特許 6156993 フィルタ装置及び流体浄化システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6156993

(24)【登録日】2017年6月16日

(45)【発行日】2017年7月5日

(54)【発明の名称】フィルタ装置及び流体浄化システム

(51)【国際特許分類】

   B01D 36/00 20060101AFI20170626BHJP

   B01D 24/00 20060101ALI20170626BHJP

   B01D 24/46 20060101ALI20170626BHJP

   B01D 29/62 20060101ALI20170626BHJP

   B01D 29/66 20060101ALI20170626BHJP

   B01D 29/00 20060101ALI20170626BHJP

   B03B 5/28 20060101ALI20170626BHJP

【ＦＩ】

   B01D36/00

   B01D29/08 540A

   B01D29/08 520A

   B01D29/08 530D

   B01D29/38 510B

   B01D29/38 580H

   B01D29/38 520Z

   B01D29/00 B

   B03B5/28 A

【請求項の数】3

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2013-161642(P2013-161642)

(22)【出願日】2013年8月2日

(65)【公開番号】特開2015-29964(P2015-29964A)

(43)【公開日】2015年2月16日

【審査請求日】2016年7月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】501141769

【氏名又は名称】株式会社ｉｎｄｕｓｔｒｉａ

(74)【代理人】

【識別番号】100081709

【弁理士】

【氏名又は名称】鶴若 俊雄

(72)【発明者】

【氏名】高橋 一彰

【審査官】 中村 泰三

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−１８８３６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０００−５１１８２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０６−０７９１０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５４−０６９７７４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平１０−０９４７０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−０５２６１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１９６５９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 仏国特許出願公開第０２４５４３２２（ＦＲ，Ａ１）

【文献】 米国特許第０４７７２４００（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ０１Ｄ ２４／００

Ｂ０１Ｄ ２４／４６、２９／００−６６、３６／００

Ｂ０３Ｂ ５／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

遠心力により流体に含まれる微細物を分離する遠心分離装置と、
前記遠心分離装置により分離した残りの微細物を除去するフィルタ装置と、を備え、
前記遠心分離装置は、
微細物を含む流体を流体入口から供給して渦巻きを生じさせ、遠心力で微細物を外側へ移動させて分離し、分離された微細物を沈降させる本体円筒容器部と、
前記本体円筒容器部の底部に沈殿する微細物を外部に排出する微細物排出部と、を備え、
前記フィルタ装置は、
液体をろ過するためのろ過室を備え、
前記ろ過室は、
前記本体円筒容器部の内部に円筒軸心方向に沿って配置され、複数のフィルタ塊を集積させて液体をろ過する部分と、
前記本体円筒容器部の外部に配置され、流体出口に接続されて前記ろ過する部分の容積より容積が大きい前記複数のフィルタ塊を分散させて洗浄する部分を有し、
前記ろ過する部分と前記洗浄する部分との間において、前記複数のフィルタ塊を移動させる移動手段を備え、
流体浄化時には、
前記ろ過する部分に前記複数のフィルタ塊を集積させて供給される液体をろ過し、ろ過した液体を前記洗浄する部分を介して前記流体出口に導き、流体浄化し、
装置洗浄時には、
前記洗浄する部分に前記複数のフィルタ塊を分散させて供給される液体により前記複数のフィルタ塊を洗浄し、液体を前記流体出口に導き、装置洗浄することを特徴とする流体浄化システム。

【請求項2】

前記流体入口は、
前記ろ過する部分に対向する位置に配置したことを特徴とする請求項１に記載の流体浄化システム。

【請求項3】

前記複数のフィルタ塊を分散させて洗浄する際に攪拌する攪拌手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の流体浄化システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、流体に含まれる微粉末状クズ、また流体中の異物や混入物、汚染物質、糸状や繊維状などの軽いごみ等の微細物を除去する流体浄化システムに関するものである。

