特許 6184301 検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6184301

(24)【登録日】2017年8月4日

(45)【発行日】2017年8月23日

(54)【発明の名称】検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/073 20060101AFI20170814BHJP

【ＦＩ】

   G01R1/073 D

【請求項の数】6

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2013-235698(P2013-235698)

(22)【出願日】2013年11月14日

(65)【公開番号】特開2015-94734(P2015-94734A)

(43)【公開日】2015年5月18日

【審査請求日】2016年8月16日

(73)【特許権者】

【識別番号】000153018

【氏名又は名称】株式会社日本マイクロニクス

(74)【代理人】

【識別番号】100103894

【弁理士】

【氏名又は名称】家入 健

(72)【発明者】

【氏名】工藤 隆善

【審査官】 永井 皓喜

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−１１２９１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１２２９４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１７２５５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１２／０２４２３６０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ １／０７３

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｇ０１Ｒ ３１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査体が載置される検査台と、
前記検査台の上方に配置された固定体と、
前記被検査体の電極に接触可能のプローブ針を保持するプローブ組立体と、
前記固定体に支持されるサポートベース部材と、
前記プローブ針を前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体を前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、
前記プローブ針に供給される検査信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持された信号回路基板と、を備えた検査装置であって、
前記懸架機構が、
前記サポートベース部材に取り付けられたサスペンションベース部材と、
スライド機構を介して、前記サスペンションベース部材にスライド可能に取り付けられたスライドブロックと、を備え、
前記スライドブロックと前記サスペンションベース部材との間に絶縁部材が介在することで、前記プローブ組立体が前記サポートベース部材から絶縁されている検査装置。

【請求項2】

被検査体が載置される検査台と、
前記検査台の上方に配置された固定体と、
前記被検査体の電極に接触可能のプローブ針を保持するプローブ組立体と、
前記固定体に支持されるサポートベース部材と、
前記プローブ針を前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体を前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、
前記プローブ針に供給される検査信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持された信号回路基板と、を備えた検査装置であって、
前記懸架機構が絶縁部材を介して前記サポートベース部材に取り付けられることで、前記プローブ組立体が前記サポートベース部材から絶縁されている検査装置。

【請求項3】

前記懸架機構が、
前記サポートベース部材に取り付けられたサスペンションベース部材と、
スライド機構を介して、前記サスペンションベース部材にスライド可能に取り付けられたスライドブロックと、を備え、
前記スライドブロックと前記サスペンションベース部材との間に絶縁部材が介在することで、前記プローブ組立体が前記サポートベース部材から絶縁されている請求項２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記プローブ組立体と前記懸架機構の間に設けられた絶縁部材を介して、前記プローブ組立体が前記懸架機構に取り付けられている請求項１〜３のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項5】

前記絶縁部材が２か所以上に設けられている請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項6】

前記検査台を収容する筐体がさらに設けられ、
前記サポートベース部材が前記筐体を介して接地されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

製造工程を経た表示パネルは、一般的に、画素欠陥のような欠陥の有無を調べるための点灯検査を受ける。この点灯検査では、被検査体である液晶パネルに駆動信号を供給する必要がある。また、アレイ検査を行うことで、回路検査を行うことができる。例えば、切断前のマザーガラス基板に対して、駆動信号を供給する。そのため、検査装置には、その検査ステーションとして、被検査体である液晶パネルがその電極を上方に向けて配置される検査台と、被検査体の上方に設けられた固定枠体に支持されたプローブユニットとを含む電気的検査装置が設けられている。

【0003】

この種の電気的検査装置として、特許文献１には、液晶パネルの検査装置が開示されている。この検査装置では、検査台上に被検査体である矩形の液晶パネルが載せられる。前記検査台の上方には、矩形の液晶パネルの各辺に対応する各辺を有する矩形の固定枠体が配置されている。そして、固定枠体の互いに直角な隣合う一組の各辺に沿って、多数のプローブ組立体が配列されている。より詳細には、プローブステージ板が固定枠体の端辺に支持されている。プローブステージ板にプローブユニットが取り付けられている。

