番号】100070002

【弁理士】

【氏名又は名称】川崎 隆夫

(74)【代理人】

【識別番号】100165308

【弁理士】

【氏名又は名称】津田 俊明

(74)【代理人】

【識別番号】100110733

【弁理士】

【氏名又は名称】鳥野 正司

(74)【代理人】

【識別番号】100173978

【弁理士】

【氏名又は名称】朴 志恩

(72)【発明者】

【氏名】村田 茂

【審査官】 冨永 達朗

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭５８−１３１３８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５１−１５１１０１（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｂ ４５／０５３

Ｆ０４Ｂ ４５／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ポンプ本体の内部における線対称位置に、対称軸から近い順に作動流体室、及び、該作動流体室とダイアフラムで仕切られたポンプ室が一対配され、
前記一対のダイアフラムに両端が連結したセンターロッドが、前記対称軸と直交する方向を軸として当該軸方向に移動自在に前記作動流体室を貫通して支持され、
前記一対の作動流体室に流体を交互に供給乃至排出することで、前記一対の作動流体室の容積を交互に増加乃至減少させ、以って、前記一対のダイアフラムを変動させると共に、これに連動する前記センターロッドをその軸方向に往復動させるダイアフラムポンプにおいて、
前記一対の作動流体室の一方から前記流体を排出する際に、前記一対の作動流体室を連通させる連通手段を備え、
前記連通手段が、前記一対の作動流体室を連通させるための連通路と、前記一対の作動流体室の一方から前記流体を排出する際に、電気的または機械的に動作して前記連通路を一時的に開とする弁と、からなり、
前記ダイアフラムポンプが、ダイアフラムの移動を検出するパイロットバルブを有し、
前記連通手段が、前記一対の作動流体室を連通させるための連通路と、前記パイロットバルブのダイアフラム検出子と連動して前記連通路を一時的に開とする弁と、からなり、
前記ダイアフラム検出子の後端に弁軸が延設されるとともに、該弁軸の先端に前記弁体が設けられ、
前記作動流体室には、開口縁部が弁座として働くとともに前記弁軸をスライド可能に収容する穴が形成され、
前記連通路は、前記穴の底部に連通するとともに、該底部から反対側の前記作動流体室まで延びて前記パイロットバルブを収容する部分とは、独立に形成されていることを特徴とするダイアフラムポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ダイアフラムポンプに関するものである。

【背景技術】

【0002】

図４は、従来のダイアフラムポンプの構成を示す断面図である。ダイアフラムポンプは、ポンプ本体１の両側部に、センターロッド４により相互に連結されたディスク部材２，３により中央部を挟持されたダイアフラム５，６の外周部が挟着固定されている。また、ダイアフラム５，６を介して内側の作動流体室７，８と外側のポンプ室９，１０と、が区画され、それぞれ形成されている。

【0003】

両側のポンプ室９，１０には、吸込用逆止弁１１，１２を介して吸込口１３が接続されると共に、吐出用逆止弁１４，１５を介して吐出口１６が接続される。また、両側の作動流体室７，８には、切替弁１７によって作動流体、例えば空気を交互に給排する作動流体孔１８，１９が連通している。なお、切替弁１７は、例えば、ポンプ本体１の中央部に埋め込まれるようにして設置されるが、図面では説明の便宜上、外部に出してあり、その構造及び作用についての説明は後述する。

【0004】

ところで、作動流体室１８，１９に供給される圧縮空気は、吐出工程から吸込工程に移行した際に排出され、大気に開放される。このとき、大気に開放される圧縮空気は無駄になってしまう。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特公平６−３１６５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

