特許 6131113 冷陰極電離真空計及び内壁保護部材

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6131113

(24)【登録日】2017年4月21日

(45)【発行日】2017年5月17日

(54)【発明の名称】冷陰極電離真空計及び内壁保護部材

(51)【国際特許分類】

   G01L 21/34 20060101AFI20170508BHJP

【ＦＩ】

   G01L21/34

【請求項の数】8

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2013-124495(P2013-124495)

(22)【出願日】2013年6月13日

(65)【公開番号】特開2015-1391(P2015-1391A)

(43)【公開日】2015年1月5日

【審査請求日】2016年3月11日

(73)【特許権者】

【識別番号】000227294

【氏名又は名称】キヤノンアネルバ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100094112

【弁理士】

【氏名又は名称】岡部 讓

(74)【代理人】

【識別番号】100106183

【弁理士】

【氏名又は名称】吉澤 弘司

(74)【代理人】

【識別番号】100128657

【弁理士】

【氏名又は名称】三山 勝巳

(74)【代理人】

【識別番号】100170601

【弁理士】

【氏名又は名称】川崎 孝

(72)【発明者】

【氏名】江野本 至

(72)【発明者】

【氏名】間野 日出男

【審査官】 濱本 禎広

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−３０４３６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−２８１７７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−２２９４７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１２／０１６９３４７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 実開昭４８−０８６８８４（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｌ ２１／３０−２１／３６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

放電空間を形成すべく一方の電極を円筒状の他方の電極が囲むように配置された２つの電極と、
前記放電空間に配置され、前記他方の電極の周方向の内壁面を保護する電極保護部材と、を備え、
前記電極保護部材は、導電性を有する板状の弾性部材を前記内壁面の前記周方向の形状に沿って円筒形状に弾性変形させた保護部を有し、
前記保護部による付勢力が前記内壁面に印加されることによって、前記保護部は前記他方の電極に係止されていることを特徴とする冷陰極電離真空計。

【請求項2】

前記電極保護部材は、前記保護部に接続され、前記保護部が前記他方の電極を覆っている状態で前記一方の電極に向かって張り出したトリガ電極部を有することを特徴とする請求項１に記載の冷陰極電離真空計。

【請求項3】

前記トリガ電極部は、複数設けられることを特徴とする請求項２に記載の冷陰極電離真空計。

【請求項4】

前記電極保護部材は、
前記電極保護部材が前記他方の電極を覆っている状態で、前記内壁面に接触する凸部を有していることを特徴とする請求項１に記載の冷陰極電離真空計。

【請求項5】

一方の電極を円筒状の他方の電極が囲むように配置された２つの電極の間の放電空間に配置され、前記他方の電極の周方向の内壁面を保護する電極保護部材であって、
前記電極保護部材は、導電性を有する板状の弾性部材である保護部を有し、
前記保護部は、前記放電空間に配置された際に、前記内壁面の前記周方向の形状に沿って円筒形状に弾性変形し、前記保護部による付勢力が前記内壁面に印加されることによって、前記保護部は前記他方の電極に係止されていることを特徴とする電極保護部材。

【請求項6】

前記電極保護部材は、前記保護部に接続され、前記保護部が前記他方の電極を覆っている状態で前記一方の電極に向かって張り出したトリガ電極部を有していることを特徴とする請求項５に記載の電極保護部材。

【請求項7】

前記トリガ電極部は、複数設けられることを特徴とする請求項６に記載の電極保護部材。

【請求項8】

前記電極保護部材は、
前記電極保護部材が前記他方の電極を覆っている状態で、前記内壁面に接触する凸部を有していることを特徴とする請求項５に記載の電極保護部材。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、冷陰極電離真空計及び冷陰極電離真空計の陰極の内壁を保護する内壁保護部材に関する。

