特許 6132403 スクリーン印刷用紗及びスクリーン印刷方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6132403

(24)【登録日】2017年4月28日

(45)【発行日】2017年5月24日

(54)【発明の名称】スクリーン印刷用紗及びスクリーン印刷方法

(51)【国際特許分類】

   B41N 1/24 20060101AFI20170515BHJP

   B41M 1/12 20060101ALI20170515BHJP

   H05K 3/12 20060101ALI20170515BHJP

【ＦＩ】

   B41N1/24

   B41M1/12

   H05K3/12 610P

【請求項の数】6

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-537554(P2013-537554)

(86)(22)【出願日】2012年10月4日

(86)【国際出願番号】JP2012075843

(87)【国際公開番号】WO2013051664

(87)【国際公開日】20130411

【審査請求日】2015年7月8日

(31)【優先権主張番号】特願2011-222900(P2011-222900)

(32)【優先日】2011年10月7日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】591158335

【氏名又は名称】積水ナノコートテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000796

【氏名又は名称】特許業務法人三枝国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】梶田 圭一

(72)【発明者】

【氏名】高須 健一郎

(72)【発明者】

【氏名】閑田 瑞恵

【審査官】 國田 正久

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０９−２０７３０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−３０９０７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５４−１１２４０５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０６−００１０８９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ４１Ｎ １／２４

Ｂ４１Ｍ １／１２

Ｈ０５Ｋ ３／１２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

スクリーン印刷用紗であって、
（１）合成繊維から構成され、かつスクリーン印刷においてスキージによって擦られる側の反対側の主面のみが、かつ少なくとも印刷ペースト通過部の一部が金属薄膜で被覆された紗状織物からなり、かつ
（２）金属薄膜がスパッタリングにより形成された金属薄膜であり、かつ／或いは
（３）金属薄膜の厚さが、金属付着量として８０μｇ／ｃｍ^２以下である厚さである、
スクリーン印刷用紗。

【請求項2】

前記合成繊維がポリエステル繊維である請求項１に記載のスクリーン印刷用紗。

【請求項3】

金属薄膜がステンレス鋼薄膜である請求項１又は２に記載のスクリーン印刷用紗。

【請求項4】

金属薄膜の厚さが、金属付着量として３μｇ／ｃｍ^２以上である厚さである請求項１〜３のいずれか１項に記載のスクリーン印刷用紗。

【請求項5】

紗状織物の、金属薄膜で被覆される側の反対側の主面が帯電防止剤を用いて帯電防止処理されている請求項１〜４のいずれか１項に記載のスクリーン印刷用紗。

【請求項6】

スクリーン印刷用紗であって、
（１）合成繊維から構成され、かつ一方の主面のみが、かつ少なくとも印刷ペースト通過部の一部が金属薄膜で被覆された紗状織物からなり、かつ
（２）金属薄膜がスパッタリングにより形成された金属薄膜であり、かつ／或いは
（３）金属薄膜の厚さが、金属付着量として８０μｇ／ｃｍ^２以下である厚さである、
スクリーン印刷用紗を用意する工程、及び
当該金属薄膜で被覆された側の反対側の主面をスキージによって擦る工程
を有するスクリーン印刷方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、スクリーン印刷用紗及びスクリーン印刷方法に関する。

【背景技術】

【0002】

スクリーン印刷においては、被印刷物の上に配置された、スクリーン印刷用紗を有する印刷版の上面に、印刷ペースト（例、インク、導電性ペースト）を供給し、スクリーン印刷用紗の上面をスキージで擦ること（すなわち、スキージング）により、印刷ペーストを、スクリーン印刷用紗を通過させることにより、被印刷物に印刷ペーストを印刷する。

【0003】

スクリーン印刷用紗として、従来、合成繊維フィラメントからなる紗が用いられている。

【0004】

しかし、合成繊維からなるスクリーン印刷用紗は、印刷時のスキージの擦過等によって帯電し、それによって、埃などの吸着、印刷時の印刷用ペーストの飛散、スクリーン印刷用紗からの印刷用ペーストの抜け性（スクリーン印刷用紗上の印刷用ペーストがスクリーン印刷用紗を通過する際の印刷用ペーストの通過しやすさ）の悪化、印刷用紗から被印刷物に転移した印刷用ペーストの不十分なレベリングなどの問題が発生し、高精度の印刷画像が得られない場合があるという問題、ならびに被印刷物に電子部品が実装されている場合にはこれらの電子部品が電気的に破損する場合があるという問題があった。

