特許 6132036 パージ装置及びパージ方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6132036

(24)【登録日】2017年4月28日

(45)【発行日】2017年5月24日

(54)【発明の名称】パージ装置及びパージ方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20170515BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

【請求項の数】3

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2015-561180(P2015-561180)

(86)(22)【出願日】2014年12月17日

(86)【国際出願番号】JP2014083436

(87)【国際公開番号】WO2015118782

(87)【国際公開日】20150813

【審査請求日】2016年7月26日

(31)【優先権主張番号】特願2014-22508(P2014-22508)

(32)【優先日】2014年2月7日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(74)【代理人】

【識別番号】100180851

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼口 誠

(72)【発明者】

【氏名】村田 正直

(72)【発明者】

【氏名】山路 孝

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−１８２７４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１４７４５１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置であって、
前記格納容器の排出口に接続されることにより前記格納容器内部のパージガスを排出する排出管と、
前記パージ処理を実施する際に前記排出管を流れる前記パージガスの流量である排気流量を測定する測定部と、
前記測定部によって測定された前記排気流量に基づいて前記パージ処理の良否を判定する判定部と、
前記格納容器に前記パージガスを供給する流量が所定流量よりも多くなると、前記格納容器の前記排出口以外の部分から前記パージガスが漏れ出す前記格納容器において、前記所定流量までの流量を第１流量とし、前記第１流量よりも多い流量を第２流量としたとき、前記第１流量で前記格納容器に前記パージガスを供給することにより前記パージ処理を実施させる第１モードと、前記第２流量で前記格納容器に前記パージガスを供給することにより前記パージ処理を実施させる第２モードとを切り替える流量制御部と、を備え、
前記測定部は、前記第１モードにおいて前記排気流量を測定し、
前記判定部は、前記第１モードにおいて測定された前記排気流量に基づいて前記パージ処理の良否を判定する、パージ装置。

【請求項2】

前記流量制御部は、前記第２モードで前記パージ処理を開始させ、その後、前記パージ処理の良否を判定するために前記第１モードに切り換えて前記パージ処理を実施し、その後再び前記第２モードで前記パージ処理を実施する、請求項１に記載のパージ装置。

【請求項3】

被格納物が格納された格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージ方法であって、
前記格納容器に前記パージガスを供給する流量が所定流量よりも多くなると、前記格納容器の前記排出口以外の部分からパージガスが漏れ出す前記格納容器において、前記所定流量までの流量を第１流量、前記第１流量よりも多い流量を第２流量としたとき、前記格納容器の排出口に前記格納容器内部のパージガスを排出可能な排出管を接続し、前記第１流量で前記格納容器に前記パージガスを供給することにより前記パージ処理を実施する際に前記排出管を流れる前記パージガスの流量である排気流量を測定し、測定された前記排気流量に基づいて前記パージ処理の良否を判定する、パージ方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被格納物が格納される格納容器の内部を不活性気体又は清浄乾燥空気などのパージガスによってパージ処理するパージ装置及びパージ方法に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、半導体ウェハ又はガラス基板などの被格納物が格納される格納容器の内部にパージガスを導入（いわゆるパージ処理）することによって清浄度を保つパージ装置が知られている。このようなパージ装置では、格納容器に供給するパージガスの流量を制御することがある。しかしながら、パージ装置内の制御回路が故障したり、パージガスの供給流路の不具合が発生したりすることにより、実際には所望流量のパージガスが格納容器内に供給されずに、良好にパージ処理されないおそれがある。このため、所望流量のパージガスが格納容器内に供給されているか否か（良好なパージ処理なされているか否か）を判定したいという要望がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第４６７０８０８号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１（特許第４６７０８０８号）には、格納容器の内部に供給されるパージガスの流量を測定するための技術が開示されている。特許文献１に記載の測定用コンテナでは、パージ装置に専用の流量測定ユニットを載置することにより、パージ装置から供給されるパージガスの流量が測定できるので、良好なパージ処理が行われるか否かを判定できる。しかしながら、実際にパージ処理の対象となる格納容器にパージガスを供給する工程の中で、良好なパージ処理が行われているか否かを判定したい場合がある。