【背景技術】

【0002】

例えば、機械加工装置では、供給タンクから切削液を供給しながら切削加工が行なわれ、切削液には微粉末状の切削クズ、異物や混入物、汚染物質等の微細物が含まれる。

【0003】

この微細物が含まれる切削液をフィルタ装置に供給し、このフィルタ装置で微細物を除去して切削液を供給タンクに戻している（例えば特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００１−１３７７４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

このようなフィルタ装置として、例えばフィルタ膜によって微細物を捕捉して除去したり、沈殿によって除去するものがあるが、フィルタ膜が目詰まりを起こすことがあり、詰まってしまった場合、洗浄液をろ過方向とは逆方向から流して洗浄したり、またフィルタ装置の分解作業をし、そのフィルタ膜を洗浄しなければならない。

【0006】

例えば、洗浄液をろ過方向とは逆方向から流してフィルタ膜を洗浄するものでは、十分に洗浄することが困難であり、また分解して洗浄する洗浄作業は面倒であった。また、フィルタ膜は大抵繰り返し使用すると、ろ過精度は悪くなり、詰まり易くなるため、フィルタ膜の殆どが使い捨てフィルタ膜であり、コストがかかる。

【0007】

さらに、遠心分離装置などで微細物を除去するものがあるが、糸状や繊維状などの軽いごみは除去漏れが生じ、さらに清浄化しても藻が発生するなどの問題がある。

【0008】

この発明は、かかる実情に鑑みてなされたもので、微細物を確実に除去することが可能で、交換することなく簡単な洗浄作業でよく、低コストである流体浄化システムを提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成した。

【0010】

請求項１に記載の発明は、遠心力により流体に含まれる微細物を分離する遠心分離装置と、
前記遠心分離装置により分離した残りの微細物を除去するフィルタ装置と、を備え、
前記遠心分離装置は、
微細物を含む流体を流体入口から供給して渦巻きを生じさせ、遠心力で微細物を外側へ移動させて分離し、分離された微細物を沈降させる本体円筒容器部と、
前記本体円筒容器部の底部に沈殿する微細物を外部に排出する微細物排出部と、を備え、
前記フィルタ装置は、
液体をろ過するためのろ過室を備え、
前記ろ過室は、
前記本体円筒容器部の内部に円筒軸心方向に沿って配置され、複数のフィルタ塊を集積させて液体をろ過する部分と、
前記本体円筒容器部の外部に配置され、流体出口に接続されて前記ろ過する部分の容積より容積が大きい前記複数のフィルタ塊を分散させて洗浄する部分を有し、
前記ろ過する部分と前記洗浄する部分との間において、前記複数のフィルタ塊を移動させる移動手段を備え、
流体浄化時には、
前記ろ過する部分に前記複数のフィルタ塊を集積させて供給される液体をろ過し、ろ過した液体を前記洗浄する部分を介して前記流体出口に導き、流体浄化し、
装置洗浄時には、
前記洗浄する部分に前記複数のフィルタ塊を分散させて供給される液体により前記複数のフィルタ塊を洗浄し、液体を前記流体出口に導き、装置洗浄することを特徴とする流体浄化システムである。

【0011】

請求項２に記載の発明は、前記流体入口は、
前記ろ過する部分に対向する位置に配置したことを特徴とする請求項１に記載の流体浄化システムである。

【0012】

請求項３に記載の発明は、前記複数のフィルタ塊を分散させて洗浄する際に攪拌する攪拌手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の流体浄化システムである。

【発明の効果】

【0015】

前記構成により、この発明は、以下のような効果を有する。

【0020】

請求項１乃至３に記載の発明では、遠心分離装置により流体に含まれる微細物を分離し、さらに遠心分離装置の後段に配置したフィルタ装置により、遠心分離装置により分離した残りの微細物を除去することで、微細物をより確実に除去することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】第１の実施の形態のフィルタ装置を示す図である。

