特許 6133917 張力の検出値を補正する機能を有するワイヤ放電加工機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6133917

(24)【登録日】2017年4月28日

(45)【発行日】2017年5月24日

(54)【発明の名称】張力の検出値を補正する機能を有するワイヤ放電加工機

(51)【国際特許分類】

   B23H 7/10 20060101AFI20170515BHJP

   B23H 7/02 20060101ALI20170515BHJP

   B23H 7/20 20060101ALI20170515BHJP

【ＦＩ】

   B23H7/10 D

   B23H7/02 R

   B23H7/20

【請求項の数】7

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2015-44991(P2015-44991)

(22)【出願日】2015年3月6日

(65)【公開番号】特開2016-163923(P2016-163923A)

(43)【公開日】2016年9月8日

【審査請求日】2016年5月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】390008235

【氏名又は名称】ファナック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001151

【氏名又は名称】あいわ特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】羽田 啓太

【審査官】 岩瀬 昌治

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−２２１３４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６０−１７７８２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１１／０６７８７７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００９−１８０５２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−２９２１４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５９−１５２０２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０２８４６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−１２７８３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５９−１５２０２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１６１６４４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２３Ｈ ７／１０

Ｂ２３Ｈ ７／０２

Ｂ２３Ｈ ７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワイヤ電極に張力を付与する張力発生手段を備えると共に、ワイヤ電極の張力を検出する張力検出器を備え、該張力検出器で検出した検出張力をフィードバックして設定張力になるようにワイヤ電極の張力のフィードバック制御を行うワイヤ放電加工機において、
設定された張力と、該設定張力を作用させたときに前記張力検出器で検出される張力に基づいて、張力検出器の検出ずれ量を求める較正を行い、較正で求めた検出ずれ量で張力検出器の出力を補正する較正手段を設け、
前記張力検出器の検出張力を前記較正手段で補正した補正検出張力に基づいて、ワイヤ電極の張力のフィードバック制御を行うことを特徴とする張力の検出値を補正する機能を有するワイヤ放電加工機。

【請求項2】

前記較正手段の較正は、検出ずれ量を設定張力の関数として求め記憶するものとし、放電加工時には、前記較正手段は設定される張力の値に対する検出ずれ量を前記関数より求めて、前記張力検出器で検出される検出張力に該検出ずれ量を補正して補正検出張力とした請求項１記載の張力の検出値を補正する機能を有するワイヤ放電加工機。

【請求項3】

前記較正手段の較正は、複数の設定張力と、各設定張力を作用させたときに前記張力検出器で検出される張力の組み合わせの点列を記憶するものとし、放電加工時には、記憶された設定張力と検出張力の組み合わせの点列より加工時設定の張力に対する検出ずれ量を求めて、前記張力検出器で検出される検出張力に該検出ずれ量を補正して補正検出張力とした請求項１記載の張力の検出値を補正する機能を有するワイヤ放電加工機。

【請求項4】

前記張力発生手段はワイヤ電極に駆動力を作用させるモータであることを特徴とする請求項１乃至３の内いずれか１項に記載の張力の検出値を補正する機能を有するワイヤ放電加工機。

【請求項5】

前記張力検出器の較正は、ワイヤ電極の送りが停止しているときに行う請求項１乃至４の内いずれか１項に記載の張力の検出値を補正する機能を有するワイヤ放電加工機。

【請求項6】

前記張力検出器の較正は、ワイヤ電極が送り出されているときに行う請求項１乃至４の内いずれか１項に記載の張力の検出値を補正する機能を有するワイヤ放電加工機。

【請求項7】

前記張力検出器の較正は、温度が一定量変化したとき、前記張力検出器の較正を自動的に行うか若しくは張力検出器の較正を促す表示を行うようにした請求項１乃至６の内いずれか１項に記載の張力の検出値を補正する機能を有するワイヤ放電加工機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワイヤ電極の張力を検出しフィードバックしてワイヤ電極のフィードバック制御を行うワイヤ放電加工機に関する。

