【図1】本開示の例示的実施形態に従う装置１を概略的に示す図である。

【図2】本開示の別の例示的実施形態に従う第１の導電部分７を示す図である。

【図3】本開示の別の例示的実施形態に従う第２の導電部分７を示す図である。

【図4】本開示の別の例示的実施形態に従う第３の導電部分７を示す図である。

【図5】本開示のさらなる例示的実施形態に従う装置１を示す平面図である。

【図6】本開示の別の例示的実施形態に従う装置１を示す平面図である。

【図7A】本開示の別の例示的実施形態に従う装置１の断面を示す図である。

【図7B】本開示の別の例示的実施形態に従う装置１の断面を示す図である。

【図8A】本開示の別の例示的実施形態に従う別の装置１の断面を示す図である。

【図8B】本開示の別の例示的実施形態に従う別の装置１の断面を示す図である。

【図8C】本開示の別の例示的実施形態に従う別の装置１の断面を示す図である。

【図9A】本開示の実施形態に従う装置１を製造する方法を示す図である。

【図9B】本開示の実施形態に従う装置１を製造する方法を示す図である。

【図9C】本開示の実施形態に従う装置１を製造する方法を示す図である。

【図9D】本開示の実施形態に従う装置１を製造する方法を示す図である。

【図10A】装置１を示す図である。

【図10B】装置１を示す図である。

【図11A】装置１を示す図である。

【図11B】装置１を示す図である。

【図12A】装置１を示す図である。

【図12B】装置１を示す図である。

【図13A】装置１を製造する方法を示す図である。

【図13B】装置１を製造する方法を示す図である。

【図13C】装置１を製造する方法を示す図である。

【図13D】装置１を製造する方法を示す図である。

【図13E】装置１を製造する方法を示す図である。

【図13F】装置１を製造する方法を示す図である。

【図13G】装置１を製造する方法を示す図である。

【図13H】装置１を製造する方法を示す図である。

【図14A】装置１を製造する方法を示す図である。

【図14B】装置１を製造する方法を示す図である。

【図14C】装置１を製造する方法を示す図である。

【図14D】装置１を製造する方法を示す図である。

【図14E】装置１を製造する方法を示す図である。

【図14F】装置１を製造する方法を示す図である。

【図14G】装置１を製造する方法を示す図である。

【図14H】装置１を製造する方法を示す図である。