特許6162829一時的にボンディングされたウエハをデボンディングするための改善された装置と方法

発明の名称　一時的にボンディングされたウエハをデボンディングするための改善された装置と方法

出願人　ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング　（識別番号 591004412）

　　　　特許公開件数ランキング 30226 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9018 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6162829

公報発行日　2017年7月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6162829

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