特許 6179723 圧力センサーの検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6179723

(24)【登録日】2017年7月28日

(45)【発行日】2017年8月16日

(54)【発明の名称】圧力センサーの検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01L 27/00 20060101AFI20170807BHJP

【ＦＩ】

   G01L27/00

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2013-244905(P2013-244905)

(22)【出願日】2013年11月27日

(65)【公開番号】特開2015-102490(P2015-102490A)

(43)【公開日】2015年6月4日

【審査請求日】2016年5月2日

(73)【特許権者】

【識別番号】513299317

【氏名又は名称】株式会社エス・アイ・シー

(74)【代理人】

【識別番号】110001623

【氏名又は名称】特許業務法人真菱国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】井上 晴伸

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 英雄

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 親弘

【審査官】 公文代 康祐

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−１０７００３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−０９２９１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−１７８５９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１９０８９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００３／０１７７８１２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｌ ２７／００

Ｈ０１Ｌ ２９／８４

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

検査対象物である複数の圧力センサーを検査基板にセットした状態で収容すると共に、当該圧力センサーに検査圧力を加える圧力容器と、
前記検査基板に接触し、前記圧力センサーを検査温度となるように降温および昇温する冷熱印加部と、
前記冷熱印加部に降温および昇温のための熱媒体としてドライエアーを供給する冷熱供給源と、
前記冷熱供給源と前記冷熱印加部とを接続する媒体流路と、
前記圧力センサーの出力信号を測定する測定部と、を備え、
前記圧力容器は、圧力室を構成する本体容器および蓋容器を有し、
前記冷熱印加部は、前記本体容器を兼ねていることを特徴とする圧力センサーの検査装置。

【請求項2】

前記本体容器は、内側の本体容器インナーと外側の本体容器アウターとを重ね合せて構成され、
前記本体容器インナーの外面に形成された通路溝と、当該通路溝を覆う前記本体容器アウターの内面とにより、前記冷熱印加部におけるドライエアー用の内部流路が形成され、
前記本体容器インナーは、熱伝導性材料で構成され、前記本体容器アウターは、断熱性材料で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサーの検査装置。

【請求項3】

前記媒体流路は、前記冷熱印加部にドライエアーを供給する媒体送気流路と、前記冷熱印加部から排気されるドライエアーの媒体排気流路と、を有し、
前記媒体排気流路の下流端は、大気に開放されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサーの検査装置。

【請求項4】

検査対象物である複数の圧力センサーを検査基板にセットした状態で収容すると共に、当該圧力センサーに検査圧力を加える圧力容器と、
前記検査基板に接触し、前記圧力センサーを検査温度となるように降温および昇温する冷熱印加部と、
前記冷熱印加部に降温および昇温のための熱媒体としてドライエアーを供給する冷熱供給源と、
前記冷熱供給源と前記冷熱印加部とを接続する媒体流路と、
前記圧力センサーの出力信号を測定する測定部と、を備え、
前記冷熱供給源は、熱媒体を冷却するクーラーと、熱媒体を加熱するヒーターと、熱媒体を送気するファンと、前記クーラー、前記ヒーターおよび前記ファンを制御する温度制御部と、を有し、
前記温度制御部は、常温から低温の特定の温度を前記検査温度とするときに、前記クーラーおよび前記ファンを常時ＯＮとし、前記ヒーターにより前記検査温度を制御することを特徴とする圧力センサーの検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧力センサーの温度特性を検査する圧力センサーの検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、この種の圧力センサーの検査装置として、圧力容器内に収容した圧力センサーに対し、圧力容器外から熱媒体を供給して、圧力センサーを冷却および加熱するものが知られている（特許文献１参照）。
この検査装置は、被検査物である圧力センサーを収納する圧力容器と、圧力容器内の圧力を制御する圧力制御部と、圧力容器内に圧力センサーを挟み込むように配設され、圧力センサーを冷却または加熱する２枚の冷熱プレートと、これら冷熱プレートの温度を制御する温度制御部と、圧力センサーの出力信号を計測する計測部と、圧力制御部、温度制御部および計測部を制御すると共に、出力信号を計測時の温度および圧力の情報と共に取得する演算処理部と、を備えている。
また、温度制御部は、高温、常温、低温の熱媒体を貯留した３つの媒体タンクと、この３つの媒体タンクと２枚の冷熱プレートとを並列に接続する循環流路と、３つの媒体タンクを選択的に切り替える切替機構と、を有している。そして、３つの媒体タンクから２枚の冷熱プレートに液体の熱媒体（「カルデン」：登録商標）を選択的に供給し、圧力センサーの各温度における温度特性が検査される。このように、高温、常温、低温の３つの媒体タンクから、熱媒体を選択的に供給することで、圧力センサーを所定の温度まで冷却または加熱する時間を短縮するようにしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１−１０７００３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような、従来の圧力センサーの検査装置では、各温度における計測の待ち時間が短くなり、全体として検査時間を短縮することができる。しかし、比熱の高い液体の熱媒体を用いるようにしているため、３つの媒体タンク、これに付随する３つのポンプ、切替用の複数のバルブおよび切替え流路が必要になり、温度制御部の構造が複雑になると共に、媒体タンクの温度管理やバルブ切替等、温度制御系の制御が複雑になる問題があった。

