特許 6174898 半導体試験装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6174898

(24)【登録日】2017年7月14日

(45)【発行日】2017年8月2日

(54)【発明の名称】半導体試験装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/28 20060101AFI20170724BHJP

【ＦＩ】

   G01R31/28 H

   G01R31/28 Y

【請求項の数】9

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2013-95289(P2013-95289)

(22)【出願日】2013年4月30日

(65)【公開番号】特開2014-215273(P2014-215273A)

(43)【公開日】2014年11月17日

【審査請求日】2016年2月4日

(73)【特許権者】

【識別番号】302062931

【氏名又は名称】ルネサスエレクトロニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】特許業務法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】松尾 幸和

(72)【発明者】

【氏名】田中 康之

(72)【発明者】

【氏名】杉本 勝

(72)【発明者】

【氏名】信長 享作

【審査官】 續山 浩二

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−２２９３３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１５４０２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１７１６５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００７／０１９８８８１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００７−０７９７１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２３３３５５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ３１／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のデバイスが接続されたテスタを制御するための半導体試験装置であって、
ユーザプログラムの命令を実行するユーザプログラム実行部と、
前記ユーザプログラムの命令に基づいて、前記テスタに接続されている複数のデバイスの端子へのテスタ命令を生成する命令生成部と、
前記生成されたテスタ命令を記憶する命令記憶部と、
前記命令記憶部内のテスタ命令の個数に基づいて、逐次転送方式または一括転送方式のうちのいずれかに転送方式を設定する転送方式設定部と、
前記設定された転送方式に従って、前記命令記憶部内のテスタ命令を前記テスタへ送信する転送制御部とを備えた半導体試験装置。

【請求項2】

前記テスタに接続される複数のデバイスのうち異常デバイスのリストを記憶するメモリと、
前記テスタから送信される信号に従って、前記テスタに接続される複数のデバイスのうちの異常デバイスを特定して、前記異常デバイスのリストを更新するデバイス管理部とを備え、
前記命令生成部は、前記ユーザプログラムの命令に基づいて、前記異常デバイスのリストを参照して、前記テスタに接続されている複数のデバイスのうちの正常なデバイスの端子の個数分のテスタ命令を生成し、
前記転送方式設定部は、前記命令記憶部内のテスタ命令の個数に基づいて、逐次転送方式または一括転送方式のうち転送時間の短い方に転送方式を設定する、請求項１記載の半導体試験装置。

【請求項3】

前記転送方式設定部は、前記ユーザプログラム実行部からパターン実行命令を受信したときに、前記転送方式を設定する、請求項２記載の半導体試験装置。

【請求項4】

前記ユーザプログラムには、一括転送切替命令および／または逐次転送切替命令が含まれ、
前記転送方式設定部は、前記ユーザプログラム実行部から前記一括転送切替命令を受信したときには、転送方式を前記一括転送方式に設定し、前記ユーザプログラム実行部から前記逐次転送切替命令を受信したときには、転送方式を前記逐次転送方式に設定する、請求項１記載の半導体試験装置。

【請求項5】

前記転送方式設定部は、前記ユーザプログラム実行部から受信した命令に基づいて生成される前記テスタ命令が前記テスタからの読出し命令を含む場合には、転送方式を前記一括転送方式に設定する、請求項１記載の半導体試験装置。

【請求項6】

前記一括転送方式において、前記デバイスでのテストが失敗したテスト項目を記憶するテスト項目記憶部を備え、
前記転送方式設定部は、前記テスト項目記憶部に記憶されているテスト項目に含まれる命令から生成されたテスタ命令の転送方式を前記逐次転送方式に設定する、請求項２記載の半導体試験装置。

【請求項7】

前記転送方式設定部は、プレテストにおいて前記ユーザプログラムに含まれる命令から生成されたテスタ命令の転送方式を前記一括転送方式に設定し、
前記デバイス管理部は、前記テスタから送信される信号に従って、失敗したテスト項目を特定し、前記特定したテスト項目を前記テスト項目記憶部に書込む、請求項６記載の半導体試験装置。

【請求項8】

前記一括転送方式における前記デバイスでのテストによって得られる第１測定値と、前記逐次転送方式における前記デバイスでのテストによって得られる第２測定値とが所定値以上相違するテスト項目を記憶するテスト項目記憶部を備え、
前記転送方式設定部は、前記テスト項目記憶部に記憶されているテスト項目の命令から生成されたテスタ命令の転送方式を前記逐次転送方式に設定する、請求項２記載の半導体試験装置。