【図2】第２の実施の形態のフィルタ装置を示す図である。

【図3】第３の実施の形態のフィルタ装置を示す図である。

【図4】第４の実施の形態のフィルタ装置を示す図である。

【図5】第５の実施の形態のフィルタ装置を示す図である。

【図6】第６の実施の形態のフィルタ装置を示す図である。

【図7】第１の実施の形態の流体浄化システムを示す図である。

【図8】第２の実施の形態の流体浄化システムを示す図である。

【図9】第３の実施の形態の流体浄化システムを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、この発明の流体浄化システムの実施の形態について説明する。この発明の実施の形態は、発明の最も好ましい形態を示すものであり、この発明はこれに限定されない。

【0023】

この発明のフィルタ装置および流体浄化システムは、製薬、化学、食品、飲料の原料他の流体に含まれる微細物の除去に、また自動車、精密機器、工作機、加工業の切削液の流体に含まれる切削粉等の微細物の除去に、また各工場、水処理等の循環水、排水の流体に含まれる微細物の除去に、また半導体、バイオ等の流体に含まれる不純物等の微細物の除去に、また洗浄水、溶剤等の流体に含まれる異物である微細物の除去等に使用される。このように、液体、気体の流体に含まれる微細物を捕捉して除去するものに広く使用される。

【0024】

［フィルタ装置］
（第１の実施の形態）
この実施の形態のフィルタ装置を、図１に基づいて説明する。図１（ａ）はフィルタ装置のろ過状態を示し、図１（ｂ）はフィルタ装置の洗浄状態を示す。

【0025】

この実施の形態のフィルタ装置５０は、液体をろ過して混入する微細物を除去する装置であり、装置本体１０に液体をろ過するためのろ過室１１を備え、このろ過室１１には、メッシュプレート１３ａ，１３ｂが設けられ、複数のフィルタ塊１２がメッシュプレート１３ａ，１３ｂの間に収容される。このろ過室１１は、液体を流す流路１に配置され、一方側の流路１ａから液体を他方側の流路１ｂに流してろ過するが、他方側の流路１ｂから液体を一方側の流路１ａに流してろ過してもよく、いずれ側の流路から液体を流してもよい。この液体が流れる圧力によって複数のフィルタ塊１２が集積されて塊りとなり、この集積された複数のフィルタ塊１２によって液体をろ過し、微細物を捕捉して除去する（図１（ａ））。

【0026】

このフィルタ装置５０は、複数のフィルタ塊１２によって液体をろ過して混入する微細物を除去するが、この複数のフィルタ塊１２によって微細物を捕捉して除去するために目詰まりを起こすことがある。このために、一方側の流路１ａから液体を他方側の流路１ｂに流し、また他方側の流路１ｂから液体を一方側の流路１ａに流すなど、いずれ側の流路から液体を集積された複数のフィルタ塊１２が分散するような圧力で流す。このことによって集積された複数のフィルタ塊１２は、液体が流れる圧力によってろ過室１１で分散して洗浄される（図１（ｂ））。この集積された複数のフィルタ塊１２を分散させて洗浄する液体は、薬品などを混入した洗浄液、水道水、ろ過した液、純水、蒸気などであり、洗浄だけでなく、殺菌、滅菌、蒸気などでの熱処理を行うものでもよい。

【0027】

このように、ろ過室１１に液体を、所定の圧力で流して複数のフィルタ塊１２を集積させて液体をろ過するが、複数のフィルタ塊１２を洗浄するには、ろ過室１１に液体を、ろ過する際と異なり低い圧力で流して複数のフィルタ塊１２を分散させて洗浄する。そして、洗浄が終了すると、ろ過室１１に液体を所定の圧力で流すことで、複数のフィルタ塊１２を集積させて液体をろ過することができ、分解作業や交換作業を行うことなく簡単に複数のフィルタ塊１２を再生して使用することができる。

