特許 6180750 対基板作業システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6180750

(24)【登録日】2017年7月28日

(45)【発行日】2017年8月16日

(54)【発明の名称】対基板作業システム

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/02 20060101AFI20170807BHJP

   H05K 13/00 20060101ALI20170807BHJP

【ＦＩ】

   H05K13/02 U

   H05K13/00 Z

【請求項の数】4

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2013-25066(P2013-25066)

(22)【出願日】2013年2月13日

(65)【公開番号】特開2013-201425(P2013-201425A)

(43)【公開日】2013年10月3日

【審査請求日】2016年1月19日

(31)【優先権主張番号】特願2012-35812(P2012-35812)

(32)【優先日】2012年2月22日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000003399

【氏名又は名称】ＪＵＫＩ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100090033

【弁理士】

【氏名又は名称】荒船 博司

(74)【代理人】

【識別番号】100093045

【弁理士】

【氏名又は名称】荒船 良男

(72)【発明者】

【氏名】高橋 大輔

【審査官】 岡崎 克彦

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−０６６５４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２６７９１６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｋ １３／００−１３／０８

Ｂ６５Ｇ ４３／００−４３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に対して所定の作業を施す対基板作業装置と、前記対基板作業装置に対して前記基板を搬送する基板搬送装置とを備える対基板作業システムにおいて、
前記対基板作業装置を直接制御するとともに前記基板搬送装置を通信により間接的に制御する主制御部と、
前記主制御部からの通信により受信した制御信号に基づいて、前記基板搬送装置を制御する副制御部と、
前記主制御部から受信した制御信号に基づいて前記基板搬送装置を制御させるための従動指示か、独立して前記基板搬送装置を制御させるための独立指示のいずれか一方を前記副制御部に入力する指示入力部とを備えることを特徴とする対基板作業システム。

【請求項2】

請求項１記載の対基板作業システムにおいて、
前記副制御部は、前記対基板作業システムの搬送方向上流側若しくは搬送方向下流側に配列される外部装置に対し、電子回路を介してＳＭＥＭＡインターフェースにより接続されていて、
前記ＳＭＥＭＡインターフェースは、前記外部装置が接続される第一端子部及び第二端子部を備え、前記外部装置が前記対基板作業システムの搬送方向上流側になる場合には、前記第一端子部が出力端子、第二端子部が入力端子となって、前記外部装置が前記対基板作業システムの搬送方向下流側になる場合には、前記第一端子部が入力端子、第二端子部が出力端子となって、
前記電子回路には、
前記外部装置が前記対基板作業システムに対して搬送方向上流側である場合に、前記副制御部の出力回路を前記第一端子部に接続し、前記副制御部の入力回路を前記第二端子部に接続し、なおかつ前記外部装置が前記対基板作業システムに対して搬送方向下流側である場合に、前記副制御部の出力回路を前記第二端子部に接続し、前記副制御部の入力回路を前記第一端子部に接続する切替回路が設けられていることを特徴とする対基板作業システム。

【請求項3】

請求項１又は２記載の対基板作業システムにおいて、
前記副制御部は、前記基板搬送装置に搭載されていることを特徴とする対基板作業システム。

【請求項4】

請求項１〜３のいずれか一項に記載の対基板作業システムにおいて、
前記基板を検出するための基板位置センサを備え、当該基板位置センサの検出結果に基づいて前記基板を搬送することを特徴とする対基板作業システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、対基板作業システムに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、電子部品実装装置などの対基板作業装置と、当該対基板作業装置に対して基板を搬送する基板搬送装置とを備えた対基板作業システムが知られている。このような対基板作業システムにおいては、システム全体を制御する制御部が、対基板作業装置や基板搬送装置の駆動部を直接制御するようになっている（例えば特許文献１参照）。
そして、対基板作業装置に不具合が生じた場合においては、基板に対する作業は中断したまま基板搬送装置のみを駆動させることで、基板の搬出だけを実行し、生産ライン全体の停止を防止する機能が搭載されていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０−１６１４１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、対基板作業システム全体を制御する制御部に異常があった場合、または対基板作業システム全体を制御する制御部と基板搬送装置との間に通信異常が発生した場合には、制御部からの制御信号が基板搬送装置に伝達されず、結果的に生産ライン全体が停止してしまい、稼働率が大幅に低下するおそれがあった。
本発明の課題は、制御部と基板搬送装置との間に通信異常が発生したとしても、基板搬送装置による基板搬送を実行可能とすることで、生産ライン全体の停止を防止することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

