期限日
知財求人情報
特・実 審査基準
法文集
特許第6140082号(P6140082)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
ホーム
>
特許ランキング
>
ディー・ツー・エス・インコーポレイテッド
ツイート
知財求人
- 知財ポータルサイト「IP Force」
▶ ディー・ツー・エス・インコーポレイテッドの特許一覧
特許
6140082
荷電粒子ビームリソグラフィを使用してパターンを形成するための方法およびシステム
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
目に優しい
通常表示
文字サイズ
小
中
大
PDF
Top
<
>
<
>
1
2A
2B
2C
3A
3B
3C
4A
4B
4C
4D
4E
4F
5A
5B
6A
6B
6C
6D
7
8
21