【請求項9】

前記転送方式設定部は、第１のプレテストにおいて前記ユーザプログラムに含まれる命令から生成されたテスタ命令の転送方式を前記逐次転送方式に設定し、
前記デバイス管理部は、前記テスタから送信される信号に従って、各テスト項目の前記第１測定値を前記テスト項目記憶部に書込み、
前記転送方式設定部は、第２のプレテストにおいて前記ユーザプログラムに含まれる命令から生成されたテスタ命令の転送方式を前記一括転送方式に設定し、
前記デバイス管理部は、前記テスタから送信される信号に従って、各テスト項目の前記第２測定値を前記テスト項目記憶部に書込み、
前記デバイス管理部は、前記第１測定値と前記第２測定値とが所定値以上相違するテスト項目を前記テスト項目記憶部に書き込む、請求項８記載の半導体試験装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体試験装置に関し、たとえば、複数のデバイスが接続されたテスタを制御する半導体試験装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、半導体デバイスを試験する半導体試験装置が知られている。
たとえば、特許文献１（特開２００４−１４４４８８号公報）の半導体試験装置では、パターン特徴抽出部（２）がテストパターンの特徴を抽出し、パターン変換部（３）が抽出したテストパターンの特徴を考慮してテストパターンの並び替え、スクランブルコードとともに出力する。パターンメモリ制御部（５）は、パターンメモリ（４）にアクセスし、パターン変換部（３）で変換されたテストパターンを読み出し、転送が必要な部分のみテスタ制御部（６）に転送する。テスタ制御部（６）は、読み出したテストパターンをスクランブルコードに基づいて復元し、試験波形を生成して被試験ＬＳＩに印加し、該被試験ＬＳＩの良否判定を行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４−１４４４８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、特許文献１の半導体試験装置を含む従来の半導体試験装置は、逐次転送方式で命令がテスタへ伝送されていた。すなわち、被試験デバイスからの出力データなどを測定することを鑑みて、命令をテスタへ逐次転送して、テスタ内部のレジスタの設定を行なっていた。この逐次転送方式では、レジスタへの命令の転送のためのハンドシェイクなどに一定の時間がかかるという問題がある。

【0005】

一方、一括転送方式では、命令を一時的にキャッシュに記憶させ、パターン開始などの所定の命令で一括してキャッシュ内部の命令をテスタ内部のレジスタへ転送して、レジスタの設定を行うことが可能となる。この一括転送方式で転送できる命令は、被試験デバイス内でセルフテストを実行できるものなどに限られるという問題がある。

【0006】

その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかであろう。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一実施形態の半導体試験装置は、命令記憶部内のテスタ命令の個数またはユーザプログラムの命令に基づいて、逐次転送方式または一括転送方式のうちのいずれかに転送方式を設定する転送方式設定部と、設定された転送方式に従って、命令記憶部内のテスタ命令をテスタへ送信する転送制御部とを備える。

【発明の効果】

【0008】

本発明の一実施形態によれば、逐次転送方式と一括転送方式とを効率よく切り替えることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】第１の実施形態の半導体試験装置の構成を表わす図である。

【図2】本発明の実施形態のテストシステムを表わす図である。

【図3】第２の実施形態の半導体試験装置の構成を表わす図である。

【図4】テスタ命令の構成を表わす図である。

【図5】命令記憶部内のテスタ命令の個数Ｎと、逐次転送方式での転送時間ＴＰ１と、一括転送方式での転送時間ＴＰ２との関係を表わす図である。

【図6】テスト機能部の構成を表わす図である。

【図7】第１の実施形態の半導体試験装置の動作手順を表わすフローチャートである。

【図8】（ａ）は、ユーザプログラムの例を表わす図である。（ｂ）は、ファンクションテストであるテスト１に含まれる命令を表わす図である。（ｃ）は、Ｆｌａｓｈテスト（フラッシュメモリのテスト）であるテスト２に含まれる命令を表わす図である。

【図9】異常デバイスが存在しない場合に、命令記憶部に格納されるテスタ命令の例を表わす図である。

【図10】異常デバイスが存在する場合に、命令記憶部に格納されるテスタ命令の例を表わす図である。

【図11】第３の実施形態の半導体試験装置の動作手順を表すフローチャートである。

【図12】（ａ）は、ユーザプログラムの例を表わす図である。（ｂ）は、ユーザプログラムに含まれるテスト１の例を表わす図である。（ｃ）は、ユーザプログラムに含まれるテスト２の例を表わす図である。

【図13】第４の実施形態の半導体試験装置の動作手順を表すフローチャートである。

【図14】（ａ）は、ユーザプログラムの例を表わす図である。（ｂ）は、ユーザプログラムに含まれるテスト１の例を表わす図である。（ｃ）は、ユーザプログラムに含まれるテスト２の例を表わす図である。

【図15】第５の実施形態の半導体試験装置におけるテスト項目ごとの転送方式の登録手順を表わすフローチャートである。

【図16】第５の実施形態の半導体試験装置の転送制御の手順を表わすフローチャートである。

【図17】（ａ）は、ユーザプログラムに含まれるテスト項目を表わす図である。（ｂ）は、システムメモリに記憶されている逐次転送方式のテスト項目の例を表わす図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
［第１の実施形態］
図１は、第１の実施形態の半導体試験装置の構成を表わす図である。