【0005】

そこで、本発明の目的は、実際にパージ処理の対象となる格納容器にパージガスを供給する工程の中で、良好なパージが行われているか否かを判定することができるパージ装置及びパージ方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面に係るパージ装置は、被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置であって、格納容器の排出口に接続されることにより格納容器内部のパージガスを排出する排出管と、パージ処理を実施する際に排出管を流れるパージガスの流量である排気流量を測定する測定部と、測定部によって測定された排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定する判定部と、を備えている。

【0007】

このようなパージ装置によれば、パージ装置に載置される測定ユニット側ではなく、パージ装置側に、排出管を流れるパージガスの流量を測定する測定部が設けられている。このため、実際にパージ処理の対象となる格納容器をパージ装置に載置した状態で、格納容器にパージガスを供給したときの排気流量を測定し、この測定した排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定できる。これにより、実際に格納容器にパージガスを供給する工程の中で、良好なパージ処理が行われているか否かを判定することができる。

【0008】

本願発明者らは、鋭意検討の結果、排気効率には、格納容器の気密性が大きく影響することを見出した。すなわち、格納容器に供給されるパージガスの流量が所定流量よりも多くなると（格納容器の内圧が所定圧力よりも大きくなると）、格納容器の排出口以外の部分（例えば、格納容器の蓋部と本体部との間）からパージガスが漏れ出し、排出管から排出される排気流量は飽和気味となることを見出した。言い換えれば、格納容器の排出口以外の部分からパージガスが漏れ出す上記所定流量までは、供給流量に略比例した排気流量が得られることを見出した。

【0009】

そこで、一実施形態では、第１流量で格納容器にパージガスを供給することによりパージ処理を実施させる第１モードと、第２流量で格納容器にパージガスを供給することによりパージ処理を実施させる第２モードとを切り替える流量制御部を更に備える構成としてもよい。この場合、測定部は、第１モードにおいて排気流量を測定し、判定部は、第１モードにおいて測定された排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定してもよい。ここで、格納容器にパージガスを供給する流量が所定流量よりも多くなると、格納容器の排出口以外の部分からパージガスが漏れ出す格納容器において、所定流量までの流量を第１流量とし、第１流量よりも多い流量を第２流量とする。

【0010】

このようなパージ装置によれば、排気流量が供給流量に比例する第１流量の供給流量と、第１流量にてパージ処理されている時の排気流量とに基づいてパージ処理が良好に行われているか否かを判定できる。このため、互いに比例関係にある供給流量及び排気流量に基づいてパージ処理が良好に行われているか否かを判定することができるので、正確な良否判定が可能となる。

【0011】

また、一実施形態において、流量制御部は、第２モードでパージ処理を開始した後に、第１モードに切り換え、測定部は、第１モードにおいて排気流量を測定し、判定部は、第１モードにおいて測定された排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定してもよい。

【0012】

このようなパージ装置によれば、最初に相対的に大きな流量のパージガスを格納容器に供給できるので、格納容器の内部を早期に清浄化することができる。これにより、被格納物が汚染される可能性を低減することができる。

【0013】

本発明の一側面に係るパージ方法は、被格納物が格納された格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージ方法であって、格納容器の排出口に格納容器内部のパージガスを排出可能な排出管を接続し、パージ処理を実施する際に排出管を流れるパージガスの流量である排気流量を測定し、測定された排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定する。

【0014】

このパージ方法によれば、実際に格納容器にパージガスを供給する工程の中で、良好なパージ処理が行われているか否かを判定することができる。

【0015】

また、一実施形態において、第１流量で格納容器にパージガスを供給することによりパージ処理を実施する際に排出管を流れるパージガスの流量である排気流量を測定し、測定された排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定してもよい。ここで、格納容器にパージガスを供給する流量が所定流量よりも多くなると、格納容器の排出口以外の部分からパージガスが漏れ出す格納容器において、所定流量までの流量を第１流量とし、第１流量よりも多い流量を第２流量とする。