請求項１記載の発明は、
基板に対して所定の作業を施す対基板作業装置と、前記対基板作業装置に対して前記基板を搬送する基板搬送装置とを備える対基板作業システムにおいて、
前記対基板作業装置を直接制御するとともに前記基板搬送装置を通信により間接的に制御する主制御部と、
前記主制御部からの通信により受信した制御信号に基づいて、前記基板搬送装置を制御する副制御部と、
前記主制御部から受信した制御信号に基づいて前記基板搬送装置を制御させるための従動指示か、独立して前記基板搬送装置を制御させるための独立指示のいずれか一方を前記副制御部に入力する指示入力部とを備えることを特徴としている。

【0006】

請求項２記載の発明は、請求項１記載の対基板作業システムにおいて、
前記副制御部は、前記対基板作業システムの搬送方向上流側若しくは搬送方向下流側に配列される外部装置に対し、電子回路を介してＳＭＥＭＡインターフェースにより接続されていて、
前記ＳＭＥＭＡインターフェースは、前記外部装置が接続される第一端子部及び第二端子部を備え、前記外部装置が前記対基板作業システムの搬送方向上流側になる場合には、前記第一端子部が出力端子、第二端子部が入力端子となって、前記外部装置が前記対基板作業システムの搬送方向下流側になる場合には、前記第一端子部が入力端子、第二端子部が出力端子となって、
前記電子回路には、
前記外部装置が前記対基板作業システムに対して搬送方向上流側である場合に、前記副制御部の出力回路を前記第一端子部に接続し、前記副制御部の入力回路を前記第二端子部に接続し、なおかつ前記外部装置が前記対基板作業システムに対して搬送方向下流側である場合に、前記副制御部の出力回路を前記第二端子部に接続し、前記副制御部の入力回路を前記第一端子部に接続する切替回路が設けられていることを特徴としている。

【0007】

請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の対基板作業システムにおいて、
前記副制御部は、前記基板搬送装置に搭載されていることを特徴としている。

【0009】

請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載の対基板作業システムにおいて、
前記基板を検出するための基板位置センサを備え、当該基板位置センサの検出結果に基づいて前記基板を搬送することを特徴としている。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、主制御部と基板搬送装置との間に通信異常が発生したとしても、基板搬送装置による基板搬送を実行することができ、生産ライン全体の停止を防止することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本実施形態に係る対基板作業システムの概略構成を示す斜視図である。

【図2】図１の対基板作業システムの主制御構成を示すブロック図である。

【図3】本実施形態に係るショートコネクタからなる指示入力部の一例を示す説明図である。

【図4】本実施形態に係る電子回路の回路構成を示す回路図である。

【図5】本実施形態に係る対基板作業システムの上流側に外部装置がある場合のリレーの接点を示す回路図である。

【図6】本実施形態に係る対基板作業システムの下流側に外部装置がある場合のリレーの接点を示す回路図である。

【図7】本実施形態の対基板作業システムで実行される搬送処理の流れを示すフローチャートである。

【図8】本実施形態の対基板作業システムで実行される従動モードの流れを示すフローチャートである。

【図9】本実施形態の対基板作業システムで実行されるＳＭＥＭＡ不使用モードの流れを示すフローチャートである。

【図10】本実施形態の対基板作業システムで実行されるＳＭＥＭＡ適用モードの流れを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0012】

図１は本実施形態に係る対基板作業システムの概略構成を示す斜視図であり、図２は対基板作業システムの主制御構成を示すブロック図である。この図１及び図２に示すように対基板作業システム１には、図示しない基板に対して所定の作業を施す対基板作業装置２と、対基板作業装置２に対して基板を搬送する基板搬送装置３とが備えられている。

【0013】

対基板作業装置２としては、例えば基板に電子部品を実装する電子部品実装装置、基板にクリーム半田を印刷する半田印刷装置、基板に接着剤を塗布する接着剤塗布装置などが挙げられる。対基板作業装置２には、対基板作業装置２の各駆動源を直接制御するとともに、基板搬送装置３を通信により間接的に制御する主制御部２１が設けられている。この主制御部２１には、ＣＰＵ２２、ＲＡＭ２３、ＲＯＭ２４を備えて構成されており、ＣＰＵ２２がＲＯＭ２４中の制御プラグロムをＲＡＭ２３に展開し実行することにより、対基板作業装置２及び基板搬送装置３の各部を制御するようになっている。