【0011】

図１を参照して、この半導体試験装置９１は、 複数のデバイスが接続されたテスタを制御するための半導体試験装置である。この半導体試験装置９１は、ユーザプログラム実行部９３と、テスタ命令生成部９７と、命令記憶部９５と、転送方式設定部９９と、転送制御部９８とを備える。

【0012】

ユーザプログラム実行部９３は、ユーザプログラムの命令を実行する。
テスタ命令生成部９７は、ユーザプログラムの命令に基づいて、テスタに接続されている複数のデバイスの端子へのテスタ命令を生成して、命令記憶部９５に記憶させる。

【0013】

命令記憶部９５は、生成されたテスタ命令を記憶する。
転送方式設定部９９は、命令記憶部９５内のテスタ命令の個数またはユーザプログラムの命令に基づいて、逐次転送方式または一括転送方式のうちのいずれかに転送方式を設定する。

【0014】

転送制御部９８は、設定された転送方式に従って、命令記憶部９５内のテスタ命令をテスタへ送信する。

【0015】

以上のように、本実施の形態によれば、半導体試験装置からテスタへのテスタ命令の転送方式を逐次転送方式と一括転送方式との間で効率よく切り替えることができる。

【0016】

［第２の実施形態］
（構成）
図２は、本発明の実施形態のテストシステムを表わす図である。テストシステムは、半導体試験装置１と、テスタ２と、各々がｎ個のピンＰ−１〜Ｐ−ｎを有するｍ個の被試験デバイスＤＵＴ１〜ＤＴＵ−ｍを備える。

【0017】

半導体試験装置１のユーザプログラム実行部３で実行されたユーザプログラムの命令のうちテスタ２で実行される命令がインタフェースブロック４に送られる。インタフェースブロック４は、受信した命令に基づいて、被試験デバイスＤＵＴ−１〜ＤＵＴ−ｍの各ピンＰ−１〜Ｐ−ｎへ送るテスタ命令を生成し、各ピンに対応するテスト機能部Ｔ１＿１〜Ｔ１＿ｎ，・・・Ｔｍ＿１〜Ｔｍ＿ｎへ出力する。ピンごとのテスト機能部Ｔｉ＿ｊは、対応する被試験デバイスＤＵＴ−ｉのピンＰ−ｊに信号を出力し、対応する被試験デバイスＤＵＴ−ｉのピンＰ−ｊから信号を受信する。

【0018】

図３は、第２の実施形態の半導体試験装置の構成を表わす図である。
図３に示すように、この半導体試験装置１は、ユーザプログラム実行部３と、インタフェースブロック４とを備える。

【0019】

インタフェースブロック４は、命令記憶部と、コントロール部６とを含む。
コントロール部６は、システムメモリ１０と、テスタ命令生成部７と、転送方式設定部９と、転送制御部８と、デバイス制管理部１１とを含む。

【0020】

ユーザプログラム実行部３は、ユーザプログラムの命令を実行する。
システムメモリ１０は、テスタ２に接続される複数のデバイスＤＵＴ−１〜ＤＵＴ−ｍの中の異常デバイスのリストを記憶する。

【0021】

デバイス管理部１１は、テスタ２から送信される信号に従って、テスタ２に接続される複数のデバイスＤＵＴ−１〜ＤＵＴ−ｍのうちの異常デバイスを特定して、異常デバイスのリストを更新する。

【0022】

テスタ命令生成部７は、ユーザプログラムの命令に基づいて、異常デバイスのリストを参照して、テスタ２に接続されている複数のデバイスＤＵＴ−１〜ＤＵＴ−ｍのうちの正常なデバイスの端子の個数分のテスタ命令を生成して命令記憶部５に記憶させる。テスタ命令は、図４に示すように、デバイスＤＵＴの番号、ポート番号、テスタ２のレジスタのアドレス、書込みデータで構成される。ユーザプログラムの１つの命令から１種類または複数種類のテスタ命令が生成される。ここで、１種類のテスタ命令とは、書込みデータが同一で、デバイスＤＵＴの番号、ポート番号、テスタ２のレジスタのアドレスが相違するテスタ命令である。

【0023】

命令記憶部５は、各々が１つのテスタ命令を記憶する複数のレジスタを有する。
転送方式設定部９は、逐次転送方式での転送時間ＴＰ１である（ｔｓ１＋ｔｓ２）×Ｎと、一括転送方式での転送時間ＴＰ２であるｔｂ１＋ｔｂ２×Ｎとを比較する。

