特許 6147114 除振装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6147114

(24)【登録日】2017年5月26日

(45)【発行日】2017年6月14日

(54)【発明の名称】除振装置

(51)【国際特許分類】

   F16F 15/04 20060101AFI20170607BHJP

   F16F 15/02 20060101ALI20170607BHJP

   F16F 15/067 20060101ALI20170607BHJP

   F16F 3/10 20060101ALI20170607BHJP

【ＦＩ】

   F16F15/04 L

   F16F15/02 A

   F16F15/067

   F16F3/10 A

【請求項の数】1

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2013-134488(P2013-134488)

(22)【出願日】2013年6月27日

(65)【公開番号】特開2015-10625(P2015-10625A)

(43)【公開日】2015年1月19日

【審査請求日】2016年4月19日

(73)【特許権者】

【識別番号】000201869

【氏名又は名称】倉敷化工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001427

【氏名又は名称】特許業務法人前田特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】宮地 慎太郎

【審査官】 鎌田 哲生

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０８−０４９１３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０９９５４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１６８２４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１２４７５１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｆ １５／００−１５／０８

Ｆ１６Ｆ ３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

機器が載置される定盤を基礎に対して上下方向に支持する複数の気体ばねを備えた除振装置であって、
上記定盤と上記基礎との間に配設され、上記定盤に対して下方に荷重を加える荷重付加手段を備え、
上記荷重付加手段は、線形ばね定数を有し、上記定盤を下方に引っ張る引張部材を有し、
上記引張部材は、コイルばねで構成され、
上記荷重付加手段は、上記定盤と基礎との間隔を保持するクランプ装置であり、
該クランプ装置は、
上記基礎側に固定され、上方に突出する規制部材と、
上記定盤の上記規制部材に対応する箇所から下方に延びて、上記規制部材の上壁部を貫通するボルトと、
それぞれ上記上壁部の上側及び下側において上記ボルトに螺合する一対のナットと、
上記上壁部と上記下側のナットとの間に予め圧縮された状態で配設され、上記ボルトを取り囲み、上端が上記上壁部に固定されるとともに、上記下側のナットを下方に付勢し、上記定盤を下方に引っ張る上記コイルばねを有し、
上記上側のナットは、上記上壁部から離間することを特徴とする除振装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、機器が載置される定盤を基礎に対して複数の気体ばねにより支持してなる除振装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、機器（例えば電子顕微鏡等のような精密機器）を床（基礎）の微少な振動から絶縁するための除振装置が知られている。この種の除振装置として、例えば特許文献１に開示されたものがある。

【0003】

特許文献１に開示された除振装置は、基礎に固定された基台と機器が載置される定盤との間に複数の空気ばねが配設され、これら空気ばねによって定盤の除振が行われる。この除振装置には、除振装置の移送時に定盤が振動することにより空気ばねに過度の制振負担がかかるのを防ぐため、クランプ装置が設けられている。このクランプ装置は、基台と定盤との間に配設されていて、基台上に固定され、上壁に貫通孔が形成された門型の規制部材と、定盤の下面から下方に延びて貫通孔を貫通するボルトと、このボルトに螺合し、規制部材上壁の上下に配設された一対のナットとを有している。そして、このクランプ装置は、除振装置の移送時において、両ナットによってベース上壁を上下から挟み込んで挟持固定し、規制部材によってボルトの移動を規制して定盤と基礎との間隔を保持する一方、除振装置の使用時において、両ナットを離間させて挟持固定を解除し、定盤の移動を許容する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第４２３５２４６号公報（段落００２０、００３４〜００３６欄、図１）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１の除振装置において、使用時に搭載機器が振動する際、空気ばねの気体圧力が定盤及び搭載機器の荷重に抗することができず、定盤が沈み込んで、空気ばねのケース等に当接することがある。

【0006】

そこで、定盤の沈み込みを抑制すべく、被支持体側（即ち、ばね上）の定盤に質量を付加し、空気ばねの空気圧力を高めることが考えられるが、そうすると、定盤の設計変更が必要となるとともに、材料コストや製造コストが嵩む。