【0014】

基板搬送装置３は、対基板作業装置２の作業領域を形成する中央搬送ユニット４と、中央搬送ユニット４の一側方（図１では左側）に配置された第一搬送ユニット５と、中央搬送ユニット４の他側方（図１では右側）に配置された第二搬送ユニット６とを備えている。各搬送ユニット４，５，６には、互いに対向した一対のコンベアレール４１，５１，６１が設けられており、各対のコンベアレール４１，５１，６１は基板の大きさに応じてその間隔が調整自在となっている。各コンベアレール４１，５１，６１には、基板を下方から支持し搬送するコンベアベルト（図示省略）が備えられており、各搬送ユニット４，５，６のコンベアベルトはそれぞれ独立した駆動モータ４２，５２，６２によって駆動するようになっている。これら駆動モータ４２，５２，６２のうち、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２にはエンコーダ４４が設けられている。
また、各搬送ユニット４，５，６には基板を検出するための基板位置センサ４３，５３，６３が設けられている。具体的には、第一搬送ユニット５の基板位置センサ５３は、第一搬送ユニット５の外側端部に配置されている。同様に、第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３は、第二搬送ユニット６の外側端部に配置されている。そして、中央搬送ユニット４の基板位置センサ４３は、中央搬送ユニット４の中央に配置されている。

【0015】

また、基板搬送装置３には、主制御部２１からの通信により受信した制御信号に基づいて、基板搬送装置３の各部を制御する副制御部３１と、主制御部２１から受信した制御信号に基づいて基板搬送装置３の各部を制御させるための従動指示か、独立して基板搬送装置３の各部を制御させるための独立指示のいずれか一方を副制御部３１に入力する指示入力部３５と、対基板作業システム１の左側の外部装置（図示省略）が電気的に接続される第一ＳＭＥＭＡインターフェース７と、対基板作業システム１の右側の外部装置（図示省略）が電気的に接続される第二ＳＭＥＭＡインターフェース８とが設けられている。図２に示すように前記副制御部３１は、前記基板搬送装置３に搭載されている。
副制御部３１には、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２、基板位置センサ４３及びエンコーダ４４と、第一搬送ユニット５の駆動モータ５２及び基板位置センサ５３と、第二搬送ユニット６の駆動モータ６２及び基板位置センサ６３とが電気的に接続されている。また、副制御部３１は、対基板作業システム１の右側及び左側に配列される外部装置に対し、電子回路９を介してＳＭＥＭＡインターフェース７，８により接続されている。さらに、副制御部３１は、ＣＰＵ３２、ＲＡＭ３３、ＲＯＭ３４を備えて構成されており、ＣＰＵ３２がＲＯＭ３４中の制御プラグロムをＲＡＭ３３に展開し実行することにより、基板搬送装置３の各部を制御するようになっている。具体的には、指示入力部３５から従動指示が入力されている場合には、副制御部３１は、主制御部２１からの制御信号に基づく制御プログラムをＲＯＭ３４から選択し、その制御プログラムをＲＡＭ３３に展開し実行するようになっている。一方、指示入力部３５から独立指示が入力されている場合には、副制御部３１は、独立指示用の制御プログラムをＲＯＭ３４から選択し、その制御プログラムをＲＡＭ３３に展開し実行するようになっている。

【0016】

指示入力部３５は、ユーザーからの操作に基づく指示を副制御部３１に出力するものならばいかなるものでもよく、例えばスイッチ、ジャンパコネクタ、ショートコネクタ等が挙げられる。本実施形態では、指示入力部３５としてショートコネクタを用いた場合を例示して説明する。図３は、ショートコネクタからなる指示入力部３５の一例を示す説明図である。

【0017】

この指示入力部３５は、３つのショートコネクタ３５１ａ，３５２ａ，３５３ａを備えている。ショートコネクタ３５１ａ，３５２ａ，３５３ａは、それぞれ独立して副制御部３１に接続された第一コネクタ３５１ｂ、第二コネクタ３５２ｂ、第三コネクタ３５３ｂに接続されている。なお、図中の番号はピンアサインの一例を示している。第一コネクタ３５１ｂ、第二コネクタ３５２ｂ、第三コネクタ３５３ｂからショートコネクタ３５１ａ，３５２ａ，３５３ａを着脱することで、副制御部３１に異なる指示が入力されるようになっている。