そこで本発明は、上記従来構造における無駄をなくしてエネルギー効率を向上させることができるダイアフラムポンプを提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するためになされた請求項１記載の発明は、
ポンプ本体の内部における線対称位置に、対称軸から近い順に作動流体室、及び、該作動流体室とダイアフラムで仕切られたポンプ室が一対配され、
前記一対のダイアフラムに両端が連結したセンターロッドが、前記対称軸と直交する方向を軸として当該軸方向に移動自在に前記作動流体室を貫通して支持され、
前記一対の作動流体室に流体を交互に供給乃至排出することで、前記一対の作動流体室の容積を交互に増加乃至減少させ、以って、前記一対のダイアフラムを変動させると共に、これに連動する前記センターロッドをその軸方向に往復動させるダイアフラムポンプにおいて、
前記一対の作動流体室の一方から前記流体を排出する際に、前記一対の作動流体室を連通させる連通手段を備え、前記連通手段が、前記一対の作動流体室を連通させるための連通路と、前記一対の作動流体室の一方から前記流体を排出する際に、電気的または機械的に動作して前記連通路を一時的に開とする弁と、からなり、前記ダイアフラムポンプが、ダイアフラムの移動を検出するパイロットバルブを有し、前記連通手段が、前記一対の作動流体室を連通させるための連通路と、前記パイロットバルブのダイアフラム検出子と連動して前記連通路を一時的に開とする弁と、からなり、前記ダイアフラム検出子の後端に弁軸が延設されるとともに、該弁軸の先端に前記弁体が設けられ、前記作動流体室には、開口縁部が弁座として働くとともに前記弁軸をスライド可能に収容する穴が形成され、前記連通路は、前記穴の底部に連通するとともに、該底部から反対側の前記作動流体室まで延びて前記パイロットバルブを収容する部分とは、独立に形成されていることを特徴とする。

【0010】

上記課題を解決するためになされた参考発明は、上記の発明において、前記連通手段が、前記一対の作動流体室間に設けられた連通路と、（パイロットバルブのダイアフラム検出子）からの検出信号で動作し前記連通路を一時的に開とする貫通用電磁弁と、からなることを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

請求項１記載の発明のダイアフラムポンプによれば、ポンプ本体の内部における線対称位置に、対称軸から近い順に作動流体室、及び、該作動流体室とダイアフラムで仕切られたポンプ室が一対配され、一対のダイアフラムに両端が連結したセンターロッドが、対称軸と直交する方向を軸として当該軸方向に移動自在に作動流体室を貫通して支持され、一対の作動流体室に流体を交互に供給乃至排出することで、一対の作動流体室の容積を交互に増加乃至減少させ、以って、一対のダイアフラムを変動させると共に、これに連動するセンターロッドをその軸方向に往復動させるダイアフラムポンプにおいて、一対の作動流体室の一方から流体を排出する際に、一対の作動流体室を連通させる連通手段を備えているので、一方の作動流体室から排気される流体が他方の作動流体室に供給されるため、流体が排気される無駄がなくなり、従来よりもエネルギー効率が向上する。

【0012】

また、連通手段が、一対の作動流体室を連通させるための連通路と、一対の作動流体室の一方から流体を排出する際に、電気的または機械的に動作して連通路を一時的に開とする弁と、からなるので、電気的または機械的動作により、一方の作動流体室から排気される流体が他方の作動流体室に供給されるため、流体が排気される無駄がなくなり、従来よりもエネルギー効率が向上する。

【0013】

また、ダイアフラムポンプが、ダイアフラムの移動を検出するパイロットバルブを有し、連通手段が、一対の作動流体室を連通させるための連通路と、パイロットバルブのダイアフラム検出子と連動して前記連通路を一時的に開とする弁と、からなるので、機械的動作により、一方の作動流体室から排気される流体が他方の作動流体室に供給されるため、流体が排気される無駄がなくなり、従来よりもエネルギー効率が向上する。

【0014】

上記参考発明によれば、連通手段が、一対の作動流体室間に設けられた連通路と、パイロットバルブのダイアフラム検出子からの検出信号で動作し連通路を一時的に開とする貫通用電磁弁と、からなるので、電気的動作により、一方の作動流体室から排気される流体が他方の作動流体室に供給されるため、流体が排気される無駄がなくなり、従来よりもエネルギー効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の第１の実施形態に係るダイアフラムポンプの構造を示す断面図である。

【図2】図１のダイアフラムポンプにおける切替弁のデテント機構の平面図である。

【図3】本発明の第２の実施形態に係るダイアフラムポンプの構造を示す断面図である。

【図4】従来のダイアフラムポンプの構造を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

【0017】

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るダイアフラムポンプの構造を示す断面図、図２は、図１のダイアフラムポンプにおける切替弁のデテント機構の平面図である。ダイアフラムポンプは、ポンプ本体１の内部における線対称位置に、対称軸から近い順に作動流体室７，８、及び、該作動流体室７，８とダイアフラム５，６で仕切られたポンプ室９，１０が一対配されている。一対のダイアフラム５，６は、ディスク部材２，３でその中央部が挟持されかつその外周部がポンプ本体１に挟持固定されるとともに、センターロッド４の両端に連結されている。センターロッド４は、対称軸と直交する方向を軸として当該軸方向に移動自在に作動流体室７，８を貫通して支持されている。そして、切替弁１７の操作によって、一対の作動流体室７，８に流体，例えば空気を交互に供給乃至排出することで、一対の作動流体室７，８の容積を交互に増加乃至減少させる。それにより、一対のダイアフラム５，６を変動させると共に、これに連動するセンターロッド４をその軸方向に往復動させている。