【0005】

このような問題に対し、合成繊維からなるシート状のスクリーンにスパッタリング加工を施して前記合成繊維上に金属の薄膜の形成させることにより帯電を抑制する技術が提案されている（例えば、特開平３−２３６９６２号公報、特開平６−１０８９号公報、特開平７−２８５２７６号公報）。

【0006】

この場合、帯電を防止するためには、スクリーン印刷用紗の印刷時にスキージングされる側の表面上に金属薄膜が形成されていることが必須であると考えられていた。例えば、特開平６−１０８９号公報では、帯電防止のためには、スクリーン印刷用紗の片面に金属薄膜を形成するよりも、両面に金属薄膜を形成することが好ましいことが、述べられている。

【0007】

しかし、このようなスクリーン印刷用紗においては、スキージング時の摩擦により、スキージングされる側の表面上の金属薄膜が擦過等により容易に剥離してしまうので、印刷板の耐久性が低く、また、剥離した金属薄膜が被印刷物に付着する結果、高精度の印刷画像が得られない場合がある、という問題があった。

【0008】

このような金属薄膜の剥離の問題を解決するため、特開平１０−８６３１７号公報では、ポリエステル組成物からなる芯成分よりもアルカリ加水分解性の高いポリエステル組成物を鞘成分とした芯鞘構造のモノフィラメントから構成されるメッシュ織物の、前記モノフィラメントの鞘部分が減量率０．１重量％以下であるように粗化されていると共に該粗化表面にスパッタリングによる金属成分含有薄膜が形成されていることを特徴とする印刷用機能性スクリーン紗が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】特開平３−２３６９６２号公報

【特許文献2】特開平６−１０８９号公報

【特許文献3】特開平７−２８５２７６号公報

【特許文献4】特開平１０−８６３１７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

しかしながら、特開平１０−８６３１７号公報で提案されている技術では、特殊な合成繊維を使用する必要があるので、製造コストが高くなり、また、原理上、金属薄膜の剥離を完全には抑制できないという問題があった。

【0011】

従って、本発明は、低コストで製造でき、高精度の印刷が可能であり、かつ、スキージングに対する耐久性が高いスクリーン印刷用紗及びこれを用いたスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明者らは、意外にも、スクリーン印刷用紗のスキージングされる側の表面に金属薄膜を形成しなくとも、被印刷物に対向する側の表面のみに金属薄膜を形成すれば、精密な印刷が可能になり、また、当然ながら、このようなスクリーン印刷用紗の構成によれば、スキージングによる剥離の問題は実質的に完全に抑制されることを見出した。

【0013】

すなわち、本発明は、後記の態様を含む。
項１．
合成繊維から構成され、かつスクリーン印刷においてスキージによって擦られる側の反対側の主面のみが金属薄膜で被覆された紗状織物からなるスクリーン印刷用紗。
項２．
前記合成繊維がポリエステル繊維である前記項１に記載のスクリーン印刷用紗。
項３．
金属薄膜がスパッタリングにより形成された金属薄膜である前記項１又は２に記載のスクリーン印刷用紗。
項４．
金属薄膜がステンレス鋼薄膜である前記項１〜３のいずれか１項に記載のスクリーン印刷用紗。
項５．
金属薄膜の厚さが金属付着量として８０μｇ／ｃｍ^２以下である前記項１〜４のいずれか１項に記載のスクリーン印刷用紗。
項６．
金属薄膜の厚さが金属付着量として３μｇ／ｃｍ^２以上である項１〜５のいずれか１項に記載のスクリーン印刷用紗。
項７．
紗状織物の、金属薄膜で被覆される側の反対側の主面が帯電防止剤を用いて帯電防止処理されている項１〜６のいずれか１項に記載のスクリーン印刷用紗。
項８．
合成繊維から構成され、かつ一方の主面のみが金属薄膜で被覆された紗状織物からなるスクリーン印刷用紗を用意する工程、及び
当該金属薄膜で被覆された側の反対側の主面をスキージによって擦る工程
を有するスクリーン印刷方法。
項９．
請求項１〜７に記載のスクリーン印刷用紗を用意する工程、及び
当該金属薄膜で被覆された側の反対側の主面をスキージによって擦る工程
を有するスクリーン印刷方法。