【0016】

このパージ方法によれば、排気流量が供給流量に比例する第１流量の供給流量と、第１流量にてパージ処理されている時の排気流量とに基づいてパージ処理が良好に行われているか否かを判定できる。このため、互いに比例関係にある供給流量及び排気流量に基づいてパージ処理が良好に行われているか否かを判定することができるので、正確な良否判定が可能となる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、実際に格納容器にパージガスを供給する工程の中で、良好なパージ処理が行われているか否かを判定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、一実施形態に係るパージ装置を備えたパージストッカを示す正面図である。

【図2】図２は、図１のパージストッカをＩＩ−ＩＩ線から見た断面図である。

【図3】図３は、図１のパージ装置によりパージ処理される格納容器の構成を示した断面図及び斜視図である。

【図4】図４は、図１のパージ装置の構成を示した概略構成図である。

【図5】図５は、図４の流量制御部におけるモード切替を示したタイミングチャートである。

【図6】図６は、格納容器の排出口に排出管を接続した状態における供給流量と排気流量との関係を示したグラフである。

【図7】図７は、変形例に係る流量制御部におけるモード切替をそれぞれ示したタイミングチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、必ずしも一致していない。

【0020】

一実施形態に係るパージ装置３０について説明する。パージ装置３０は、半導体ウェハ又はガラス基板などの被格納物が格納されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）などの格納容器５０の内部をパージガスによってパージ処理する装置である。ここでいうパージガスの例には、例えば、不活性気体及び清浄乾燥空気などが含まれる。パージ装置３０は、被格納物が格納された格納容器５０を保管するパージストッカ１などに配置されている。図１及び図２に示すように、パージストッカ１は、例えば、クリーンルーム１００に設けられている。

【0021】

このようなクリーンルーム１００に設けられたパージストッカ１は、パーティション３、ＦＦＵ（Fan Filter Unit）５、ラック７、クレーン９、排気口１５Ａ、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）ポート２１及びマニュアルポート２３を備えている。

【0022】

パーティション３は、床面１００Ａの上方の領域を仕切る（画成する）部分であり、その内側には保管領域１Ａが形成されている。ＦＦＵ５は、パーティション３で区切られた空間の天井部分、すなわち、保管領域１Ａの上方に所定方向に沿って複数設けられている。ＦＦＵ５は、保管領域１Ａの外部から保管領域１Ａ内に清浄空気を吸気して、清浄空気を保管領域１Ａの下方に向けて吹き出す。排気口１５Ａは、保管領域１Ａの底部近傍に設けられており、保管領域１Ａ内から保管領域１Ａの外部にパージガスを含む気体を排出する部分である。パージガスを含む気体は、排気用ファン１５によって保管領域１Ａから排出される。

【0023】

ラック７は、格納容器５０を保管する部分であり、保管領域１Ａ内に、複数列（ここでは、２列）設けられている。各ラック７は、所定方向Ｘに延在しており、２列のラック７，７は互いに奥行方向Ｙに対向するように配置されている。各ラック７には、所定方向Ｘ及び鉛直方向Ｚに沿って、格納容器５０を載置して保管する保管棚７Ａが複数形成されている。

【0024】

クレーン９は、格納容器５０を保管棚７Ａに対して出し入れする部分であり、対向するラック７，７に挟まれた領域に配置されている。クレーン９は、ラック７の延在方向Ｘに沿って、床面に配置された走行レール（図示せず）を走行することにより、ラック７の延在方向Ｘに沿って移動することができる。クレーン９の荷台９Ａは、ガイドレール９Ｂに沿って昇降可能に設けられており、鉛直方向に設けられた複数の保管棚７Ａに対して、格納容器５０を出し入れすることができる。

【0025】

パージストッカ１への格納容器５０の出し入れは、ＯＨＴポート２１及びマニュアルポート２３から行われる。ＯＨＴポート２１は、天井１００Ｂに敷設された走行レール２５を走行する天井走行車（ＯＨＴ）２７とパージストッカ１との間で格納容器５０を受け渡しする部分であり、格納容器５０を搬送するコンベヤ２１Ａを有している。マニュアルポート２３は、作業者とパージストッカ１との間で格納容器５０を受け渡しする部分であり、格納容器５０を搬送するコンベヤ２３Ａを有している。

