特許6181197センサ素子および同センサ素子を備えた静電容量センサ

発明の名称　センサ素子および同センサ素子を備えた静電容量センサ

出願人　マイクロ−エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲー　（識別番号 592093648）

　　　　特許公開件数ランキング 3836 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5542 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6181197

公報発行日　2017年8月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6181197

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