【0024】

ただし、ｔｓ１は逐次転送方式の転送の前処理に要する時間、ｔｓ２は逐次転送方式での１テスタ命令の命令記憶部５からテスタ２への転送に要する時間である。ｔｂ１は一括転送方式の転送の前処理に要する時間、ｔｂ２は一括転送方式での１テスタ命令の命令記憶部５からテスタ２への転送に要する時間である。Ｎは、命令記憶部５内のテスタ命令の個数である。一括転送方式とは、たとえばＤＭＡ（Direct Memory Access）方式による転送などである。

【0025】

図５は、命令記憶部５内のテスタ命令の個数Ｎと、逐次転送方式での転送時間ＴＰ１と、一括転送方式での転送時間ＴＰ２との関係を表わす図である。

【0026】

図５に示すように、命令記憶部５内のテスタ命令の個数Ｎ、すなわち転送するテスタ命令の個数が少ないときには、逐次転送方式による転送時間の方が短い。テスタ命令の個数Ｎがある個数を超えると、一括転送方式による転送時間の方が短くなる。

【0027】

転送方式設定部９は、ユーザプログラム実行部３からパターン実行命令を受信したときに、命令記憶部５内のテスタ命令の個数Ｎに基づいて、逐次転送方式または一括転送方式のうち転送時間の短い方に転送方式を設定する。

【0028】

転送制御部８は、設定された転送方式に従って、命令記憶部５内のテスタ命令を転送する。すなわち、転送制御部８は、テスタ命令に含まれるデバイスＤＵＴの番号、ポート番号、テスタ２のレジスタのアドレスに従って、転送先のレジスタを特定し、特定したレジスタへ書込みデータを転送する。

【0029】

図６は、テスト機能部Ｔ１＿１の構成を表わす図である。他のテスト機能部Ｔｉ＿ｊ（ｉ＝２〜ｍ、ｊ＝１〜ｎ）の構成も、テスト機能部Ｔ１＿１の構成と同様であるので説明を繰り返さない。

【0030】

テスト機能部Ｔ１＿１は、テストパターンを保持するパターンレジスタ３５８と、波形フォーマッタ３５４へタイミング信号を出力するタイミング発生器３５５と、波形フォーマッタ３５４とを備える。

【0031】

また、テスト機能部Ｔ１＿１は、デバイスＤＵＴ−１のピンＰ−１へ信号を出力するドライバ３５１と、ドライバ３５１への高電圧の値を保持するＶＩＨレジスタ３６０と、ドライバ３５１への低電圧の値を保持するＶＩＬレジスタ３６１とを備える。

【0032】

テスト機能部Ｔ１＿１は、さらに、比較器３５２の負の端子への参照電圧の値を保持するＶＯＨレジスタ３６２と、デバイスＤＵＴ−１のピンＰ−１からの信号とＶＯＨレジスタ３６２から出力される参照電圧とを比較して、比較結果を判定回路３５６へ出力する比較器３５２とを備える。

【0033】

テスト機能部Ｔ１＿１は、さらに、比較器３５３の負の端子への参照電圧の値を保持するＶＯＬレジスタ３６３と、デバイスＤＵＴ−１のピンＰ−１からの信号とＶＯＬレジスタ３６３から出力される参照電圧とを比較して、比較結果を判定回路３５６へ出力する比較器３５３とを備える。

【0034】

テスト機能部Ｔ１＿１は、さらに、期待値を保持する期待値レジスタ３５９と、判定回路３５６へストローブ信号を出力する判定ストローブ器３５７と、期待値レジスタ内の期待値と、比較器３５２の比較結果、比較器３５３の比較結果に従って各種の判定を実行する判定回路３５６とを備える。

【0035】

テスト機能部Ｔ１＿１は、さらに、デバイスＤＵＴ−１のピンＰ−１からの信号に基づいて、電圧テストやリークテストを実行するＤＣユニットを備える。

【0036】

（動作）
図７は、第１の実施形態の半導体試験装置の動作手順を表わすフローチャートである。

【0037】

まず、テスタ命令生成部７は、ユーザプログラム実行部３からユーザプログラム命令を受信した場合には（ステップＳ１０１でＹＥＳ）、システムメモリ１０内の異常デバイスリストを参照して、正常なデバイスＤＵＴを特定する。テスタ命令生成部７は、ユーザプログラム命令に基づいて、正常なデバイスＤＵＴの各ピンＰに対するテスタ命令を生成し、生成したテスタ命令を命令記憶部５に記憶する（ステップＳ１０２）。

【0038】

一方、デバイス管理部１１は、テスタ２からテスト結果が失敗したことを表わすＦａｉｌ情報を受信した場合には（ステップＳ１０９でＹＥＳ）、そのＦａｉｌ情報を送信したデバイスを異常デバイスとしてシステムメモリ１０内の異常デバイスのリストに登録する（ステップＳ１１０）。