【0004】

各プローブユニットは、サポートベース部と、複数のプローブ組立体を備えている。サポートベース部は、プローブステージ板に取り外し可能に固定されている。プローブ組立体は、プローブステージ板に支持されている。各プローブ組立体は、それらのプローブを対応する液晶パネルの電極に対向するように、それぞれの懸架機構を介して前記サポートベース部材に支持されている。各懸架機構には、その下方で信号回路基板が支持されており、各信号回路基板に設けられたＩＣチップで構成された液晶駆動ＩＣ回路を経て前記プローブ組立体の所定のプローブに駆動信号が供給される。

【0005】

したがって、電気的検査装置では、検査台上の液晶パネルは、該液晶パネルに設けられた各電極と、前記固定枠体に支持された各プローブユニットのプローブとが整合する位置に、相対位置を調整される。この位置調整後、前記検査台の前記固定枠体への移動により、各プローブユニットに設けられた前記各プローブ組立体のプローブの先端が前記液晶パネルの対応する電極に接触されると、前記ＩＣチップを経て所定のプローブから対応する前記電極に駆動信号が送られる。この駆動信号により、液晶パネルは、一定時間点灯状態におかれ、所定の検査を受ける。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１０−１１２９１９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

このような検査装置では、懸架機構がプローバの筐体に電気的に接続されている。また、筐体がグランド（ＧＮＤ）に接地されている。そして、プローブ針や信号回路基板の容量カップリングにより、漏れ電流が発生することがある。筐体をＧＮＤに接続しているため、プローバや工場から発生するノイズによりＧＮＤレベルが変化する場合、容量カップリングを通じでテスタ回路の電流が漏れてしまう。このように、ノイズによって、測定ばらつきが発生するというおそれがある。

【0008】

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、ノイズの影響を低減することができる検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様に係る検査装置は、被検査体が載置される検査台と、前記検査台の上方に配置された固定体と、前記被検査体の電極に接触可能のプローブ針を保持するプローブ組立体と、前記固定体に支持されるサポートベース部材と、前記プローブ針を前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体を前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、前記プローブ針に供給される検査信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持された信号回路基板と、を備えた検査装置であって、前記プローブ組立体と、前記サポートベース部材とが絶縁されている検査装置。

【0010】

上記の検査装置において、前記プローブ組立体と前記サポートベース部材との間に絶縁部材が介在することで、前記プローブ組立体が前記サポートベース部材から絶縁されていてもよい。

【0011】

上記の検査装置において、前記プローブ組立体が前記絶縁部材を介して、前記懸架機構に取り付けられていてもよい。

【0012】

上記の検査装置において、前記懸架機構が、前記サポートベース部材に取り付けられたサスペンションベース部材と、スライド機構を介して、前記サスペンションベース部材にスライド可能に取り付けられたスライドブロックと、を備え、前記スライドブロックと前記サスペンションベース部材との間に前記絶縁部材が介在していてもよい。

【0013】

上記の検査装置において、前記懸架機構が前記絶縁部材を介して前記サポートベース部材に取り付けられていてもよい。

【0014】

上記の検査装置において、前記検査台を収容する筐体がさらに設けられ、前記サポートベース部材が前記筐体を介して接地されていてもよい。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、ノイズの影響を低減することができる検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明に係る点灯検査装置の外観を示す斜視図である。

【図2】図１に示す点灯検査装置の検査ステージの平面図である。

【図3】図２に示した点灯検査装置のプローブサポート部材に取り付けられるプローブユニットの斜視図である。

【図4】図３に示したプローブユニットの平面図である。

【図5】図４に示した線Ｖ−Ｖに沿って得られた断面図である。

【図6】本発明に係るプローブユニットを傾斜させた状態を示す斜視図である。

【図7】プローブ組立体の絶縁構造を模式的に示す図である。

【図8】プローブ組立体を絶縁した構成のノイズを説明する図である。

【図9】プローブ組立体を絶縁していない比較例のノイズを説明する図である。

【図10】絶縁箇所の変形例１を示す図である。

【図11】絶縁箇所の変形例２を示す図である。

【図12】絶縁箇所の変形例３を示す図である。

【図13】絶縁箇所の変形例４を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

図１は、本発明に係る検査パネルのための検査装置１０の外観を示す。この検査装置１０は、長方形の平面形状を有する検査パネル１２の例えば点灯検査、あるいはアレイ検査に用いられる。以下、検査装置１０が点灯検査に用いられる一例について説明する。検査装置１０は、傾斜正面１４ａを備える筐体１４を備えている。筐体１４の傾斜正面１４ａには、点灯検査のための第１の窓（開口）１６ａおよび第１の窓１６ａに隣り合う第２の窓（開口）１６ｂが設けられている。検査パネル１２は、被検査体であり、例えば、液晶パネル、有機ＥＬパネルなどの表示パネルである。さらには、Ｘ線フラットパネルディテクタ等の回路検査に適用することも可能である。

