特許6182164ブロックコポリマーの金属除去のための方法および材料

発明の名称　ブロックコポリマーの金属除去のための方法および材料

出願人　アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ（ルクセンブルグ）ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ　（識別番号 511293803）

　　　　特許公開件数ランキング 31345 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25417 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6182164

公報発行日　2017年8月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6182164

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