【0007】

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ばね上を変更することなく、ばね上の変位を抑制することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の目的を達成するために、本発明は、定盤を基礎側に引っ張ることによって気体ばねにかかる荷重を付加したものである。

【0009】

具体的には、本発明は、機器が載置される定盤を基礎に対して複数の気体ばねにより支持する除振装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。

【0010】

すなわち、請求項１の発明は、上記定盤と上記基礎との間に配設され、上記定盤に対して下方に荷重を加える荷重付加手段を備え、上記荷重付加手段は、線形ばね定数を有し、上記定盤を下方に引っ張る引張部材を有し、上記引張部材は、コイルばねで構成され、上記荷重付加手段は、上記定盤と基礎との間隔を保持するクランプ装置であり、該クランプ装置は、上記基礎側に固定され、上方に突出する規制部材と、上記定盤の上記規制部材に対応する箇所から下方に延びて、上記規制部材の上壁部を貫通するボルトと、それぞれ上記上壁部の上側及び下側において上記ボルトに螺合する一対のナットと、上記上壁部と上記下側のナットとの間に予め圧縮された状態で配設され、上記ボルトを取り囲み、上端が上記上壁部に固定されるとともに、上記下側のナットを下方に付勢し、上記定盤を下方に引っ張る上記コイルばねを有し、上記上側のナットは、上記上壁部から離間することを特徴とする。

【0011】

請求項１の発明によれば、荷重付加手段によって定盤から気体ばねに作用する荷重が付加され、この付加された荷重に抗して気体ばねの気体圧力が高まる。したがって、気体ばねの気体圧力がばね上の荷重に抗することができるため、ばね上の変位を抑えることができる。

【0012】

また、請求項１の発明によれば、荷重付加手段が定盤と基礎との間に配設されるため、ばね上である定盤の変更を必要としない。

【0013】

以上より、請求項１の発明によれば、ばね上を変更することなく、気体ばねの気体圧力を高めることによってばね上の変位を抑えることができる。

【0014】

請求項１の発明によれば、荷重付加手段が定盤を下方に引っ張る引張部材を有し、そのばね定数が線形特性を有しているので、該引張部材が定盤を引っ張ってその長さが変化しても、その固有振動数が変化せず、安定した除振性能を維持することができる。

【0015】

請求項１の発明によれば、引張部材が、線形ばね定数を有する部材のなかで比較的安価なコイルばねによって構成されているので、製造コストを抑えることができる。

【0016】

請求項１の発明によれば、既存のクランプ装置を利用して荷重付加手段を構成することができる。すなわち、除振装置の移送時には、上下一対のナットを接近させて上側のナットとコイルばねによって規制部材の上壁部を挟持固定して規制部材がボルトの上下方向の移動を規制することによって定盤の移動を規制する一方、除振装置の使用時には、上下一対のナットを離間させて挟持固定を解除することにより、定盤の移動を許容する。そして、除振装置使用時において、コイルばねが下側のナットを下方に付勢することにより、定盤を下方に引っ張り、定盤から気体ばねに作用する荷重を付加することができる。

【発明の効果】

【0017】

以上、本発明によれば、荷重付加手段によって定盤から気体ばねに作用する荷重が付加され、この付加された荷重に抗して気体ばねの気体圧力が高まる。したがって、気体ばねの気体圧力がばね上の荷重に抗することができるため、ばね上の変位を抑えることができる。また、荷重付加手段が定盤と基礎との間に配設されるため、ばね上である定盤の変更を必要としない。以上より、ばね上を変更することなく、気体ばねの気体圧力を高めることによってばね上の変位を抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施形態に係る除振装置の平面図である。

【図2】本発明の実施形態に係る除振装置の正面図である。

【図3】本発明の実施形態に係る除振装置の側面図である。

【図4】空気ばねユニットの概略構成を示す模式図である。

【図5】図１のV-V線断面図である。

【図6】性能評価試験に用いた試験装置を模式的に示す平面図である。

【図7】圧縮コイルばねのばね定数を変化させた場合における定盤の下方への変位の時間変化を示す図である。

【図8】圧縮コイルばねの撓み量とその引張力との関係を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものでない。

