特許 6139451 除電装置、及び、それを備えた搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6139451

(24)【登録日】2017年5月12日

(45)【発行日】2017年5月31日

(54)【発明の名称】除電装置、及び、それを備えた搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H05F 3/04 20060101AFI20170522BHJP

   B65H 5/00 20060101ALI20170522BHJP

【ＦＩ】

   H05F3/04 C

   B65H5/00 A

【請求項の数】7

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2014-68999(P2014-68999)

(22)【出願日】2014年3月28日

(65)【公開番号】特開2015-191813(P2015-191813A)

(43)【公開日】2015年11月2日

【審査請求日】2016年6月21日

(73)【特許権者】

【識別番号】394018225

【氏名又は名称】フィーサ株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】特許業務法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】斎藤 進

(72)【発明者】

【氏名】奥山 明

(72)【発明者】

【氏名】中尾 多通夫

(72)【発明者】

【氏名】池田 大介

【審査官】 高橋 学

(56)【参考文献】

【文献】 特開平９−２１３４５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１９７０９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−１３２２７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６２−１５３９７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−５４２８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−９８６２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｆ ３／０４

Ｈ０１Ｔ １９／００−１９／０４

Ｈ０１Ｔ ２３／００

Ｂ６５Ｈ ５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

平板状の基板の表面部に支持された放電極と、前記基板に支持されて前記基板を加熱する加熱部と、を備え、
前記放電極からの放電によりイオン化物質を生成して除電対象物を除電する除電装置であって、
絶縁性材料にて形成されて熱伝導率が前記基板の熱伝導率よりも大きい伝熱体が、前記基板の表面部における設定範囲の全面に亘って前記基板に接触する状態で設けられ、
前記設定範囲は、前記加熱部に対応する部分を含みかつ前記放電極に対応する部分の周囲に設定されている除電装置。

【請求項2】

前記放電極が、連続する線状に形成され、前記加熱部が線状に形成されて前記放電極に沿って設けられている請求項１に記載の除電装置。

【請求項3】

前記基板の表面部を覆い且つ前記放電極に対応する位置に開口を備えた金属製の筐体部が設けられ、
前記伝熱体が前記筐体部に接触する状態で設けられている請求項１又は２に記載の除電装置。

【請求項4】

前記筐体部が、ステンレス鋼により構成されている請求項３に記載の除電装置。

【請求項5】

前記絶縁性材料が、前記基板の表面部から垂直方向に離れる方向での熱伝導率が１．０Ｗ／ｍ・Ｋ以上２．０Ｗ／ｍ・Ｋ以下の樹脂であり、
前記基板が、熱伝導率が０．１Ｗ／ｍ・Ｋ以上０．９Ｗ／ｍ・Ｋ以下の材質にて構成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の除電装置。

【請求項6】

前記基板、前記伝熱体、及び前記加熱部が一体に組み付けられた除電ユニットを備えている請求項１〜５の何れか１項に記載の除電装置。

【請求項7】

板状の搬送物を下方から支持する搬送ローラを搬送方向に複数並ぶ状態で備えて前記搬送物を搬送する搬送装置であって、
請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の除電装置が、搬送方向で複数の前記搬送ローラの間に取付けられ、
前記除電装置は、前記搬送ローラに支持されている前記搬送物の下方において近接する位置に取り付けられている搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、平板状の基板の表面部に支持された放電極と、前記基板に支持されて前記基板を加熱する加熱部と、を備え、前記放電極からの放電によりイオン化物質を生成して除電対象物を除電する除電装置、及び、それを備えた搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

