特許第6139520号(P6139520)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6139520磁気的閉じ込め及びファラデーシールド付き誘導結合型プラズマシステム並びに磁気的閉じ込め及びファラデーシールドを提供する方法
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