特許 6151364出願番号特願 2015-534935
ミラー素子の配向を決定する監視系およびＥＵＶリソグラフィシステム

出願人カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー（識別番号 503263355）

2026年特許公開件数ランキング 389位 59件（※）

2026年特許取得件数ランキング 582位 29件（※）

公報発行日　2017年6月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6151364　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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ミラー素子の配向を決定する監視系、およびこのような監視系を有するＥＵＶリソグラフィシステム

課題は、ミラー系の複数のミラー素子を、その基板もしくはミラー系の一体化された光学系の別のコンポーネントに対して、またはこのような光学系の光軸、視野平面もしくは瞳面に対して、角度分布の所望の設定が実現されるように設定し、この設定がＥＵＶリソグラフィシステムの動作中も維持されるようにすることである。

本発明はの課題に鑑みてなされたものである。

【図1】本実施形態によるＥＵＶリソグラフィシステムのＥＵＶビーム経路の略図である。

【図2】図１のＥＵＶリソグラフィシステムにおける複数のミラー素子を有するミラー系の上面図の略図である。

【図3】図２に示すミラー系に対する監視系の略図である。

【図4】図３に示す監視系のカラーフィルタの略図である。

【図5】複数の監視放射源の使用を説明するための略図である。

【図6】複数の監視レンズを有する監視系の略図である。

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