【0018】

例えば、第一コネクタ３５１ｂでは、ショートコネクタ３５１ａの装着時であると従属指示が副制御部３１に入力され、ショートコネクタ３５１ａの取り外し時であると独立指示が副制御部３１に入力される。
また、第二コネクタ３５２ｂでは、ショートコネクタ３５２ａの装着時であると、基板搬送装置３の搬送方向を第一搬送ユニット５から第二搬送ユニット６に向けた第一方向とする第一方向指示が副制御部３１に入力され、ショートコネクタ３５２の取り外し時であると、基板搬送装置３の搬送方向を第二搬送ユニット６から第一搬送ユニット５に向けた第二方向とする第二方向指示が副制御部３１に入力される。
そして、第三コネクタ３５３ｂでは、ショートコネクタ３５３ａの装着時であると、ＳＭＥＭＡ（Surface Mount Equipment Manufacturers Association）を適用するＳＭＥＭＡ適用指示が副制御部３１に入力され、ショートコネクタ３５３ａの取り外し時であると、ＳＭＥＭＡを適用しないＳＭＥＭＡ不使用指示が副制御部３１に入力される。ここで、ＳＭＥＭＡとは、表面実装基板の製造で使用される設備のインターフェースを容易にするために開発された規格であり、このＳＭＥＭＡを適用することで、対基板作業システム１の上流側或いは／及び下流側の外部装置（例えば製造装置等）との連携をスムーズに行うことができるようになっている。つまり、ＳＭＥＭＡを適用する場合には、副制御部３１自体が上流側或いは／及び下流側の外部装置と通信可能とする必要がある。

【0019】

図４は、電子回路９の回路構成を示す回路図である。図４に示すように、対基板作業システム１の左側に配列された外部装置及び右側に配列された外部装置のそれぞれのコネクタ１０，１１は、ＳＭＥＭＡ規格に対応している。具体的には、コネクタ１０，１１の１４極の端子のうち４つの端子が対基板作業システム１に対する入出力用端子である。第一ＳＭＥＭＡインターフェース７の４端子のうち、第一端子７１、第二端子７２が左側の外部装置におけるコネクタ１０の第一端子１０１、第二端子１０２に接続されている。第一ＳＭＥＭＡインターフェース７の４端子のうち、第三端子７３、第四端子７４が左側の外部装置におけるコネクタ１０の第三端子１０３、第四端子１０４に接続されている。
一方、第二ＳＭＥＭＡインターフェース８の４端子のうち、第一端子８１、第二端子８２が左側の外部装置におけるコネクタ１１の第一端子１１１、第二端子１１２に接続されている。第二ＳＭＥＭＡインターフェース８の４端子のうち、第三端子８３、第四端子８４が左側の外部装置におけるコネクタ１０の第三端子１１３、第四端子１１４に接続されている。

【0020】

電子回路９には、左側の外部装置用の第一回路部９１と、右側の外部装置用の第二回路部９２とが設けられている。なお、第一回路部９１及び第二回路部９２は同じ構成となっているので、以下の説明においては第一回路部９１について詳述し、第二回路部９２の同一部分には同じ符号を付してその説明を省略する。

【0021】

第一回路部９１は、第一ＳＭＥＭＡインターフェース７の各端子７１，７２，７３，７４に接続された複数のリレー９３からなる切替回路９４を備えている。なお、第二回路部９２の複数のリレー９３は、第二ＳＭＥＭＡインターフェース８の各端子８１，８２，８３，８４に接続されている。
また、第一回路部９１は、副制御部３１の出力回路が接続された第一フォトカプラ９５と、副制御部３１の入力回路が接続された第二フォトカプラ９６とを備えている。第一フォトカプラ９５及び第二フォトカプラ９６のそれぞれの受光素子側には、保護回路としての発光ダイオード９７が接続されている。