【0020】

図１〜図３は本実施形態に係る除振装置１を示す図であって、図１は平面図、図２は正面図、そして図３は側面図である。この除振装置１は、例えば、半導体関連の製造装置、試験機器、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、レーザ顕微鏡等の精密計測機器のように、振動の影響を受けやすい精密な装置を搭載して、それらを床の振動からできるだけ絶縁した状態で設置するためのものである。より詳しくは、図示の除振装置１は、床面４上、より詳しくは専用のテーブル上や台上等に設置される基台５と、その上面の４隅にそれぞれ配設された空気ばねユニット７，７，７，７とを備え、これら４つの空気ばねユニット７，７，…により支持された矩形鋼板からなる定盤９上に精密装置（図示せず）などが搭載される。また、隣り合う空気ばねユニット７，７，…の間には、４基のクランプ装置１１，１１，１１，１１が配設されている。なお、図１では、上記定盤９を省略している。また、図１〜図３では、空気ばねユニット７，７，…を模式的に図示している。

【0021】

上記基台５は、矩形鋼板で構成され、上記床面４上に設置されている。

【0022】

上記空気ばねユニット７には、図４に模式的に示すように、上下方向の荷重を支持する空気ばね１３と、センサ１５，１７，１９、コントローラ２１、サーボ弁２３等が設けられており、上下方向の振動及び高さ位置を制御するようになっている。また、同様の構成が水平方向の振動及び位置制御のためにも設けられているが、以下では便宜上、上下方向の空気ばね１３等の構成のみを説明する。

【0023】

上記空気ばね１３の空気室の上方開口にはダイヤフラムを介して気密状にピストン２５が内挿されており、このピストン２５の上面にはトッププレート２７が配置されている。一方、上記空気ばね１３のケース下端のベースプレート２９は、基台５上に固定されている。こうして空気ばね１３により静荷重を支持することから、空気ばねユニット７，７，…は、基本的に優れた除振性能を有するものであるが、さらにこの実施形態では、上記空気ばね１３の内圧を制御して、除振対象物に適切な制御力を付加するようにしている。

【0024】

そのために上記空気ばねユニット７には、まず、上記トッププレート２７の上下方向の加速度ｚ″と、上記ベースプレート２９に対する上記トッププレート２７の相対変位ｚ−ｚ０とを、それぞれ検出するように加速度センサ１５（振動センサ）及び変位センサ１７が設けられている。また、ベースプレート２９の上下方向の加速度ｚ0″（基礎側の振動状態）を検出する加速度センサ１９（基礎側の振動センサ）も設けられており、それら各センサ１５，１７，１９からの出力信号がそれぞれ上記コントローラ２１に入力されるようになっている。

【0025】

また、上記空気ばね１３の空気室には配管を介してサーボ弁２３が接続されており、このサーボ弁２３の作動によって、リザーバタンク３１から空気室に供給する圧縮空気の流量を調整し、反対に空気室から排気する空気の流量を調整する。なお、上記リザーバタンク３１には、図示しないがコンプレッサが接続されていて、その作動により該リザーバタンク３１内の空気圧を設定値に維持するようになっている。

【0026】

そして、上記サーボ弁２３が上記コントローラ２１により制御されて、上記空気ばね１３に対する圧縮空気の供給・排気の流量を調整することにより、当該空気ばね１３の内圧を調整して、除振対象物に付加する制御力を発生させることができる。なお、上記コントローラ２１は、詳細は図示しないが、マイクロコンピュータ、Ｉ／Ｏインタフェース、データバスの他、ＲＡＭ、ＲＯＭ、或いはＨＤＤ等のメモリを備えた従来周知の構造のものである。

【0027】

上記クランプ装置１１は、上記除振装置１の移送時に上記基台５上で上記定盤９が振動することにより、上記空気ばね１３に過度の制振負担が掛からないようにするためのものである。