放電によりイオン化物質を生成する放電極には、当該放電極からの放電に伴って不純物が付着する。特開平５−１６６５７８号公報（特許文献１）には、放電極に不純物が付着すると、その不純物が空気中の水分を吸収して放電極の放電能力が低下することが開示されている。また、基板の材質によっては、基板が空気中の水分を吸収してしまい、これにより放電極の放電能力が低下する虞がある。さらに、上記不純物は、放電極の周囲の空気の湿度が高い場合に付着し易く、放電極の放電能力の低下が発生し易いことが経験的に分かっている。このような放電極の放電能力の低下は、除電装置の除電能力の低下につながるという問題がある。この問題に対し、特許文献１には、基板を加熱する線状の加熱部を平板状の基板の裏面部に取り付けて、放電極を加熱して不純物の結晶を分解除去する技術が開示されている。特許文献１の技術では、不純物の分解除去に加え、加熱部によって放電極の周囲の空気を加熱して空気の湿度を低下させることによって、不純物の放電極への付着を抑制することで、放電極の放電能力の低下を抑制できると考えられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平５−１６６５７８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１の構成では、基板の裏面に線状のヒーターパターン６を蛇行状に配置して基板を加熱するようにしている。このような構成では、ヒーターパターン６による熱が加熱部の存在部分に集中するような熱分布となり、線状のヒーターパターン６の存在部分は十分な加熱が可能であるものの、基板の面方向でヒーターパターン６から離れた部分では加熱が十分に行えない虞がある。
その為、基板における比較的温度の低い部分で十分な低湿度化が行えず、基板による水分の吸収や不純物結晶の付着、さらには、付着した不純物結晶の水分の吸収が発生し、放電極の放電能力の低下を適切に防止できない虞がある。
そこで、例えば、線状の加熱部を、放電極の存在範囲の全体に満遍なく稠密に存在するように蛇行させることも考えられるが、このような構成とすると、加熱部の構成が複雑になる虞がある。

【0005】

そこで、加熱部の構成を簡素なものとしながら、放電極における放電能力の低下を適切に抑制できる除電装置、及び、そのような除電装置を備えた搬送装置の実現が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するための本発明に係る除電装置は、平板状の基板の表面部に支持された放電極と、前記基板に支持されて前記基板を加熱する加熱部と、を備え、前記放電極からの放電によりイオン化物質を生成して除電対象物を除電するものであって、
絶縁性材料にて形成されて熱伝導率が前記基板の熱伝導率よりも大きい伝熱体が、前記基板の表面部における設定範囲の全面に亘って前記基板に接触する状態で設けられ、前記設定範囲は、前記加熱部に対応する部分を含みかつ前記放電極に対応する部分の周囲に設定されている点を特徴とする。

【0007】

上記したように、放電極を支持している基板を加熱部にて加熱することで、放電極周辺の空気を加熱し湿度を低下させて、基板による水分吸収や放電極への不純物の付着を抑制し、放電極の放電能力の低下を防止することができる。

【0008】

しかも、基板の熱伝導率よりも大きい伝熱体が、基板の表面部における、加熱部に対応する部分を含みかつ放電極に対応する部分の周囲に設定された設定範囲の全面に亘って、基板に接触する状態で設けられている。したがって、例えば、加熱部を直線状のヒーターとする等、簡易な構成としても、加熱部が発生する熱を伝熱体の基板表面部との接触面の全体を用いて伝達することができ、基板の表面部における設定範囲の全体を極力均一に加熱することができる。このため、放電極の周囲の空気の湿度を、極力広い範囲に亘って低下させることができる。

【0009】

したがって、加熱部の構成を簡素なものとしながら、放電極における放電能力の低下を適切に抑制できる除電装置を提供できる。

【0010】

本発明に係る除電装置においては、前記放電極が、連続する線状に形成され、前記加熱部が線状に形成されて前記放電極に沿って設けられていることが好ましい。

【0011】

すなわち、放電極が線状に構成されるので、イオン化物質が、線状の放電極に沿って生成される。したがって、局所的に設けられた放電極によってイオン化物質を生成する場合に比べて、広範囲にて均一にイオン化物質を生成することができ、除電対象物における除電対象箇所が一定の広がりを有する場合においても、偏りなく除電作用を発揮することができる。
そして、加熱部が、線状に形成された放電極に沿って設けられているので、線状の放電極の全体に亘って、その周囲の雰囲気の湿度を低下させることができ、放電極における放電能力の低下を適切に抑制できる。