【0022】

ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子７１，８１に接続された第一リレー９３１のａ接点９３１ａ及びＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第三端子７３，８３に接続された第三リレー９３３のａ接点９３３ａは、第一フォトカプラ９５の受光側の陽極に接続されている。また、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子７１，８１に接続された第一リレー９３１のｂ接点９３１ｂ及びＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第三端子７３に接続された第三リレー９３３のｂ接点９３３ｂは、第二フォトカプラ９６の発光側の陽極に接続されている。ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第二端子７２，８２に接続された第二リレー９３２のａ接点９３２ａ及びＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第四端子７４に接続された第四リレー９３４のａ接点９３４ａは、第一フォトカプラ９５の受光側の陰極に接続されている。また、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第二端子７２に接続された第二リレー９３２のｂ接点９３２ｂ及びＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第四端子７４に接続された第四リレー９３４のｂ接点９３４ｂは、第二フォトカプラ９６の発光側の陰極に接続されている。

【0023】

切替回路９４の各リレー９３１，９３２，９３３，９３４は、図示しないコイルによって接触する接点が切り替わるようになっている。コイルに対しては、主制御部２１から副制御部３１に入力された搬送方向決定指示に基づいて電流が印加されるようになっている。なお、コイルに対する電流の印加は上述した指示入力部３５のようにスイッチ、ジャンパコネクタ、ショートコネクタ等で切り替えてもよい。
ここで、ＳＭＥＭＡ規格であると、対基板作業システム１に対して上流側の外部装置に接続されたＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子７１，８１及び第二端子７２，８２からなる第一端子部が出力端子となり、第三端子７３，８３及び第四端子７４，８４からなる第二端子部が入力端子となる。他方、対基板作業システム１に対して下流側の外部装置に接続されたＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子部が入力端子となり、第二端子部が出力端子となる。
このため、外部装置が対基板作業システム１の上流側にあるか下流側になるかで、第一端子部に接続される副制御部の入出力回路を切り替えなければならない。この切替を切替回路９４が実行している。

【0024】

図５は、対基板作業システム１の上流側に外部装置がある場合のリレーの接点を示す回路図である。この図５に示すように、第一リレー９３１はａ接点９３１ａに接続され、第二リレー９３２はａ接点９３２ａに接続され、第三リレー９３３はｂ接点９３３ｂに接続され、第四リレー９３４はｂ接点９３４ｂに接続されている。これにより、副制御部３１の出力回路は、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子部（第一端子７１，８１及び第二端子７２，８２）に通信可能な状態となる（図５中、一点鎖線参照）。他方、副制御部３１の入力回路は、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第二端子部（第三端子７３，８３及び第四端子７４，８４）に通信可能な状態となる（図５中、二点鎖線参照）。

【0025】

図６は、対基板作業システム１の下流側に外部装置がある場合のリレーの接点を示す回路図である。この図６に示すように、第一リレー９３１はｂ接点９３１ｂに接続され、第二リレー９３２はｂ接点９３２ｂに接続され、第三リレー９３３はａ接点９３３ａに接続され、第四リレー９３４はａ接点９３４ａに接続されている。これにより、副制御部３１の出力回路は、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第二端子部（第三端子７３，８３及び第四端子７４，８４）に通信可能な状態となる（図６中、二点鎖線参照）。他方、副制御部３１の入力回路は、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子部（第一端子７１，８１及び第二端子７２，８２）に通信可能な状態となる（図６中、二点鎖線参照）。

【0026】

このため、図５の場合では、対基板作業システム１に対して左側の外部装置が上流側であり、右側の外部装置が下流側となっている場合が例示されている。

【0027】

次に、本実施形態の作用について図７〜図１０に示すフローチャートに基づき説明する。なお、以下の説明においては、副制御部３１を主体にして説明する。
搬送処理が開始されると、図７に示すように、副制御部３１は、第一コネクタ３５１ｂからの指示が従属指示であるか独立指示であるかを判断し、従属指示である場合にはステップＳ２に移行し、独立指示である場合にはステップＳ３に移行する。

【0028】

副制御部３１は、ステップＳ２に移行すると図８に示す従動モードを実行する。従動モードの実行時は、主制御部２１と副制御部３１間に通信異常が発生していない場合であり、この場合、主制御部２１からの指示に基づいて基本的な制御が行われるため、第二コネクタ３５２ｂや第三コネクタ３５３ｂからの入力指示は考慮しないようになっている。したがって、基板搬送装置３の搬送方向は事前に決まっている。以下の説明においては、上流側を第一搬送ユニット５とし、下流側を第二搬送ユニット６とした場合を例示して説明するが、搬送方向が反転する場合ももちろんある。

【0029】

ステップＳ２１では、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の基板位置センサ５３がＯＮであるか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮである場合にはステップＳ２２に移行する。