【0028】

上記クランプ装置１１は、上記基台５にボルト締結された矩形鋼板からなるロアプレート３３と、矩形鋼板をＵ字状に曲げ加工してなる規制部材３５とを有し、該規制部材３５は、その両端が上記ロアプレート３３の幅両端に固定されて上方に突出している。該規制部材３５の上壁部３５ａには、貫通孔３５ｂが上下方向に貫通形成されている。

【0029】

また、上記クランプ装置１１は、上記定盤９下面の上記規制部材３５対応箇所に設置された矩形鋼板からなるアッパプレート３７を有し、このアッパプレート３７下面からボルト３９が下方に延びて上記規制部材３５の貫通孔３５ｂを貫通している。

【0030】

このボルト３９の上記上壁部３５ａの上側及び下側には、一対のナット４１，４３が螺合している。該上側のナット４１と上記規制部材３５の上壁部３５ａとの間には、金属製のワッシャ４２が配設され、該ワッシャ４２を上記ボルト３９が挿通している。一方、上記下側のナット４３と上記上壁部３５ａとの間には、上から順に、金属製の圧縮コイルばね（引張部材）４５及び金属製のワッシャ４６が配設されている。当該圧縮コイルばね４５は、上記ボルト３９周りを取り囲むように予め圧縮された状態で配設され、上端が上記上壁部３５ａの下面に固定されている一方、上記ワッシャ４６を介して上記下側のナット４３を下方に付勢している。

【0031】

上記構成を備える上記クランプ装置１１は、上記除振装置１の移送時において、上記上下一対のナット４１，４３が互いに接近し、上側のナット４１と上記圧縮コイルばね４５とによって上記規制部材３５の上壁部３５ａを上下から挟み込み、該規制部材３５が上記ボルト３９の上下移動を規制する。これにより、上記定盤９の移動が規制され、該定盤９と上記基台５との間隔が保持される。

【0032】

一方、上記除振装置１の使用時において、上記クランプ装置１１は、上記上下一対のナット４１，４３が上記上壁部３５ａから離間し、上記圧縮コイルばね４５が上記下側のナット４３を下方に付勢する。これにより、上記定盤９が下方に引っ張られるため、上記空気ばね１３，１３，…には、上記定盤９の荷重Ｍｇ(N)に引張荷重Ｆt(N)が付加された荷重Ｆ(=Ｍｇ+Ｆt)(N)が作用する（図２参照）。上記空気ばね１３，１３，…は、上記除振装置１の４隅に均等に配置されているので、各空気ばね１３に作用する荷重は、Ｆ／４(=(Ｍｇ+Ｆｔ)/４)(N)となる。したがって、上記クランプ装置１１は、上記空気ばね１３，１３，…に作用する荷重を付加する荷重付加手段を構成している。

【0033】

そうすると、上記コントローラ２１は、上記サーボ弁２３を制御して、各空気ばね１３に供給される圧縮空気の供給量を調整し、各空気ばね１３の空気圧力Ｐ(N/m2)を、上記定盤９の荷重Ｍｇ/４(N)によって釣り合っていた圧力Ｍｇ/４Ａ(N/m2)（Ａは受圧面積）から荷重付加手段による荷重の付加に抗して(Ｍｇ+Ｆｔ)/４(N/m2)に高める。その結果、各空気ばね１３は、被支持体（すなわち、定盤９及び搭載機器）がＺ方向に振動しても、空気圧力Ｐ(N/m2)が高いため、被支持体を十分に支持することができて、その変位を小さく抑えることができる。

【0034】

《評価試験》
次に、本願発明者らは、上記実施形態に係る除振装置１の評価試験を行った。具体的には、図６に示すように、定盤９上の１つの隅部（図６の右下隅部）に正方形板状の錘４７を載置した際に、定盤９の当該隅部の沈み込む変位量ΔＺ(mm)を測定した。当該変位量ΔＺ(mm)の測定に用いた図示しない変位センサを、上記錘４７に対応する隅部に配設された空気ばねユニット７に設置した。評価試験は、クランプ装置１１の圧縮コイルばね４５を変更することによって行った。具体的には、圧縮コイルばね４５として、自然長が互いに同一で、ばね定数が８０(N/mm)，１６０(N/mm)，３００(N/mm)のものを用いて行った。