【0005】

本発明は、検査時間を短縮化および構造の単純化を図ることができる圧力センサーの検査装置を提供することを課題としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の圧力センサーの検査装置は、検査対象物である複数の圧力センサーを検査基板にセットした状態で収容すると共に、圧力センサーに検査圧力を加える圧力容器と、検査基板に接触し、圧力センサーを検査温度となるように降温および昇温する冷熱印加部と、冷熱印加部に降温および昇温のための熱媒体としてドライエアーを供給する冷熱供給源と、冷熱供給源と冷熱印加部とを接続する媒体流路と、圧力センサーの出力信号を測定する測定部と、を備え、圧力容器は、圧力室を構成する本体容器および蓋容器を有し、冷熱印加部は、本体容器を兼ねていることを特徴とする。

【0007】

この構成によれば、熱媒体として、比熱の低いドライエアーを用いているため、冷熱供給源において、熱媒体を短時間で降温（冷却）または昇温（加熱）し、冷熱印加部に供給することができる。これにより、冷熱供給源に複数の検査温度に対応する熱媒体を貯留しておく必要がない。すなわち、冷熱供給源において、リアルタイムで検査温度または検査温度に対応する温度のドライエアーを生成し、且つ必要熱量をドライエアーの流量（風量）で充足することで、検査時間の短縮化を図ることができると共に、冷熱供給源の構造の単純化を図ることができる。しかも、検査温度を任意の温度に容易に設定することができる。また、ドライエアーを供給することで、冷熱印加部における結露等を、有効に防止することができる。
さらに、構造を単純化することができると共に、圧力容器における圧力室の体積（容量）も小さくすることができる。したがって、圧力室の降圧および昇圧、すなわち検査圧力の変更を短時間で行うことができ、この点でも、検査時間の短縮化を図ることができる。

【0010】

この場合、本体容器は、内側の本体容器インナーと外側の本体容器アウターとを重ね合せて構成され、本体容器インナーの外面に形成された通路溝と、通路溝を覆う本体容器アウターの内面とにより、冷熱印加部におけるドライエアー用の内部流路が形成され、本体容器インナーは、熱伝導性材料で構成され、本体容器アウターは、断熱性材料で構成されていることが好ましい。

【0011】

この構成によれば、冷熱印加部におけるドライエアー用の内部流路を、簡単に形成することができる。また、本体容器インナーを熱伝導性材料で構成すると共に、本体容器アウターを断熱性材料で構成しているため、ドライエアーとの熱交換を円滑に行い得るだけでなく、冷熱印加部からの熱の逃げを有効に防止することができる。