【0030】

ステップＳ２２では、基板が第一搬送ユニット５に搬入可能な状態となっているので、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ５２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２とをＯＮとして、基板を第一搬送ユニット５から中央搬送ユニット４まで搬送する。

【0031】

ステップＳ２３では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の基板位置センサ４３がＯＮであるか否かを判断し、ＯＮでない場合にはそのまま基板の搬送を継続し、ＯＮである場合にはステップＳ２４に移行する。

【0032】

ステップＳ２４では、基板が中央搬送ユニット４内に搬入されているが作業領域内の正確な位置までは位置調整がされていないので、副制御部３１は、エンコーダ４４からの検出結果に基づいて中央搬送ユニット４の駆動モータ４２を制御する。具体的には、副制御部３１は、エンコーダ４４の検出結果が所定値未満、つまり正確な位置まで基板が達していない場合は駆動モータ４２の駆動を継続し、前記検出結果が所定値に達した場合、つまり正確な位置まで基板が到着した場合にはステップＳ２５に移行する。

【0033】

ステップＳ２５では、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ４２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２とをＯＦＦとして、基板の搬送を停止する。その後、副制御部３１は、図示しないロック機構を駆動して基板をロックし、主制御部２１に対して作業要求信号を出力する。これにより主制御部２１は、対基板作業装置２の各部を制御することで基板に対する作業を実施する。

【0034】

ステップＳ２６では、主制御部２１から作業完了指示が入力されると、副制御部３１は、ロック機構による基板のロックを解除してから、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＮとして、基板を中央搬送ユニット４から第二搬送ユニット６まで搬送する。

【0035】

ステップＳ２７では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３がＯＮであるか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮである場合にはステップＳ２７に移行する。

【0036】

ステップＳ２８では、基板が第二搬送ユニット６から搬出可能な状態となっているので、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＦＦとし、従動モードを終了する。
従動モードの終了後には、主制御部２１が下流側の外部装置に基板搬出許可指示を出力する。

【0037】

そして、図７に示すステップＳ３に移行すると、副制御部３１は第三コネクタ３５３ｂからの指示がＳＭＥＭＡ不使用指示であるかＳＭＥＭＡ適用指示であるかを判断し、ＳＭＥＭＡ不使用指示である場合にはステップＳ４に移行し、ＳＭＥＭＡ適用指示である場合にはステップＳ５に移行する。

【0038】

副制御部３１は、ステップＳ４に移行すると図９に示すＳＭＥＭＡ不使用モードを実行する。ＳＭＥＭＡ不使用モードの実行時は、主制御部２１と副制御部３１間に通信異常が発生している場合であり、第二コネクタ３５２ｂからの指示に基づいて基板搬送装置３の搬送方向を決定する。

【0039】

ステップＳ４１では、副制御部３１は、第二コネクタ３５２ｂからの指示に基づいて搬送方向を決定する。具体的には、第二コネクタ３５２ｂから第一方向指示が入力されている場合に搬送方向を第一方向とし、第二方向指示が入力されている場合に第二方向とする。以下の説明においては、第一方向指示が入力された場合を挙げ、上流側を第一搬送ユニット５とし、下流側を第二搬送ユニット６として説明する。

【0040】

ステップＳ４２では、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の基板位置センサ５３がＯＮであるか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮである場合にはステップＳ４３に移行する。

【0041】

ステップＳ４３では、基板が第一搬送ユニット５に搬入可能な状態となっているので、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ５２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＮとして、基板を第一搬送ユニット５から中央搬送ユニット４を介して第二搬送ユニット６まで搬送する。

【0042】

ステップＳ４４では、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３まで基板が達すると、当該基板位置センサ６３がＯＮとなる。
ステップＳ４５では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサがＯＦＦになったか否かを判断し、ＯＦＦでない場合にはそのまま基板の搬送を継続し、ＯＦＦである場合にはステップＳ４６に移行する。

【0043】

ステップＳ４６では、下流側である第二搬送ユニット６から基板が搬出されたとみなし、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ５２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＦＦとして、ＳＭＥＭＡ不使用モードを終了する。

【0044】

また、図７に示すステップＳ５に移行すると、副制御部３１は図１０に示すＳＭＥＭＡ適用モードを実行する。ＳＭＥＭＡ適用モードの実行時は、主制御部２１と副制御部３１間に通信異常が発生している場合であり、第二コネクタ３５２ｂからの指示に基づいて基板搬送装置３の搬送方向を決定する。