【0039】

受信したユーザプログラム命令がパターン実行命令である場合には（ステップＳ１０３でＹＥＳ）、転送方式設定部９は、逐次転送方式での転送時間ＴＰ１である（ｔｓ１＋ｔｓ２）×Ｎと、一括転送方式で転送時間ＴＰ２であるｔｂ１＋ｔｂ２×Ｎとを比較する。

【0040】

ただし、ｔｓ１は逐次転送方式の転送の前処理に要する時間、ｔｓ２は逐次転送方式での１テスタ命令の転送に要する時間である。ｔｂ１は一括転送方式の転送の前処理に要する時間、ｔｂ２は一括転送方式での１テスタ命令の転送に要する時間である。Ｎは、命令記憶部５内のテスタ命令の個数である。

【0041】

転送方式設定部９は、ＴＰ１＜ＴＰ２の場合には（ステップＳ１０４でＹＥＳ）、転送方式を逐次転送方式に設定する（ステップＳ１０５）。

【0042】

次に、転送制御部８は、命令記憶部５内のすべてのテスタ命令を逐次転送方式でテスタ２へ転送する（ステップＳ１０６）。

【0043】

一方、転送方式設定部９は、ＴＰ１≧ＴＰ２の場合には（ステップＳ１０４でＮＯ）、転送方式を一括転送方式に設定する（ステップＳ１０７）。

【0044】

次に、転送制御部８は、命令記憶部５内のすべてのテスタ命令を一括転送方式でテスタ２へ転送する（ステップＳ１０８）。

【0045】

（例）
図８（ａ）は、ユーザプログラムの例を表わす図である。

【0046】

図８（ａ）に示すように、ユーザプログラムは、複数のテスト項目を含む。
図８（ｂ）は、ファンクションテストであるテスト１に含まれる命令を表わす図である。

【0047】

図８（ｂ）に示すように、ファンクションテストは、電圧設定、タイミング設定、ピン設定、リレー設定、パターン実行の命令からなる。

【0048】

図８（ｃ）は、Ｆｌａｓｈテスト（フラッシュメモリのテスト）であるテスト２に含まれる命令を表わす図である。

【0049】

図８（ｃ）に示すように、Ｆｌａｓｈテストは、電圧設定、タイミング設定、ピン設定、リレー設定、パターン実行の命令からなる。

【0050】

図９は、異常デバイスが存在しない場合に、命令記憶部５に格納されるテスタ命令の例を表わす図である。

【0051】

図９に示すように、デバイスＤＵＴの個数がｎ個で、各デバイスＤＵＴのピンＰの個数がｍ個の場合には、ｎ×ｍ個の同一種類のテスタ命令が生成される。

【0052】

パターン実行命令を受信し、命令記憶部５内に図９のテスタ命令が記憶されたときに、図９のテスタ命令のすべてがテスタ２へ逐次転送方式または一括転送方式で転送される。

【0053】

図１０は、異常デバイスが存在する場合に、命令記憶部５に格納されるテスタ命令の例を表わす図である。

【0054】

図１０に示すように、デバイスＤＵＴの個数がｎ個で、そのうち５個が異常デバイスであり、各デバイスＤＵＴのピンＰの個数がｍ個の場合には、（ｎ−５）×ｍ個の同一種類のテスタ命令が生成される。

【0055】

パターン実行命令を受信し、命令記憶部５内に図１０のテスタ命令が記憶されたときに、図１０のテスタ命令のすべてがテスタ２へ逐次転送方式または一括転送方式で転送される。

【0056】

以上のように、本実施の形態によれば、半導体試験装置からテスタへのテスタ命令の転送方式を転送時間の短い方式に切り替えることができる。

【0057】

［第３の実施形態］
第３の実施形態では、ユーザプログラム実行部３は、切替フラグを含むユーザプログラムを実行する。ユーザプログラム実行部３は、ユーザプログラムに含まれるＦＬＡＧ＝ＯＮのコードに対して、一括転送切替命令を出力する。ユーザプログラム実行部３は、ユーザプログラムに含まれるＦＬＡＧ＝ＯＦＦのコードに対して、逐次転送切替命令を出力する。

【0058】

これにより、ユーザは、一括転送すると支障のあるテストについては、ユーザプログラムのそのテストの前にＦＬＡＧ＝ＯＦＦを挿入することができる。一方、ユーザは、一括転送しても支障のあるテストについては、ユーザプログラムのそのテストの前にＦＬＡＧ＝ＯＮを挿入することができる。

【0059】

転送方式設定部９は、ユーザプログラム実行部３から一括転送切替命令を受信したときには、転送方式を一括転送方式に設定する。転送方式設定部９は、ユーザプログラム実行部３から逐次転送切替命令を受信したときには、転送方式を逐次転送方式に設定する。

【0060】

転送制御部８は、逐次転送方式に設定されたときには、ユーザプログラム実行部３から命令を受信するごとに、当該受信により生成されたテスタ命令を含む命令記憶部５に記憶されたテスタ命令を逐次転送方式でテスタ２へ転送する。