【0012】

また、媒体流路は、冷熱印加部にドライエアーを供給する媒体送気流路と、冷熱印加部から排気されるドライエアーの媒体排気流路と、を有し、媒体排気流路の下流端は、大気に開放されていることが好ましい。

【0013】

この構成によれば、媒体流路を、循環流路とすることによる構造の複雑化を回避することができる。

【0014】

本発明の他の圧力センサーの検査装置は、検査対象物である複数の圧力センサーを検査基板にセットした状態で収容すると共に、圧力センサーに検査圧力を加える圧力容器と、検査基板に接触し、圧力センサーを検査温度となるように降温および昇温する冷熱印加部と、冷熱印加部に降温および昇温のための熱媒体としてドライエアーを供給する冷熱供給源と、冷熱供給源と冷熱印加部とを接続する媒体流路と、圧力センサーの出力信号を測定する測定部と、を備え、冷熱供給源は、熱媒体を冷却するクーラーと、熱媒体を加熱するヒーターと、熱媒体を送気するファンと、クーラー、ヒーターおよびファンを制御する温度制御部と、を有し、温度制御部は、常温から低温の特定の温度を検査温度とするときに、クーラーおよびファンを常時ＯＮとし、ヒーターにより検査温度を制御することを特徴とする。

【0015】

この構成によれば、熱媒体として、比熱の低いドライエアーを用いているため、冷熱供給源において、熱媒体を短時間で降温（冷却）または昇温（加熱）し、冷熱印加部に供給することができる。これにより、冷熱供給源に複数の検査温度に対応する熱媒体を貯留しておく必要がない。すなわち、冷熱供給源において、リアルタイムで検査温度または検査温度に対応する温度のドライエアーを生成し、且つ必要熱量をドライエアーの流量（風量）で充足することで、検査時間の短縮化を図ることができると共に、冷熱供給源の構造の単純化を図ることができる。しかも、検査温度を任意の温度に容易に設定することができる。また、ドライエアーを供給することで、冷熱印加部における結露等を、有効に防止することができる。
さらに、常温から低温の特定の温度を検査温度とする場合において、クーラーによりエアーの飽和水蒸気量を低減してから、所定の検出温度に昇温するため、検出温度に対応するドライエアーを簡単に生成することができる。すなわち、降温（冷却）のためのクーラーを、ドライエアーの生成装置として兼用することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】実施形態に係る圧力センサーの検査装置を模式的に表して構成図である。

【図2】実施形態の検査装置における圧力容器廻りの断面図である。

【図3】実施形態の検査装置におけるコネクタモジュール廻りの断面図である。

【図4】実施形態の検査装置における冷熱印加部（本体容器インナー）の構造図である。

【図5】実施形態の検査装置における検査圧力および検査温度の経時的変化を表した図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る圧力センサーの検査装置（以下、「検査装置」という。）について説明する。この検査装置は、圧力センサーを直接的に降温（冷却）および昇温（加熱）して、その温度特性を検査するものである。例えば、高圧、中圧、低圧等（０〜２００ＫＰａ）の検査圧力のそれぞれに対し、高温（５０〜１５０℃）、常温（１０〜４０℃）、低温（−５０〜０℃）の検査温度における温度特性を検査する。

【0018】

図１は、検査装置を模式的に表した構成図である。同図に示すように、検査装置１は、検査対象物である複数の圧力センサーＳをセットした検査基板２と、検査基板２を収容する圧力容器３と、圧力容器３内の圧力である検査圧力を調整する圧力調整部４と、圧力容器３内の検査基板２に接触し、圧力センサーＳを検査温度に降温および昇温する冷熱印加部５と、圧力容器３外に配設され、冷熱印加部５に降温および昇温のためのドライエアー（熱媒体）を供給する冷熱供給源６と、冷熱供給源６と冷熱印加部５とを接続する媒体流路７と、圧力センサーＳの出力信号を測定する測定部８と、これら構成装置を統括制御する制御部９と、を備えている。