【0045】

ステップＳ５１では、副制御部３１は、第二コネクタ３５２ｂからの指示に基づいて搬送方向を決定する。以下の説明においては、第一方向指示が入力された場合を挙げ、上流側を第一搬送ユニット５とし、下流側を第二搬送ユニット６として説明する。また、以降のステップＳ５２〜ステップＳ５７までの工程と、ステップＳ５８〜ステップＳ６３までの工程は、ステップＳ５１から並列に実行される。

【0046】

ステップＳ５２では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の基板位置センサ４３がＯＮであるか否かを判断し、ＯＮである場合にはそのままの状態を維持し、ＯＮでない場合にはステップＳ５３に移行する。

【0047】

ステップＳ５３では、副制御部３１は、基板の搬出を要求する基板搬出要求信号を、上流側の外部装置に対して出力する。
ステップＳ５４では、副制御部３１は、上流側の外部装置から搬出許可信号が入力されたか否かを判断し、入力されていない場合にはそのままの状態を維持し、入力された場合にはステップＳ５５に移行する。
ステップＳ５５では、上流側の外部装置から基板が搬出されてくるので、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ５２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２とをＯＮにして、上流側の外部装置からの基板を搬入し、中央搬送ユニット４まで搬送する。

【0048】

ステップＳ５６では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の基板位置センサ４３がＯＮとなったか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮになった場合にはステップＳ５７に移行する。
ステップＳ５７では、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ５２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２とをＯＦＦにするとともに、上流側の外部装置に対する搬出要求信号もＯＦＦとし、その後ステップＳ６４に移行する。

【0049】

ステップＳ５８では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３がＯＮとなったか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮとなった場合にはステップＳ５９に移行する。
ステップＳ５９では、副制御部３１は、下流側の外部装置に対して搬出の準備が完了したとして搬出許可信号を出力する。

【0050】

ステップＳ６０では、副制御部３１は、下流側の外部装置から搬出要求信号が入力されたか否かを判断し、入力されていない場合はそのままの状態を維持し、入力された場合にはステップＳ６１に移行する。
ステップＳ６１では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２をＯＮとし、待機したままであった基板を下流側の外部装置に向けて搬出する。

【0051】

ステップＳ６２では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３がＯＦＦになったか否かを判断し、ＯＦＦでない場合にはそのままの状態を維持し、ＯＦＦになった場合にはステップＳ６３に移行する。
ステップＳ６３では、副制御部３１は、下流側で待機中であった基板が搬出されたとみなし、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＮとする。これにより、中央搬送ユニット４で待機中であった基板が搬送される。同時に、副制御部３１は、下流側の外部装置に対する搬出許可信号をＯＦＦとする。その後、副制御部３１は、ステップＳ６４に移行する。

【0052】

ステップＳ６４では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の基板位置センサ４３がＯＮとなったか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮになった場合にはステップＳ６５に移行する。
ステップＳ６５では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ５２とをＯＮとする。

【0053】

ステップＳ６６では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３がＯＮとなったか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮになった場合にはステップＳ６７に移行する。
ステップＳ６７では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４で待機中であった基板が下流側に到着したとみなして、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＦＦとし、基板の搬送を停止する。同時に、副制御部３１は、下流側の外部装置に対して搬出許可信号を出力する。

【0054】

ステップＳ６８は、副制御部３１は、下流側の外部装置から搬出要求信号が入力されたか否かを判断し、入力されていない場合はそのままの状態を維持し、入力された場合にはステップＳ６９に移行する。
ステップＳ６９は、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２をＯＮとし、第二搬送ユニット６で待機中であった基板を下流側の外部装置に向けて搬出する。

【0055】

ステップＳ７０では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３がＯＮとなったか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮになった場合にはステップＳ７１に移行する。
ステップＳ７１では、副制御部３１は、第二搬送ユニット６で待機中であった基板が搬出されたとみなして、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２をＯＦＦとし、基板の搬送を停止する。同時に、副制御部３１は、下流側の外部装置に対する搬出許可信号をＯＦＦとし、ＳＭＥＭＡ適用モードを終了する。

【0056】

このＳＭＥＭＡ適用モードであれば、下流側の外部装置が搬入困難な場合であっても、搬入許可が出力されるまで、下流側である第二搬送ユニット６や、中央搬送ユニット４で基板を待機させることができる。