【0061】

また、転送制御部８は、一括転送方式に設定されたときには、ユーザプログラム実行部３からパターン実行命令を受信するごとに、当該受信により生成されたテスタ命令を含む命令記憶部５に記憶されたテスタ命令を一括転送方式でテスタ２へ転送する。

【0062】

図１１は、第３の実施形態の半導体試験装置の動作手順を表すフローチャートである。
図１１を参照して、テスタ命令生成部７は、ユーザプログラム実行部３からユーザプログラム命令を受信した場合には（ステップＳ２０１でＹＥＳ）、ユーザプログラム命令に基づいて、各デバイスＤＵＴの各ピンＰに対するテスタ命令を生成し、生成したテスタ命令を命令記憶部５に記憶する（ステップＳ２０２）。

【0063】

受信したユーザプログラム命令が一括転送切替命令である場合には（ステップＳ２０３でＹＥＳ）、転送方式設定部９は、転送方式を一括転送方式に設定する（ステップＳ２０４）。

【0064】

受信したユーザプログラム命令が逐次転送切替命令である場合には（ステップＳ２０５でＹＥＳ）、転送方式設定部９は、転送方式を逐次転送方式に設定する（ステップＳ２０６）。

【0065】

転送方式が一括転送方式で、かつ受信したユーザプログラム命令がパターン実行命令である場合には（ステップＳ２０７でＹＥＳ）、転送制御部８は、命令記憶部５内のすべてのテスタ命令を一括転送方式でテスタ２へ転送する（ステップＳ２０８）。

【0066】

転送方式が逐次転送方式の場合には（ステップＳ２０９でＹＥＳ）、転送制御部８は、命令記憶部５内のすべてのテスタ命令を逐次転送方式でテスタ２へ転送する（ステップＳ２１０）。

【0067】

（例）
図１２（ａ）は、ユーザプログラムの例を表わす図である。

【0068】

図１２（ｂ）は、ユーザプログラムに含まれるテスト１の例を表わす図である。
テスト１は、ファンクションテストである。ファンクションテストでは、被試験デバイスＤＵＴに対して、電圧、タイミング、ピン、リレーの設定を行い、パターン実行と同時にあらかじめテスタ２にロードしたテストパターンが実行される。ファンクションテストには、一括転送方式で転送しても支障のない命令のみが含まれるため、テスト１の前に切替フラグＦＬＡＧ＝ＯＮに設定され、ユーザプログラム実行部３は、一括転送切替命令を出力する。転送方式設定部９は、ユーザプログラム実行部３から一括転送切替命令を受信し、転送方式を一括転送方式に設定する。

【0069】

図１２（ｃ）は、ユーザプログラムに含まれるテスト２の例を表わす図である。
テスト２は、トリミングテストである。トリミングテストでは、電圧、タイミング、ピン、リレーについてはファンクションテスト時と同様の設定が必要である。その後トリミングコードが作成され、被試験デバイスＤＵＴへ書込まれ、テストパターンが実行され、ＤＣテスト実施により、書き込んだトリミングコードに対する測定値が取得される。測定値が目標値に一番近いトリミングコードを得るために上記の処理が繰り返される。最後に決定された測定値が目標値に一番近いトリミングコード値が被試験デバイスＤＵＴへ書き込まれる。

【0070】

トリミングテストには、一括転送方式で転送すると支障のある命令（新規トリミングコード作成、トリミングコード書込み、測定値と目標値との比較、トリミングコード決定）が含まれるため、テスト２の前に切り替えフラグＦＬＡＧ＝ＯＦＦに設定され、ユーザプログラム実行部３は、逐次転送切替命令を出力する。転送方式設定部９は、ユーザプログラム実行部３から逐次転送切替命令を受信し、転送方式を逐次転送方式に設定する。

【0071】

以上のように、本実施の形態によれば、半導体試験装置からテスタへのテスタ命令の転送方式をユーザがユーザプログラムによって設定することができる。ユーザが、一括転送すると支障のある命令を逐次転送方式に設定することによって、デバイスのテストを正確に実施することができる。

【0072】

［第４の実施形態］
第４の実施形態では、転送方式設定部９は、ユーザプログラム実行部３から受信した命令に基づいて生成されるテスタ命令がバスリード命令を含む場合には、転送方式を一括転送方式に設定する。

【0073】

バスリードはテスタ２から何らかの情報を読み出す時に実行するが、その前提として読み出し前に命令記憶部５内のテスタ命令をバス転送し、テスタ２の設定として反映させておかなければ、正しいリード値が得られない。バスリードを含むテストフローに対してこれらの問題を解決するためには、バスリードが必要な箇所の前で強制的に一括転送方式での転送を実行する。