【0019】

検出基板２は、詳細は図示しないが、複数の圧力センサーＳをマトリクス状にセットする基板本体と、セットした複数の圧力センサーＳを上側から押える押えプレートと、を有している。基板本体は、主要部をアルミニウム等の金属プレートで構成されると共に、各圧力センサーＳに導通するバンプ電極を有するＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）を有している。また、押えプレートも、アルミニウム等の金属プレートで構成され、圧力センサーＳの圧力導入孔に対応させて複数の開口部がマトリクス状に形成されている。なお、検出基板２には、検査対象となる圧力センサーＳの大きさ、接続端子の数および位置、圧力導入孔Ｓａの位置等に対応して、複数種のものが用意されている。

【0020】

図１および図２に示すように、圧力容器３は、下側の本体容器２１と、本体容器２１に対し取外し可能に構成され上側の蓋容器２２とで構成されている。蓋容器２２は、蓋容器アウター２３と蓋容器インナー２４との２重構造を有している。同様に、本体容器２１は、本体容器アウター２５と本体容器インナー２６との２重構造を有しており、実施形態のものは、本体容器インナー２６（および本体容器アウター２５）が上記の冷熱印加部５を兼ねた構造になっている。この場合、冷熱印加部５を兼ねる本体容器インナー２６と、これを閉塞する蓋容器インナー２４とは、高い伝熱性を有するアルミニウム等の金属で形成されている。一方、本体容器アウター２５と蓋容器アウター２３とは、高い断熱性を有する樹脂等で形成されている。

【0021】

詳細は後述するが、本体容器インナー２６を構成する冷熱印加部５と蓋容器インナー２４との接合面には、無端のシール材２７（Ｏリング）が介設され、圧力容器３の気密性が維持されている。また、本体容器インナー２６と蓋容器インナー２４との間には、周方向に複数個のクランパ２８が設けられており、この複数個のクランパ２８により、本体容器インナー２６に蓋容器インナー２４が締結（閉止）される。また、蓋容器インナー２４の下面には広く凹入部２４ａが形成されている。そして、この凹入部２４ａにより、冷熱印加部５（本体容器インナー２６）と蓋容器インナー２４との間に、検査基板２を収容する圧力室２９が構成されている。

【0022】

蓋容器アウター２３は、蓋容器インナー２４に重ね合せた状態でねじ止めされ、同様に本体容器アウター２５は、本体容器インナー２６に重ね合せた状態でねじ止めされている。この場合、蓋容器アウター２３は、蓋容器インナー２４に対し断熱材および補強材として機能している。また、本体容器アウター２５は、本体容器インナー２６に対し、断熱材として機能すると共に、後述のように継手等の取付け部分として機能している。なお、本実施形態では、本体容器インナー２６（および本体容器アウター２５）が冷熱印加部５を兼ねる構造としているが、蓋容器インナー２４（および蓋容器アウター２３）が冷熱印加部５を兼ねる構造とすることも可能である。

【0023】

図１に示すように、圧力調整部４は、正圧源となるコンプレッサー３１と、負圧源となる真空ポンプ３２と、コンプレッサー３１および真空ポンプ３２の出力側に接続された圧力コントローラ３３と、圧力コントローラ３３と圧力容器３とを接続する圧力配管３４と、を有している。図示しないが、圧力コントローラ３３には、圧力を検出するセンシング部が内蔵されており、圧力コントローラ３３は、このセンシング部の検出結果に基づいて、コンプレッサー３１と真空ポンプ３２とを切替え駆動して、圧力容器３に所定の検査圧力を付与する。

【0024】

なお、圧力容器３には、モニター用の圧力センサーが組み込まれており（図示せず）、圧力容器３内の圧力は、圧力コントローラ３３とは別に上記の制御部９により管理されている。また、図示しないが、圧力コントローラ３３には、大気開放バルブが設けられており、圧力コントローラ３３は、大気開放バルブを開いて、圧力容器３内（圧力室２９）をゲージ圧に設定することができる。