【0028】

＜フィルタ塊＞
フィルタ塊の形状は、粒状であるが、これに限定されず、小石状、小球体状、線状、板状等いかなる形状でもよく、大きさも０．１ ｃｍ^２〜５ｃｍ^２が好ましいが特に限定されない。

【0029】

フィルタ塊に用いられる微孔性ろ過膜は、平均孔径が０．０１μｍ以上１０μｍ以下の範囲にあるものがよい。好ましくは、０．４５μｍ以上３μｍ以下であり、０．４５μｍ以下が好ましい。或いは、好ましくは、０．０２μｍ以上０．２μｍ以下であり、最も好ましくは、０．０２μｍ以上０．１μｍ以下である。

【0030】

例えば、製薬、化学、食品、飲料の原料他の流体ろ過用途では、０．４５μｍ以上３μｍ以下のものがよく使用され、また自動車、精密機器、工作機、加工業の切削液の流体ろ過用途では、特に０．０２μｍ以上８．０μｍ以下のものが適している。また各工場、水処理等の循環水、排水の流体ろ過用途では、０．４５μｍ以上５μｍ以下のものがよく使用され、また半導体、バイオ等の流体ろ過用途では、特に０．０２μｍ以上０．２μｍ以下のものが適している。半導体の集積度が高くなるに従い、好ましく使用される膜の孔径は小さくなっており、最も好ましくは、０．０２μｍ以上０．１μｍ以下である。

【0031】

膜の素材は、耐熱性が高く耐薬品性が優れて溶出の少ない膜素材であるポリテトラフルオロエチレン、ポリ弗化ビニリデンの如き弗素樹脂類、及びポリスルホン、ポリエーテルスルホン及びポリフェニレンスルホンの如きポリスルホン系ポリマーがある。耐薬品性が優れた膜素材としてはポリエチレンやポリプロピレンの如きポリオレフィン膜がある。

【0032】

（第２の実施の形態）
この実施の形態のフィルタ装置を、図２に基づいて説明する。図２（ａ）はフィルタ装置のろ過状態を示し、図２（ｂ）はフィルタ装置の洗浄状態を示す。

【0033】

この実施の形態のフィルタ装置５０は、第１の実施の形態と同様に構成されるが、液体を流す流路１ａ，１ｂに、切替弁２ａ，２ｂが配置されている。切替弁２ａ，２ｂは、ろ過側と洗浄側に切り替えるものである。切替弁２ａ，２ｂをろ過側とすることで、液体を流路１ａからろ過室１１に流して集積された複数のフィルタ塊１２によって液体をろ過する（図２（ａ））。切替弁２ａ，２ｂを洗浄側とすることで、流路１ｄからろ過室１１に液体を、洗ろ過方向と反対方向に流し、このことによって集積された複数のフィルタ塊１２が液体が流れる圧力によってろ過室１１で分散して洗浄され、洗浄に用いた液体を流路１ｃから排出する（図２（ｂ））。この流路１ｄからろ過室１１に流す液体は、薬品などを混入した洗浄液、水道水、ろ過した液、純水、蒸気などであり、洗浄だけでなく、殺菌、滅菌、蒸気などでの熱処理を行うものでもよい。

【0034】

（第３の実施の形態）
この実施の形態のフィルタ装置を、図３に基づいて説明する。図３（ａ）は第１の実施の形態のフィルタ装置に適用した図、図３（ｂ）は第２の実施の形態のフィルタ装置に適用した図である。

【0035】

図３（ａ）の実施の形態では、複数のフィルタ塊１２を分散させて洗浄する際に攪拌する攪拌手段２０を備える。攪拌手段２０は、機械的に攪拌機で構成され、ろ過室１１内の液体を攪拌して複数のフィルタ塊１２を分散させて効果的に洗浄することができる。この攪拌手段２０は、液体を噴射する噴射器で構成し、液体をろ過室１１内へ噴射して攪拌してもよく、また超音波を発振する超音波発振器で構成し、ろ過室１１内へ超音波を発振して振動を与えて攪拌するようにしてもよい。図３（ｂ）の実施の形態では、液体をろ過室１１に流すだけでなく、切替弁２ａ，２ｂを閉めてろ過室１１の内部に液体を溜めて攪拌して洗浄し、ドレン排出することも可能である。