【発明の効果】

【0014】

本発明のスクリーン印刷用紗によれば、低コストで製造でき、高精度の印刷が可能であり、かつ、スキージングに対する耐久性が高いスクリーン印刷用紗及びこれを用いたスクリーン印刷方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】スパッタリング装置の一例を示す縦断面図である。

【図2】比較例１のスクリーン印刷用紗を用いて印刷された細線状のインクの高さを示すグラフである。

【図3】実施例１のスクリーン印刷用紗を用いて印刷された細線状のインクの高さを示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0016】

1.1.スクリーン印刷用紗
本発明のスクリーン印刷用紗は、合成繊維から構成され、かつスクリーン印刷においてスキージによって擦られる側の反対側の主面のみが金属薄膜で被覆された紗状織物からなる。

【0017】

1.1.1.紗状織物
本発明のスクリーン印刷用紗における紗状織物は、前記合成繊維を経糸及び緯糸として有し、当該経糸及び緯糸は、開口部を形成している。すなわち、当該紗状織物は、網状の形態を有する。当該紗状織物の織り組織は、平組織等の、目ずれが生じ難く、縦横均一な開口面を有する組織が好ましい。当該開口部の孔径は、好ましくは、２０〜１００μｍである。当該紗状織物の開口率は、好ましくは、２０〜７０％である。当該紗状織物の線維密度は、好ましくは、５０〜２００本/ｃｍである。

【0018】

前記合成繊維の線径は、好ましくは、１０〜７０μｍである。当該線径が細すぎると、当該合成繊維が切断し易く、一方、太すぎると、精密な印刷が困難になる。

【0019】

これらの紗状織物に関する数値は、本発明のスクリーン印刷用紗が有する数値と実質的に同じである。

【0020】

本発明における合成繊維は、好ましくは、ポリエステル繊維である。

【0021】

当該ポリエステル繊維を構成するポリエステルの例としては、ポリエチレンテレフタレート、変性ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート（例、ポリエチレン−２，６−ナフタレート）等が挙げられる。

【0022】

前記合成繊維は、好ましくは、モノフィラメントである。

【0023】

前記紗状織物の厚さは、好ましくは、３０〜８０μｍである。後記するように、本発明のスクリーン印刷用紗における金属薄膜の厚さは、前記紗状織物の厚さに比べて非常に薄いので、本発明のスクリーン印刷用紗の厚さは、前記紗状織物の厚さと実質的に同じである。

【0024】

本発明のスクリーン印刷用紗をスクリーン印刷に用いる場合、印刷用ペーストが、前記紗状織物の開口部に保持される。この保持量は、前記開口部の孔径及び前記紗状織物の厚さによって異なり、好ましくは、５〜７０ｃｍ^３／ｍ^２である。

【0025】

本発明のスクリーン印刷用紗における、このような紗状織物として、従来、スクリーン印刷用紗として用いられている、合成繊維フィラメントからなる紗を用いることができる。

【0026】

1.1.2.金属薄膜
本発明のスクリーン印刷用紗における前記紗状織物は、スクリーン印刷においてスキージによって擦られる側の反対側の主面のみが金属薄膜で被覆されている。

【0027】

すなわち、本発明のスクリーン印刷用紗において、金属薄膜は、前記紗状織物の一方の主面上にのみ存在し、他方の主面上には存在しない。ただし、本発明の効果が失われない限りにおいて、他方の主面の一部に金属薄膜またはその断片等が存在していてもよく、また、前記紗状織物を構成する合成繊維の側面に金属薄膜またはその断片等が存在していてもよい。このようなスクリーン印刷用紗もまた本発明の範囲内である。

【0028】

本発明のスクリーン印刷用紗における金属薄膜は、好ましくは、スパッタリングによって形成された金属薄膜である。

【0029】

本発明のスクリーン印刷用紗における金属薄膜は、好ましくは、アモルファス薄膜である。

【0030】

金属薄膜は、前述のような紗状織物の開口部を塞がないように、開口部を有する必要がある。これは、後述の製造方法で説明するように、金属薄膜が紗状織物の主面上に適切に形成される場合、自ずと達成される。当該金属薄膜は、その全体が、電気的に繋がっていて、導電性を有すること、すなわち、分断されていないことが好ましい。

