特許6133852半導体クリーニングシステム及び半導体清浄方法

発明の名称　半導体クリーニングシステム及び半導体清浄方法

出願人　ダイナミック　マイクロシステムズ　セミコンダクター　イクイップメント　ゲーエムベーハー　（識別番号 506000944）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6133852

公報発行日　2017年5月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6133852

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