【0018】

両側のポンプ室９，１０には、吸込用逆止弁１１Ａ，１２Ａを介して吸込口１３が接続されると共に、吐出用逆止弁１４Ａ，１５Ａを介して吐出口１６が接続される。また、両側の作動流体室７，８には、切替弁１７によって作動流体を交互に供給乃至排出する作動流体孔１８，１９が連通されている。切替弁１７は、例えば、ポンプ本体１の中央部に埋め込まれて設置されているが、図面では説明の便宜上、外部に出してある。

【0019】

また、一対の作動流体室７，８には、それぞれ切替圧減圧孔２１，２２が連通され、切替圧減圧孔２１，２２に、ダイアフラム５，６による作動流体排出動作終了直前の動きに連動して切替圧減圧孔２１，２２を開くパイロットバルブ２３，２４が設けられている。パイロットバルブ２３，２４は、切替圧減圧孔２１，２２の内部に螺合された弁本体２５と、弁本体２５に遊嵌されるダイアフラム検出子２６と、を有している。また、ダイアフラム検出子２６の後部小径部に弁体としてのＯリング２７が弁座２８に対向するように篏着されている。さらに、ダイアフラム検出子２６の後端とポンプ本体１の対向面との間に圧縮コイルスプリング２９が装着されることにより、ダイアフラム検出子２６の先端が作動流体室７，８の室内に突出している。

【0020】

切替弁１７は、例えば、特公平６−３１６５０号公報に記載の切換弁とほぼ同じ構成のものである。切替弁１７は、スプール３１の両端面に両側の切替圧減圧孔２１，２２と連通する切替圧縮室３２，３３を望ませ、この両端の切替圧室３２，３３と切替弁１７への作動流体供給口３４と、がオリフィス３５，３６を介して接続されている。

【0021】

上記切替弁１７は、作動流体供給口３４に直通のポート４１，４２と、ポンプ本体１の作動流体孔１８，１９に直通のポート４３，４４と、作動流体としての空気を大気に放出するポート４５と、を備えている。なお、各ポートは、スプール３１と嵌合するスリーブ４６に形成する。

【0022】

次にダイアフラムポンプの作用を説明する。作動流体供給口３４から所定の圧力で切替弁１７に空気を入れる。このとき、スプール３１の位置は、ポート４１が開、ポート４２が閉となる状態にあり、空気がポート４１を通ってポート４３に入り、さらにポンプ本体１の作動流体室７に入る。このとき、反対側の作動流体室８の空気は、作動流体孔１９からポート４４を通ってポート４５から大気に排出される。

【0023】

したがって、ダイアフラム５，６及びセンターロッド４は左方向に移動し、ダイアフラム５が、左側のポンプ室９内の流動体を吐出口１６に押し出すと共に、ダイアフラム６が、吸込口１３より右側のポンプ室１０内に流動体を吸い込む。

【0024】

この左方向への移動の終了直前にディスク部材３でパイロットバルブ２３のダイアフラム検出子２６が押され、切換圧室３３の空気が、このパイロットバルブ２３、作動流体室８、作動流体孔１９、ポート４４，４５を順次経て大気に排気される。

【0025】

このとき、オリフィス３６での空気供給流量よりもパイロットバルブ２４での空気排出流量の方が大きいので、スプール３１の両端の切換圧室３２，３３に予め等しくかかっていた圧力のバランスがくずれ、切換圧室３３の方が低い圧力になる。

【0026】

したがって、スプール３１は、切換圧室３３の方へ移動し、ポート４１が閉、ポート４２が開となり、ダイアフラム５，６及びセンターロッド４は、右方向に移動することになる。