【0031】

本発明のスクリーン印刷用紗における金属薄膜を構成する金属の例として、チタン、銀、アルミニウム、スズ、亜鉛、ニッケル、銅、コバルト、クロム、アンチモン、ニオブ等の単体金属；ハステロイ（商標）、パーマロイ、ステンレス鋼、モネル、コバルト系合金等の合金が挙げられる。なかでも、チタン、ステンレス鋼が好ましい。すなわち、本発明のスクリーン印刷用紗における金属薄膜は、好ましくは、チタン薄膜、又はステンレス鋼薄膜である。当該ステンレス鋼薄膜を構成するステンレス鋼の例としては、マルテンサイト系ステンレス鋼、フェライト系ステンレス鋼、オーステナイト系ステンレス鋼等が挙げられる。なかでも、オーステナイト系ステンレス鋼が好ましい（例、ＳＵＳ３１０Ｓ）。

【0032】

当該金属薄膜の厚さは、導電性を有する限り特に限定されないが、金属付着量として、好ましくは８０μｇ／ｃｍ^２以下、より好ましくは３５μｇ／ｃｍ^２以下であり、また好ましくは３μｇ／ｃｍ^２以上、より好ましくは５μｇ／ｃｍ^２以上である。

【0033】

当該厚さが薄すぎると（すなわち、金属付着量が少なすぎると）、所期の効果が得られにくく、一方、厚すぎると（すなわち、金属付着量が多すぎると）、金属薄膜が開口部に重なって開口率が低下することによって細線印刷性が低下するし、及び製造コストが高くなる。また、当該厚さが薄すぎても、厚すぎても、紗状織物への金属薄膜の密着性（本明細書中、金属密着性と称する場合がある）が低下する。

【0034】

なお、本願明細書及び特許請求の範囲において、金属の付着量は、蛍光Ｘ線法に従って測定されたものである。ここで、付着量の数値は、分析した単位面積あたりの付着金属質量として表す。

【0035】

1.1.3.製造方法
本発明のスクリーン印刷用紗は、例えば、
合成繊維から構成された紗状織物を用意する工程Ａ、及び
当該紗状織物の、スクリーン印刷においてスキージによって擦られる側の反対側の主面を金属薄膜で被覆する工程Ｂ
を含む製造方法によって、製造することができる。

【0036】

1.1.3.1.工程Ａ
工程Ａでは、前記で詳細に説明した、合成繊維から構成された紗状織物を用意する。後記の工程Ｂに供するため、当該紗状織物は、好ましくは長尺である。

【0037】

このような紗状織物は、従来、スクリーン印刷用紗として用いられている合成繊維フィラメントからなる紗の製造方法と同様の方法で製造すればよい。

【0038】

ここで、好ましくは、紗状織物を帯電防止処理する。

【0039】

帯電防止処理の方法は、例えば、紗状織物の表面への帯電防止剤の噴霧が好ましい。

【0040】

帯電防止剤は、陰イオン性界面活性剤、陽イオン性界面活性剤、非イオン性界面活性剤、又は両性界面活性剤等の帯電を防止又は抑制する効果を有する従来公知の界面活性剤を主成分として含有するものが挙げられる。

【0041】

帯電防止剤の量は、帯電を防止又は抑制できる程度であればよく、通常、紗状織物の重量に対して、１重量％未満である。

【0042】

帯電防止処理は、好ましくは紗状織物の一方の主面に対して、実施される。なお、帯電防止処理が紗状織物の一方の主面に対して実施した場合は、金属薄膜の紗状織物への密着性の観点から、当該金属薄膜の帯電防止処理面の反対側の面に対してスパッタリングを実施することが、好ましい。

【0043】

合成繊維は表面が疎水性である場合が多く、スパッタリング加工において静電気障害が発生しやすいが、帯電防止処理によって、帯電防止処理面の反対側の面に対してスパッタリングを実施した場合であっても静電気障害を防止又は抑制でき、その結果、本発明のスクリーン印刷用紗の生産性が向上する。

【0044】

1.1.3.2.工程Ｂ
紗状織物の一方の主面の金属薄膜での被覆は、好ましくは、スパッタリングによって実施される。スパッタリングは、金属薄膜が紗状織物の開口部を塞がないように実施される。工程Ａにおいて紗状織物を帯電防止処理した場合、金属薄膜の紗状織物への密着性の観点から、帯電防止処理面の反対側にスパッタリングすることが好ましい。以下に、一例として、スパッタリングによるステンレス鋼のアモルファス薄膜形成について、図１を参照しつつ、説明する。