【背景技術】

【0002】

冷陰極電離真空計は、陽極と陰極の間での自己放電により、気体の電離を誘発して真空処理装置を構成する真空容器内の気圧を測定するものである。従来、冷陰極型電離真空計としては、ペニング型のもの、マグネトロン型のもの、逆マグネトロン型のものが知られている（特許文献１参照）。特に、マグネトロン型、逆マグネトロン型は、電子のトラップ効率が高く、高真空領域においても安定した持続放電が可能な構造であるため高真空域の測定にも適している。

【0003】

ところで、冷陰極電離真空計は使用に伴う自己スパッタリング効果によって、測定子容器の内壁に容器材料を主成分とした絶縁性の膜が生成することが知られている。該内壁に絶縁性の膜が生じると放電が阻害され、圧力測定精度が低下するおそれがあるため、定期的なメンテナンスが必要である。

【0004】

そこで、特許文献２に記載された冷陰極電離真空計は、測定子容器の内側を覆うように組みつけられた筒状のスペーサによってカソード（測定子容器）内壁への絶縁性の膜の付着を防いでいる。また、放電特性を改善する点火補助具を、円筒状のスペーサと金属ブロックによって挟み込んで支持する構造によってメンテナンス性の向上が図られている。上記筒状のスペーサは、ステンレス鋼等の金属材料である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開平１０−１９７１１号公報

【特許文献2】特開２００８−３０４３６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上述のように、特許文献２に開示された技術においては、放電空間で発生するプラズマによるスパッタ作用や該スパッタによる付着物の生成から測定子容器の内壁を保護するために、筒状のスペーサを設けている。すなわち、中空部を有する、カソードとしての測定子容器の内壁を覆うようにスペーサが設けられており、アノードとしての軸電極がスペーサの中空部に挿入されている。よって、該筒状のスペーサの中空部が放電空間となる。しかしながら、該スペーサは、高い剛性が求められており、その厚みが厚くなっている。従って、厚いスペーサの分だけ放電空間が小さくなる。よって、スペーサが無い形態における放電空間を確保するためには、厚いスペーサを考慮して測定子容器の径を大きくしなければならず、装置の大型化に繋がってしまう。すなわち、所定の放電空間を得るためには、厚いスペーサの分だけ測定子容器を大きくする必要がある。

【0007】

また、筒状のスペーサの径が設計値よりも小さい場合、スペーサがガタついてしまうことがある。このようなガタつきの原因となる、スペーサと測定子容器の内壁との間に形成された隙間を埋めるようにＯ−リングなどを用いて、スペーサのアライメントを行なわなければならない。

【0008】

本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、所定の放電空間を形成するにあたり装置の大型化を低減し、測定子容器の内壁への付着を低減するための部材のガタつきの低減を簡便に実現することが可能な冷陰極電離真空計及び内壁保護部材を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様によれば、放電空間を形成すべく一方の電極を円筒状の他方の電極が囲むように配置された２つの電極と、前記放電空間に配置され、前記他方の電極の周方向の内壁面を保護する電極保護部材と、を備え、前記電極保護部材は、導電性を有する板状の弾性部材を前記内壁面の前記周方向の形状に沿って円筒形状に弾性変形させた保護部を有し、前記保護部による付勢力が前記内壁面に印加されることによって、前記保護部は前記他方の電極に係止されていることを特徴とする冷陰極電離真空計が提供される。

【0010】

本発明の他の態様によれば、一方の電極を円筒状の他方の電極が囲むように配置された２つの電極の間の放電空間に配置され、前記他方の電極の周方向の内壁面を保護する電極保護部材であって、前記電極保護部材は、導電性を有する板状の弾性部材である保護部を有し、前記保護部は、前記放電空間に配置された際に、前記内壁面の前記周方向の形状に沿って円筒形状に弾性変形し、前記保護部による付勢力が前記内壁面に印加されることによって、前記保護部は前記他方の電極に係止されていることを特徴とする電極保護部材が提供される。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、所定の放電空間を形成するにあたり装置の大型化を低減し、測定子容器の内壁への付着を低減するための部材のガタつきの低減を簡便に実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の一実施形態に係る冷陰極電離真空計を備えた真空処理装置を示す概略図である。

