特許第6135965号(P6135965)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6135965プラズマエッチング装置用の電極に設けられたガス導入孔の測定方法、電極、電極の再生方法、プラズマエッチング装置、ガス導入孔の状態分布図の表示方法
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