【0018】

筐体１４内には、検査パネル１２の点灯検査のための検査ステーション１８が第１の窓１６ａに対応して設けられている。筐体１４内には、パネル受け渡しステーション２０が検査ステーション１８と並んで設けられている。パネル受け渡しステーション２０は、検査ステーション１８との間で、検査パネル１２を順次やり取りする。パネル受け渡しステーション２０としては、従来よく知られた構成を用いることができる。パネル受け渡しステーション２０は、第２の窓１６ｂに対応して設けられている。筐体１４は、ＧＮＤ（グランド）に接地されている。

【0019】

検査パネル１２の一方の面には、多数の電極１２ａ（図５参照）が配列されている。例えば、複数の電極１２ａは、矩形の検査パネル１２の一方の長辺縁部に沿って配列されている。さらに、複数の電極１２ａは、検査パネル１２の一方の短辺縁部に沿って配列されている。検査ステーション１８で点灯検査を受ける検査パネル１２は、従来よく知られているように、パネル受け渡しステーション２０のパネル受け渡し装置２４上に、搬入される。例えば、図示しない搬送ロボットが、筐体１４の背面に設けられた出し入れ口２２を介して、パネル受け渡し装置２４上に、検査パネル１２を搬入する。このとき、電極１２ａが上方を向けた状態で、検査パネル１２がパネル受け渡し装置２４に搬入される。このパネル受け渡し装置２４上の検査パネル１２は、パネル受け渡し装置２４の搬送アーム機構２４ａを経て、検査ステーション１８に移送される。そして、検査ステーション１８において、検査パネル１２の点灯検査が行われる。また、検査ステーション１８で点灯検査を受けた検査パネル１２は、従来よく知られているように、搬送アーム機構２４ａの取り扱いにより、パネル受け渡し装置２４に移送される。そして、搬送ロボットが、パネル受け渡し装置２４に移送された検査パネル１２を検査装置１０から取り出す。

【0020】

検査ステーション１８は、図１に示すように、パネル受け渡しステーション２０からの検査パネル１２を保持するワークテーブル２６と、該ワークテーブルから間隔を置いて配置される固定板たる矩形の固定枠体２８と、該固定枠体に支持された複数のプローブユニット３０とを備える。

【0021】

ワークテーブル２６は検査パネル１２が載置される検査台である。ワークテーブル２６は、検査パネル１２の電極１２ａが第１の窓１６ａに向くように、検査パネル１２を保持する。ワークテーブル（検査台）２６上の検査パネル１２は、筐体１４内で第１の窓１６ａに対応する位置に保持される。ワークテーブル２６は、筐体１４内に収納されている。ワークテーブル２６は、筐体１４内に設置された従来におけると同様なＸＹＺθ支持機構（図示せず）により、支持されている。これにより、ワークテーブル２６上の検査パネル１２の平面位置は、ワークテーブル２６と一体的に、調整可能となる。すなわち、検査パネル１２の位置はＸＹＺ方向に調整可能である。なお、Ｘ方向、及びＹ方向は、傾斜正面１４ａと平行な面内において、互いに直交する方向である。Ｚ方向は、ＸＹ平面に直角な方向である。さらに、検査パネル１２は、Ｚ軸周りの回転姿勢、すなわちθ方向の角度が調整可能である。

【0022】

ワークテーブル２６の斜め上方、すなわちワークテーブル２６からＺ軸方向に沿って傾斜正面１４ａへ向けての斜め前方には、固定枠体２８が筐体１４に固定されている。固定体となる固定枠体は、例えば、ワークテーブル２６から間隔をおいて配置されている。