【図2】本発明の一実施形態に係る冷陰極電離真空計を示す横断面図である。

【図3】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面模式図である。

【図4】（ａ）、（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る内壁保護部材の説明図である。

【図5】（ａ）、（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る内壁保護部材を測定子容器に取り付ける手順を示す説明図である。

【図6】（ａ）、（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る内壁保護部材の構成例を示す図である。

【図7】本発明の一実施形態に係る冷陰極電離真空計を示す横断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。以下に説明する部材、配置等は本発明を具体化した一例であって、本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨に沿って各種改変できることは勿論である。

【0014】

（第1の実施形態）
図１乃至図６は本発明の第１の実施形態に係る真空処理装置及びそれに取り付けられた冷陰極電離真空計を説明する図である。即ち、図１は本発明の第１の実施形態に係る冷陰極電離真空計を備えた真空処理装置の断面概略図、図２は本発明に係る冷陰極電離真空計の横断面模式図である。また、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線から見た断面図（矢視図）、図４（ａ）、（ｂ）は内壁保護部材の概略図、図５（ａ）、（ｂ）は内壁保護部材を測定子容器に取り付ける手順を示す説明図、図６は内壁保護部材の他の構成例を示す図である。

【0015】

図１に示すように真空処理装置Ｓが備える真空容器１０１の壁面に、本実施形態に係る冷陰極電離真空計１００が取り付けられている。即ち、冷陰極電離真空計１００は、真空容器１０１の壁面の開口部分に気密を保持した状態で取り付けられている。なお、図中の符号１は冷陰極電離真空計１００が備える測定子容器（陰極）、符号８は接続フランジ、符号１３は真空計動作回路を示す。

【0016】

本願明細書では、真空処理装置Ｓの例としてスパッタリング装置を説明するが、本発明はこの限りではない。例えば、ＰＶＤ装置やＣＶＤ装置などの成膜装置、若しくはアッシング装置やドライエッチング装置などにも本発明の冷陰極電離真空計は好適に適用できる。

【0017】

図２は本実施形態に係る冷陰極電離真空計の横断面模式図、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視断面図である。なお、図２，図３では図１と同一部分には同一符号を付している。本実施形態に係る冷陰極電離真空計１００は、逆マグネトロン型真空計であり、陰極（カソード）である測定子容器１と、棒状の陽極２（アノード）と、陰極である測定子容器１の外周に配置された磁場を作る磁性手段としての磁石３と、を構成要素として有している。

【0018】

測定子容器１（陰極）は略円筒状若しくは略管状の金属部材であり、測定子容器（陰極）１の中空部の内壁面７に囲まれた空間に放電空間９が形成されている。測定子容器１は放電空間９側の一端部が開口され、その逆側の一端部が絶縁部材６によって封止されている。開口された放電空間９側の一端部には接続フランジ８とフィルター８ａが設けられている。フィルター８ａはステンレスメッシュなどで形成され、絶縁部材６はアルミナセラミックなどの絶縁石から構成されている。絶縁部材６には電流導入棒４が気密を保った状態で貫通して固定されている。また、フィルター８ａに隣接する位置には磁場を調整するポールピース１４が配置されている。

【0019】

測定子容器（陰極）１の接続フランジ８を真空容器の開口部分に取り付けることにより、フィルター８ａを介して真空容器１０１内の空間と測定子容器（陰極）１内の放電空間９とが通気可能な状態になり、真空容器１０１の内部空間の圧力を測定することができる。磁石３は測定子容器（陰極）１の外周側を取り囲むようにリング状に取り付けられている。磁石３としてはフェライト磁石などの永久磁石が好適に用いられる。