【背景技術】

【0002】

ワイヤ放電加工機においては、ワイヤ電極に適切な張力をかけて放電加工が実施される。ワイヤ電極に張力をかけることによってワイヤ電極の振動を抑え、高精度の加工が得られる。しかし、ワイヤ電極にかける張力が強すぎるとワイヤ電極が断線し加工が中断してしまう恐れがある。一方、ワイヤ電極にかける張力が弱すぎると、ワイヤ電極の振動を抑えることができず、加工精度の低下を招く。そのため、加工中にワイヤ電極に適切な張力をかける必要がある。

【0003】

ワイヤ電極に張力をかける方法として、電磁ブレーキに連結されたブレーキローラにワイヤ電極を巻き回し、または、ピンチローラでワイヤ電極をブレーキローラに押さえつけ、電磁ブレーキに掛ける電圧を制御することによって、ワイヤ電極にかける張力を制御する方法や、放電加工領域を挟んで、走行するワイヤ電極の上流側と下流側にワイヤ電極の走行をガイドするローラを配置し、該ローラを駆動するモータの速度やトルクを制御することによって、ワイヤ電極の張力を制御する方法がある。

【0004】

ワイヤ電極の線径、種類、さらには加工の種類等によってワイヤ電極に付与される最適な張力は異なり、設定する張力の大きさの範囲は広い。しかし、細かな張力の違いについて正確に設定することは難しい。そのため、張力検出器を用いてワイヤ電極の張力を測定し、測定された張力に基づいてワイヤ電極の張力をフィードバック制御する方法が用いられている。

【0005】

たとえば、特許文献１には、加工領域を挟んで、走行するワイヤ電極の上流側に配置されたブレーキローラと下流側に配置された下部ローラ間に、ワイヤ電極を掛け渡し、該ブレーキローラと下部ローラ間のワイヤ電極の張力を検出する張力検出器を設け、下部ローラの下方に配置された回収ローラを駆動する回収モータには、速度指令を出力して速度制御して駆動すると共に、ブレーキローラを駆動するブレーキモータに対しては、張力指令信号と張力検出器で検出した張力検出信号、及びブレーキモータへの速度指令とブレーキモータの速度検出器からの速度検出信号に基づいて、電流指令を生成して該ブレーキモータへ出力し、ブレーキモータを制御（トルク制御）して、ワイヤ電極の張力を制御する発明が記載されている。

【0006】

また、特許文献２には、ワイヤ電極を引き取る引き取りモータを所定速度で駆動し、張力設定信号と張力検出器で検出した張力実測値、さらに速度設定信号に基づいて、ブレーキモータへの速度指令を生成し、該生成した速度指令でブレーキモータを速度制御することによって、ワイヤ電極の張力を制御するようにした発明が記載されている。

【0007】

さらに、特許文献３には、加工領域を走行するワイヤ電極の張力を検出する張力検出装置を設け、該張力検出装置で検出した張力が、設定張力になるように、ワイヤ電極の走行の上流に配置されたブレーキローラを駆動するブレーキモータ、またはワイヤ電極の走行の下流に配置されたワイヤ電極を送り出すローラを駆動する送り出しモータの速度またはトルクを制御することによって、ワイヤ電極の張力を制御するようにした発明が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特許第４２３０１５７号公報

【特許文献2】特許第３４１６５１４号公報

【特許文献3】特開２０１０−１７９３７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

ワイヤ電極の張力を張力検出器で検出し、該検出張力を用いてワイヤ電極の張力をフィードバック制御する方法が、一般的に採用されているが、張力検出器では細かい分解能で張力変動を測定できるが、精度よく検出できる範囲が小さい。また、張力検出器の種類によっては、温度変化によって検出値がずれて正確に張力を測定することができず、結果として正確に張力制御ができないという問題がある。温度計を用いて張力検出器の較正をする方法があるが、張力検出器には個体差があるため、張力検出器ごとに較正を行わねばならず、工数がかかるという問題がある。

【0010】

そこで、本発明は、上述した問題点を解決し、ワイヤ放電加工の高精度化とワイヤ電極の断線予防を図るものである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