【0045】

図１は、スパッタリング装置の一例を示す縦断面図であり、密閉可能なケーシング１０が水平方向の仕切り板１１によって下側のスパッタ室１２と上側の織物室１３とに分けられ、下側のスパッタ室１２の中央にステンレス鋼からなる平板状のターゲット１４が中空のターゲットソース１５上に固定され、このターゲットソース１５に通される冷水によって下面側から冷却されるようになっている。このターゲット１４の上方左右にアノード１６が水平に設置される。一方、上側の織物室１３の下部に水冷シリンダー１７が水平に、かつ回転自在に設置され、その下半部が仕切り板１１に形成した開口部１１ａからスパッタ室１２内に突出する。そして、織物室１３の上部右側に紗状織物Ｆの送り出し軸１８が、また上部左側に紗状織物Ｆの巻取り軸１９がそれぞれ水平に、かつ回転自在に設置され、送り出し軸１８に巻かれている紗状織物Ｆが引出され、右上部のガイドローラ２０を経て前記水冷シリンダー１７に巻回され、左上部のガイドローラ２０を経て巻取り軸１９に巻付けられる。なお、スパッタ室１２には第２の真空ポンプ２１が、また織物室１３には第１の真空ポンプ２２がそれぞれ接続される。

【0046】

好ましくは、スパッタリングによる金属薄膜での被覆の前に、紗状織物Ｆを、例えば、１００〜１３０℃の乾燥条件下で、水分含有率が０．１重量％以下になるまで、乾燥する。

【0047】

長尺の紗状織物Ｆは、巻芯上にロール状に巻かれ、この巻芯が密閉可能なケーシング１０内に設けられている送り出し軸１８に装着され、この送り出し軸１８上の巻芯から引出された紗状織物Ｆの先端が送り出し軸１８と平行に設けられている巻取り軸１９上の巻芯に固定される。そして、前記の送り出し軸１８及び巻取り軸１９を回転することにより、紗状織物Ｆが拡布状態で、かつ所定の速度で前送りされるが、この発明では、前記の紗状織物Ｆが送り出し軸１８及び巻取り軸１９の間で冷却され、紗状織物Ｆの表面温度が好ましくはステンレス鋼の融点（１６２０〜１７２０°Ｋ）の１／２以下、特に好ましくは１／３以下に維持される。この表面温度が前記融点（絶対温度）の１／２を超えた場合は、スパッタリングで形成されるステンレス鋼薄膜が結晶化し、アモルファス薄膜が得難くなる。

【0048】

前記の紗状織物Ｆの冷却は、紗状織物Ｆを大径の水冷シリンダー１７に接触させて前送りすることによって行うことができる。また、別法として、小径の多数本の水冷ローラにガイドローラ状に圧接して前送りする方法等が例示される。なお、前記のターゲット１４も、水冷その他の冷却手段によって冷却すること、または、放熱性を良好にすることが好ましく、これによってアモルファス薄膜の形成が容易になる。前記のまたは水冷シリンダー１４に接して移動する紗状織物Ｆの片側に紗状織物Ｆの幅よりも長い棒状のアノード１６、及び平板状のステンレス鋼であるターゲット１４が、紗状織物Ｆとターゲット１４の間にアノード１６が位置するように近接させて、かつ平行に配置され、このアノード１６及びターゲット１４間に５００〜１０００Ｖの直流電圧が印加される。なお、ケーシング１０内は、あらかじめ密閉状態で減圧され、次いでアルゴンガス等の不活性ガスを導入して１×１０^−１〜１×１０^−２Ｐａ程度の不活性ガス雰囲気に形成される。

【0049】

2.2.スクリーン印刷方法
本発明のスクリーン印刷方法は、合成繊維から構成され、かつ一方の主面のみが金属薄膜で被覆された紗状織物からなるスクリーン印刷用紗を用意する工程Ｃ、及び
当該金属薄膜で被覆された側の反対側の主面をスキージによって擦る工程Ｄ
を有する。

【0050】

本発明のスクリーン印刷方法は、合成繊維から構成され、かつ一方の主面のみが金属薄膜で被覆された紗状織物からなるスクリーン印刷用紗を用い、かつ当該金属薄膜で被覆された側の反対側の主面をスキージによって擦る点以外は、従来のスクリーン印刷方法と同様に実施できる。