【0057】

以上のように、本実施形態によれば、指示入力部３５から独立指示が副制御部３１に入力されれば、副制御部３１が独立して基板搬送装置３を制御させることができるので、主制御部２１と基板搬送装置３との間に通信異常が発生したとしても、基板搬送装置３による基板搬送を実行することができ、生産ライン全体の停止を防止することが可能となる。したがって、生産ライン全体の停止を回避することができ、稼働率の低下を抑制することができる。

【0058】

ここで、従来の対基板作業システムにおいては、搬送方向がユーザの要望により異なるために、左から右に向かう搬送方向か、右から左に向かう搬送方向かのいずれかの方向が決定した後に、決定された搬送方向に対応するように各部の構成を調整する必要があった。つまり、対基板作業システムの組み立て中であっても出荷先の搬送方向の仕様が決まっていなければ、中途半端な状態で対基板作業システム１の組み立てを行わなければならない場合がある。
このため、搬送方向が確定していなくても、対基板作業システムの組み立てを完了させたいという要望がある。

【0059】

上述した本実施形態の対基板作業システム１であると、外部装置との接続がＳＭＥＭＡインターフェース７，８を介して接続されているので、外部装置との接続の容易化を図ることができる。
なお、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８では、外部装置が対基板作業システム１の搬送方向上流側になる場合には、第一端子部（第一端子７１，８１及び第二端子７２，８２）が出力端子、第二端子部（第三端子７３，８３及び第四端子７４，８４）が入力端子となって、外部装置が対基板作業システム１の搬送方向下流側になる場合には、第一端子部が入力端子、第二端子部が出力端子となるという、搬送方向の異なりにより第一端子部と第二端子部の用途が切り替わってしまう。そこで、本実施形態に係る対基板作業システム１では、副制御部３１とＳＭＥＭＡインターフェース７，８との間に介在する電子回路９に切替回路９４を設けている。この切替回路９４は、外部装置が対基板作業システム１に対して搬送方向上流側である場合に、副制御部３１の出力回路を第一端子部に接続し、副制御部３１の入力回路を第二端子部に接続する。他方、切替回路９４は外部装置が対基板作業システム１に対して搬送方向下流側である場合に、副制御部３１の出力回路を第二端子部に接続し、副制御部３１の入力回路を第一端子部に接続する。このような切替回路９４が設けられているために、搬送方向が決まっていなくとも対基板作業システム１の組み立てを完成段階まで進めることができる。そして、完成後であっても搬送方向が確定すれば、切替回路９４を動作させることでＳＭＥＭＡ規格に応じた入出力端子の切替が容易に行うことができる。

【0060】

また、基板位置センサ４３，５３，６３の検出結果に基づいて基板が搬送されているので、各搬送ユニット４，５，６間での基板の受け渡しを確実に行うことができる。

【0061】

なお、本発明は上記実施形態に限らず適宜変更可能である。
例えば、上記実施形態では、ユーザーが指示入力部３５を操作することで、従動指示及び独立指示が副制御部３１に入力される場合を例示して説明したが、通信異常を自動で検知する通信センサを設け、この通信センサが検出結果に基づいて従動指示及び独立指示を副制御部３１に入力するようにしてもよい。この構成であれば、通信センサが指示入力部として機能するために、ユーザーの手を煩わさなくとも自動で、通信異常後の基板搬送装置による基板搬送を実行することができる。

【0062】

また、上記実施形態では、上流側の搬送ユニットとして第一搬送ユニット５を、下流側の搬送ユニットとして第二搬送ユニット６を例示して説明したが、上流側の搬送ユニットを第二搬送ユニット６、下流側の搬送ユニットを第一搬送ユニット５とすることも可能である。この場合、上述した各ステップの制御対象が入れ替わることになる。

【符号の説明】

【0063】

１ 対基板作業システム
２ 対基板作業装置
３ 基板搬送装置
４ 中央搬送ユニット
５ 第一搬送ユニット
６ 第二搬送ユニット
７ 第一ＳＭＥＭＡインターフェース
８ 第二ＳＭＥＭＡインターフェース
９ 電子回路
２１ 主制御部
３１ 副制御部
３５ 指示入力部
７１，８１ 第一端子（第一端子部）
７２，８２ 第二端子（第一端子部）
７３，８３ 第三端子（第二端子部）
７４，８４ 第四端子（第二端子部）
９４ 切替回路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】