ワイヤ電極に張力を付与する張力発生手段を備えると共に、ワイヤ電極の張力を検出する張力検出器を備え、該張力検出器で検出した検出張力をフィードバックして設定張力になるようにワイヤ電極の張力のフィードバック制御を行うワイヤ放電加工機において、請求項１に係る発明は、設定された張力と、該設定張力を作用させたときに前記張力検出器で検出される張力に基づいて、張力検出器の検出ずれ量を求める較正を行い、較正で求めた検出ずれ量で張力検出器の出力を補正する較正手段を設け、前記張力検出器の検出張力を前記較正手段で補正した補正検出張力に基づいて、ワイヤ電極の張力のフィードバック制御を行うようにしたものである。

【0012】

また、請求項２に係る発明は、前記較正手段の較正を、検出ずれ量を設定張力の関数として求め記憶するものとし、放電加工時には、前記較正手段は設定される張力の値に対する検出ずれ量を前記関数より求めて、前記張力検出器で検出される検出張力に該検出ずれ量を補正して補正検出張力とするものである。
請求項３に係る発明は、前記較正手段の較正を、複数の設定張力と各設定張力を作用させたときに前記張力検出器で検出される張力の組み合わせの点列を記憶するものとし、放電加工時には、記憶された設定張力と検出張力の組み合わせの点列より加工時設定の張力に対する検出ずれ量を求めて、前記張力検出器で検出される検出張力に該検出ずれ量を補正して補正検出張力としたものである。

【0013】

請求項４に係る発明は、前記張力発生手段はワイヤ電極に駆動力を作用させるモータで行うようにしたものである。
請求項５に係る発明は、前記張力検出器の較正をワイヤ電極の送りが停止しているときに行うものとした。
また請求項６に係る発明は、前記張力検出器の較正を、ワイヤ電極が送り出されているときに行うものとした。
さらに、請求項７に係る発明は、温度が一定量変化したとき、前記張力検出器の較正を自動的に行うか若しくは張力検出器の較正を促す表示を行うようにした。

【発明の効果】

【0014】

本発明は、張力検出器の検出張力のずれ量を設定張力値の関数として求め、検出張力値を補正するようにしたから、正確な張力検出ができ、ワイヤ電極の張力フィードバック制御ができることになるから、ワイヤ放電加工の高精度化とワイヤ電極の断線の防止予防を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の一実施形態の概要図である。

【図2】同実施形態における設定張力と検出張力の関係式及び理想値とのずれの検出ずれ量を求める第１の態様の説明図である。

【図3】同実施形態における設定張力と検出張力の関係式及び理想値とのずれの検出ずれ量を求める第２の態様の説明図である。

【図4】同実施形態における設定張力と検出張力の関係式及び理想値とのずれの検出ずれ量を求める第３の態様の説明図である。

【図5】同実施形態における設定張力と検出張力の関係式及び理想値とのずれの検出ずれ量を求める第４の態様の説明図である。

【図6】同実施形態における検出張力と設定張力の検出ずれ量を設定張力の関数として求める較正処理のアルゴリズムを示すフローチャートである。

【図7】同実施形態における補正張力値を求める処理のアルゴリズムを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0016】

図１は本発明の一実施形態の概要図である。ワイヤ電極８は図示しないソースボビンから引き出され、供給ローラ４にピンチローラ５で抑えられながら、上ワイヤガイド６、下ワイヤガイド７を通り、巻き取りローラ９、９で挟まれ送りだされる。上ワイヤガイド６と下ワイヤガイド７間で被加工物Ｗに放電加工がなされる。供給ローラ４は、供給モータ１２で駆動され、巻き取りローラ９は巻き取りモータ１３で駆動される。供給モータ１２、巻き取りモータ１３は、ＮＣ装置（数値制御装置）１からの指令に基づいてそれぞれモータ制御装置１１、１４を介して駆動制御され、ワイヤ電極の走行、張力を制御する。なお、供給ローラ４、ピンチローラ５、供給モータ１２、モータ制御装置１１、及び、巻き取りローラ９、９、巻き取りモータ１３、モータ制御装置１４でワイヤ電極８に張力を付与する張力発生手段１０をも構成している。