【0026】

ラック７の保管棚７Ａには、載置される格納容器５０の内部をパージガス（例えば、窒素ガス）でパージするパージ装置３０が設けられている。パージ装置３０は、保管棚７Ａに載置された格納容器５０内にパージガスを供給・排出するための装置である。

【0027】

ここで、格納容器５０について説明する。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、格納容器５０は、筐体となる、本体部５１及び蓋部５３を備えている。格納容器５０は、本体部５１と蓋部５３とによって密閉空間５４が形成される。密閉空間５４内には、複数の半導体ウエハ（図示せず）が収納される。

【0028】

本体部５１において底面となる底面部５２の下面には、蓋部５３が配置される側を前としたとき、前端部の左右両端近傍に排出口５６が設けられ、後端部の左右両端に供給口５５が設けられている。供給口５５は、接続部５２Ａ及び連通部５２Ｃから形成される。排出口５６は、接続部５２Ｂ及び連通部５２Ｄから形成される。この例では接続部５２Ａは、後段にて詳述するパージ装置３０の供給管３１と接続可能に構成されている。また、接続部５２Ｂは、パージ装置３０の排出管３３と接続可能に構成されている。接続部５２Ａ、５２Ｂには、供給管３１及び排出管３３の内径と同等の径の連通部５２Ｃ，５２Ｄがそれぞれ形成されている。連通部５２Ｃ、５２Ｄは、密閉空間５４と格納容器５０の外部とを連通する孔部である。

【0029】

蓋部５３は、本体部５１の側面である一つの面に配置される。蓋部５３には、例えば、ラッチ機構５８が設けられている。ラッチ機構５８は、ラッチ部５８Ａとカム部５８Ｂとを有している。ラッチ部５８Ａは、カム部５８Ｂに設けられた差込口５８Ｃにキー（図示せず）を差し込んだ状態で、このキーを回動させると、ラッチ部５８Ａのカム部５８Ｂがある側とは反対側の端部が出入りするように構成されている。そして、このラッチ部５８Ａの端部がラッチ部５８Ａと対向する面であって本体部５１に設けられた嵌合溝５１Ａに嵌合されることによって、蓋部５３が本体部５１に固定されるようになっている。

【0030】

次に、上述したような格納容器５０の内部をパージガス（例えば、窒素ガス）によってパージ処理するパージ装置３０について説明する。図４は、パージ装置３０の構成を示した概略構成図である。図４に示すように、パージ装置３０は、供給管３１、ＭＦＣ（Mass
Flow Controller）３５、パージガス源３７、排出管３３、流量計（測定部）３９及び制御部４０を備えている。

【0031】

供給管３１の先端はノズルとなっており、格納容器の供給口５５に接続されることにより格納容器５０にパージガスを供給する。本実施形態では、供給管３１は、接続部５２Ａに密着されることによって連通部５２Ｃと接続される。ＭＦＣ３５は、供給管３１を流れるパージガスの質量流量を計測し、流量制御を行う機器である。パージガス源（図示せず）は、パージガスを貯蔵するタンクである。

【0032】

排出管３３の先端はノズルとなっており、格納容器５０の排出口５６に接続されることにより格納容器５０の内部５４のパージガスを吸気して、格納容器５０内部５４のパージガスを排出する。本実施形態では、排出管３３は、接続部５２Ｂに密着されることにより、連通部５２Ｄと接続される。流量計３９は、排出管３３を流れるパージガスの流量を計測する機器である。

【0033】

制御部４０は、パージ装置３０における各種パージ処理を制御する部分であり、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）などからなる電子制御ユニットである。制御部４０は、図４に示すように、パージ装置３０の各種制御処理を実行する概念的な部分としての流量制御部４１と判定部４３とを有している。このような概念的な部分が実行する機能は、ＣＰＵなどの制御のもと実行される。

