特許第6141080号(P6141080)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6141080薄膜圧電素子およびその製造方法、マイクロアクチュエータ、ヘッドジンバルアセンブリおよびそれを備えたディスク駆動装置
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