【0035】

試験結果を図７に示す。図７に示すグラフは、縦軸が上記変位量ΔＺ(mm)を示し、横軸が錘４７載置後の経過時間(s)を示している。グラフ中、実線は、圧縮コイルばね４５を具備しない場合を示し、破線は、ばね定数ｋが８０(N/mm)の圧縮コイルばね４５を具備した場合を示し、一点鎖線は、ばね定数ｋが１６０(N/mm)の圧縮コイルばね４５を具備した場合を示し、二点鎖線は、ばね定数ｋが３００(N/mm)の圧縮コイルばね４５を具備した場合を示す。

【0036】

図７のグラフから分かるように、圧縮コイルばね４５を具備しない場合、すなわち、荷重付加手段を具備しない場合、定盤９が沈み込む変位量ΔＺ(mm)が最大で２．３mmと最も大きかった。一方、圧縮コイルばね４５を具備する場合、すなわち、荷重付加手段を具備する場合、定盤９が沈み込む変位量ΔＺ(mm)が最大で１．１mm未満であり、荷重付加手段を具備しない場合の半分以下であった。したがって、荷重付加手段を具備することにより、定盤９の変位を抑制することができることが分かった。

【0037】

同じく図７のグラフから分かるように、圧縮コイルばね４５のばね定数ｋが大きくなるほど定盤９の沈み込む変位量ΔＺ(mm)が小さくなることが分かった。すなわち、ばね定数ｋが８０(N/mm)、１６０(N/mm)及び３００(N/mm)と大きくなるにつれて、変位量ΔＺ(mm)が最大で１．１mm、０．９mm及び０．７mmと小さくなっていた。これは、ばね定数ｋが大きくなるに従って圧縮コイルばね４５が定盤９を下方に引っ張る力が大きくなり、空気ばね１３，１３，…に作用する荷重が大きくなことで、空気ばね１３，１３，…の空気圧力Ｐが高められたからである。

【0038】

また、圧縮コイルばね４５は予め圧縮された状態でクランプ装置１１に取り付けられているが、この予圧縮量を適宜調節することにより、定盤９の下方への引張力を調整することが可能となる。

【0039】

図８は、圧縮コイルばね４５の各ばね定数ｋ(N/mm)における予圧縮量（撓み量）ΔＬ(mm)と、その弾性力、すなわち圧縮コイルばね４５が定盤９を下方に引っ張る引張力Ｆｓ(N)との関係を示すグラフである。当該グラフの縦軸は引張力Ｆｓ(N)を示し、横軸は撓み量ΔＬ(mm)を示している。グラフ中、実線、破線及び一点鎖線は、それぞれ、ばね定数ｋが８０(N/mm)、１６０(N/mm)及び３００(N/mm)の圧縮コイルばね４５の挙動を示している。

【0040】

図８から分かるように、例えば、撓み量ΔＬが３mmの場合、ばね定数ｋが３００(N/mm)の圧縮コイルばね４５の引張力Ｆｓが９００Nと最も大きく、ばね定数ｋが１６０(N/mm)、８０(N/mm)の順に引張力が４８０N、２４０Ｎと小さくなる。したがって、同一撓み量ΔＬ(mm)では、ばね定数ｋ(N/mm)が大きいほど、引張力Ｆｓ(N)が大きい。そのため、例えば、基台５と定盤９との間のスペースが小さい場合には、ばね定数ｋ(N/mm)が大きい圧縮コイルばね４５を用いることにより、比較的撓み量ΔＬ(mm)が小さくても定盤９を下方により強く引っ張ることができる。