【0034】

流量制御部４１は、格納容器５０に第１流量でパージガスを供給することによりパージ処理を実施させる第１モードと、格納容器５０に第２流量でパージガスを供給することによりパージ処理を実施させる第２モードとを切り替える部分である。ここで、「第１流量」とは、格納容器５０にパージガスを供給する流量が所定流量よりも多くなると、格納容器５０の排出口以外の部分（例えば、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、本体部５１と蓋部５３との間の部分）からパージガスが漏れ出す格納容器５０において、上述の所定流量までの流量をいう。「第２流量」とは、第１流量よりも多い流量をいう。

【0035】

判定部４３は、流量計３９によって測定された排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定する部分である。具体的には、判定部４３は、流量制御部４１によって第１流量に制御された際（第１モード）のＭＦＣ３５による供給流量Ｆｓと、排出管３３に配置された流量計３９が計測する排気流量Ｆｅとに基づいて、パージ処理の良否判定を行う。例えば、供給流量Ｆｓよりも排気流量Ｆｅの方が所定量以上少なかった場合には、パージ処理が良好に行われていないと判定することができる。

【0036】

また、判定部４３は、供給管３１の先端から格納容器５０にパージガスを噴出する図示しないノズル及び格納容器５０から排出管３３にパージガスを噴出する図示しないノズルにおける流量伝達比を考慮してパージ処理の良否を判定してもよい。例えば、供給管３１において格納容器５０にパージガスを噴射するノズルの流量伝達比をＡとし、格納容器５０において排出管３３にパージガスを噴射するノズルの流量伝達比をＢとしたとき、排気流量Ｆｅが、供給流量ＦｓにＡ及びＢを乗算した値（Ｆｓ×Ａ×Ｂ）よりも所定量以上少ない場合には、パージ処理が良好に行われていないと判定してもよい。

【0037】

なお、流量伝達比Ａ及びＢは、ノズルの特性に合わせて適宜設定することができる。金属製ノズルの場合には、０．７０〜０．９５の値が流量伝達比Ａ及びＢとして設定され、弾性体ノズルの場合には０．９０〜１．００の値が流量伝達比Ａ及びＢとして設定され得る。

【0038】

次に、上記パージ装置３０におけるパージ処理の動作について説明する。流量制御部４１は、格納容器５０のパージ装置３０への載置を検知すると（又は、ユーザによりパージ処理命令が入力されると）、格納容器５０へのパージガスの供給（パージ処理）を開始する。図５に示すように、流量制御部４１は、第２流量である流量ｆ２でパージガスを供給するモード（第２モード）を開始し、時間ｔ１まで第２モードを継続させる。

【0039】

流量制御部４１は、その後、パージ処理の良否を判定するために第１流量である流量ｆ１でパージガスを供給するモード（第１モード）に切り替え、時間ｔ２までに第１モードを継続させる。判定部４３は、このとき（第１モード）に上述に示した方法によりパージ処理の良否を判定する。流量制御部４１は、その後、再び第２流量である流量ｆ２でパージガスを供給するモード（第２モード）に切り替え、所定時間、又は、格納容器５０が保管棚７Ａから移動させられるまで継続させる。

【0040】

なお、判定部４３が判定したパージ処理の良否結果については、例えば、図示しないパージ装置３０の表示部（図示せず）に表示したり、警告音を発したり、他の端末にその旨の情報を送信したりするなど、作業者に報知する構成を備えていてもよい。

【0041】

上述した構成のパージ装置３０によれば、パージ装置３０に載置される測定ユニット側ではなく、パージ装置３０側に、排出管３３を流れるパージガスの流量を測定する流量計３９が設けられている。このため、実際にパージ処理の対象となる格納容器５０をパージ装置３０に載置した状態で、格納容器５０にパージガスを供給したときの排気流量を測定し、この測定した排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定できる。これにより、実際に格納容器５０にパージガスを供給する工程の中で、良好なパージ処理が行われているか否かを判定することができる。