【0023】

固定枠体２８は、図２に示す例では、Ｘ方向に沿った一対の長辺部２８ａおよびＹ方向に沿った一対の短辺部２８ｂを有する。すなわち、固定枠体２８は矩形枠状に形成されている。各辺部２８ａ、２８ｂには、プローブステージ板３２（３２ａ、３２ａおよび３２ｂ、３２ｂ）がそれぞれ配置されている。各プローブステージ板３２の上面には、各プローブユニット３０を取付けるための凹所３２ｃが形成されている。取付け凹所３２ｃは、プローブステージ板３２の長手方向の一方の縁部に沿って該縁部に開放する。取付け凹所３２ｃは、固定枠体２８の対応する各辺部２８ａ、２８ｂから固定枠体２８の枠内に露出している。各プローブステージ板３２は、各辺部２８ａ、２８ｂに沿って配置されている。プローブステージ板３２の一部が取付け凹所３２ｃ内に配置され、残りが固定枠体２８の枠内に突出している。

【0024】

固定枠体２８の長辺部２８ａとプローブステージ板３２ａとの間には、案内部３４が設けられている。同様に、固定枠体２８の短辺部２８ｂとプローブステージ板３２ｂとの間には、案内部３４が設けられている。案内部３４により、プローブステージ板３２ａは、長辺部２８ａの長手方向に移動可能な状態で、固定枠体２８に支持される。同様に、案内部３４により、プローブステージ板３２ｂは、短辺部２８ｂの長手方向に移動可能な状態で、固定枠体２８に支持される。例えば、プローブステージ板３２ａは、Ｘ方向に移動し、プローブステージ板３２ｂはＹ方向に移動する。
また、プローブステージ板３２ａを長辺部２８ａに関して移動させるための駆動機構３６が長辺部２８ａに設けられている。同様に、プローブステージ板３２ｂを短辺部２８ｂに関して移動させるための駆動機構３６が短辺部２８ｂに設けられている。この駆動機構３６は、例えば、電気モータ３６ａと、ボールねじ部材３６ｂと、雌ねじ部材３６ｃを有するボールねじのような送り機構とで構成することができる。電気モータ３６ａは、固定枠体２８に固定されている。ボールねじ部材３６ｂは電気モータ３６ａの出力シャフトと一体的に回転可能になっている。雌ねじ部材３６ｃは、ボールねじ部材３６ｂに螺合して、プローブステージ板３２に固定されている。

【0025】

図２の例では、検査パネル１２の一方の長辺縁部および一方の長辺縁部に沿って電極１２ａが配列されている。したがって、電極１２ａに対応する一方の長辺部２８ａにおいて、プローブステージ板３２ａにプローブユニット３０が取り付けられている。同様に、電極１２ａに対応する一方の短辺部２８ｂにおいて、プローブステージ板３２ｂにプローブユニット３０が取り付けられている。長辺部２８ａのプローブユニット３０には、５つのプローブ組立体３８が等間隔をおいて配列されている。短辺部２８ｂのプローブユニット３０には３つのプローブ組立体３８が等間隔をおいて配列されている。

【0026】

各プローブユニット３０は、基本的に同一構成となっている。なお、短辺部２８ｂと長辺部２８ａのプローブユニットで、プローブ組立体３８の個数、後述するアライメントカメラおよびアライメントマークの個数に違いがある。以下、固定枠体２８の短辺部２８ｂに設けられるプローブユニット３０の例について説明するが、長辺部２８ａについても同様の構成となる。

【0027】

プローブユニット３０は、図２、図３、及び図４に示されているように、全体に矩形板状のサポートベース部材４０と、該ベース部材に枢軸機構４２の一対の水平軸４２ａを介して枢着されたプローブベース板４４とを含んでいる。プローブベース板４４に各懸架機構４６を介してプローブ組立体３８が支持されている。

【0028】

サポートベース部材４０の一方の長辺と一対の短辺とが交わる隅部には、面取り４０ａが施されている。長辺の両端における面取り４０ａ間には、切欠き部４０ｂが形成されている。切欠部４０ｂは、矩形のプローブベース板４４を水平軸４２ａの回りに回動可能に受け入れる。サポートベース部材４０は、図３に示すように、その他方の長辺に沿った縁部分が取付け凹所３２ｃに嵌合される。この状態で、サポートベース部材４０は、プローブステージ板３２に取り外し可能に固定される。サポートベース部材４０は、ボルトのようなねじ部材４８を用いて、プローブステージ板３２に固定される。ねじ部材４８は、サポートベース部材４０の貫通穴４０ｃを貫通しかつ先端がプローブステージ板３２ｂのねじ穴３２ｄに螺合する。この構成によって、プローブベース板４４が水平軸４２ａ周りに回動する。

