特許6183816微小流体表面処理システムおよび動作方法（表面までの距離制御が自己調整される微小流体表面処理システム）

発明の名称　微小流体表面処理システムおよび動作方法（表面までの距離制御が自己調整される微小流体表面処理システム）

出願人　インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション　（識別番号 390009531）

　　　　特許公開件数ランキング 96 位（295件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 26 位（690件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6183816

公報発行日　2017年8月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6183816

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