【0017】

一方、放電加工領域を含む供給ローラ４と巻き取りローラ９との区間のワイヤ電極８の張力を検出する張力検出器２が設けられている。該張力検出器２は、ワイヤ電極８の張力を検出し較正手段３に出力する。較正手段３は、張力検出器２を較正するための手段であり、張力検出器２で検出した張力を補正し、該補正した検出張力をＮＣ装置１に出力する。ＮＣ装置１は、この入力された補正検出張力と指令張力に基づいて、従来と同様に、供給モータ１２、巻き取りモータ１３の速度又はトルクを制御することによって、ワイヤ電極８の張力を指令張力と一致するようにフィードバック制御を行う。

【0018】

本発明は、張力検出器を用いてワイヤ電極の張力を検出し、該ワイヤ電極８の張力が指令張力と一致するようにフィードバック制御する点においては、従来と同様であるが、張力検出器２の出力を補正する較正手段３を付加し、張力検出器２の出力のずれ量を補正するようにした点に特徴を有するものである。
なお、図１に示した実施形態では、較正手段３をＮＣ装置１の外に設けたが、この較正手段３をＮＣ装置１内に設け、ＮＣ装置１のプロセッサで、この較正手段３としての動作処理を行わせてもよいものである。

【0019】

図２〜図５は、較正手段３で実施される較正動作原理の第１〜第４の態様の説明図であり、検出張力と理想値（実際の張力）との差の検出ずれ量を表す設定張力に対する関数として求める方法の説明図である。
張力発生手段１０によって、ワイヤ電極８に設定張力ｘを付与して張力検出器２で張力を検出（検出値ｙ）する。この動作を１以上の設定張力ｘに対して行う。得られた点列より張力検出器２で検出された張力ｙを設定張力ｘの関数として関係式ｙ＝ｆ（ｘ）を求めることができる。一方、ワイヤ電極８に設定張力ｘを付与したとき、ワイヤ電極の張力はｘであり張力検出器２から出力される検出張力ｙとしては、ｙ＝ｘであることが期待値であり理想値である。よって、張力検出器２から出力される検出張力値の理想値からの検出ずれ量である検出ずれ量ｄは、
ｄ＝ｆ（ｘ）−ｘ
として求められる。

【0020】

放電加工時においては、設定（指令）張力ｘより求められた検出ずれ量ｄを張力検出器２から出力される検出張力ｙに補正して、補正検出張力として出力すれば、張力検出器２の検出ずれは補正され、正確な張力の検出ができる。

【0021】

図２は、設定張力ｘが１点で、そのとき張力検出器２で検出された張力ｙより、設定張力と検出値の関係式ｙ＝ｆ（ｘ）を求め、さらに、検出ずれ量ｄを求める方法の第１の態様の説明図である。この第１の態様は、設定張力（ワイヤ電極の張力）ｘ＝０のとき張力検出器２の検出張力ｙ＝０であり、かつ、張力検出器２の検出張力ｙは設定張力（実際の張力としての期待値、理想値）ｘに単純に比例する関係にある張力検出器の場合に適用されるものである。

【0022】

張力発生手段１０を駆動し、供給モータ１２、巻き取りモータ１３の速度、トルクを制御して、ワイヤ電極に設定張力ｘ＝ａを付与して張力検出器２で張力を検出すると検出張力ｙ＝ｂであったとする。

【0023】

そうすると、設定張力ｘと検出張力ｙの関係式ｆ（ｘ）は、
ｆ（ｘ）＝（ｂ/ａ）ｘ ・・・・（１）
検出ずれ量ｄは
ｄ＝（ｂ/ａ）ｘ−ｘ＝（（ｂ/ａ）−１）ｘ・・・・（２）
となる。