【0025】

図１に示すように、測定部８は、圧力容器３に収容したコネクタモジュール４１と、コネクタモジュール４１に接続された測定回路４２と、を有している。コネクタモジュール４１は、検査基板２のＦＰＣと測定回路４２とを接続する信号線等において、圧力容器３の内部と外部との間に介設したコネクタであり、本体容器インナー２６（冷熱印加部５）に形成した矩形開口８５（図４参照）に取り付けられている。

【0026】

図３に示すように、コネクタモジュール４１は、信号線等の配線基板であるプローブ基板４３と、圧力容器３の内外を通過するリード配線部４４と、プローブ基板４３を支持する第１絶縁ブロック４５と、第１絶縁ブロック４５との間にリード配線部４４を気密に保持する第２絶縁ブロック４６と、を有している。第１絶縁ブロック４５と第２絶縁ブロック４６とは、リード配線部４４を挟み込んで相互に固定（ねじ止め）され、この状態でそれぞれの下部が、上記の矩形開口８５に嵌合している。

【0027】

プローブ基板４３は、一方の端部にプローブ４７を設けると共に他方の端部にＦＰＣ用コネクタ４８を設けた接続用ＰＣＢ（Printed Circuit Board）４９を、ホルダー基板５０に取り付けて構成されている。プローブ４７（実際には、横並びのプローブ群）は、検査基板２におけるＦＰＣの接続端子（実際には、横並びの接続端子群）に接触し、ＦＰＣ用コネクタ４８（実際には、横並びのコネクタ群）は、リード配線部４４に接続されている。

【0028】

第１絶縁ブロック４５は、プローブ基板４３を支持する基板支持部４５ａと、検査基板２の端部が載置される基板載置部４５ｂと、上記の矩形開口８５に嵌合する嵌合部４５ｃと、で一体に形成されている。また、第２絶縁ブロック４６は、第１絶縁ブロック４５との間にリード配線部４４を挟持する挟持部４６ａと、挟持部４６ａの上下中間位置から側方に張り出した張出し部４６ｂと、で一体に形成されている。

【0029】

そして、相互に固定された第１絶縁ブロック４５および第２絶縁ブロック４６は、それぞれの嵌合部４５ｃおよび挟持部４６ａの下部の部分で矩形開口８５に嵌合している。また、第１絶縁ブロック４５と第２絶縁ブロック４６とは、側方に張り出した基板載置部４５ｂおよび張出し部４６ｂの部分で、本体容器インナー２６（冷熱印加部５）の内面に固定されている。本体容器インナー２６と、基板載置部４５ｂおよび張出し部４６ｂとの間には、開口部シール材５１（Ｏリング）が介設されており、圧力室２９の一部である矩形開口８５廻りの気密性が維持されている。

【0030】

図１に示すように、冷熱供給源６は、熱媒体であるエアーを冷却するクーラー６１と、エアーを加熱するヒーター６２と、エアーを冷熱印加部５に送気するファン６３と、これらクーラー６１、ヒーター６２およびファン６３を制御する温度コントローラ６４（温度制御部）と、これら構成装置を収容すると共に吸気口６６および送気口６７を形成した筐体６５と、を有している。そして、吸気口６６から送気口６７に連なるエアー流路６８には、吸気口６６側からファン６３、クーラー６１の放熱器６１ａ（蒸発器）、ヒーター６２が順に配設されている。

【0031】

温度コントローラ６４は、検査基板２に組み込んだ温度センサー（図示せず）の検出結果に基づいて、ヒーター６２により検査温度を制御する。具体的には、検査温度が「高温」の場合、温度コントローラ６４は、クーラー６１をＯＦＦとし、ヒーター６２により検査温度を制御する。また、検査温度が「常温」および「低温」の場合、温度コントローラ６４は、クーラー６１をＯＮとし、ヒーター６２により検査温度を制御する。この結果、吸気口６６から取り込んだ外気エアーは、ドライエアーとして、送気口６７から送気される。そして、冷熱供給源６により生成されたドライエアーは、媒体流路７を介して冷熱印加部５に供給される。

