特許 6126476 接着シートおよび接着シートの貼付方法ならびに接着シートの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6126476

(24)【登録日】2017年4月14日

(45)【発行日】2017年5月10日

(54)【発明の名称】接着シートおよび接着シートの貼付方法ならびに接着シートの製造方法

(51)【国際特許分類】

   C09J 7/02 20060101AFI20170424BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20170424BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20170424BHJP

【ＦＩ】

   C09J7/02 Z

   H01L21/68 N

   H01L21/02 C

【請求項の数】3

【全頁数】8

(21)【出願番号】特願2013-139559(P2013-139559)

(22)【出願日】2013年7月3日

(65)【公開番号】特開2015-13910(P2015-13910A)

(43)【公開日】2015年1月22日

【審査請求日】2016年5月25日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 澤村 茂実

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−０５６７１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 登録実用新案第３１３４０６３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００８−１１５２５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−３４３５１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２５３０８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１７１５４５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ０９Ｊ ７／００−７／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／０２，２１／３０１，２１／３０４，２１／６８３

Ｇ０９Ｆ ３／００−３／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

方位を特定する基準部が所定の位置に設けられた半導体ウエハに貼付される接着シートであって、
基材シートと、
前記基材シートの一方の面に積層された接着剤層とを備え、
前記接着剤層は、同一面内で互いに隣接した状態で積層され、超音波反射特性の異なる第１接着剤層および第２接着剤層と、前記第１接着剤層および前記第２接着剤層間の境界とを備え、
前記基準部に対して前記境界が位置的に所定の法則性をもって当該接着シートが半導体ウエハに貼付されたときに、当該半導体ウエハの方位を前記境界によって特定することができることを特徴とする接着シート。

【請求項2】

方位を特定する基準部が所定の位置に設けられた半導体ウエハに貼付される接着シートの貼付方法であって、
基材シートと、
前記基材シートの一方の面に積層されるとともに、同一面内で互いに隣接し、超音波反射特性の異なる第１接着剤層および第２接着剤層と、前記第１接着剤層および前記第２接着剤層間の境界とを備えた接着シートを用い、
半導体ウエハの方位を前記境界によって特定することができるように、前記基準部に対して前記境界に位置的に所定の法則性をもたせて当該接着シートを半導体ウエハに貼付することを特徴とする接着シートの貼付方法。

【請求項3】

方位を特定する基準部が所定の位置に設けられた半導体ウエハに貼付される接着シートの製造方法であって、
基材シートの一方の面に第１接着剤層および当該第１接着剤層に対して超音波反射特性の異なる第２接着剤層を互いに隣接させて設けることで、前記第１接着剤層および前記第２接着剤層間に境界を形成する工程と、
前記境界を内側に収めた状態で少なくとも前記基材シートを貫通する閉ループ状の切込を形成する工程とを実施することを特徴とする接着シートの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、接着シートおよび接着シートの貼付方法ならびに接着シートの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単にウエハという場合がある）に貼付する接着シートが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の保護テープ（接着シート）は、外縁に結晶方位を示すノッチ（基準部）が形成されたウエハ（被着体）の一方の面に貼付される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−１５０１７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、特許文献１に記載されたような接着シートが貼付された被着体は、例えば、研削装置や切断装置といった他の装置に搬送された後も、検出手段で基準部が検出され、当該基準部の位置に基づいて方位が特定され、各種の処理が行われる。
しかしながら、被着体に割れや損傷等が発生した場合、他の装置の検出手段がこの割れや損傷等を基準部と誤認識してしまい、被着体の方位を特定することができなくなり、被着体の処理に支障をきたすという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、被着体の方位を他の装置に認識させることができる接着シートおよび接着シートの貼付方法ならびに接着シートの製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の接着シートは、方位を特定する基準部が所定の位置に設けられた半導体ウエハに貼付される接着シートであって、基材シートと、前記基材シートの一方の面に積層された接着剤層とを備え、前記接着剤層は、同一面内で互いに隣接した状態で積層され、超音波反射特性の異なる第１接着剤層および第２接着剤層と、前記第１接着剤層および前記第２接着剤層間の境界とを備え、前記基準部に対して前記境界が位置的に所定の法則性をもって当該接着シートが半導体ウエハに貼付されたときに、当該半導体ウエハの方位を前記境界によって特定することができることを特徴とする。