【0051】

2.2.1.工程Ｃ
工程Ｃでは、例えば、前記の製造方法等により本発明のスクリーン印刷用紗を用意する。

【0052】

用意された本発明のスクリーン印刷用紗を用いて、従来のスクリーン印刷用紗と同様に、印刷版を製造することができる。すなわち、本発明のスクリーン印刷用紗を、例えば、金属（例、アルミニウム）製の枠に、所定の張力をかけて保持し、その上にマスキング層を形成して、印刷版を得る。

【0053】

本発明のスクリーン印刷用紗を有する印刷版は、前記金属薄膜及び金属製の枠を介して接地することで、当該金属薄膜側において、帯電が抑制される。

【0054】

当該印刷版は、被印刷物の上に、前記金属薄膜側の主面が被印刷物に対向するように配置される。そして、その反対側の主面上に印刷ペーストが供給される。

【0055】

2.2.2.工程Ｄ
工程Ｄでは、前記スクリーン印刷用紗の、金属薄膜で被覆された側の反対側の主面上（すなわち、印刷ペーストが供給された主面上）を、スキージをスライドさせることによって、当該主面を擦る。これにより、印刷ペーストがスクリーン印刷用紗を通過して、被印刷物に印刷される。

【0056】

本発明の印刷方法で用いられる印刷用ペーストは特に限定されず、様々な粘度の印刷用ペーストを用いることができ、その例としては、インク、導電性ペースト等が挙げられる。

【0057】

また、本発明の印刷方法における被印刷物は特に限定されず、その例としては、紙、布、電子部品の基板等が挙げられる。

【0058】

本発明の印刷方法によれば、スキージングによる帯電および金属薄膜の剥離に起因する問題が抑制され、高精度の印刷画像が可能になる。

【実施例】

【0059】

実施例１
［スクリーン印刷用紗の製造］
図１に概要を示した装置を用いて、ポリエチレンテレフタレート繊維からなる紗状織物Ｆ（縦糸本数１４０本／ｃｍ、線径３０μｍ）にステンレス鋼をスパッタリングすることにより、実施例のスクリーン印刷用紗を製造した。すなわち、ターゲット１４にオーステナイト系ステンレス鋼（ＳＵＳ３１０Ｓ）を使用した。紗状織物Ｆを送出し軸１８から引出し、前記の水冷シリンダー１７に巻掛け、前記紗状織物Ｆの先端を巻取り軸１９に巻付け、送出し軸１８、巻取り軸１９及び水冷シリンダー１７を回転させて、紗状織物Ｆを時計方向に４．４ｍ／分の速度で搬送した。なお、最初に第１の真空ポンプ２２を駆動してケーシング１０内の圧力を５Ｐａ程度まで低下させ、次いで、第２の真空ポンプ２１を駆動して圧力を５×１０^−５Ｔｏｒｒ程度に下げ、その後、アルゴンガスを導入して圧力を１×１０^−１〜１×１０^−２Ｐａに調整し、前記のアノード１６及びターゲット１４間に５００Ｖ×６０Ａの直流電流を流して前記紗状織物Ｆの片面に前記ステンレス鋼の薄膜（金属付着量 １２μｇ／ｃｍ^２）を形成し、実施例１のスクリーン印刷用紗を得た。

【0060】

実施例２
実施例１で用いた紗状織物Ｆに帯電防止処理を施した。帯電防止処理は、陰イオン性界面活性剤であるラウリル硫酸ナトリウムを含有する噴霧液を紗状織物Ｆの片面に適量噴霧することにより行った。この帯電防止処理面に実施例１と同様にスパッタリング処理を行って、実施例２のスクリーン印刷用紗（金属付着量 １２μｇ／ｃｍ^２）を得た。

【0061】

実施例３
帯電防止処理を行った面の反対側にスパッタリング処理を行ったこと、及び搬送速度の調整により金属付着量を４μｇ／ｃｍ^２に調整したこと以外は、実施例２と同様にして、実施例３のスクリーン印刷用紗を得た。

【0062】

実施例４
搬送速度の調整により金属付着量を６μｇ／ｃｍ^２に調整したこと以外は、実施例３と同様にして、実施例４のスクリーン印刷用紗を得た。

【0063】

実施例５
搬送速度の調整により金属付着量を１２μｇ／ｃｍ^２に調整したこと以外は、実施例３と同様にして（言い換えれば、紗状織物Ｆの帯電防止処理面の反対側の面にスパッタリング処理を行ったこと以外は実施例２と同様にして）、実施例５のスクリーン印刷用紗を得た。

