特許第6133319号(P6133319)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6133319気相からの堆積によって、かつ液状のシロキサン供給材料を霧化することによる合成石英ガラスの製造法
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  • 特許6133319-気相からの堆積によって、かつ液状のシロキサン供給材料を霧化することによる合成石英ガラスの製造法 図000002
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  • 特許6133319-気相からの堆積によって、かつ液状のシロキサン供給材料を霧化することによる合成石英ガラスの製造法 図000004
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