【0024】

図３は、検出張力ｙは設定張力（実際の張力）ｘに単純に比例する関係にあるが、設定張力ｘが「０」のとき張力検出器２の検出張力ｙは「０」ではないような張力検出器に適用されるもので、この場合は、設定張力ｘをａ₁、ａ₂とし、それぞれワイヤ電極８に張力をかけ、張力検出器２からそれぞれ出力される検出張力ｙをｂ1、ｂ2として求めれば、設定張力ｘの関数として表わされる検出張力ｙの式ｆ（ｘ）は、
ｆ(ｘ)＝{(ｂ₂−ｂ₁)/(ａ₂−ａ₁)}ｘ＋(ａ₂・ｂ₁−ａ₁・ｂ₂)/(ａ₂−ａ₁)・・（３）
検出ずれ量ｄは
ｄ＝{(ｂ₂−ｂ₁)/(ａ₂−ａ₁)−１}ｘ＋(ａ₂・ｂ₁−ａ₁・ｂ₂)/(ａ₂−ａ₁)・・（４）
となる。

【0025】

図４は、設定張力ｘの関数として表わされる張力検出器２で検出される張力ｙの関係式ｙ＝ｆ（ｘ）を求める第３の態様の説明図である。この第３の態様では、複数の設定張力ｘに対してそれぞれ張力検出器２で張力ｙを検出し、この検出点（ｘ，ｙ）の点列より最小二乗法などの近似手段を用いて近似直線の関係式ｆ（ｘ）を求めるものである。
さらには、図５に示すように、これら点を滑らかな曲線で結んだ関係式ｆ（ｘ）を求めるようにしてもよいものである。そして、検出ずれ量ｄは、ｄ＝ｆ（ｘ）−ｘとして設定張力ｘの関数として求められる。

【0026】

また、供給モータ１２、巻き取りモータ１３の速度又はトルクを制御してワイヤ電極に付与する張力ｘを連続的に変化させながら、張力検出器の出力ｙを連続的に検出することで、設定張力に対する検出張力の関係式ｆ（ｘ）を得るようにしてもよい。

【0027】

図６は、較正手段３のプロセッサ、若しくは、ＮＣ装置１内に較正手段を構成したときはＮＣ装置１のプロセッサが実施する張力検出器の較正処理のアルゴリズムを示すフローチャートである。

【0028】

張力検出器２の較正指令がＮＣ装置１に入力されると、較正処理を実行するプロセッサは図６に示す処理を開始する。
まず、指標ｎを「１」にセットすると共に、初期張力値ｘ₀＝ｘ_ｎ-1を「0」とし（ステップＳ１）、１つ前の指令張力値ｘ_ｎ-1に所定量ａを加算した設定張力値ｘ_ｎを求め、該設定張力値ｘ_ｎを張力発生手段１０に出力する（ステップＳ２）。張力発生手段１０は従来と同様に、モータ制御装置１１、１４を介して供給モータ１２、巻き取りモータ１３を駆動制御し、ワイヤ電極８に指令された張力ｘ_ｎを発生させる。すなわち、供給モータ１２と巻き取りモータ１３の速度を制御することによってワイヤ電極に張力を発生させる場合には、巻き取りローラ９でワイヤ電極を巻き取る速度と、供給ローラ４及びピンチローラ５で送り出すワイヤ電極の速度に差を与えて、その速度差でワイヤ電極に指令された張力ｘ_ｎを発生させる。また、供給モータ１２と巻き取りモータ１３のトルクでワイヤ電極に指令張力を発生させる場合には、供給モータ１２及び巻き取りモータ１３のトルクを制御することによって張力を発生させる。この場合には、ワイヤ電極を走行させた状態でも、又は走行を停止させた状態でもよい。

【0029】

次に、張力検出器２の出力の検出張力値ｙ_ｎを読み取り（ステップＳ３）、指標ｎに１加算し（ステップＳ４）、該指標ｎの値が、データを求めるために設定された数Ｎ_ｍａｘ以上か判別し（ステップＳ５）、以上でなければ、ステップＳ２に戻り、以下、指標の値が設定数Ｎ_ｍａｘに達するまでステップＳ２〜ステップＳ５の処理を実行し、その後、ステップＳ６に移行する。指令した設定張力値ｘ₁〜ｘ_Ｎｍａｘと張力検出器の出力の検出張力値ｙ₁〜ｙ_Ｎｍａｘより張力検出ｙを設定張力ｘの関数で表わす関係式ｆ（ｘ）を求め（ステップＳ６）、張力検出器２を較正するための検出ずれ量ｄを設定張力ｘの関数で表わす関数式ｄ＝ｆ（ｘ）−ｘを求めて記憶し（ステップＳ７）、較正処理を終了する。