【0007】

本発明の接着シートの貼付方法は、方位を特定する基準部が所定の位置に設けられた半導体ウエハに貼付される接着シートの貼付方法であって、基材シートと、前記基材シートの一方の面に積層されるとともに、同一面内で互いに隣接し、超音波反射特性の異なる第１接着剤層および第２接着剤層と、前記第１接着剤層および前記第２接着剤層間の境界とを備えた接着シートを用い、半導体ウエハの方位を前記境界によって特定することができるように、前記基準部に対して前記境界に位置的に所定の法則性をもたせて当該接着シートを半導体ウエハに貼付することを特徴とする。

【0008】

本発明の接着シートの製造方法は、方位を特定する基準部が所定の位置に設けられた半導体ウエハに貼付される接着シートの製造方法であって、基材シートの一方の面に第１接着剤層および当該第１接着剤層に対して超音波反射特性の異なる第２接着剤層を互いに隣接させて設けることで、前記第１接着剤層および前記第２接着剤層間に境界を形成する工程と、前記境界を内側に収めた状態で少なくとも前記基材シートを貫通する閉ループ状の切込を形成する工程とを実施することを特徴とする。

【発明の効果】

【0009】

以上のような本発明によれば、第１接着剤層と第１接着剤層に対して超音波反射特性の異なる第２接着剤層との境界が設けられているため、接着シートが貼付された被着体の方位を他の装置に認識させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】（Ａ）は本発明の一実施形態に係る接着シートの使用例を示す斜視図。（Ｂ）は接着シートの断面図。

【図2】シート製造装置の側面図。

【図3】（Ａ）および（Ｂ）は変形例に係る接着シートの断面図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１において、接着シートＡＳは、基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤ＡＤ層とを備え、被着体としてのウエハＷＦの形状に合わせた円形形状に形成されている。なお、ウエハＷＦの外縁には、当該ウエハＷＦの結晶方位を示す基準部としてのノッチＶＮが形成されている。

【0012】

接着剤ＡＤ層は、第１接着剤ＡＤ１層と、第１接着剤ＡＤ１層に対して超音波反射特性の異なる第２接着剤ＡＤ２層とを備えている。また、第１接着剤ＡＤ１層と第２接着剤ＡＤ２層とが同一面内で隣接した状態で積層されることで、接着シートＡＳの中心ＳＣを通り、当該接着シートＡＳの一端から他端にまで達する直線状の境界ＣＬが形成されている。

【0013】

ここで、第１接着剤ＡＤ１層と第２接着剤ＡＤ２層との超音波反射特性を異ならせるには、例えば、一方の接着剤に対して他方の接着剤の硬度、粘度、組成等を変更してもよいし、同じ硬度、粘度、組成等からなる接着剤であっても、金属粉、樹脂粉、ガラス粉、陶器粉、木粉等の添加物を添加したりしてもよい。

【0014】

以上の接着シートＡＳは、所定の法則性をもってウエハＷＦに貼付されたとき、すなわち、図１（Ａ）に示すように、ノッチＶＮの中心ＶＣとウエハＷＦの中心ＷＣとを通る直線ＷＬ上に境界ＣＬが重なるように貼付されたとき、接着シートＡＳに向けて発信された超音波の反射波を超音波センサ等の図示しない検知手段で検知することで、第１接着剤ＡＤ１層と第２接着剤ＡＤ２層との超音波反射特性が異なることで生じる反射波の違い（例えば波長や反射量の違い）により境界ＣＬの位置を検知することができ、ノッチＶＮの位置やウエハＷＦの方位を特定することができる。これにより、例えば、ウエハＷＦの外縁に割れや損傷等が発生した場合でも、他の装置に境界ＣＬとノッチＶＮとの位置的な所定の法則性を記憶させておけば、当該他の装置にウエハＷＦの方位を認識させることができる。なお、境界ＣＬのいずれの一方にノッチＶＮが配置されているかは、第１接着剤ＡＤ１層と第２接着剤ＡＤ２層の超音波反射特性が解っているので、例えば、ウエハＷＦを回転させながら接着シートＡＳに向けて超音波を発信する場合、図示しない検知手段が検出した反射波の変化パターンから判断することができる。