【0032】

なお、検査中において温度コントローラ６４は、ファン６３をＯＮとしておくことは言うまでもないが、例えば検査温度を「低温」から「高温」にシフトするときのように、多くの熱量を必要とする場合には、送風量を多くするようにファン６３を制御することが好ましい。

【0033】

図１に示すように、媒体流路７は、例えば冷・熱に対し耐熱性のチューブで構成されており、冷熱印加部５にドライエアーを供給する媒体送気流路７１と、冷熱印加部５から排気されるドライエアーの媒体排気流路７２と、を有している。媒体送気流路７１は、上流側端部が冷熱供給源６の送気口６７に接続され、下流側端部が冷熱印加部５の流入口９３（後述する）に接続されている。また、媒体排気流路７２は、上流側端部が冷熱印加部５の流出口９４（後述する）に接続され、下流側端部が大気に開放されている。すなわち、冷熱供給源６から供給されるドライエアーは、使い捨ての形式で冷熱印加部５に供給される。なお、媒体流路７（チューブ）には、断熱被覆を施すことが好ましい。

【0034】

次に、図２および図４を参照して、冷熱印加部５について詳細に説明する。冷熱印加部５は、上述のように２重構造の本体容器２１における本体容器インナー２６（および本体容器アウター２５）として形成され、２重構造の蓋容器２２における蓋容器インナー２４との間に、圧力容器３の圧力室２９を構成している。なお、冷熱印加部５は、上面視長方形に形成されており、以降の説明では、冷熱印加部５の長辺方向を「Ｘ軸方向」とし、短辺方向を「Ｙ軸方向」として説明を進める。

【0035】

本体容器インナー２６である冷熱印加部５は、蓋容器インナー２４との接合面を構成する四周枠部８１と、四周枠部８１の表側（圧力室２９側）に窪入形成され、検査基板２がセットされる基板セット部８２と、基板セット部８２のＸ軸方向に隣接して四周枠部８１の表側に大きく窪入形成され、上記のコネクタモジュール４１が取り付けられるモジュール取付部８３と、基板セット部８２に対応して四周枠部８１の裏側に形成されたドライエアー用の流路部８４と、を有している。

【0036】

モジュール取付部８３には、Ｙ軸方向に長く延在する矩形開口８５が形成され、この矩形開口８５に、下部を嵌合するようにしてコネクタモジュール４１が気密に取り付けられている。また、基板セット部８２には、これに載置するように検査基板２がセットされる。この場合、検査基板２は、Ｘ軸方向の一方の端部をコネクタモジュール４１のプローブ基板４３に接触（導通）した状態で、基板セット部８２上に着脱可能に載置（セット）される。

【0037】

流路部８４は、冷熱印加部５（本体容器インナー２６）の裏面に形成した流路溝８６を有しており、この流路溝８６と、これを覆う（閉止する）本体容器アウター２５の内面との間に、ドライエアーが導入される内部流路８７が構成されている。本体容器アウター２５の上角部は切り欠かれており、この部分に装着した流路部シール材８８（テフロンソフトテープ）により、内部流路８７を囲むように冷熱印加部５の外面と本体容器アウター２５の内面とがシールされている。このように、内部流路８７を含む冷熱印加部５は、厳密には、本体容器インナー２６と本体容器アウター２５の内面とで構成されている。

【0038】

内部流路８７は、Ｙ軸方向の両端に流路間隙を構成した第１流路隔壁９１と、Ｙ軸方向の中間部に流路間隙を構成した第２流路隔壁９２とを、流路間隙を存して交互に配設することにより、変形蛇行状に形成されている。これに対し、本体容器アウター２５には、内部流路８７に連なる一対の流入口９３と、一対の流入口９３のＹ軸方向の中間に位置して流出口９４とが形成されている。一対の流入口９３は、流路部８４のＸ軸方向の両端部であってＹ軸方向の中間位置に臨んで、内部流路８７に連通している。また、流出口９４は、流路部８４の中心位置に臨んで、内部流路８７に連通している。

