特許6150304インピーダンスマッチング装置、線形運動モジュール、及びラジオ周波数電力供給装置

発明の名称　インピーダンスマッチング装置、線形運動モジュール、及びラジオ周波数電力供給装置

出願人　プラズマート　インコーポレーテッド　（識別番号 512036096）

　　　　特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6150304

公報発行日　2017年6月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6150304

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