特許 6144299 円形分割方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6144299

(24)【登録日】2017年5月19日

(45)【発行日】2017年6月7日

(54)【発明の名称】円形分割方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20170529BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20170529BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/78 F

   B24B27/06 M

【請求項の数】4

【全頁数】8

(21)【出願番号】特願2015-133843(P2015-133843)

(22)【出願日】2015年7月2日

(65)【公開番号】特開2016-219764(P2016-219764A)

(43)【公開日】2016年12月22日

【審査請求日】2015年7月2日

(31)【優先権主張番号】104116400

(32)【優先日】2015年5月22日

(33)【優先権主張国】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】500345386

【氏名又は名称】久元電子股▲ふん▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100109634

【弁理士】

【氏名又は名称】舛谷 威志

(74)【代理人】

【識別番号】100129263

【弁理士】

【氏名又は名称】中尾 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100160369

【弁理士】

【氏名又は名称】黒田 仁志

(74)【代理人】

【識別番号】100163991

【弁理士】

【氏名又は名称】加藤 慎司

(74)【代理人】

【識別番号】100146374

【弁理士】

【氏名又は名称】有馬 百子

(72)【発明者】

【氏名】劉 文明

(72)【発明者】

【氏名】鄭 瑞槐

(72)【発明者】

【氏名】呉 朝晴

(72)【発明者】

【氏名】張 清宗

【審査官】 儀同 孝信

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００６−２８６６９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６３−１５６７１０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００２−２４６３３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５１−１２６７６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０２−１９０３１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−０８５３６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０２−２８８２５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−０３１０９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２５３４４１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

円形分割方法で、フープを設置し、そのフープ内にウエハーを設置、そしてウエハー外縁に関して安全距離値を設定、さらにウエハー上部に複数のブレードを設置し、そのブレードの長さはそれぞれ異なり、
（a）複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称；
（b）ウエハー下辺からウエハー上辺へ順に分割を進める；
（c）分割の過程においてそのブレードの長さとウエハーの長さの差異は安全距離値より低くし、前記ウエハー外縁の安全距離値はウエハー外縁からブレードエッジまでの距離とする；さらに
（d）ブレードの長さとウエハーの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する、分割ステップを有する円形分割方法。

【請求項2】

前記複数のブレードは５種類の長さに分かれ、前記複数のブレードはその長短により第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードとして取り付け、さらに（b）のステップで分割を行う際は第五ブレード、第四ブレード、第三ブレード、第二ブレード、第一ブレード、第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードの順とする、請求項１に記載の円形分割方法。

【請求項3】

円形分割方法で、フープを設置し、そのフープ内にウエハーを設置、そしてフープ内縁に関して安全距離値を設定、さらにウエハー上部に複数のブレードを設置し、そのブレードの長さはそれぞれ異なり、
（a）複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称；
（b）ウエハー下辺からウエハー上辺へ順に分割を進める；
（c）分割の過程においてそのフープ内縁の長さとブレードの長さの差異は安全距離値より低くし、前記フープ内縁の安全距離値はフープ内縁からブレードエッジまでの距離とする；さらに
（d）フープ内縁の長さとブレードの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する、分割ステップを有する円形分割方法。

【請求項4】

前記複数のブレードは５種類の長さに分かれ、複数のブレードはその長短により第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードとして取り付け、さらに（b）のステップで分割を行う際は第五ブレード、第四ブレード、第三ブレード、第二ブレード、第一ブレード、第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードの順とする、請求項３に記載の円形分割方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は一種の円形分割方法に関するもので、特にブレードの交換条件を設定するステップに利用できるものを指し、生産性を高める効果を持ち、ウエハー分割工程や類似の製造工程に適用する。

【背景技術】

【0002】

目下の半導体産業において、ウエハー製造完成後はすべて分割工程に進む必要があり、ウエハーを分割して一つ一つのチップにした後、封入作業に進むことができる。

【0003】

しかしながら、目下産業上で使用している分割工程はウエハーをより大きなサイズの台に固定して、例えば12インチのウエハーなら16インチの台に固定し、ブレードが分割する際、台のフレームを切って刃を損傷したり、ウエハーを一度で完全に分割できなくなることを防止している。これでは工程時間を増やすだけでなく、ウエハーの生産性も上がらない。

【0004】

他にも、ウエハーのサイズが大きくなるに合わせて、より大きな台を用意しなければならず、非常に非経済的である。

【0005】

したがって、本発明者は上述の欠点を鑑みて、一種のブレードの条件を変更する円形分割方法を提案できる。ユーザーは簡単に操作組立できるので、研究、組立設計に没頭できる。ユーザーに利便性をもたらすことが、本発明者が研究開発した発明の動機である。

