特許6145162イオンビーム処理装置、電極アセンブリ及び電極アセンブリの洗浄方法

発明の名称　イオンビーム処理装置、電極アセンブリ及び電極アセンブリの洗浄方法

出願人　キヤノンアネルバ株式会社　（識別番号 227294）

　　　　特許公開件数ランキング 7216 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1373 位（13件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6145162

公報発行日　2017年6月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6145162

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6145162「イオンビーム処理装置、電極アセンブリ及び電極アセンブリの洗浄方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録