【0030】

図２に示す第１の態様で関係式ｆ（ｘ）を求める場合は、データを求める数Ｎ_ｍａｘを「１」とし、指令張力値ｘ₁（図２におけるａ）とそのとき検出された張力検出値ｙ1（図２におけるｂ）より第１式に示される設定張力ｘと検出張力ｙの関係式ｆ（ｘ）を求め、第２式で示されるずれ量ｄを求める設定張力ｘの関数式を記憶することになる。
ｄ＝（（ｂ/ａ）−１）ｘ＝（（ｙ₁/ｘ₁）−１）ｘ

【0031】

また、図３に示す第２の態様で関係式ｆ（ｘ）を求める場合は、データを求める数Ｎｍａｘを「２」とし、指令する設定張力値ｘ_１、ｘ_２（図２におけるａ_１、ａ_２）と、そのとき検出された張力検出値ｙ_１、ｙ_２（図２におけるｂ_１、ｂ_２）より第３式に示される設定張力値ｘと張力検出値ｙの関係式ｆ（ｘ）を求め、第４式で示されるずれ量ｄを求める式を記憶することになる。

【0032】

ｄ＝｛（ｂ₂−ｂ₁）／（ａ₂−ａ₁）−１｝ｘ＋（ａ₂・ｂ₁−ａ₁・ｂ₂）/（ａ₂−ａ₁）
＝｛（ｙ₂−ｙ₁）／（ｘ₂−ｘ₁）−１｝ｘ＋（ｘ₂・ｙ₁−ｘ₁・ｙ₂）/（ｘ₂−ｘ₁）
図４に示す第３の態様で関係式ｆ（ｘ）を求める場合は、指令する設定張力値ｘ_１、ｘ_２・・・ｘ_Ｎｍａｘと、検出された張力検出値ｙ_１、ｙ_２・・・ｙ_Ｎｍａｘの組み合わせの点列（（ｘ₁，ｙ₁）、（ｘ_２，ｙ_２）、・・・ （ｘ_Ｎｍａｘ，ｙ_Ｎｍａｘ））より、最小二乗法などの近似方法で設定張力値ｘと張力検出値ｙの関係式ｆ（ｘ）を求める。また、図５に示した第４の態様で関係式ｆ（ｘ）を求める場合は、設定張力値と張力検出値の組み合わせの点列（（ｘ₁，ｙ₁）、（ｘ_２，ｙ_２）・・・ （ｘ_Ｎｍａｘ，ｙ_Ｎｍａｘ））より曲線近似して関係式ｆ（ｘ）を求める。こうして求められた関係式ｆ（ｘ）より張力検出器２を較正するための検出ずれ量ｄを求める関数式ｄ＝ｆ（ｘ）−ｘを求めて記憶する。

【0033】

図７は、放電加工時における張力検出器を較正し補正された張力検出値を求める処理のアルゴリズムを示すフローチャートである。
放電加工時においては、較正手段３（ＮＣ装置１内に設けられた較正手段を含む）のプロセッサは図７に示す処理を所定周期毎実施し、張力検出器２で検出されるワイヤ電極８の張力を較正処理によって得られた検出ずれ量ｄを補正して補正張力検出値を得る。

【0034】

まず、指令されている設定張力値ｘ_ｒを読み取り（ステップＴ１）、較正処理によって求められている検出ずれ量ｄを求める設定張力ｘの関数式ｄ＝ｆ（ｘ）-ｘより、この設定張力値ｘ_ｒに対する検出ずれ量（補正量）ｄ_ｒを求める（ステップＴ２）。
次に、張力検出器２の出力である検出張力ｙ_ｒを読みだし（ステップＴ３）、該検出張力ｙ_ｒより検出ずれ量（補正量）ｄ_ｒを差し引いて補正された検出張力Ｙ_ｒを求め（ステップＴ４）、張力検出処理は終了する。