【発明の概要】

【0006】

この発明の主な目的は、一種の円形分割方法に提供するもので、主に半導体のウエハーの運用に関係する。ウエハーの上部に複数のブレードを設置して、ウエハー外縁の安全距離値かフープ内縁の安全距離値に基づいてブレードの交換条件を設定するステップに用い、ブレードが分割する際にフレームを切ってウエハーの分割が完成できなくなることを予防できる。これは生産性を高める効果があり、さらに全体の実用性を高めるものである。

【0007】

この発明のもう一つの目的は、円形分割方法において、複数のブレードが５種類の長さに分かれ、その長短によって第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードとして取り付けられており、（b）ステップで分割を行う際に、第五ブレード、第四ブレード、第三ブレード、第二ブレード、第一ブレード、第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードという順で進み、ウエハー外縁かフープ内縁に基づいて設定した安全距離値によってブレード交換の段取りを行い、ウエハーの長さやフープ内縁の長さの変化に沿って適当なブレードに交換し、さらには全体の安全性を高めるものである。

【0008】

上述の目的を達成するために、この発明の円形分割方法は主に２種類あり、第一種はフープを設置し、そのフープ内にウエハーを設置し、ウエハー外縁に関して安全距離値を設定、さらにウエハー上部に複数のブレードを設置、その複数のブレードの長さはそれぞれ異なり、その主な分割ステップは以下の通り：（a）複数のブレードのサイズはウエハー円心と対称；(b)ウエハーの下辺からウエハーの上辺へと順に分割していく；(c)分割の過程において、ブレードの長さとウエハーの長さの差異は安全距離値より低くする；並びに（d）ブレードの長さとウエハーの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する。或は第二種は、フープを設置し、そのフープ内にウエハーを設置、そしてフープ内縁に関して安全距離値を設定、さらにウエハー上部に複数のブレードを設置、複数のブレードの長さはそれぞれ異なり、その主な分割ステップは以下の通り：（a）複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称；(b)ウエハーの下辺からウエハーの上辺へと順に分割していく；(c)分割の過程において、フープ内縁の長さとブレードの長さの差異は安全距離値より低くする；並びに(d)フープ内縁の長さとブレードの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する。

【0009】

更に進んでこの発明の特徴を理解する為、特徴と技術内容は、以下のこの発明に関する詳細説明と添付図を参照してください。ただしすべての添付図は参考と説明に提供するだけであり、この発明を制限するのに使うものではありません。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１はこの発明の第一種のステップの平面構造図である。

【図2】図２はこの発明の第一種のステップのプロセス図である。

【図3】図３はこの発明の第二種のステップの平面構造図である。

【図4】図４はこの発明の第二種のステップのプロセス図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

図１〜４を参照。これはこの発明の実施例を示す図で、この発明の円形分割方法は主にウエハー１０分割工程での運用に関係し、以下の分割ステップを通してブレード２０が分割を行う際にフープ３０のフレームを切ってウエハー１０の分割が完成できなくなることを予防し、生産性を高める効果があるものである。

【0012】

この発明の円形分割方法は主に二種類あり、第一種はフープ３０を設置し、そのフープ３０内にウエハー１０を設置、そして12インチ(300mm)のウエハー１０であれば、そのフープ３０の外縁３１は16インチ(400mm)とし、またフープ３０の内縁３２が14インチ(350mm)ならば、ウエハー１０はフープ３０内にちょうど収まる（図１に表示）。

【0013】

それから、ウエハー１０上部に複数のブレード２０を設置し、複数のブレード２０の長さはそれぞれ異なり、その複数のブレード２０の長さは五種類に分かれ、長短によって第一ブレード２１、第二ブレード２２、第三ブレード２３、第四ブレード２４、第五ブレード２５と取り付け、第一ブレード２１の長さが最も長く、第五ブレード２５の長さが最も短い。ブレード２０の取り付け位置はウエハー１０円心から同じ距離で外に向かって順に取り付け、その中の第一ブレード２１の取り付け位置が最もウエハー１０円心に近く、第五ブレード２５の取り付け位置がウエハー１０円心から最も遠く、ウエハー１０の端である（図１に表示）。

【0014】

ほかにこの発明はウエハー１０外縁１１に関して安全距離値４０を設定し、その安全距離値４０はウエハー１０外縁１１からブレード２０のエッジ２６までの距離で、その主な分割ステップでまず最初に行うステップＳ１００は(a)複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称；（図２に表示）まず、複数のブレード２０のサイズはウエハー１０の円心と対称にし、各ブレード２０がウエハー１０を切る時、完全にウエハー１０を分割し、半分だけ分割するような事態が発生しないようにし、上述のステップＳ１００が完成した後次のステップに進む。