【0042】

また、本願発明者らは、鋭意検討の結果、排気効率には、格納容器５０の気密性が大きく影響することを見出した。すなわち、図６に示すように、格納容器５０に供給されるパージガスの流量が所定流量Ｆ１よりも多くなると（格納容器５０の内圧が所定圧力Ｐ１よりも大きくなると）、格納容器５０の蓋部５３と本体部５１との間からパージガスが漏れ出し、排出管３３から排出される排気流量は飽和気味となることを見出した。言い換えれば、格納容器５０の蓋部５３と本体部５１との間からパージガスが漏れ出す上記所定流量Ｆ１まで（０〜Ｆ１）は、供給流量に略比例した排気流量が得られることを見出した。

【0043】

上述した構成のパージ装置３０では、図６に示すような、格納容器５０にパージガスを供給する流量が所定流量Ｆ１よりも多くなると、格納容器５０の蓋部５３と本体部５１との間からパージガスが漏れ出す格納容器５０において、所定流量Ｆ１までの供給流量を第１流量ｆ１とし、第１流量よりも多い流量を第２流量ｆ２としたとき、第１流量ｆ１で格納容器５０にパージガスを供給することによりパージ処理を実施させる第１モードと、第２流量ｆ２で格納容器５０にパージガスを供給することによりパージ処理を実施させる第２モードと、を切り替え可能な構成となっている。そして、パージ装置３０は、第１モードにおいて排気流量を測定し、第１モードにおいて測定された排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定している。

【0044】

このパージ装置３０によれば、排気流量が供給流量に略比例する第１流量ｆ１の供給流量と、第１流量ｆ１にてパージ処理されている時の排気流量とに基づいてパージ処理の良否を判定している。このため、互いに略比例関係にある供給流量及び排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定できるので、正確な良否判定が可能となる。

【0045】

また、上述した構成のパージ装置３０では、第２モードでパージ処理を開始した後に、第１モードに切り換え、第１モードにおいて排気流量を測定し、第１モードにおいて測定された排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定している。このため、最初に相対的に大きな流量のパージガスを格納容器５０に供給できるので、格納容器５０の内部を早期に清浄化することができる。これにより、被格納物が汚染される可能性を低減することができる。

【0046】

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0047】

＜第１変形例＞
上記実施形態のパージストッカ１では、図５に示すようなタイミングで、第１モード及び第２モードを切り替える例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図７（Ａ）に示すように、パージ装置３０は、第１モードでパージ処理を開始し、第１モードにおいて測定された排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定し、その後、第２モードに切り換えてパージ処理を継続してもよい。この場合には、パージ処理における初期の段階でパージ処理の良否を判定することができるので、不具合が発生した場合には早期に対応することができる。

【0048】

＜第２変形例＞
また、図７（Ｂ）に示すように、パージ装置３０は、第２モードでパージ処理を開始し、パージ処理を終了する最後の段階で第１モードに切り換え、第１モードにおいて測定された排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定し、そのままパージ処理を終えるようにしてもよい。この場合には、最初に相対的に大きな流量のパージガスを格納容器５０に供給できるので、格納容器５０の内部を早期に清浄化することができる。また、何かのタイミングでパージ処理が良好に行われた否かを確認したくなった場合に有効な制御である。

【0049】

＜その他の変形例＞
上記実施形態では、パージストッカ１に配置されたパージ装置３０を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。パーティション３などにより画成された空間に配置されるパージ装置だけでなく、例えば、天井走行車同士の中継ポイント、コンベヤから天井走行車への受け渡しポイント（ロードポート）、天井バッファなどに上記実施形態及び変形例のパージ装置も適用することが可能である。

【符号の説明】

【0050】

１…パージストッカ、１Ａ…保管領域、３…パーティション、７…ラック、７Ａ…保管棚、２１…ＯＨＴポート、２３…マニュアルポート、３０…パージ装置、３１…供給管、３３…排出管、３７…パージガス源、３９…流量計（測定部）、４０…制御部、４１…流量制御部、４３…判定部、５０…格納容器、５１…本体部、５２…底面部、５３…蓋部、５４…密閉空間、５５…供給口、５６…排出口、１００…クリーンルーム。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】