【0039】

一方、上記の媒体送気流路７１の下流側端部は２分岐し、本体容器アウター２５に取り付けた２つ流入側継手９５を介して、一対の流入口９３に接続（連通）されている。同様に、媒体排気流路７２の上流側端部は、本体容器アウター２５に取り付けた流出側継手９６を介して、流出口９４に接続（連通）されている。なお、図中の符号９７は、上記の圧力配管３４を圧力容器３に接続するための配管継手である。

【0040】

媒体送気流路７１を介して各流入口９３に流入したドライエアーは、第１流路隔壁９１の位置における分流と、第２流路隔壁９２の位置における合流を繰り返し、第１流路隔壁９１および第２流路隔壁９２に添って、中央の流出口９４まで蛇行しながら流れる。すなわち、内部流路８７は、相互に連通する蛇行状の一対の流路を、流出口９４を中心に左右（Ｘ軸方向）対称に配置して、構成されている。

【0041】

第２流路隔壁９２は、複数の流路溝８６の境界部分として冷熱印加部５の本体部分と一体に形成されているが、第１流路隔壁９１は、この本体部分と別体に形成されている。第１流路隔壁９１は、例えばヒートシンクとして用いられる熱伝導性の極めて高い材料で構成され、流路溝８６に形成したスリット溝に圧入或いは接着されている。これにより、冷熱印加部５（の本体部分）と内部流路８７を流れるドライエアー（熱媒体）との間で熱交換が円滑に行われる。

【0042】

ドライエアーへの放熱、或いはドライエアーからの吸熱により、冷熱印加部５は冷却または加熱され、降温または昇温する。冷熱印加部５が降温または昇温すると、伝熱により検査基板２を介して、圧力センサーＳが検査温度となるように降温または昇温する。また同時に、伝熱により蓋容器インナー２４および圧力室２９も降温または昇温される。したがって、検査対象となる複数の圧力センサーＳのみならず、その周囲の部材および雰囲気が降温または昇温され、複数の圧力センサーＳが偏りなく均一に検査温度となる。

【0043】

次に、図１を参照して、検査装置１の制御系について簡単に説明する。この制御系は、パーソナルコンピュータで構成された制御部９と、上記の圧力コントローラ３３と、上記の温度コントローラ６４と、を備えている。制御部９のハードディスクドライブ等には、検査処理（検査方法）を実現するための専用アプリケーションが記憶されており、制御部９は、この専用アプリケーションに基づいて、検査における各種演算処理を実施する。

【0044】

制御部９の出力部（キーボード）からは、所望の検査圧力および検査温度が入力される。また、測定部８（測定回路４２）から入力した検査結果である各圧力センサーＳの出力信号は、制御部９（ＣＰＵ）により演算処理され、記憶部（ＲＡＭ）に記憶されると共に、出力部（ディスプレイ）に表示される。

【0045】

上述のように、圧力コントローラ３３は、制御部９の「高圧」、「中圧」、「低圧」の制御指示に基づいて、コンプレッサー３１および真空ポンプ３２を制御し、圧力室２９に所定の検査圧力を付与する。同様に、温度コントローラ６４は、制御部９の「高温」、「常温」、「低温」の制御指示に基づいて、クーラー６１、ヒーター６２およびファン６３を制御し、検査基板２の複数の圧力センサーＳを所定の検査温度に降温または昇温する。

【0046】

ここで、制御部９による圧力センサーＳの検査方法について、簡単に説明する。この検査方法では、その準備段階として、制御部９に検査圧力および検査温度が入力される。また、図外のローダーにより、検査基板２に検査対象となる複数の圧力センサーＳがセットされる。続いて、圧力センサーＳがセットされた検査基板２が、圧力容器３に投入セットされる。なお、検査方法のルーチンワークにおいて、常温による検査が最後に行われるため、圧力容器３への検査基板２の投入セットにおいて、熱的な支障を生ずることはない。