【0036】

（第４の実施の形態）
この実施の形態のフィルタ装置を、図４に基づいて説明する。図４（ａ）はフィルタ装置のろ過状態を示し、図４（ｂ）はフィルタ装置の洗浄状態を示す。

【0037】

この実施の形態のフィルタ装置５０は、装置本体１０に液体をろ過するためのろ過室２１を備え、このろ過室２１は、複数のフィルタ塊１２が収容されるろ過部分２２の容積が、容積可変手段２３によってろ過状態と洗浄状態とに可変可能である。

【0038】

この容積可変手段２３は、可動プレート２３ａと、可動プレート２３ａを移動させる操作軸２３ｂを有する。可動プレート２３ａは、多数の小さい孔が形成されたメッシュプレートであり、ろ過室２１内に移動可能に配置される。操作軸２３ｂは回転によってろ過室２１の軸方向に移動可能に設けられ、操作軸２３ｂの先端は可動プレート２３ａに回動可能に連結される。操作軸２３ｂは、手動またはモータなどの駆動手段によって回転される。

【0039】

操作軸２３ｂを操作して可動プレート２３ａが、ろ過部分２２の容積を、ろ過状態として複数のフィルタ塊１２を集積させて、上流側の流路１ａから液体をろ過方向に流す。この液体がろ過部分２２を流れ、集積された複数のフィルタ塊１２によって液体をろ過し、微細物を捕捉して除去して下流側の流路１ｂから送り出す（図４（ａ））。この実施の形態では、操作軸２３ｂを操作して可動プレート２３ａがろ過部分２２の容積を変化させ、この容積変化によって複数のフィルタ塊１２のろ過密度が変化する。このようにして、複数のフィルタ塊１２のろ過密度を制御することができる。

【0040】

操作軸２３ｂを操作して可動プレート２３ａが、ろ過部分２２の容積を、洗浄状態に拡大させて複数のフィルタ塊１２を分散させて、下流側の流路１ｂから液体を、洗ろ過方向と反対方向に流す。これによって、分散された複数のフィルタ塊１２が洗浄される（図４（ｂ））。

【0041】

このように、ろ過部分２２の容積を、ろ過状態として複数のフィルタ塊１２を集積させて液体をろ過し、ろ過部分２２の容積を、洗浄状態に拡大させて複数のフィルタ塊１２を分散させて複数のフィルタ塊の洗浄が可能であり、ろ過部分２２の容積を可変することで、液体のろ過と、フィルタ塊１２を洗浄することができ、分解作業や交換作業を行うことなく簡単に複数のフィルタ塊を再生して使用することができる。

【0042】

（第５の実施の形態）
この実施の形態のフィルタ装置を、図５に基づいて説明する。図５（ａ）乃至図５（ｃ）は第４の実施の形態のフィルタ装置に適用した図である。

【0043】

この実施の形態は、第４の実施の形態のフィルタ装置に適用したものであり、複数のフィルタ塊１２を分散させて洗浄する際に攪拌する攪拌手段２０を備える。この攪拌手段２０は、液体を噴射する噴射器で構成し、液体をろ過部分２２内へ噴射して攪拌する。また、攪拌手段２０は、超音波を発振する超音波発振器で構成し、ろ過部分２２内へ超音波を発振して振動を与えて攪拌するようにしてもよい。

【0044】

図５（ａ）の実施の形態では、ろ過時に切替弁２ａ，２ｂを開いてろ過側にし、液体をろ過室１１に流して集積された複数のフィルタ塊１２によって液体をろ過し、洗浄時に液体をろ過室１１に入れて切替弁２ａ，２ｂを閉じて洗浄側にし、ろ過室１１の内部に液体を溜めて攪拌して洗浄する。ドレン排出時には切替弁２ａを閉じて排出側にし、切替弁２ｂを開き排出側にしドレンを排出する。