【0020】

陽極２は棒状のアノード電極であり、測定子容器（陰極）１内部に形成された放電空間９内に配設され、一端部側が電流導入棒４に接続されている。電流導入棒４は、測定子容器（陰極）１の外側で真空計動作回路１３に接続されている。真空計動作回路１３には、電圧を印加する電源１１と、真空計動作回路１３に流れる放電電流を測定する放電電流検出部１２が設けられている。また、測定子容器１の内側には内壁に沿って、上記内壁面７を保護する電極保護部材としての内壁保護部材５が設けられている。

【0021】

図４（ａ）、（ｂ）は、内壁保護部材５の拡大図であり、図４（ａ）は、内壁保護部材５の、測定子容器（陰極）１に取り付ける前（例えば、保存される状態）の斜視図であり、図４（ｂ）は、内壁保護部材５の測定子容器（陰極）１に取り付けた後の斜視図であって、内壁保護部材５以外の部材を省略した図である。内壁保護部材５は、導電性を有し、測定子容器（陰極）１の内壁面７の形状に沿って弾性変形が可能である部材である。例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼、ニッケル合金、高融点材料などの耐食性の高い金属薄板を内壁保護部材５として用いることができる。図４（ａ）に示されるように、内壁保護部材５は、板状の保護部５ａと、該保護部５ａの一方端５ｃにおいて、保護部５ａの面内の法線方向に延在するトリガ電極部５ｂとを有している。

【0022】

内壁保護部材５は、ばね性（弾性）を有する板状材料であるため、図４（ｂ）に示すように測定子容器１の内壁面７の形状に合わせて変形させてから測定子容器１の内部に挿入される。すなわち、保護部５ａの一方端５ｃと保護部５ａの他方端５ｄとが接触するように保護部５ａを変形させて、トリガ電極部５ｂが内側になるような円筒形状を形成し、この状態で測定子容器（陰極）１の中空部に挿入すると、内壁保護部材５は、ばね性による復元力によって保護部５ａが広がろうとする力（付勢力）によって測定子容器１の内側（内壁面７）に係止される。すなわち、内壁保護部材５は、測定子容器（陰極）１により囲まれた放電空間９に面する測定子容器（陰極）１の壁面（内壁面７）を覆い、上記付勢力によって、内壁面７の周方向に沿って弾性変形した状態で測定子容器（陰極）１に係止される。よって、上記付勢力によって内壁保護部材５は内壁面７に当接することになり、該内壁保護部材５は測定子容器（陰極）１と電気的に接続される。その結果、図３に示すように、測定子容器１の内壁面７は、内壁保護部材５により覆われることになり、自己スパッタリング効果により内壁面７への絶縁物の付着を防止、ないしは低減することができる。また、この係止状態においては、内壁保護部材５による付勢力が自発的に常に内壁面７に印加されているので、内壁保護部材５と内壁面７との間を隙間無く密着させること、ないしは該隙間を低減することができる。内壁保護部材５の表面にカーボンナノチューブや合成ダイヤモンドなどを成膜することで、放電開始を補助するトリガ機能を増加できる。

【0023】

（内壁保護部材の詳細な説明）
内壁保護部材５は、測定子容器１の内壁面７を覆うように配置される保護部５ａと、保護部５ａの端部に設けられた突起状部材であるトリガ電極部５ｂとを有している。測定子容器（陰極）１と陽極２との間で起こった放電によりプラズマが生成されるのだが、トリガ電極部５ｂは、上記放電を開始し易くするための部材である。上記トリガ電極部５ｂは、内壁保護部材５が内壁面７に係止された状態（内壁面７を覆っている状態）で陽極２に向かって張り出すように、保護部５ａに接続されている。また、保護部５ａとトリガ電極部５ｂとは、同一の部材（一体もの）であっても良いし、別個の部材であっても良い。同一の部材である場合は、例えば、板状のＳＵＳ３０４の縁部を折り曲げることにより、トリガ電極部５ｂを形成しても良い。保護部５ａとトリガ電極部５ｂとを別個の部材とする場合は、導電性を有し、測定子容器（陰極）１の内壁面７の形状に沿って弾性変形される保護部５ａの面内の一領域（例えば、少なくとも１端部、対向する端部の間のいずれかの領域など）に、導電性を有するトリガ電極部５ｂを設ければ良い。
なお、内壁面７を保護するだけであれば、上記トリガ電極部５ｂを設けなくても良いことは言うまでもない。

