特許6180755IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

熱アシスト磁気記録媒体に用いるMgOシード層用合金およびスパッタリングターゲット材ならびにそれらを用いた垂直磁気記録媒体に関するものである。

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、上述したような材料を用いる場合、MgOとの格子定数のミスマッチが大きく、結晶粒を制御するような元素の添加が無いため、粒径が粗く、その分散が大きな膜となるため、MgO膜の配向性が悪く、結晶粒径が大きくなる結果、磁性膜も同様の傾向となり、記録密度を高密度化する事ができない。 本発明は、上述したような課題に鑑みてなされたものであり、MgO膜の配向制御層として、MgO(001)とミスマッチが小さい格子定数と微細で均一な結晶粒分布をもつBCC構造のCr系合金単層膜を用いることで、(001)に配向した微細なMgO上に結晶粒径が微細で均一な磁性膜を成膜する事ができる垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明者らは、上述した問題を解消するために、鋭意研究を行った結果、MgO(001)とミスマッチが小さい格子定数と微細で均一な結晶粒分布をもつBCC構造のCr系合金として、Crに固溶する元素M(Al,Ti,Mo,W,V,Ru)を添加することでMgOとの格子定数のミスマッチを小さくし、かつ元素X(B,C,P,Si,Sn)を微量添加し結晶粒径を調整した合金系を見出した。
【発明の効果】
以上述べたように、本発明は、MgO(001)とミスマッチが小さい格子定数と微細で均一な結晶粒分布をもつBCC構造のCr系合金であり、磁気記録媒体においてMgO膜の配向性を改善し、結晶粒径を微細均一分散できるスパッタリングターゲット材を提供できることにある。このように、本用途の記録層下地膜のMgOの配向制御層の格子定数のミスマッチを小さくすると同時に結晶粒径を微細均一にするという技術思想は従来にはなかった。この考え方は本発明における最も特徴的な技術思想である。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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