【0064】

実施例６
搬送速度の調整により金属付着量を２５μｇ／ｃｍ^２に調整したこと以外は、実施例３と同様にして、実施例６のスクリーン印刷用紗を得た。

【0065】

実施例７
搬送速度の調整により金属付着量を３５μｇ／ｃｍ^２に調整したこと以外は、実施例３と同様にして、実施例７のスクリーン印刷用紗を得た。

【0066】

実施例８
搬送速度の調整により金属付着量を５０μｇ／ｃｍ^２に調整したこと以外は、実施例３と同様にして、実施例８のスクリーン印刷用紗を得た。

【0067】

実施例９
搬送速度の調整により金属付着量を８０μｇ／ｃｍ^２に調整したこと以外は、実施例３と同様にして、実施例９のスクリーン印刷用紗を得た。

【0068】

実施例１０
搬送速度の調整により金属付着量を９０μｇ／ｃｍ^２に調整したこと以外は、実施例３と同様にして、比較例２のスクリーン印刷用紗を得た。

【0069】

比較例１
紗状織物Ｆを、比較例１のスクリーン印刷用紗として用いた。

【0070】

比較例２
金属薄膜の成膜面をスキージング面とすること以外は、実施例５と同様にして、比較例２のスクリーン印刷用紗（金属付着量 １２μｇ／ｃｍ^２）を得た。

【0071】

比較例３
金属薄膜を両面に成膜すること以外は、実施例５と同様にして、比較例３のスクリーン印刷用紗（金属付着量 ２４μｇ／ｃｍ^２（片面あたり１２μｇ／ｃｍ^２））を得た。

【0072】

試験例１
［印刷版の作成］
前記実施例及び比較例で製造した各スクリーン印刷用紗を、鋳造されたアルミニウム枠（３２０ｍｍ×３２０ｍｍ）に、テンション１．１０ｍｍ（テンションゲージ：ｍｏｄｅｌ ＳＴＧ−７５Ｂ、プロテック社）、バイアス角度３０度の条件で紗張した。当該紗上に、ポリビニルアルコールと可塑性を付与された酢酸ビニルとを主成分として含有する感光性乳剤を４μｍの厚さに塗布し、露光により硬化させて、７０μｍ幅のスリットが、７０μｍの間隔を空けて並んでいるパターンを形成させ、前記実施例及び比較例の各印刷版を得た。
［スクリーン印刷］
前記実施例及び比較例の各印刷板、及びポリエステル系１液蒸発乾燥型インキ（ＰＡＬマット、セイコーアドバンス社）を用いて、前記パターンの形状を、ウレタンスキージ（硬度：７０°、幅：１７０ｍｍ）を備えたスクリーン印刷機（LS-15GX、ニューロング精密工業社）により、下記の条件で、ポリエチレンテレフタレートフィルム（商品名：ルミラー、東レ社）に、常法に従い、スクリーン印刷した。

【0073】

＜印刷条件＞
押し込み量： ０．７ｍｍ
クリアランス： ２．０ｍｍ
スキージ角度： ７０°
印刷速度： １５０ｍｍ／秒
スクレッパー速度： １５０ｍｍ／秒
温度： ２２〜２３℃
湿度： ４０〜５０％
［細線状のインクの平坦性］
得られた印刷物のインク層の厚さ（形状）を、カラー３Ｄレーザー顕微鏡（VK-8710）によって分析した。結果を図２（比較例１）及び図３（実施例１）に示す。図２、図３において縦軸はインク層の表面高さ、横軸は測定距離である。なお、図２、図３において縦軸はインク層の表面高さの絶対値を示していない。図中の下側の破線はベースラインであり、インク層の表面高さは下側の破線をベースラインとして算出することができる。

【0074】

これから明らかなように、比較例１の印刷版を用いて印刷した印刷物に比べて、実施例１の印刷版を用いて印刷した印刷物のほうが、インク層の山が平坦であった。このことから、インクの抜け性、及びレベリングが良好であったことが理解される。