【0024】

本実施形態では、保護部５ａは矩形状の板状部材であり、導電性の高い高融点材料である。保護部５ａの厚さは０．１ｍｍ程度であるが、作業者によって容易に変形できる程度の強度であればよい。すなわち、保護部５ａには、導電性を有し、かつ弾性変形することが求められている。保護部５ａは矩形状の平板であるが、真空容器１０１内壁と内壁保護部材５との間の領域からの排気速度を早めるために、保護部５ａに開口を設けても良い。

【0025】

トリガ電極部５ｂは、測定子容器（陰極）１への係止時に陽極２に向かって張り出している。トリガ電極部５ｂの陽極２に対向する先端が尖っている方が低い電圧で電子を引き出す効果が高い。同様に、トリガ電極部５ｂの陽極２に対向する部分の厚さは１００μｍ程度が好ましく、特に、トリガ電極部５ｂの陽極２に対向する先端部分はさらに薄く形成されるのが望ましい。厚さが薄い方が、低い電圧で電子を引き出す効果が高いためである。また、トリガ電極部５ｂの個数は１つに限らず、複数設けられていても良い。この場合は、例えば、図４（ａ）において、保護部５ａ上において、保護部５ａの一方端５ｃに設けられたトリガ電極部５ｂとは別の位置に、他のトリガ電極部５ｂを設ければ良い。

【0026】

本実施形態では、内壁保護部材５のトリガ電極部５ｂは、保護部５ａの一方の端部が直角（保護部５ａの面内の法線方向）に折り曲げられた部分であり、測定子容器（陰極）１に取り付けられた状態で、保護部５ａから放電空間９の中心に向かって延びるように設けられている。そのため、放電空間９の中心に近い領域で放電させることができ、より確実な放電の開始を行うことができる。なお、トリガ電極部５ｂの延在方向は、上記法線方向に限らない。本実施形態では、測定子容器（陰極）１よりも放電空間９の中心側で放電トリガを形成できれば良く、保護部５ａの面内方向から所定の角度をなす方向にトリガ電極部５が延在していれば、測定子容器（陰極）１よりもその内側（陽極２側）にて放電を開始することができる。よって、これが実現できる方向である保護部９ａの面内方向から所定の角度をなす方向であれば、トリガ電極部５ｂの延在方向として採用することができる。すなわち、測定子容器（陰極）１に取り付けられた際に、該測定子容器（陰極）１の中空部の内側に延在するようにトリガ電極部５ｂが延在すれば良いのである。また、トリガ電極部５ｂを幅の狭い板状とすることで、放電空間９内の電界不均一を最小限に抑えることができ、トリガ電極部５ｂを設置したことによる放電特性の影響を最小限に抑えることができる。

【0027】

上述のトリガ電極部５ｂは陽極２に対向する先端が直線状に形成されているが、先端に突起を形成しても良い。例えば、内壁保護部材５が測定子容器（陰極）１に取り付けられたときに、１つ若しくは複数の突起が陽極２の軸方向（長手方向）に並ぶ構成でもよい。ただし、長期間の使用によって真空計測定子内部へのスパッタ膜や生成物が付着した場合であっても、放電の誘発を短時間で行うためには複数の突起がトリガ電極部５ｂに形成される方が望ましい。