【0015】

ほかに、次に進むステップＳ１１０は(b)ウエハーの下辺からウエハーの上辺へと順に分割すること；（図２表示）分割を行う際は複数のブレード２０を通してウエハー１０の下辺からウエハー１０の上辺へと順に分割を進め、その使用する複数のブレード２０の順序は第五ブレード２５、第四ブレード２４、第三ブレード２３、第二ブレード２２、第一ブレード２１、第一ブレード２１、第二ブレード２２、第三ブレード２３、第四ブレード２４、第五ブレード２５の順、ブレード２０は分割するウエハー１０の長さに合わせて交換でき、上述のステップＳ１１０が完成した後次のステップに進む。

【0016】

また、次に進むステップＳ１２０は(c)分割の過程においてブレードの長さとウエハーの長さの差異は安全距離値より低くすること；（図２表示）完全にウエハー１０を分割する為に、分割の過程においてそのブレード２０の長さとウエハー１０の長さの差異は安全距離値４０より低くする、例えば、ウエハー１０の長さが300mm、ブレード２０の長さが320mmとして、その安全距離値４０を11mmに設定（ウエハー１０外縁からブレード２０エッジ２６までの距離）した時、そのブレード２０の長さ320mm引くウエハー２０の長さ300mmは20mmでさらに２で割り（両端）それぞれ10mmが設定した安全距離値４０を超えない距離で、ウエハー１０を完全に分割させられる。そして上述のステップＳ１２０が完成した後、次のステップに進む。

【0017】

次に進むステップＳ１３０は（d）ブレードの長さとウエハーの長さの差異が安全距離値より大きい時、すぐにブレードを交換することである；（図２に表示）ブレード２０の長さが長すぎて分割時にフープ３０を切ることを防ぐ為、分割の過程において、そのブレード２０の長さとウエハー１０の長さの差異が安全距離値４０より大きい時は、すぐにブレード２０を交換する。例えば、分割後のウエハー１０の長さを300mmにして、分割したいウエハー１０の長さが250mmの時、もし元々のブレード２０（長さ320mm）を使って分割を進めるとブレード２０の長さ320mm引くウエハー１０の長さ250mmは70mmでさらに２で割り（両端）各35mmが設定した安全距離値４０ 11mm（ウエハー１０外縁１１からブレード２０エッジ２６までの距離）を容易に超え、ブレード２０の長さが長すぎるために容易にフープ３０を切ってしまい、ウエハー１０の完全分割ができなくなるため、ブレード２０の長さ270mmに交換し、ブレード２０の長さ270mm引くウエハー１０の長さ250mmは20mmさらに２で割り（両端）各10mmで設定した安全距離値４０を超えず、ウエハー１０の完全分割が可能になる。

【0018】

この発明の円形分割方法の第二種はフープ３０を設置し、そのフープ３０内にウエハー１０を設置、12インチのウエハー(300mm)を例にすると、そのフープ３０外縁３１は16インチ(400mm)、またフープ３０の内縁３２が14インチ(350mm)なら、ウエハー１０はフープ３０内にちょうど収まる（図３に表示）。

【0019】

ウエハー１０の上部に複数のブレード２０を設置し、その複数のブレード２０の長さはそれぞれ異なり、複数のブレード２０は五種類の長さに分かれ、長短によって第一ブレード２１、第二ブレード２２、第三ブレード２３、第四ブレード２４、第五ブレード２５と取り付け、第一ブレード２１の長さが最も長く、第五ブレード２５の長さが最も短い。ブレード２０の取り付け位置はウエハー１０円心から同じ距離で外に向かって順に取り付け、その中の第一ブレード２１の取り付け位置が最もウエハー１０円心に近く、第五ブレード２５の取り付け位置がウエハー１０円心から最も遠く、ウエハー１０の端である（図３に表示）。

【0020】

この発明はフープ３０内縁３２に関して安全距離値５０を設定し、その安全距離値５０はフープ３０内縁３２からブレード２０エッジ２６までの距離で、その主な分割ステップにおいて最初に行うステップＳ２００は、(a)複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称であること；（図４に表示）まず、複数のブレード２０のサイズはウエハー１０の円心と対称にし、各ブレード２０がウエハー１０を切る時、完全にウエハー１０を分割し、半分だけ分割するような事態が発生しないようにし、上述のステップＳ２００が完成した後次のステップに進む。