【0075】

更に、各実施例及び比較例について、次の基準により、インクの平坦性を、優、良、可、及び不可の４段階で評価した。

【0076】

＜細線状のインクの平坦性の評価基準＞
インク層の山を台形とみなし、表面高さの最大値から最大値の９０％までである部分の長さを上底長さとし、インク層の山の両側の山すそがベースラインと交わる点（インク層の山の始点と終点）の間の距離を下底長さとして、次の基準でインクの平坦性を評価した。

【0077】

優（◎）：下底長さに対して上底長さが４０％以上である。
良（○）：下底長さに対して上底長さが３５％以上４０％未満である。
可（△）：下底長さに対して上底長さが３０％以上３５％未満である。
不可（×）：下底長さに対して上底長さが３０％未満である。

【0078】

結果を表１（平坦性）に示す。
［細線印刷性］
各実施例及び比較例について、次の基準により、細線印刷性を、優、良、可、及び不可の４段階で評価した。

【0079】

＜細線印刷性の評価基準＞
印刷されたインク層から任意の細線状のインクを１０本選び、その表面をルーペで観察し、次の基準で評価した。
優（◎）：観察したすべての細線状のインクに断線もにじみもかすれも無い。
良（○）：断線が無いが、１本又は２本の細線状のインクでにじみやかすれが見られる。
可（△）：断線が無いが、３本又は４本の細線状のインクでにじみやかすれが見られる。不可（×）：１本以上の細線状のインクで断線が見られるか、又は５本以上の細線状のインクでにじみやかすれが見られる。

【0080】

結果を表１（細線印刷性）に示す。
［金属密着性］
各実施例及び比較例について、次の基準により、金属密着性を、優、良、可、及び不可の４段階で評価した。

【0081】

＜金属密着性の評価基準＞
１０回印刷を行った後に、酢酸プロピルを染み込ませた布で版の表面のインクをふき取り、自然乾燥させた。その後、各版の任意の１０箇所を選び、その表面をルーペで観察し、次の基準で評価した。
優（◎）：５％未満でメッシュ上の金属の剥離が見られる。
良（○）：５％以上１５％未満でメッシュ上の金属の剥離が見られる。
可（△）：１５％以上３５％未満メッシュ上の金属の剥離が見られる。
不可（×）：３５％以上メッシュ上の金属の剥離が見られる。

【0082】

結果を表１（金属密着性）に示す。
［スクリーン印刷用紗の生産性］
スクリーン印刷用紗の生産性を、次の基準により、優、良、可、及び不可の４段階で評価した。

【0083】

＜スクリーン印刷用紗の生産性の評価基準＞
優（◎）：紗状織物Ｆを高速で搬送できる。
良（○）：紗状織物Ｆを比較的高速で搬送できる。
可（△）：紗状織物Ｆを低速で搬送しなければならない。

【0084】

ただし、帯電防止処理を施さない実施例１では紗状織物Ｆを装置にセットする際、静電気の影響で作業に時間を要したので、生産性を可（△）であると評価した。

【0085】

また、両面に成膜を行う比較例３では、成膜前の真空排気作業を２回行う必要があり、甚だ生産性が悪いので、生産性を不可（×）であると評価した。

【0086】

また、スパッタリング加工を施さない比較例１は、生産性を優（◎）であると評価した。

【0087】

結果を表１（生産性）に示す。
［総合評価］
以上の評価に基づいて、次のように総合評価した。

【0088】

＜総合評価の評価基準＞
優（◎）を３点、良（○）を２点、可（△）を０点として各評価の合計点を算出した。
優（◎）：１０点以上
良（○）：５〜９点
可（△）：５点未満
ただし、各評価において一つでも不可（×）があれば総合評価は不可（×）であると評価した。

【0089】

結果を表１（総合）に示す。

【0090】

以上の評価結果より、本発明のスクリーン印刷用紗は、低コストで製造でき、かつ高精度の印刷が可能であり、及び耐久性が高いという優れた特性を示すことがわかる。

【0091】

【表1】

【符号の説明】

【0092】

Ｆ：紗状織物
１０：ケーシング
１１：仕切り板
１１ａ：仕切り板開口部
１２：スパッタ室
１３：織物室
１４：ターゲット
１５：ターゲットソース
１６：アノード
１７：水冷シリンダー
１８：送り出し軸
１９：巻取り軸
２０：ガイドローラ
２１：第１の真空ポンプ
２２：第２の真空ポンプ

【図1】

【図2】

【図3】