【0028】

（内壁保護部材の取り付け・取り外し手順）
図５（ａ）、（ｂ）は内壁保護部材５を測定子容器１に取り付ける手順を示す説明図である。図５（ａ）に示すように、陽極２が測定子容器（陰極）１の中空部に挿入され、磁石３が放電空間９となる空間を取り囲むように設けられた構成を用意する。次いで、図４（ａ）の状態で保存されている内壁保護部材５を、図４（ｂ）のように変形させて、フランジ側のポールピース１４が取り外された測定子容器１内に挿入することで、内壁保護部材５は測定子容器１に取り付けられる。次いで、ポールピース１４およびＣリング１５を設けることにより、図５（ｂ）に示すように冷陰極電離真空計１００が形成される。なお、内壁保護部材５の長手方向の長さＬ１と、測定子容器１の中空部における放電空間９の長手方向の長さＬ２とを同じ長さに設定すれば、内壁保護部材５の位置出しを容易に行うことができる。

【0029】

上述のように、本実施形態では、自己スパッタリング効果により生じた粒子が内壁面７に付着することを低減するために、導電性を有し、内壁面７の形状に沿って弾性変形することで測定子容器（陰極）１に電気的に接続された内壁保護部材５を用いている。すなわち、本実施形態では、内壁面７を保護する部材に対して剛性は要求されておらず、むしろその逆で弾性変形することが求められている。従って、内壁保護部材５の厚みを厚くする必要がなく、その厚みを薄くすることができる。従って、所定サイズの放電空間を形成するにあたり、実質的に放電空間９を区画する内壁保護部材５の厚さを薄くできるので、測定容器（陰極）１の大型化を低減することができ、装置の大型化を低減することができる。

【0030】

また、内壁保護部材５を図４（ａ）の状態から図４（ｂ）の状態に変形させて測定子容器（陰極）１の中空部に挿入した際に、内壁保護部材５と内壁面７との間に空間（隙間）が形成されていても、保護部５ａの弾性変形による付勢力により内壁保護部材５が外側に広がることで、上記空間が潰されることになる。その結果、内壁保護部材５と内壁面７とが接する領域が形成され、該接する領域においては、内壁保護部材５は、上記付勢力を内壁面７に対して印加することになる。円筒状に弾性変形された内壁保護部材５は円筒の中心から径方向に向かって広がろうとするので、上記力は、内壁面７にとっては、測定子容器１の中空部の円周方向の全域に亘って印加されることになる。該力によって、内壁保護部材５は測定子容器（陰極）１に保持されることになる。すなわち、本実施形態では、弾性変形による付勢力は、内壁保護部材５を内壁面７に保持するための保持力としても機能する。このように、本実施形態では、内壁保護部材５が内壁面７に対して自立的に接触し、かつ内壁保護部材５が内壁面７に対して保持力としての付勢力を印加しているので、内壁保護部材５を内壁面７に対して安定して係止させることができる。すなわち、ガタつきを抑えるための部材を設けなくても、内壁保護部材５の測定子容器（陰極）１への装着時のガタつきを低減することができる。

【0031】

また、本実施形態では、図４（ｂ）のように変形させた内壁保護部材５を、測定子容器（陰極）１内の放電空間９に相当する領域に挿入するだけで、内壁保護部材５が弾性変形により広がることで自立してアライメントをしてくれる。よって、製造誤差などにより、内壁保護部材５の長手方向の長さＬ１にバラツキがあっても、上記ガタつきを抑えた状態で内壁保護部材５を内壁面７に対して良好に係止させることができる。

【0032】

さて、特許文献２に記載された冷陰極電離真空計は、円筒状のスペーサや金属ブロックと、測定子容器の内側との間に隙間ができると、該隙間からのガスによって測定精度が低下することから、構成部品に高い寸法精度が要求される。そのため、コスト低減が困難であるという問題がある。