【0074】

図１３は、第４の実施形態の半導体試験装置の動作手順を表すフローチャートである。
まず、転送方式設定部９は、転送方式を逐次転送方式に設定する（ステップ３０１）。

【0075】

転送方式設定部９は、ユーザプログラム実行部３からユーザプログラム命令を受信した場合には（ステップＳ３０２でＹＥＳ）、受信したユーザプログラム命令がテスタ命令に変換された場合に、当該テスタ命令がバスリード命令を含むかどうかを判断する。

【0076】

転送方式設定部９は、当該テスタ命令がバスリード命令を含むような場合には（ステップＳ３０３でＹＥＳ）、転送方式を一括転送方式に設定する（ステップＳ３０４）。

【0077】

次に、転送制御部８は、命令記憶部５内のすべてのテスタ命令を一括転送方式でテスタ２へ転送する（ステップＳ３０５）。

【0078】

次に、転送方式設定部９は、転送方式を逐次転送方式に設定する（ステップＳ３０６）。

【0079】

ステップＳ３０３でＮＯの場合、またはステップＳ３０６の後に、テスタ命令生成部７は、受信したユーザプログラム命令に基づいて、各デバイスＤＵＴの各ピンＰに対するテスタ命令を生成し、生成したテスタ命令を命令記憶部５に記憶する（ステップＳ３０７）。

【0080】

次に、受信したユーザプログラム命令がパターン実行命令である場合には（ステップＳ３０８でＹＥＳ）、転送制御部８は、命令記憶部５内のすべてのテスタ命令を逐次転送方式でテスタ２へ転送する（ステップＳ３０９）。
図１４（ａ）は、ユーザプログラムの例を表わす図である。

【0081】

図１４（ｂ）は、ユーザプログラムに含まれるテスト１の例を表わす図である。
テスト１は、ファンクションテストである。ファンクションテストには、バスリード命令を生成される命令が含まれないため、転送方式設定部９は、一括転送方式に設定しない。

【0082】

図１４（ｃ）は、ユーザプログラムに含まれるテスト２の例を表わす図である。
テスト２は、トリミングテストである。

【0083】

トリミングテストには、バスリード命令を生成させる命令（トリミングコード書込み、ＤＣテスト）が含まれるため、転送方式設定部９は、これらの命令を受信したときには、転送方式を一括転送方式に設定する。

【0084】

以上のように、本実施の形態によれば、半導体試験装置からテスタへ逐次転送すると支障のあるテスタ命令（バスリード命令）の前に命令記憶部内のテスタ命令を一括転送方式に設定することによって、デバイスのテストを正確に実施することができる。

【0085】

なお、本実施の形態では、ステップＳ３０８でＹＥＳの場合には、ステップＳ３０９において逐次転送が行なわれたが、これに限定するものではない。ステップＳ３０８でＹＥＳの場合に、第１の実施形態と同様に、図７のステップＳ１０４〜Ｓ１０８の処理が行なわれるものとしてもよい。

【0086】

［第５の実施形態］
第５の実施形態では、システムメモリ１０は、第２のプレテストにおける一括転送方式での転送おいて、デバイスＤＵＴ１〜ＤＵＴ−ｎのいずれかでテストが失敗したテスト項目を逐次転送方式のテスト項目として記憶する。
また、システムメモリ１０は、第１のプレテストにおける逐次転送方式での転送において、デバイスＤＵＴ−１〜ＤＵＴ−ｎでのテストによって得られる第１測定値と、第２のプレテストにおける一括転送方式におけるデバイスＤＵＴ１〜ＤＵＴ−ｎでのテストによって得られる第２測定値とが所定値以上相違するテスト項目を逐次転送方式のテスト項目として記憶する。

【0087】

転送方式設定部９は、システムメモリ１０に記憶されているテスト項目に含まれる命令から生成されたテスタ命令の転送方式を逐次転送方式に設定する。

【0088】

図１５は、第５の実施形態の半導体試験装置におけるテスト項目ごとの転送方式の登録手順を表わすフローチャートである。

【0089】

まず、転送方式設定部９は、第１のプレテストのため逐次転送方式に設定する（ステップＳ４０１）。

【0090】

次に、テスタ命令生成部７は、ユーザプログラム実行部３からの各ユーザプログラム命令に基づいて、各デバイスＤＵＴの各ピンＰに対するテスタ命令を生成し、生成したテスタ命令を命令記憶部５に記憶する。転送制御部８は、命令記憶部５内のすべてのテスタ命令を逐次転送方式でテスタ２へ転送する（ステップＳ４０２）。

【0091】

デバイス管理部１１は、テスタ２から送られる、各デバイスＤＵＴの各ピンＰのテスト項目ごとの測定値ａを受信して、システムメモリ１０に記憶する（ステップＳ４０３）。

【0092】

次に、転送方式設定部９は、一括転送方式に設定する（ステップＳ４０４）。
次に、テスタ命令生成部７は、ユーザプログラム実行部３からの各ユーザプログラム命令に基づいて、各デバイスＤＵＴの各ピンＰに対するテスタ命令を生成し、生成したテスタ命令を命令記憶部５に記憶する。転送制御部８は、命令記憶部５内のすべてのテスタ命令を一括転送方式でテスタ２へ転送する（ステップＳ４０５）。