【0027】

この右方向への移動の終了直前においても上記作動流体室の自動切替が同様になされ、ポンプ作用が繰り返し行われる。

【0028】

次に、切替弁１７の一端部に設けられたデテント機構５１について説明する。このデテント機構５１は、スプール３１が中立位置で停止する恐れを防止するものである。デテント機構５１は、スリーブ４６の一端にスプリング受け体５３が設けられ、スプリング受け体５３の中央の穴を通してスプール３１と一体的な軸部５４が切換圧室３２に突出され、この軸部５４にスプール作動体５７が軸方向に僅かなクリアランスをもって遊嵌されている。このスプール作動体５７の左右両側には断面丸形のワイヤスプリング５８が左右対称に篏着され、スプリング受け体５３の左右両側部に一体形成された立上部５９のＶ溝６０にワイヤスプリング５８の反対側部が篏着されている。

【0029】

図２に示すように、ワイヤスプリング５８は、中央の直線部分に対し両側部が相互に対向する方向に円弧状に弯曲されてほぼＣ型に成型され、両側の端部６１と、中央の直線状部６２とが平行に形成されている。そして、このワイヤスプリング５８の両側の端部６１が、スプール作動体５７の側面に設けられた小孔に回動自在に篏着され、ワイヤスプリング５８の直線状部６２が、スプリング受け体５３に直線状に形成されたＶ溝６０に回動自在に篏着されている。すなわち、このＣ形ワイヤスプリング５８は、その切欠部を介して対向する端部６１がスプール作動体５７の小孔に篏着され、この小孔内で回動される。さらに、ワイヤスプリング５８の直線状部６２が、Ｖ溝６０に篏着され、このＶ溝６０の内部で回動される。

【0030】

図１に示されている上方切替状態からスプール３１が下方に移動されると、ワイヤスプリング５８がスプリング受け体５３のＶ溝６０を中心に下方へ回動され、スプール作動体５７との間で収縮される。それにより、スプール３１がワイヤスプリング５８に抗して中立位置に近づくにしたがって、ワイヤスプリング５８は、その端部６１が直線状部６２に接近するように弾性変形され、内部に復元力を蓄える。そして、スプール３１が中立位置を僅かでも過ぎると、ワイヤスプリング５８がＶ溝６０を中心に下方に回動する動作が、ワイヤスプリング５８に蓄えられた反発力によるスナップアクションで瞬時になされ、スプール３１は、瞬時に下限まで強制切替される。この切替動作において、切替前は軸部５４に嵌合されたスプール作動体５７の下側にクリアランスがあるので、先ずスプール作動体５７のみが軽いスプリング力で中立位置よりも下側に反転し、その慣性力がワイヤスプリング５８の押圧力と共に軸部５４の端面に作用し、スプール３４の切替が確実になされる。

【0031】

ところで、パイロットバルブ２３のダイアフラム検出子２６の後端には、弁７４の弁軸７０が延設され、弁軸７０の先端には弁体７１が一体形成されている。弁体７１は、作動流体室７内に配置されている。作動流体室７には、開口縁部が弁座として働くと共に弁軸７０をスライド可能に収容する穴７２が形成されている。穴７２の底部は、作動流体室８と連通する連通路８０に連通している。

【0032】

同様に、パイロットバルブ２４のダイアフラム検出子２６の後端には、弁７５の弁軸７０が延設され、弁軸７０の先端には弁体７１が一体形成されている。弁体７１は、作動流体室８内に配置されている。作動流体室８には、開口縁部が弁座として働くと共に弁軸７０をスライド可能に収容する穴７２が形成されている。穴７２の底部は、作動流体室７と連通する連通路８１に連通している。

【0033】

ダイアフラム５，６及びセンターロッド４の左方向への移動の終了直前にディスク部材３でパイロットバルブ２３のダイアフラム検出子２６が押されると、上記に説明したように切替弁１７の切替動作が行われる。それと同時に、パイロットバルブ２３のダイアフラム検出子２６が押されると弁体７１が弁座から離れるため、弁７４が開となり、作動流体室７と作動流体室８が穴７２及び連通路８０を介して連通される。それにより、作動流体室７から排出されようとする空気が穴７２及び連通路８０を介して作動流体室８に供給される。作動流体室７から作動流体室８に供給される空気は、連通前の作動流体室７内の空気の圧力が０．７ＭＰａ（メガパスカル）であれば、両方の作動流体室における空気の圧力がほぼ同圧である０．３５ＭＰａになるまで供給される。

【0034】

作動流体室７から作動流体室８に空気が供給されると、その分だけダイアフラム５，６及びセンターロッド４が右方向に移動し、弁７４が閉となる。すなわち、弁７４は、一時的に開となって、作動流体室７及び８を連通させるのである。