【0045】

図５（ｂ）の実施の形態では、図５（ａ）の実施の形態と同様に構成されるが、洗浄時には切替弁２ｂを閉じて洗浄側とし、切替弁２ａを開けて洗浄側としろ過室１１に薬品などを混入した洗浄液、水道水、ろ過した液、純水、蒸気などを供給し攪拌して洗浄し、洗浄だけでなく、殺菌、滅菌、蒸気などでの熱処理などを行い、ドレン排出時には切替弁２ａを閉じて排出側とし、切替弁２ｂを開き排出側とし、ドレンを排出する。

【0046】

図５（ｃ）の実施の形態では、図５（ａ）の実施の形態と同様に構成され、ろ過時に切替弁２ａ，２ｂを開きろ過側とし、液体をろ過室１１に流して集積された複数のフィルタ塊１２によって液体をろ過するが、このろ過時に洗浄液タンク９０にろ過液を貯留しておく。洗浄時に切替弁２ｂを閉め洗浄側とし、切替弁２ａを開けて洗浄側としろ過室１１に液体を供給し攪拌して洗浄し、この洗浄時の最後に洗浄液タンク９０に溜めたろ過液を流し攪拌し、ドレン排出時には切替弁２ｂを開いて排出側とし、ドレンを排出する。

【0047】

（第６の実施の形態）
この実施の形態のフィルタ装置を、図６（ａ）乃至図６（ｃ）に基づいて説明する。図６（ａ）では、第４の実施の形態と同様に構成されるが、メッシュプレート１３の中央部分１３ａを円柱状にし、メッシュプレート１３の表面面積を大きくしている。このメッシュプレート１３の表面面積を大きくすることによって、複数のフィルタ塊１２のろ過面積を拡大している。

【0048】

図６（ｂ）では、装置本体１０がろ過室２１に円筒ケース２４を設けた構成であり、この円筒ケース２４のろ過室２１の内部に位置する部分２４ａをメッシュとしている。可動プレート２３ａは、円筒ケース２４の内部を移動可能に設けられ、円筒ケース２４のろ過室２１の内部に位置する部分２４ａをメッシュとすることで、複数のフィルタ塊１２のろ過面積を拡大している。ドレン排出時は、切替弁２ｃを開くことで、洗浄後のドレンを排出路１ｆから排出する。

【0049】

図６（ｃ）では、図６（ｂ）の実施の形態と同様に構成されるが、円筒ケース２４のろ過室２１の内部に位置する部分２４ａの底部を内側に円柱状に凹ませた形状とし、円筒ケース２４のろ過室２１の内部に位置する部分２４ａをメッシュとすることで、複数のフィルタ塊１２のろ過面積を拡大している。

【0050】

［流体浄化システム］
（第１の実施の形態）
この実施の形態の流体浄化システムを、図７に基づいて説明する。この実施の形態は、遠心力により流体に含まれる微細物を分離する遠心分離装置６０と、遠心分離装置６０の後段に配置したフィルタ装置５０とを備える。

【0051】

この遠心分離装置６０は、液体が流入口６１から流入し、液体は微細物を含む液であり、この液体が所定流速で流入されることで渦巻きが生じ、遠心状態で微細物を外側へ移動させ、外側では渦巻きが減速して分離された微細物が沈降し、沈降した微細物は排出弁６２を開くことで排出管６３から取り出される。

【0052】

この遠心分離装置６０から液体は、フィルタ装置５０に送られ、このフィルタ装置５０によりろ過することで、遠心分離装置６０により分離した残りの微細物を除去し、流出口６４から流出する。遠心分離装置６０により分離した残りの微細物を除去することで、微細物をより確実に除去することが可能である。