【0012】

本発明に係る除電装置においては、前記基板の表面部を覆い且つ前記放電極に対応する位置に開口を備えた金属製の筐体部が設けられ、前記伝熱体が前記筐体部に接触する状態で設けられていることが好ましい。

【0013】

除電対象物は単一極性に大きく帯電している場合があるため、その除電対象物の電荷で生じた電界の影響により、放電極を含めた回路に寄生している浮遊容量成分に電位のオフセットが生じる。回路内が基準電位に対しオフセットすることは、基準電位との電位差をもってイオン化物質を生成している仕組みにおいて、その生成量に不安定な要因が生じることになり、イオンバランスや除電性能に影響を及ぼす虞がある。
そこで、放電極に対応する位置に開口を設けた金属製の筐体部にて基板の表面部を覆うことで、除電対象物から生じる電界により放電極の電位が影響を受ける事象を抑制することができる。
このような構成において、不純物結晶は、放電極だけでなく、金属製の筐体部における放電極に近接する部分にも付着する可能性があるが、伝熱体を筐体部に接触する状態で設ければ、加熱部の熱を筐体部に良好に伝達することができるため、筐体部周辺の雰囲気の湿度を低減することができ、放電極における放電能力の低下を適切に抑制できる。

【0014】

本発明に係る除電装置においては、前記筐体部が、ステンレス鋼により構成されていることが好ましい。

【0015】

すなわち、放電極からの放電に伴って放電極自体や筐体部に付着する不純物は、例えば硝酸アンモニウムや硫酸アンモニウム等が混入した結晶等、金属に対する腐食性を有する物質である可能性がある。
そこで、筐体部を、耐腐食性が比較的高いステンレス鋼により構成することで、仮に不純物が付着したとしても、筐体部が腐食する事態を抑制することができる。

【0016】

本発明に係る除電装置においては、前記絶縁性材料が、前記基板の表面部から垂直方向に離れる方向での熱伝導率が１．０Ｗ／ｍ・Ｋ以上２．０Ｗ／ｍ・Ｋ以下の樹脂であり、 前記基板が、熱伝導率が０．１Ｗ／ｍ・Ｋ以上０．９Ｗ／ｍ・Ｋ以下の材質にて構成されていることが好ましい。

【0017】

すなわち、伝熱体が、基板よりも熱伝導率の大きい絶縁性材料で構成されているから、加熱部から生じた熱が基板から熱伝導率の大きな伝熱体に移動し易い。この為、基板を加熱部によって直接加熱する状態を抑制しつつ、当該基板を伝熱体にて加熱し易いものとなる。

【0018】

本発明に係る除電装置においては、前記基板、前記伝熱体、及び前記加熱部が一体に組み付けられた除電ユニットを備えていることが好ましい。

【0019】

すなわち、基板、伝熱体、及び加熱部が一体に組み付けられた除電ユニットを取り付けることで、取付対象箇所への除電装置の取付け作業の容易化を図ることができる。
また、例えばメンテナンス時等において、取付対象箇所から除電装置を取外したい場合は、当該除電ユニットごと取外すことで、簡単に除電装置を取付対象箇所から取外すことができる。このように、取付け及び取外しが簡単に行える除電装置となる。

【0020】

本発明に係る搬送装置は、板状の搬送物を下方から支持する搬送ローラを搬送方向に複数並ぶ状態で備えて前記搬送物を搬送するものであって、
前記除電装置が、搬送方向で複数の前記搬送ローラの間に取付けられ、前記除電装置は、前記搬送ローラに支持されている前記搬送物の下方において近接する位置に取り付けられていることが好ましい。