【0015】

次に、シート製造装置１による接着シートＡＳの製造方法について説明する。
図２において、シート製造装置１は、帯状の基材シートＢＳを繰り出す基材シート繰出手段２と、基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤ＡＤ１層を積層する第１接着剤層積層手段３と、基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤ＡＤ１層に隣接した状態で第２接着剤ＡＤ２層を積層することで境界ＣＬを形成する第２接着剤層積層手段４と、接着剤ＡＤ層を硬化させる硬化手段５と、帯状の剥離シートＲＬを繰り出す剥離シート繰出手段６と、境界ＣＬに対する所定の位置であって、当該境界ＣＬを内側に収めた状態で少なくとも基材シートＢＳを貫通する閉ループ状の切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段７と、剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを回収する回収手段８とを備えている。

【0016】

基材シート繰出手段２は、駆動機器としての回動モータ２１によって回転可能に設けられ、基材シートＢＳを支持する支持ローラ２２と、基材シートＢＳを案内するガイドローラ２３とを備えている。

【0017】

第１接着剤層積層手段３は、駆動機器としての回動モータ３１により回転可能に設けられ、接着剤ストック部３Ａから第１接着剤ＡＤ１をかき出して基材シートＢＳの一方の面に転写する転写ローラ３２と、転写ローラ３２に対向配置されたプラテンローラ３３とを備えている。

【0018】

第２接着剤層積層手段４は、第１接着剤層積層手段３と同様の構成であり、第１接着剤層積層手段３における付番の先頭３の記号を４に置き換えることで説明ができるので、その説明を省略する。

【0019】

硬化手段５は、接着剤ＡＤ層の硬化特性に応じて、例えば、熱風、紫外線、赤外線、マイクロ波、冷風、自然風等の定着化エネルギーを発するものが採用されている。

【0020】

剥離シート繰出手段６は、駆動機器としての回動モータ６１により回転可能に設けられ、剥離シートＲＬを支持する支持ローラ６２と、剥離シートＲＬを基材シートＢＳの繰出方向に案内するガイドローラ６３と、ガイドローラ６３に対向配置されたピンチローラ６４とを備えている。

【0021】

切断手段７は、駆動機器としての回動モータ７１により回転可能に設けられ、外周に閉ループ状の切断刃７２を有するカッターローラ７３と、カッターローラ７３に対向配置されたプラテンローラ７４とを備えている。なお、切断手段７は、レーザカッタ等の他の切断手段を採用してもよい。

【0022】

回収手段８は、駆動機器としての回動モータ８１によって回転可能に設けられ、原反ＲＳを回収する回収ローラ８２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ８３とを備えている。

【0023】

以上のシート製造装置１において、接着シートＡＳを製造する手順を説明する。
先ず、基材シートＢＳおよび剥離シートＲＬを図２に示すようにセットする。 次に、基材シート繰出手段２、第１および第２接着剤層積層手段３、４、剥離シート繰出手段６、切断手段７、および回収手段８が各回動モータ２１、３１、４１、６１、７１、８１を同期させて駆動し、基材シートＢＳおよび剥離シートＲＬを繰り出す。次いで、第１接着剤層積層手段３が、基材シートＢＳの一方の面における短寸幅方向の一方側の領域に、当該基材シートＢＳの繰出方向に沿って溶融状態の第１接着剤ＡＤ１を積層する。そして、第２接着剤層積層手段４が、基材シートＢＳの一方の面における短寸幅方向の他方側の領域に溶融状態の第２接着剤ＡＤ２を積層し、原接着シートＲＡＳを形成する。これにより、原接着シートＲＡＳの接着剤ＡＤ層に、基材シートＢＳの繰出方向に延びる直線状の境界ＣＬを形成することができる。