【0035】

こうして求められた補正検出値Ｙ_ｒに基づいて、従来と同様に、ＮＣ装置１は張力発生手段１０を駆動制御して、ワイヤ電極８の張力が設定張力値と一致するようにフィードバック制御が実施される。

【0036】

なお、張力値が設定された後は、この設定値が変更されない限り、この設定張力値に対する検出ずれ量（補正量）ｄ_ｒは変化することがないので、張力値の設定値が変えられる毎にステップＴ１、Ｔ２の処理を実施して、設定張力値に対する検出ずれ量ｄ_ｒを求めておき、ワイヤ電極の張力を検出する際にはステップＴ３、Ｔ４の処理のみを行うようにしてもよい。

【0037】

以上のように、本発明は、ワイヤ電極に設定した指令張力とそのとき張力検出器から出力される検出張力に基づいて、張力検出器の検出ずれ量ｄを設定張力の関数で表わす式として求めるという張力検出器の較正処理をしておき、放電加工時に設定される設定張力に対する検出ずれ量を、検出ずれ量の関数式より求めて、張力検出器の出力を補正するようにしたものであるから、張力検出器の較正が簡単にできる。また、張力検出器を一度較正したとしても温度が変化すると張力検出器の検出張力がずれる（検出ずれ量が変化する）可能性がある。そのため、加工中に設定された差分以上の温度変化が生じた場合には、張力検出器の検出値がずれたと判断し、再度図６に示すような較正処理を実行し、新たなずれ量を求める関数式を得るようにすればよい。この場合、ワイヤ電極の送りを止めて較正を行っても、また送りを止めずに較正を行ってもよい。また、温度変化に伴う較正処理を促すために、温度計を設け、ＮＣ装置１又は較正手段３又はＮＣ装置１は、較正処理を行ったとき、温度計で検出される温度を記憶しておき、該記憶温度より所定値以上に温度が変化した場合、較正処理を促す信号を出す（表示画面に表示等）ようにしてもよい。さらには、記憶した温度より所定値以上に温度が変化した場合に自動的に図６の較正処理を実行するようにしてもよい。

【0038】

また上述した実施形態では、設定張力ｘと張力検出ｙの関係式ｆ（ｘ）を求め、該関係式ｆ（ｘ）より検出ずれ量の関数式ｄ＝ｆ（ｘ）−ｘを求めて記憶して、放電加工時には、検出ずれ量の関数式ｄ＝ｆ（ｘ）−ｘより設定張力ｘ_ｒに対する検出ずれ量ｄ_ｒを求め、検出張力ｙ_ｒを補正するようにしたが、関係式ｆ（ｘ）を求め、検出ずれ量の関数式ｄ＝ｆ（ｘ）−ｘを記憶するのではなく、張力検出器２の較正時には、関係式ｆ（ｘ）の代わりに、複数の設定張力ｘと該複数の設定張力ｘに対して検出された張力検出ｙの組み合わせの点列（ｘ₁，ｙ₁） 、（ｘ_２，ｙ_２）・・・（ｘ_ｎ，ｙ_ｎ）を記憶しておき、放電加工時には、設定張力値ｘ_ｒに対する較正のための検出ずれ量ｄ_ｒを記憶点列より求めるようにしてもよい。すなわち、記憶する点列の中で、設定張力値の前後の記憶設定張力値の２点より内挿補間して補正検出張力Ｙ_ｒを求めるようにしてもよい。

【符号の説明】

【0039】

１ ＮＣ装置（数値制御装置）
２ 張力検出器
３ 較正手段
４ 供給ローラ
５ ピンチローラ
６ 上ワイヤガイド
７ 下ワイヤガイド
８ ワイヤ電極
９ 巻き取りローラ
１０ 張力発生手段
１１ モータ制御装置
１２ 供給モータ
１３ 巻き取りモータ
１４ モータ制御装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】