【0021】

すなわち、板状の搬送物を下方から支持する搬送ローラにて当該板状の搬送物を搬送するように構成した場合、搬送ローラと搬送物の下面との摩擦により、搬送物（特にその下面側）が帯電する虞がある。
上記構成によれば、搬送物の下方において近接する位置に除電装置が備えられているので、搬送物の下面側が帯電したとしても、当該搬送物を適切に除電することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】搬送装置の要部側面図

【図2】搬送装置の要部平面図

【図3】除電ユニットの全体斜視図

【図4】放電極基板及び接続用基板の全体斜視図

【図5】図４におけるＶ−Ｖ方向矢視図

【図6】図４におけるＶＩ−ＶＩ方向矢視図

【図7】加熱部の配置パターンを示す図

【図8】伝熱体の全体斜視図

【図9】筐体部の全体斜視図

【図10】除電ユニットの組立て構成図

【図11】除電ユニットの長手方向視断面図

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明に係る除電装置を装備した搬送装置の実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、搬送装置１は、回転軸１Ｊと一体に回転自在に支持枠体１Ｗに支持されて、液晶用のガラス基板等の板状の搬送物を下方から支持する搬送ローラ１Ｒを、搬送方向に複数並ぶ状態で備えて構成されている。
夫々の回転軸１Ｊには、スプロケット１Ｓが一体回転自在に取り付けられ、隣接する回転軸１Ｊ同士は、複数のスプロケット１Ｓに亘って巻き掛けられたベルト（図示省略）にて、連動して回転するように構成されている。また、回転軸１Ｊのうちの１つ又は複数に駆動用モータの減速機の出力軸が連結されている。搬送ローラ１Ｒは、外周部がゴムやウレタン等摩擦係数の大きな素材にて形成されており、駆動用モータを作動させて搬送ローラ１Ｒを回転させることで、当該搬送ローラ１Ｒと板状の搬送物の下面との摩擦により板状の搬送物を搬送することができる。

【0024】

支持枠体１Ｗには、所定の間隔を開けて除電ユニットＵが装備されている。除電ユニットＵは、後述する放電極からの放電によりイオン化物質を生成して、除電対象物を除電する除電装置を備えており、図３に示すように棒状に形成されている。この除電ユニットＵは、支持枠体１Ｗにおいて搬送方向で複数の搬送ローラ１Ｒの間の位置に形成された取付用溝１Ｍに嵌合させる形態で備えられる。

【0025】

次に、除電ユニットＵの構成を説明する。除電ユニットＵは、図１０に示すように、放電極基板３０及び接続基板４０、伝熱体２０、並びに、上部カバー部１０、を備えている。放電極基板３０は、図４に示すように、平板状でかつ長尺状に形成され、その表面部に、その長手方向に沿う金属製の放電極Ｄと、放電極基板３０を加熱する電熱ヒーターＨを備えている。

【0026】

放電極Ｄは直線状に連続して形成されており、電熱ヒーターＨは、図４及び図７（ａ）に示すように、平面視で放電極基板３０の長手方向に直交する方向において線状の放電極Ｄの両側部に沿う部分（非横断部分と称する）と、放電極Ｄの長手方向両端部において平面視で放電極基板３０の長手方向に直交する方向で放電極Ｄを横切る部分（横断部分と称する）と、を備える線状に形成されている。電熱ヒーターＨにおける放電極Ｄの側部に沿う部分の一方側の長手方向中央部には、当該電熱ヒーターＨの高圧側極ＨＣ１と低圧側極ＨＣ２とが形成されている。

【0027】

図５及び図６は、放電極基板３０の長手方向視断面図であり、図５は、非横断部分である図４のＶ−Ｖ矢視断面を、また、図６は、非横断部分である図４のＶＩ−ＶＩ矢視断面を示している。