【0047】

検査においては、先ず検査温度を低温（−４０℃）とし、検査圧力を高圧（１２０ＫＰａ：絶対圧）、低圧（１３ＫＰａ：絶対圧）、中圧（６０ＫＰａ：絶対圧）の順で変化させて、それぞれの検査圧力における各圧力センサーＳの出力信号を測定する（低温測定工程）。次に、検査温度を高温（１２５℃）とし、同様に高圧、低圧、中圧の順で変化させて、それぞれの検査圧力における各圧力センサーＳの出力信号を測定する（高温測定工程）。最後に、検査温度を常温（２５℃）とし、高圧、低圧、中圧の順で変化させて、それぞれの検査圧力における各圧力センサーＳの出力信号を測定する（常温測定工程）。

【0048】

図５は、検査装置１における検査圧力および検査温度の経時的変化を表している。同図に示すように、低温測定工程では、検査温度が「低温」に安定したところで、検査圧力を高圧、低圧、中圧に順に変化させて測定を行う。同様に、高温測定工程では、検査温度が「高温」に安定したところで、検査圧力を高圧、低圧、中圧に順に変化させ測定を行う。さらに、常温測定工程では、検査温度が「常温」に安定したところで、検査圧力を高圧、低圧、中圧に順に変化させ測定を行う。

【0049】

いずれの検査温度においても、検査温度が安定するのに８分程度の時間を要し、また検査圧力を変化させて測定を行う測定時間は５分程度であった。したがって、一連の検査に要する検査時間（サイクルタイム）は、４０分程度であった。

【0050】

以上のように、本実施形態によれば、熱媒体としてドライエアーを用いるようにしているため、冷熱供給源６において、所望の温度のドライエアーを短時間で生成し、冷熱印加部５に供給することができる。これにより、冷熱印加部５において、検査対象の圧力センサーＳを短時間で、所望の検査温度に降温（冷却）または昇温（加熱）することができる。また、検査温度を任意の温度に容易に変更することができる。さらに、液体を熱媒体とする従来の検査装置のように、検査温度別の液体タンクや配管系を必要としない。

【0051】

しかも、検査装置１全体ではなく、検査基板２のみを降温および昇温するようにしているため、検査のための熱量を最小限にすることができる。したがって、検査時間の短縮化を図ることができると共に、冷熱供給源６の構造の単純化を図ることができる。すなわち、検査時間の短縮化を犠牲にすることなく、検査装置１の小型化およびコストダウンを達成することができる。

【0052】

また、熱媒体としてドライエアーを用いることで、冷熱印加部５における結露等を、有効に防止することができる。この点を含め、熱媒体に気体を用いることで、リークによる電気部品への影響を回避することができる。すなわち、従来技術のように、絶縁性の高価な液体を用いる場合に比して、極端なコストダウンを達成することができる。

【0053】

さらに、本実施形態では、圧力容器３の本体容器２１を構成する本体容器インナー２６および本体容器アウター２５が、冷熱印加部５を兼ねている。このため、構造を単純化することができるだけでなく、圧力室２９の容量を可能な限りも小さくすることができる。したがって、圧力室２９の降圧および昇圧を短時間で行うことができ、この点でも、検査時間の短縮化を図ることができる。

【符号の説明】

【0054】

１ 検査装置、２ 検査基板、３ 圧力容器、４ 圧力調整部、５ 冷熱印加部、６ 冷熱供給部、７ 媒体流路、８ 測定部、９ 制御部、２１ 本体容器、２２ 蓋容器、２３ 蓋容器アウター、２４ 蓋容器インナー、２５ 本体容器アウター、２６ 本体容器インナー、２９ 圧力室、６１ クーラー、６１ａ 放熱器、６２ ヒーター、６３ ファン、６４ 温度コントローラ、７１ 媒体送気流路、７２ 媒体排気流路、８７ 内部流路、Ｓ 圧力センサー

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】