【0053】

この実施の形態のフィルタ装置５０は、装置本体１０に液体をろ過するためのろ過室３０を備え、このろ過室３０は、複数のフィルタ塊１２を集積させて液体をろ過する部分３１と、複数のフィルタ塊１２を分散させて洗浄する部分３２を有する。ろ過する部分３１は、小径の円筒状であり、洗浄する部分３２は、ろ過する部分３１より大径の円筒状であり、底部がテーパによってろ過する部分３１に続いており、ろ過する部分３１はメッシュの筒状に形成されている。

【0054】

このろ過する部分３１と洗浄する部分３２との間において、複数のフィルタ塊１２を移動させる移動手段３３を備え、この移動手段３３は、第１の移動機構３４と第２の移動機構３５を有する。第１の移動機構３４は、メッシュプレート３４ａと、保持軸３４ｂと、駆動機構３４ｃから構成され、メッシュプレート３４ａの中央部に、保持軸３４ｂの先端部が連結され、保持軸３４ｂを駆動機構３４ｃによって駆動し、メッシュプレート３４ａをろ過する部分３１に沿って移動させる。

【0055】

第２の移動機構３５は、メッシュプレート３５ａと、保持軸３５ｂと、駆動機構３５ｃから構成され、メッシュプレート３５ａの外周部に、保持軸３５ｂの先端部が連結され、保持軸３５ｂを駆動機構３５ｃによって駆動し、メッシュプレート３５ａをろ過する部分３１と洗浄する部分３２との間を移動させる。

【0056】

この実施の形態のフィルタ装置５０は、ろ過室３０のろ過する部分３１に、メッシュプレート３４ａとメッシュプレート３５ａによって複数のフィルタ塊１２が集積され、上流側流路１ａから液体をろ過方向に流す。集積された複数のフィルタ塊１２によって液体をろ過し、微細物を捕捉して除去して下流側流路１ｂから送り出す（図７（ａ））。

【0057】

このフィルタ装置５０は、複数のフィルタ塊１２によって液体をろ過して混入する微細物を除去するが、この複数のフィルタ塊１２によって微細物を捕捉して除去するために目詰まりを起こすことがある。このために、第１の移動機構３４と第２の移動機構３５を駆動し、メッシュプレート３４ａとメッシュプレート３５ａによって複数のフィルタ塊１２を集積した状態で、ろ過する部分３１から洗浄する部分３２の方向へ移動する（図７（ｂ））。

【0058】

メッシュプレート３４ａとメッシュプレート３５ａによって複数のフィルタ塊１２を集積した状態で、ろ過する部分３１から洗浄する部分３２へ移動すると、この洗浄する部分３２に複数のフィルタ塊１２が分散する。この状態で、下流側流路１ｂからろ過室３０に液体を流すと、複数のフィルタ塊１２が洗浄され、この洗浄に用いた液体を下流側流路１ｂから排出する（図７（ｃ））。この洗浄する際に、攪拌手段によって液体を攪拌するようにしてもよい。この攪拌手段は、例えば攪拌機、液体を噴射する噴射器、超音波を発振する超音波発振器などが用いられる。

【0059】

複数のフィルタ塊１２の洗浄が終了すると、まず第１の移動機構３４を駆動し、メッシュプレート３４ａを洗浄する部分３２からろ過する部分３１の方向へ移動する。このメッシュプレート３４ａの移動によって分散している複数のフィルタ塊１２がろ過する部分３１へ移動していく（図７（ｄ））。

【0060】

複数のフィルタ塊１２が洗浄する部分３２からろ過する部分３１の方向へ移動し、洗浄する部分３２に存在しなくなると、第２の移動機構３５を駆動し、メッシュプレート３５ａを洗浄する部分３２からろ過する部分３１の方向へ移動する。このメッシュプレート３５ａの移動によって、分散している複数のフィルタ塊１２がろ過する部分３１へ移動し、メッシュプレート３４ａとメッシュプレート３５ａによって複数のフィルタ塊１２が集積され（図７（ｅ））、上流側流路１ａから液体をろ過方向に流すことで、集積された複数のフィルタ塊１２によって液体をろ過することができる（図７（ａ））。