【0028】

放電極基板３０は、図５、６に示すように、ガラスエポキシ基板層３３（ガラスエポキシ基板３３Ｂ）と、ヒーター層３２と、放電極層３１とを備えている。
放電極層３１は、図５及び６に示すように、上面に放電極Ｄが取り付けられ、裏面に放電極Ｄからコロナ放電の対象電極となる誘導極Ｙが取り付けられたマイカ基層３１Ｂと、マイカ基層３１Ｂの上面を放電極Ｄの上端が露出する形態で覆う上部コーティング層３１Ａと、マイカ基層３１Ｂの下面を誘導極Ｙを含め全面的に覆う下部コーティング層３１Ｃとを備えている。

【0029】

ヒーター層３２は、非横断部分においては、図５（ａ）に示すように、下面に電熱ヒーターＨが取り付けられたＰＥＴ製のヒーター母材層３２Ｂと、ヒーター母材層３２Ｂの下面を電熱ヒーターＨを含め全面的に覆うカバー層３２Ｃとを備えている。
なお、ヒーター層３２における横断部分においては、図６（ａ）に示すように、ヒーター母材層３２Ｂの上面側に、放電極層３１における誘導極Ｙとの間での短絡を防止するポリイミド絶縁テープ３２Ａが貼り付けられる。

【0030】

そして、放電極基板３０は、図５（ｂ）、図６（ｂ）に示すように、上記のように構成された放電極層３１と、ヒーター層３２と、ガラスエポキシ基板層３３とを、上から放電極層３１、ヒーター層３２、ガラスエポキシ基板層３３の順に接着剤等にて貼り合せて一体的に構成されている。
本実施形態においては、放電極基板３０が本発明における基板に相当し、放電極Ｄが本発明における放電極に相当し、電熱ヒーターＨが本発明における加熱部に相当する。
すなわち、除電装置が、平板状の放電極基板３０の表面部に支持された放電極Ｄと、放電極基板３０に支持されて放電極基板３０を加熱する電熱ヒーターＨと、を備えている。なお、放電極層３１と、ヒータ層３２の間に、熱伝導性の優れた絶縁フィルムなどを貼り合わせることで、より均一に安定して放電極層３１を加熱することができる構成を取ることもできる。

【0031】

接続基板４０は、放電極基板３０とほぼ同じ寸法に形成されており、放電極Ｄ又は電熱ヒーターＨに供給する電力の入出口として放電極基板３０の裏面に形成される被供給側接点（図示省略）に当接自在な供給側接点４０Ｓを備えている。また、接続基板４０の両端部には、隣接する接続基板４０同士を電気的に接続するフラット型のコネクタ４０Ｃが備えられている。コネクタ４０Ｃ同士はフラットケーブルで相互に接続可能に構成されている。

【0032】

伝熱体２０は、絶縁性材料にて、図８に示すように、偏平且つ長尺の棒状体に形成され、上下に貫通する開口２０Ｈが形成されている。伝熱体２０の形状は、放電極基板３０の上面側に重ねた状態において、電熱ヒーターＨが設けられる部分の全面に亘って放電極基板３０に接触し、かつ、放電極Ｄに対応する位置に開口２０Ｈが位置する形状としている。なお、図８の伝熱体２０は、放電極基板３０の２つ分の長さを有し、長手方向に２つ並べた放電極基板３０を覆うように形成されているが、単一の放電極基板３０を覆うもの、又は３つ以上の放電極基板３０を覆うものとしてもよい。また、伝熱体２０の開口２０Ｈは、長手方向視での断面形状において、鉛直部２２Ｈの上端に湾曲形状のアール部２２Ｒが連続して形成されている。

【0033】

伝熱体２０を構成する絶縁性材料は、放電極基板３０の表面部から垂直方向に離れる方向での熱伝導率が、放電極基板３０のガラスエポキシ基板３３Ｂの熱伝導率（０．１Ｗ／ｍ・Ｋ以上０．８Ｗ／ｍ・Ｋ以下）よりも大きい絶縁性材料（１．０Ｗ／ｍ・Ｋ以上２．０Ｗ／ｍ・Ｋ以下）とする。本実施形態においては、熱伝導性樹脂を用いており、伝熱体２０を構成する絶縁性材料の熱伝導率が、ガラスエポキシ基板３３Ｂの熱伝導率の２倍以上、好ましくは１０倍以上とするように、絶縁性材料の材質を選択している。

