特許第6162830号(P6162830)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6162830薄膜蒸着装置（ＴＨＩＮＦＩＬＭＤＥＰＯＳＩＴＩＯＮＡＰＰＡＲＡＴＵＳ）
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