特許6149222強誘電体膜の製造装置及び強誘電体膜の製造方法

発明の名称　強誘電体膜の製造装置及び強誘電体膜の製造方法

出願人　株式会社ユーテック　（識別番号 595152438）

　　　　特許公開件数ランキング 12178 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25417 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6149222

公報発行日　2017年6月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6149222

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