【0034】

すなわち、絶縁性材料にて形成されて熱伝導率が放電極基板３０の熱伝導率よりも大きい伝熱体２０が、放電極基板３０の表面部における設定範囲の全面に亘って放電極基板３０に接触する状態で設けられ、設定範囲は、電熱ヒーターＨに対応する部分を含みかつ放電極Ｄに対応する部分の周囲に設定されている。

【0035】

上部カバー部１０は、図９に示すように、ステンレス鋼板（本実施形態においては、ＳＵＳ３０４を使用）をコ字状に折り曲げ加工して形成され、上面部に長手方向に沿う長孔部１１Ｈが形成されている。この長孔部１１Ｈは、放電極Ｄに対応する位置に形成されており、かつ、伝熱体２０の開口２０Ｈの周囲の出隅部が嵌まり込むように構成されている。また、上部カバー部１０の側面部には、長手方向に離間してボルト孔１２Ｈが形成されている。本実施形態においては、上部カバー部１０が本発明の筐体部に相当する。

【0036】

図１０及び図１１に、除電ユニットＵの組み立て構成を示す。除電ユニットＵを支持する下部カバー部５１に支持体５０を固定し、支持体５０に接続基板４０を支持させる。支持体５０においてボルト孔１２Ｈに対応する位置には、ボルトＵＢが螺合される雌ねじ部が設けられる。次に、接続基板４０の上部に放電極基板３０を取り付ける。接続基板４０には、図示はしていないが、放電極Ｄに高周波交流電圧を供給する放電極用電源制御部、及び、ヒーター用電源制御部からの電源線が接続されるようになっている。そして、接続基板４０の上部に放電極基板３０を取り付けることで接続基板４０の供給側接点４０Ｓに放電極基板３０の被供給側接点が当接することによって、放電極基板３０における放電極Ｄ、及び電熱ヒーターＨに電力が供給されるようになっている。

【0037】

さらに、放電極基板３０の上面側に伝熱体２０を重ねて取付け、その上部を上部カバー部１０で覆う形態で、上部カバー部１０のボルト孔１２ＨにボルトＵＢを螺合させる。これによって、支持体５０と上部カバー部１０とが固定される。このとき、伝熱体２０の外面２２が、上部カバー部１０の内面１２の少なくとも上面部１２Ｎに接触する状態となる。すなわち、伝熱体２０が上部カバー部１０に接触する状態で設けられている。
このようにして、放電極基板３０、伝熱体２０、及び電熱ヒーターＨが一体に組み付けられた除電ユニットＵが形成される。なお、除電ユニットＵは、複数のユニット部分Ｕ１、Ｕ２を長手方向に連結して形成することができる。

【0038】

したがって、電熱ヒーターＨに電力が供給されて電熱ヒーターＨが発熱すると、放電極Ｄに対応する部分の周囲において放電極基板３０に面接触する状態で設けられた伝熱体２０が全熱せられて、放電極基板３０における放電極Ｄ周囲の空気を極力広い範囲で加熱し、湿度を低下させることができる。それとともに、伝熱体２０は、上部カバー部１０に接触しているので、上部カバー部１０の放電極Ｄに近接する部分も加熱されることとなり、上部カバー部１０の放電極Ｄに近接する部分に近接する空気を加熱してその湿度を低下させることができる。これらの作用により、放電極Ｄ、及び、上部カバー部１０への不純物の付着を抑制でき、放電極Ｄの放電能力の低下を抑制できる。