【0021】

ほかに、次に進むステップＳ２１０は(b)ウエハーの下辺からウエハーの上辺へと順に分割すること；（図４表示）分割を行う際は複数のブレード２０を通してウエハー１０の下辺からウエハー１０の上辺へと順に分割を進め、その使用する複数のブレード２０の順序は第五ブレード２５、第四ブレード２４、第三ブレード２３、第二ブレード２２、第一ブレード２１、第一ブレード２１、第二ブレード２２、第三ブレード２３、第四ブレード２４、第五ブレード２５の順、ブレード２０は分割するウエハー１０の長さに合わせて交換でき、上述のステップＳ２１０が完成した後次のステップに進む。

【0022】

また、次に進むステップＳ２２０は(c)分割の過程においてフープ内縁の長さとブレードの長さの差異は安全距離値より低くすること；（図４表示）完全にウエハー１０を分割する為に、分割の過程においてそのブレード２０の長さとフープ３０内縁３２の長さの差異は安全距離値５０より低くする、例えば、ウエハー１０の長さが250mm、フープ３０内縁３２の長さが280mmとして、そのブレードの長さが270mmで、その安全距離値５０を11mmに設定（フープ３０内縁３２からブレード２０エッジ２６までの距離）した時、そのフープ３０内縁３２の長さ280mm引くブレード２０の長さ270mmは10mmでさらに２で割り（両端）各5mmが設定した安全距離値５０を超えない距離で、ウエハー１０を完全に分割させられる。そして上述のステップＳ２２０が完成した後、次のステップに進む。

【0023】

次に進むステップＳ２３０は（d）フープ内縁の長さとブレードの長さの差異が安全距離値より大きい時、すぐにブレードを交換することである；（図４に表示）ブレード２０の長さが短すぎるために完全にウエハー１０を分割できないことを防ぐ為に、分割の過程においてフープ３０内縁３２の長さとブレード２０の長さの差異が安全距離値５０より大きい時、すぐにブレード２０を交換する。例えば、分割後のウエハー１０の長さを250mmとした後、分割したいウエハー１０の長さが300mm、そのフープ３０内縁３２の長さが340mmの時、もし元々のブレード２０（長さ270mm）を使って分割を進めれば、フープ３０内縁３２長さ340mm引く元のブレード２０の長さ270mmは70mmでさらに２で割り（両端）各35mmで容易に設定の安全距離値５０の11mmを超えてしまい（フープ３０内縁３２からブレード２０エッジ２６までの距離）、ブレード２０の長さが短すぎるためにウエハー１０の完全な分割ができなくなる。したがって、ブレード２０を長さを320mmに交換して、フープ３０内縁３２長さ340mm引くブレード２０長さ320mmは20mmでさらに２で割り（両端）各10mmで設定の安全距離値５０を超えず、ウエハー１０を完全に分割できる。

【0024】

これにより、この発明はウエハー１０外縁１１かフープ３０内縁３２に基づいて設定した安全距離値４０、５０でブレード２０を交換し、ブレード２０はウエハー１０の長さかフープ３０内縁３２の長さの変化に合わせて適当なブレード２０に交換し、さらに全体の安全性を高めるものである。

【0025】

以上の詳細説明により、この項目を熟知している技術者はこの発明が前述の目的を確実に達成できることを了解できる。事実が特許法の規定に符合しているため、ここに特許出願する。

【0026】

ただし以上に述べたことは、この発明の望ましい実施例に過ぎず、これによりこの発明の実施範囲を限定することはできない；それゆえ、この発明で出願する特許範囲と発明の説明書内容がもたらす単純な同等の変化及び修正はおしなべてみな、この発明の特許範囲内でカバーするものとする。

【符号の説明】

【0027】

１０、ウエハー
１１、外縁
２０、ード
２１、第一ブレード
２２、第二ブレード
２３、第三ブレード
２４、第四ブレード
２５、第五ブレード
２６、ブレードエッジ
３０、フープ
３１、外縁
３２、内縁
４０、安全距離値
５０、安全距離値
Ｓ１００、(a) 複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称
Ｓ１１０、(b) ウエハー下辺からウエハー上辺へ順に分割していく
Ｓ１２０、(c) 分割の過程においてそのブレードの長さとウエハーの長さの差異は安全距離値より低くする
Ｓ１３０、(d) ブレードの長さとウエハーの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する
Ｓ２００、(a) 複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称
Ｓ２１０、(b) ウエハーの下辺からウエハーの上辺へ順に分割していく
Ｓ２２０、(c) 分割の過程においてそのフープ内縁の長さとブレードの長さの差異は安全距離値より低くする
Ｓ２３０、(d) フープ内縁の長さとブレードの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】