【0041】

一方、例えば、ばね定数ｋが８０(N/mm)で一定の場合、撓み量ΔＬが３mmのときに引張力Ｆｓが２４０Nであり、撓み量が６mm、１１．２５mmの順に引張力が４８０N、９００Ｎと大きくなる。したがって、同一のばね定数ｋ(N/mm)では、撓み量ΔＬ(mm)が大きいほど、引張力Ｆｓ(N)が大きい。そのため、例えば、基台５と定盤９との間のスペースが比較的大きい場合には、圧縮コイルばね４５の撓み量ΔＬ(mm)を適宜調整することにより、所望の、連続的な引張力Ｆｓ(N)を得ることができる。

【0042】

以上より、除振装置１のレイアウト上の制約に応じて、圧縮コイルばね４５のばね定数ｋ(N/mm)及び撓み量ΔＬ(mm)を設定することにより、所望の引張力Ｆｓ(N)を得ることが可能となる。

【0043】

−発明の実施形態の効果−
上記実施形態によれば、荷重付加手段によって定盤９から空気ばね１３，１３，…に作用する荷重Ｆｔが付加され、この付加された荷重Ｆｔに抗して空気ばね１３，１３，…の空気圧力Ｐが高まる。したがって、空気ばね１３，１３，…の空気圧力Ｐがばね上の荷重に抗することができるため、ばね上の変位を抑えることができる。

【0044】

また、上記実施形態によれば、荷重付加手段が定盤９と基台５との間に配設されるため、ばね上である定盤９の変更を必要としない。

【0045】

以上より、上記実施形態によれば、ばね上を変更することなく、空気ばね１３，１３，…の空気圧力Ｐを高めることによってばね上の変位を抑えることができる。

【0046】

また、上記実施形態によれば、荷重付加手段が定盤９を下方に引っ張る圧縮コイルばね４５を有し、そのばね定数ｋが線形特性を有しているので、該圧縮コイルばね４５が定盤９を引っ張ってその長さが変化しても、その固有振動数が変化せず、除振装置１が安定した除振性能を維持することができる。

【0047】

さらに、上記実施形態によれば、引張部材が、線形ばね定数を有する部材のなかで比較的安価な圧縮コイルばね４５によって構成されているので、製造コストを抑えることができる。

【0048】

さらにまた、上記実施形態によれば、既存のクランプ装置１１を利用して荷重付加手段を構成することができる。すなわち、除振装置１の移送時には、上下一対のナット４１，４３を接近させて上側のナット４１と圧縮コイルばね４５によって規制部材３５の上壁部３５ａを挟持固定し、規制部材３５がボルト３９の上下方向の移動を規制することによって定盤９の移動を規制する一方、除振装置１の使用時には、上下一対のナット４１，４３を離間させて挟持固定を解除することにより、定盤９の移動を許容する。そして、除振装置１の使用時において、圧縮コイルばね４５が下側のナット４３を下方に付勢することにより、定盤９を下方に引っ張り、定盤９から空気ばね１３，１３，…に作用する荷重を付加することができる。

【0049】

なお、上記実施形態では、気体ばねとして空気ばね１３，１３，…を用いているが、これに限定されず、例えば窒素ガス等を充填した気体ばねとすることができる。

【0050】

また、上記実施形態では、クランプ装置１１を４つ配設しているが、これに限定されず、例えば、１〜３基又は５基以上配設してもよい。

【0051】

さらに、上記実施形態では、４つのクランプ装置１１全てに圧縮コイルばね４５を配設したが、これに限定されず、例えば対向する一対のクランプ装置１１，１１に圧縮コイルばね４５を配設してもよい。

【0052】

また、空気ばね１３，１３，…がジンバル機構を具備してもよい。

【産業上の利用可能性】

【0053】

以上説明したように、本発明に係る除振装置は、ばね上を変更することなく、ばね上の変位を抑制する用途に適用することができる。

【符号の説明】

【0054】

１ 除振装置
９ 定盤
１１ クランプ装置
１３ 空気ばね（気体ばね）
３５ 規制部材
３５ａ 上壁部
３５ｂ 貫通孔
３９ ボルト
４１ 上側のナット
４３ 下側のナット
４５ 圧縮コイルばね（引張部材）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】