【0039】

〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、除電装置を板状の搬送物を搬送する搬送装置１に取り付けて使用する構成を例示したが、本発明の除電装置は、板状の搬送物以外の種々の搬送物を搬送する搬送装置に取り付ける構成としてもよい。また、搬送装置ではなく移動体に取付け、除電対象物に対して移動しながら除電を行う装置に用いる等、その設置対象は種々変更可能である。

【0040】

（２）上記実施形態では、放電極基板３０、伝熱体２０、及び電熱ヒーターＨが一体に組み付けられた除電ユニットＵを備える構成を説明したが、放電極基板３０、伝熱体２０、及び電熱ヒーターＨをユニット化せず、各別に搬送装置に取り付ける構成としてもよい。

【0041】

（３）上記実施形態では、伝熱体２０を構成する絶縁性材料を、放電極基板３０の表面部から垂直方向に離れる方向での熱伝導率がガラスエポキシ基板３３Ｂの熱伝導率（０．１Ｗ／ｍ・Ｋ以上０．９Ｗ／ｍ・Ｋ以下）よりも大きい絶縁性材料（１．０Ｗ／ｍ・Ｋ以上２．０Ｗ／ｍ・Ｋ以下）とする構成を説明したが、絶縁性材料は、放電極基板３０のガラスエポキシ基板３３Ｂの熱伝導率よりも大きいものであれば、上記以外のものを採用してもよい。また、上記実施形態では、伝熱体２０を構成する絶縁性材料の熱伝導率が、ガラスエポキシ基板３３Ｂの熱伝導率の２倍以上、好ましくは１０倍以上となるように絶縁性材料の材質を選択したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、絶縁性材料の材質を、当該絶縁性材料の熱伝導率がガラスエポキシ基板３３Ｂの熱伝導率の１倍を超え２倍未満となるものとすることもでき、また、絶縁性材料の熱伝導率がガラスエポキシ基板３３Ｂの熱伝導率の１０倍を超えるものとすることもできる。

【0042】

（４）上記実施形態では、放電極Ｄを、連続する線状に形成する例を示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、複数の放電極を離間状態で並べて備える形態としてもよい。この場合、電熱ヒーターＨは、複数の放電極の夫々又は全体を包囲する状態で形成し、伝熱体は、基板の表面部におけるその電熱ヒーターＨに対応する部分を含みかつ放電極に対応する部分の周囲において、放電極基板３０に面接触する状態で備えることとなる。

【0043】

（５）上記実施形態では、電熱ヒーターＨを、図７（ａ）に示すように、電熱ヒーターＨにおける放電極Ｄの側部に沿う部分の一方側の長手方向中央部に、高圧側極ＨＣ１及び低圧側極ＨＣ２を形成する例を示したが、電熱ヒーターＨの引き回しパターンは上記に限定されるものではなく、例えば、図７（ｂ）に示すように、放電極Ｄの両側部に沿う部分は双方とも連続する線状に形成し、放電極Ｄの一方側の端部において、放電極Ｄの両側部に沿う一対の部分の夫々に対応して高圧側極ＨＣ１及び低圧側極ＨＣ２を形成してもよい。また、図７（ｃ）に示すように、電熱ヒーターＨを環状に形成し、その両端に高圧側極ＨＣ１、及び低圧側極ＨＣ２を形成する形態でもよい。

【0044】

（６）上記実施形態では、上部カバー部１０を、ステンレス鋼板（ＳＵＳ３０４）にて構成する例を示したが、上部カバー部１０はＳＵＳ３０４以外のステンレス鋼板、又はステンレス以外の耐腐食性金属板を材料として構成してもよい。また、腐食性材料に耐腐食性表面加工を施したものにて形成してもよい。

【符号の説明】

【0045】

１ 搬送装置
１Ｒ 搬送ローラ
１０ 筐体部
１１Ｈ 筐体部の開口
２０ 伝熱体
３０ 基板
Ｄ 放電極
Ｈ 加熱部
Ｕ 除電ユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】