特許6138440フォトリソグラフィのための組成物および反射防止コーティング

発明の名称　フォトリソグラフィのための組成物および反射防止コーティング

出願人　ダウ　グローバル　テクノロジーズ　エルエルシー　（識別番号 502141050）

　　　　特許公開件数ランキング 230 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 226 位（20件）（共同出願を含む）

出願人　ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ，エル．エル．シー．　（識別番号 591016862）

　　　　特許公開件数ランキング 2710 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1273 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6138440

公報発行日　2017年5月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6138440

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