【0093】

デバイス管理部１１は、テスタ２から送られる各デバイスＤＵＴの各ピンＰのテスト項目ごとのＰａｓｓ／Ｆａｉｌ情報と測定値ｂを受信して、システムメモリ１０に記憶する（ステップＳ４０６）。

【0094】

デバイス管理部１１は、一括転送方式において、いずれかのデバイスＤＵＴのいずれかのピンＰからのＦａｉｉ情報を受信したテスト項目がある場合には（ステップＳ４０７でＹＥＳ）、Ｆａｉｌ情報を受信したテスト項目を逐次転送方式のテスト項目としてシステムメモリ１０に書き込む（ステップＳ４０８）。

【0095】

デバイス管理部１１は、いずれかのデバイスＤＵＴのいずれかのピンＰについて、一括転送方式において受信した測定値ｂと、逐次転送方式において受信した測定値ａとの差が所定値以上となるテスト項目がある場合には（ステップＳ４０９でＹＥＳ）、差が所定値以上であるテスト項目を逐次転送方式のテスト項目としてシステムメモリ１０に書き込む（ステップＳ４１０）。

【0096】

図１６は、第５の実施形態の半導体試験装置の転送制御の手順を表わすフローチャートである。

【0097】

まず、転送方式設定部９は、ユーザプログラム実行部３からテスト項目を表わす情報を受信した場合には（ステップＳ５０１でＹＥＳ）、当該受信した情報で表わされるテスト項目がシステムメモリ１０において逐次転送方式のテスト項目として記憶されているときには（ステップＳ５０２でＹＥＳ）、転送方式を逐次転送方式に設定する（ステップＳ５０３）。

【0098】

テスタ命令生成部７は、ユーザプログラム実行部３からの各ユーザプログラム命令に基づいて、各デバイスＤＵＴの各ピンＰに対するテスタ命令を生成し、生成したテスタ命令を命令記憶部５に記憶する。転送制御部８は、各ユーザプログラム命令を受信するごとに、命令記憶部５内のすべてのテスタ命令を逐次転送方式でテスタ２へ転送する（ステップＳ５０４）。

【0099】

一方、受信した情報で表わされるテスト項目がシステムメモリ１０内の設定情報において逐次転送方式に登録されてないときには（ステップＳ５０２でＮＯ）、転送方式を一括転送方式に設定する（ステップＳ５０５）。

【0100】

テスタ命令生成部７は、ユーザプログラム実行部３からの各ユーザプログラム命令に基づいて、各デバイスＤＵＴの各ピンＰに対するテスタ命令を生成し、生成したテスタ命令を命令記憶部５に記憶する。転送制御部８は、受信した情報で表わされるテスト項目に含まれるユーザプログラム命令をすべて受信するごとに、命令記憶部５内のすべてのテスタ命令を一括転送方式でテスタ２へ転送する（ステップＳ５０６）。

【0101】

図１７（ａ）は、ユーザプログラムに含まれるテスト項目を表わす図である。
ユーザプログラムには、ファンクションテストであるテスト１と、トリミングテストであるテスト２と、ＤＣテストであるテスト３と、セルフテストであるテスト４とが含まれる。

【0102】

図１７（ｂ）は、システムメモリ１０に記憶されている逐次転送方式のテスト項目の例を表わす図である。図１７（ｂ）の例では、ＤＣテストのみが逐次転送方式のテスト項目としてシステムメモリ１０に記憶されている。したがって、ＤＣテストの命令から生成されたテスタ命令が逐次転送方式で転送され、その他のテスト項目の命令から生成されたテスタ命令は、一括転送方式で転送される。

【0103】

以上のように、本実施の形態によれば、半導体試験装置からテスタへ一括転送すると支障のあるテスト項目の命令から生成されたテスト命令を逐次転送方式で転送するので、デバイスのテストを正確に実施することができる。

【0104】

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【符号の説明】

【0105】

１，９１ 半導体試験装置、２ テスタ、３，９３ ユーザプログラム実行部、４ インタフェースブロック、５，９５ 命令記憶部、６ コントロール部、７，９７ テスタ命令生成部、８，９８ 転送制御部、９，９９ 転送方式設定部、１０ システムメモリ、１１ デバイス管理部、Ｔ１＿１〜Ｔ１＿ｎ，Ｔｍ＿１〜Ｔｍ＿ｎ テスト機能部、ＤＵＴ−１〜ＤＵＴ−ｎ デバイス管理部、Ｐ−１〜Ｐ−ｎ ピン。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】