【0033】

これに対して本実施形態では、図４（ｂ）に示すような測定子容器（陰極）１への係止時の内壁保護部材５は常に広がろうとしており、内壁保護部材５と内壁面７との間の隙間を小さくするように内壁保護部材５は機能している。よって、内壁保護部材５を内壁面７に対して密着させることができ、測定精度の低下の原因となるガス溜まりの形成を低減することができる。また、上述のように、内壁保護部材５は、上記広がりの結果、安定した位置で自らその広がりを止める。よって、内壁保護部材５の寸法精度が高くなくても、自身の寸法（長さＬ１）に応じて自ら最適な位置に位置決めする。よって、内壁保護部材５の寸法精度が高くなくても、良好に内壁保護部材５を係止させることができるので、コストを低減することができる。

【0034】

（第２の実施形態）
図６（ａ）、（ｂ）は、内壁保護部材の他の構成例であり、図４（ａ）、（ｂ）に図示された内壁保護部材に替えてこの内壁保護部材を用いることができる。図６（ａ）は、測定子容器（陰極）１に取り付ける前の状態（例えば、保存される状態）の内壁保護部材６０の斜視図である。図６（ｂ）は、内壁保護部材６０の測定子容器（陰極）１に取り付けた後の斜視図であって、内壁保護部材６０以外の部材を省略した図である。この内壁保護部材６０は、導電性を有し、かつ弾性変形可能な矩形状の薄い板部材を複数個所で折り曲げて構成したものである。

【0035】

内壁保護部材６０の折り曲げられた部分のうち、図６（ｂ）に示すように変形させた際に陽極２に接近する部分６１がトリガ電極部として作用する。また、図６（ｂ）において、上記折り曲げられた部分のうち外側に向いている部分６２は、測定子容器（陰極）１に当接する。すなわち、部分６２は、内壁保護部材６０が測定子容器（陰極）１に係止された状態で、内壁面７に接触する凸部である。本実施形態では、該凸部としての部分６２を有しているので、内壁保護部材６０と内壁面７との間に隙間が形成されるため、内壁面７と内壁保護部材６０との間の領域を素早く真空排気できる。なお、本実施形態に部分６２は、鋭角に折り曲げられた凸部であるが、凸部の先端を扁平もしくは湾曲形状にしても良い。

【0036】

（第３の実施形態）
図７は本発明の第３の実施形態に係る冷陰極電離真空計２００の断面概略図である。上述した第１の実施形態と同様の構成や部材には同じ符号を付してその詳細な説明を省略する。本実施形態に係る冷陰極電離真空計２００は、絶縁部材７で固定されたピラニゲージフィラメント３１を内蔵した、いわゆる複合型真空計であり、低真空から中真空領域ではピラニ真空計として計測し、中真空から高真空領域を冷陰極電離真空計として計測することで、低真空から高真空まで測定することができるように構成されている。

【0037】

本実施形態に係る冷陰極電離真空計には内壁保護部材５が取り付けられているが、第２の実施形態に係る内壁保護部材６０等、本発明に係る内部保護部材を取り付けられることはもちろんである。このように、内壁保護部材５などを複合型真空計に搭載した場合でも、上述した第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0038】

なお、測定子容器（陰極）１には、ピラニゲージフィラメント３１と放電空間９とを連通する通気穴３３が設けられている。本実施形態では、トリガ電極部５ｂが該通気穴３３を塞がないように、内壁保護部材５を装着することが望ましい。

【0039】

（その他の実施形態）
上記実施形態では、棒状電極２を陽極とし、それを囲む測定子容器１を陰極としているが、棒状電極２を陰極とし、測定子容器１を陽極としても良い。すなわち、本発明では、放電空間を形成すべく一方の電極を他方の電極が囲むように配置された２つの電極を用いれば良いのである。

【符号の説明】

【0040】

Ｓ 真空処理装置
１ 測定子容器（陰極）
２ 陽極
３ 磁石
４ 電流導入棒
５ 内壁保護部材
５ａ 保護部
５ｂ トリガ電極部
６ 縁部材
７ 内壁面
９ 放電空間
１１ 電源
１２ 放電電流検出部
１３ 真空計動作回路
１００、２００ 冷陰極電離真空計

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】