【0035】

切替弁１７の切替動作により、作動流体室７に残存する空気は、作動流体孔１８、ポート４３，４５を介して大気に放出されると共に、作動流体室８には、ポート４４、作動流体孔１９を介して空気が供給されるため、ダイアフラム５，６及びセンターロッド４は、さらに右方向へ移動する。

【0036】

この右方向への移動の終了直前においても上記作動流体室の自動切替が同様になされ、ポンプ作用が繰り返し行われる。

【0037】

そして、ダイアフラム５，６及びセンターロッド４の右方向への移動の終了直前にディスク部材３でパイロットバルブ２４のダイアフラム検出子２６が押されると、上記に説明したように切替弁１７の切替動作が行われる。それと同時に、パイロットバルブ２４のダイアフラム検出子２６が押されると弁体７１が弁座から離れるため、弁７４が開となり、作動流体室７と作動流体室８が穴７２及び連通路８０を介して連通される。それにより、作動流体室８から排出されようとする空気が穴７２及び連通路８０を介して作動流体室７に供給される。作動流体室８から作動流体室７に供給される空気は、連通前の作動流体室８内の空気圧力が例えば０．７ＭＰａであれば、両方の作動流体室における空気の圧力がほぼ同圧である０．３５ＭＰａになるまで供給される。

【0038】

作動流体室８から作動流体室７に空気が供給されると、その分だけダイアフラム５，６及びセンターロッド４が左方向に移動し、弁７５が閉となる。すなわち、弁７５は、一時的に開となって、作動流体室７及び８を連通させるのである。

【0039】

切替弁１７の切替動作により、作動流体室８に残存する空気は、作動流体孔１８、ポート４３，４５を介して大気に放出されると共に、作動流体室７には、ポート４３、作動流体孔１８を介して空気が供給されるため、ダイアフラム５，６及びセンターロッド４は、さらに左方向へ移動する。

【0040】

上記に説明した第１の実施形態によれば、一方の作動流体室から排出されようとする空気が機械的動作により他方の作動流体室へ供給されるので、空気が無駄に排出されないためエネルギー効率を向上させることができる。

【0041】

（第２の実施形態）
図３は、本発明の第２の実施形態に係るダイアフラムポンプの構造を示す断面図である。上述の第１の実施形態では、一方の作動流体室から排出されようとする空気が機械的動作により他方の作動流体室へ供給されるように構成されているのに対して、この第２の実施形態では、電気的動作により、一方の作動流体室から排出されようとする空気が他方の作動流体室へ供給されるように構成されているものである。

【0042】

図３において、ダイアフラムポンプは、ポンプ本体１の内部における線対称位置に、対称軸から近い順に作動流体室７，８、及び、該作動流体室７，８とダイアフラム５，６で仕切られたポンプ室９，１０が一対配されている。一対のダイアフラム５，６は、ディスク部材２，３でその中央部が挟持されかつその外周部がポンプ本体１に挟持固定されるとともに、センターロッド４の両端に連結されている。センターロッド４は、対称軸と直交する方向を軸として当該軸方向に移動自在に作動流体室７，８を貫通して支持されている。そして、３方向電磁弁９４及び９５の動作によって、一対の作動流体室７，８に流体，例えば空気を交互に供給乃至排出することで、一対の作動流体室７，８の容積を交互に増加乃至減少させる。それにより、一対のダイアフラム５，６を変動させると共に、これに連動するセンターロッド４をその軸方向に往復動させている。

【0043】

両側のポンプ室９，１０には、吸込用逆止弁１１Ａ，１２Ａを介して吸込口１３が接続されると共に、吐出用逆止弁１４Ａ，１５Ａを介して吐出口１６が接続される。また、両側の作動流体室７，８には、３方向電磁弁９４及び９５によって作動流体を交互に供給乃至排出する作動流体孔１８，１９が連通されている。３方向電磁弁９４及び９５は、例えば、ポンプ本体１の中央部に埋め込まれて設置されているが、図面では説明の便宜上、外部に出してある。