【0061】

このように、ろ過室３０は、複数のフィルタ塊１２を集積させて液体をろ過する部分３１と、複数のフィルタ塊１２を分散させて洗浄する部分３２を有し、ろ過する部分３１と洗浄する部分３２との間において、複数のフィルタ塊１２を移動させることで、液体のろ過と、フィルタ塊の洗浄ができ、分解作業や交換作業を行うことなく簡単に複数のフィルタ塊１２を再生して使用することができる。

【0062】

（第２の実施の形態）
この実施の形態の流体浄化システムを、図８に基づいて説明する。この実施の形態は、遠心力により流体に含まれる微細物を分離する遠心分離装置６０と、遠心分離装置６０の後段に配置したフィルタ装置５０とを備える。このフィルタ装置５０は、第１の実施の形態乃至第６の実施の形態のものが用いられ、フィルタ装置５０は、遠心分離装置６０により分離した残りの微細物を除去する。図８（ａ）の実施の形態は、遠心分離装置６０とフィルタ装置５０を配管により接続し、図８（ｂ）の実施の形態は、遠心分離装置６０の内部にフィルタ装置５０のろ過する部分を配置した構成である。

【0063】

この遠心分離装置６０は、液体が流入口６６から流入し、液体は微細物を含む液であり、この液体が所定流速で流入されることで渦巻きが生じ、遠心状態で微細物を外側へ移動させ、外側では渦巻きが減速して分離された微細物が沈降する。微細物を分離した液体は、フィルタ装置５０のろ過室へ送られる。このフィルタ装置５０により、遠心分離装置６０により分離した残りの微細物を除去することで、微細物をより確実に除去することが可能である。遠心分離装置６０には、下部に排出管６８が設けられ、この排出管６８に排出弁６９を備え、排出弁６９を開いて沈殿した微細物を排出する。この遠心分離装置６０の構造は、この実施の形態に限定されず、一般的な遠心分離装置の構造でもよい。

【0064】

（第３の実施の形態）
この実施の形態の流体浄化システムを、図９に基づいて説明する。この実施の形態は、第１の実施の形態と同様に構成されるが、この遠心分離装置６０とフィルタ装置５０が一体的に形成され、フィルタ装置５０の液体流入側のろ過する部分が、遠心分離装置６０の内部に配置され、微細物を分離した液体が、フィルタ装置５０の液体流入側から配管を用いないで直接流入され、遠心分離装置６０により分離した残りの微細物をフィルタ装置５０によって除去する簡単な構造である。この実施の形態では、フィルタ装置５０の液体流入側のろ過する部分を短くし、流入口６１に対向して位置することがないようにしているがこれに限定されない。

【産業上の利用可能性】

【0065】

この発明は、流体に含まれる微粉末状クズ、また流体中の異物や混入物、汚染物質、糸状や繊維状などの軽いごみ等の微細物を除去する流体浄化システムに適用でき、微細物を確実に除去することが可能で、交換することなく簡単な洗浄作業でよく、低コストである。

【符号の説明】

【0066】

１ 液体を流す流路
１ａ 上流側流路
１ｂ 下流側流路
１ｃ 排出流路
２ 切替弁
１０ 装置本体
１１ ろ過室
１２ フィルタ塊
１３ メッシュプレート
２０ 攪拌手段
２１ ろ過室
２２ ろ過部分
２３ 容積可変手段
２３ａ 可動プレート
２３ｂ 操作軸
３０ ろ過室
３１ ろ過する部分
３２ 洗浄する部分
３３ 移動手段
３４ 第１の移動機構
３５ 第２の移動機構
５０ フィルタ装置
６０ 遠心分離装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】