【0024】

そして、硬化手段５が接着剤ＡＤ層を硬化した後、剥離シート繰出手段６がガイドローラ６３とピンチローラ６４とで原接着シートＲＡＳおよび剥離シートＲＬを挟み込み、剥離シートＲＬに原接着シートＲＡＳを仮着する。その後、切断手段７が基材シートＢＳ側から閉ループ状の切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成し、切込ＣＵが形成された原反ＲＳは、回収ローラ８２で巻き取られる。なお、切断手段７は、図示しない検知手段によって検知された境界ＣＬの位置に対し、当該境界ＣＬ上に中心を置く円形の切込ＣＵを形成するようになっている。なお、切断手段７を設けることなく、回収ローラ８２で巻き取った原接着シートＲＡＳを直線ＷＬ上に境界ＣＬが重なるようにウエハＷＦに貼付した後、当該原接着シートＲＡＳをウエハＷＦの形状に合わせて切断してもよい。

【0025】

以上のような実施形態によれば、第１接着剤ＡＤ１層と第１接着剤ＡＤ１層に対して超音波反射特性の異なる第２接着剤ＡＤ２層との境界ＣＬが設けられているため、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦの方位を他の装置に認識させることができる。

【0026】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0027】

例えば、接着剤ＡＤ層は、図３（Ａ）または図３（Ｂ）に示すように、第１接着剤ＡＤ１層および第２接着剤ＡＤ２層を所定の方向に複数隣接させた構成としてもよいし、第１接着剤ＡＤ１層および第２接着剤ＡＤ２層以外の層を隣接させてもよい。
また、接着剤ＡＤ層を構成する材料としては、第１接着剤ＡＤ１層と第２接着剤ＡＤ２層との超音波反射特性が異なるものであれば、特に限定されることはなく、感圧接着性や感熱接着性の材料で形成してもよい。
さらに、第１接着剤ＡＤ１層および第２接着剤ＡＤ２層は、同じ接着剤で異なる厚さに形成してもよい。この場合、第１接着剤ＡＤ１層を透過してウエハＷＦとの境界面で反射した反射波と、第２接着剤ＡＤ２層を透過してウエハＷＦとの境界面で反射した反射波との検出時間差を認識することでも境界ＣＬの位置を特定することができ、ウエハＷＦの方位を認識することができる。

【0028】

また、第１接着剤ＡＤ１層および第２接着剤ＡＤ２層は、インクジェットプリンタ、凸版印刷、凹版印刷、スクリーン印刷等の印刷装置により印刷されてもよい。このように、印刷法を用いることで、第１接着剤ＡＤ１層および第２接着剤ＡＤ２層を容易に、しかも任意の形状に形成することができる。
さらに、例えば、矢印、Ｖ字、次第に狭幅する直線等の方位を示す狭幅部を有する平面形状、点、真円や楕円等の円、十字、多角形、文字、数字、図等の任意の平面形状の第１接着剤ＡＤ１を囲うように第２接着剤ＡＤ２を積層することで、境界を形成してもよい。

【0029】

また、所定の法則性をもって接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付するには、上記実施形態以外に、例えば、境界ＣＬを直線ＷＬに対し、ウエハＷＦの中心ＷＣを中心として時計回転方向または反時計回転方向に、例えば１０度、３０度、４５度、９０度といった所定角度変移させてもよく、要は、他の装置にそのような所定の法則性を予め記憶させ、当該他の装置に境界ＣＬを介してウエハＷＦの方位を認識させることができればよい。

【0030】

また、接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。接着シートＡＳは、例えば、基材シートＢＳと接着剤ＡＤ層との間に中間層を有するもの、基材シートＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、接着剤ＡＤ層だけの単層のもの、このような接着剤ＡＤ層から基材シートＢＳを剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
また、基準部は、ウエハＷＦの場合、オリエンテーションフラット等の方位マーク、ウエハＷＦに刻印された製造番号、回路パターン、カーフ、またはストリート等としてもよいし、ウエハＷＦ以外の場合でも、所定の法則性をもって被着体の位置を特定できる目印となるものであれば何ら限定されるものではない。

【0031】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、接着剤層は、第１接着剤層および当該第１接着剤層に対して超音波反射特性の異なる第２接着剤層が同一面内で隣接した状態で積層されることで、所定の法則性をもって被着体に貼付されたときに、当該被着体の方位を特定することができる境界を有するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0032】

ＡＤ 接着剤
ＡＤ１ 第１接着剤
ＡＤ２ 第２接着剤
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＬ 境界
ＣＵ 切込
ＷＦ ウエハ（被着体）

【図1】

【図2】

【図3】