【0044】

また、一対の作動流体室７，８には、それぞれ切替圧減圧孔２１，２２が連通され、切替圧減圧孔２１，２２に、ダイアフラム５，６による作動流体排出動作終了直前の動きに連動して切替圧減圧孔２１，２２を開くパイロットバルブ２３，２４が設けられている。パイロットバルブ２３，２４は、切替圧減圧孔２１，２２の内部に螺合された弁本体２５と、弁本体２５に遊嵌されるダイアフラム検出子２６と、を有している。また、ダイアフラム検出子２６の後部小径部に弁体としてのＯリング２７が弁座２８に対向するように篏着されている。さらに、ダイアフラム検出子２６の後端とポンプ本体１の対向面との間に圧縮コイルスプリング２９が装着されることにより、ダイアフラム検出子２６の先端が作動流体室７，８の室内に突出している。

【0045】

さらに、作動流体室７と作動流体室８の間には、中間に２方向電磁弁である貫通用電磁弁９３を設けた連通管９２が連通されている。連通管９２及び貫通用電磁弁９３は、たとえば、ポンプ本体１の中央部に埋め込まれて設置されているが、図面では説明の便宜上、外部に出してある。

【0046】

次にダイアフラムポンプの作用を説明する。パイロットバルブ２３及び２４のダイアフラム検出子２６により、センターロッド４の左右いっぱいを検出してその検出信号により、３方向電磁弁９４及び９５を交互にオン／オフすると、作動流体室７及び８に空気の供給または排出が交互に行われ、上記作動流体室の自動切替が同様になされ、ポンプ作用が繰り返し行われる。

【0047】

一方、パイロットバルブ２３のダイアフラム検出子２６により、センターロッド４の左いっぱいを検出して検出信号が出力された時、その検出信号により貫通用電磁弁９３を一時的にオンにして弁を開にし、作動流体室７及び８を連通管９２及び貫通用電磁弁９３を介して連通させる。それにより、作動流体室７から排出されようとする空気が連通管９２及び貫通用電磁弁９３を介して作動流体室８に供給される。作動流体室７から作動流体室８に供給される空気は、連通前の作動流体室７内の空気の圧力が０．７ＭＰａ（メガパスカル）であれば、両方の作動流体室における空気の圧力がほぼ同圧である０．３５ＭＰａになるまで供給される。

【0048】

作動流体室７から作動流体室８に空気が供給されると、その分だけダイアフラム５，６及びセンターロッド４が右方向に移動する。

【0049】

その後、３方向電磁弁９４及び９５の切替動作により、作動流体室７に残存する空気は、３方向電磁弁９４を介して大気に放出されると共に、作動流体室８には、３方向電磁弁９５を介して空気が供給されるため、ダイアフラム５，６及びセンターロッド４は、さらに右方向へ移動する。

【0050】

そして、ダイアフラム５，６及びセンターロッド４の右方向への移動の終了直前にディスク部材３でパイロットバルブ２４のダイアフラム検出子２６が押されると、上記に説明したように３方向電磁弁９４及び９５の切替動作が行われる。それと同時に、貫通用電磁弁９３が一時的にオンとなる。それにより、作動流体室７及び８は、連通管９２及び貫通用電磁弁９３を介して連通され、上記と同様に、作動流体室８から排出されようとする空気が作動流体室７に供給される。以下、上記と同様の動作が行われ、作動流体室７及び８に空気の供給または排出が交互に行われ、上記作動流体室の自動切替が同様になされ、ポンプ作用が繰り返し行われる。

【0051】

上記に説明した第２の実施形態によれば、一方の作動流体室から排出されようとする空気が電気的動作により他方の作動流体室へ供給されるので、空気がリサイクルされて無駄に排出されないためエネルギー効率を向上させることができる。

【0052】

以上の通り、本発明の第１及び第２の実施形態について説明したが、本発明はこれに限らず、種々の変形、応用が可能である。

【0053】

たとえば、上述の第２の実施形態では、貫通用電磁弁９３と３方向電磁弁９４及び９５の動作を、パイロットバルブ２３，２４からの検出信号で制御しているが、これに限らず、パイロットバルブに代えてセンターロッド４の左右いっぱいを検知するセンサ（静電容量型または光ファイバー型）からの検知信号で切り替えたり、パイロットバルブに代わるタイマーからの信号で切り替えたりしてもよい。

【符号の説明】

【0054】

１ ポンプ本体
２，３ ディスク部材
４ センターロッド
５，６ ダイアフラム
７，８ 作動流体室
９，１０ ポンプ室
１１Ａ，１２Ａ 吸込用逆止弁
１４Ａ，１５Ａ 吐出用逆止弁
７４，７５ 弁
８０，８１ 連通路
９２ 連通管
９３ 貫通用電磁弁
９４，９５ ３方向電磁弁

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】