【0029】

プローブベース板４４上には、図３および図４に示すように、３つのプローブ組立体３８がそれぞれ懸架機構４６を介して支持されている。３つのプローブ組立体３８は、プローブベース板４４の長手方向に等間隔をおいて整列している。図示の例では、プローブ組立体３８の列の両端には、それぞれアライメントカメラ５０が配置されて、対をなしている。さらに、アラインメントカメラ５０の下側には、アラインメントカメラ５０で撮影可能な透過アライメントマーク５２がそれぞれ配置され、対をなしている。各対は、それらの間にプローブ組立体３８の列を位置させるように、プローブベース板４４に支持されている。アライメントカメラ５０は、ワークテーブル２６上の検査パネル１２に形成されたアライメントマーク（図示せず）とプローブベース板４４に支持された透過アライメントマーク５２とを重ね合わせた画像を捉える。

【0030】

懸架機構４６は、プローブ組立体３８に対応して設けられている。各懸架機構４６は、図５に示されているように、プローブベース板４４上に固定されるサスペンションベース部材４６ａと、サスペンションベース部材４６ａに支持されるスライドブロック４６ｂとを備える。スライドブロック４６ｂは、サスペンションベース部材４６ａとの間に設けられたリニアスライド機構４６ｃにより上下方向に移動可能である。スライドブロック４６ｂは、ばね機構により、プローブベース板４４の干渉を受けることなく、サスペンションベース部材４６ａに好適に弾性支持されている。なお、図示しないばね機構は、スライドブロック４６ｂの内部に組み込まれた従来よく知られた構成を取ることができる。

【0031】

スライドブロック４６ｂの下端には、プローブ組立体３８を取り付けるための取付けブロック４６ｄが固定されている。プローブ組立体３８には、その先端から突出するプローブ先端（プローブ針）３８ａが取り付けられている。プローブ先端３８ａが下方すなわちワークテーブル２６上の検査パネル１２に向いた状態で、プローブ組立体３８は取付けブロック４６ｄに取り付けられている。よって、プローブ先端３８ａは、検査パネル１２の対応する電極１２ａに接触する。プローブ組立体３８は複数のプローブ針を保持するホルダとなる。

【0032】

また、取付けブロック４６ｄの下端には取付け板４６ｅが固定されている。取付け板４６ｅの下面には、例えばＴＣＰからなる回路基板５４が支持されている。この回路基板５４には、検査パネル１２の駆動信号（検査信号）を生成するための駆動信号生成ＩＣチップ５４ａが搭載されており、ＩＣチップ５４ａを含むＩＣ回路が形成されている。プローブ組立体３８は、懸架機構４６の取付けブロック４６ｄに取付けられる。すると、プローブ組立体３８のプローブ針が駆動信号を受けるように、プローブ針の後端３８ｂが回路基板５４の対応する導電路に下方から押圧される。これにより、プローブ組立体３８のプローブ針が回路基板５４に電気的に接続される。

【0033】

回路基板５４は、プローブベース板４４の下面にスペーサ５６を介して支持された中継基板５８に接続されている。この中継基板５８は、配線６０を経て制御信号発生器６２に接続されている。したがって、ＩＣチップ５４ａは、中継基板５８および回路基板５４の導電路を経て制御信号発生器６２からの制御信号を受けることにより、プローブ組立体３８の前記各プローブを経て検査パネル１２の対応する電極１２ａに駆動信号を供給する。ＩＣチップ５４ａは、中継基板５８を伝送されたデジタルの制御信号をアナログの駆動信号に変換して出力する。

【0034】

プローブベース板４４には、各懸架機構４６を介して複数のプローブ組立体３８が取り付けられている。プローブベース板４４は、図５に示すように、結合手段６４により、サポートベース部材４０に固定されている。プローブベース板４４は、サポートベース部材４０と同一面上に位置する姿勢となっている。

【0035】

結合手段６４は、ボルト６４ａと、結合板６４ｂと、ボルト６４ｄとを備える。結合板６４ｂは、プローブベース板４４の下面にボルト６４ａを介して固定されている。ボルト６４ｄは、結合板６４ｂに形成されたねじ穴６４ｃに螺合する。サポートベース部材４０には、ねじ穴６４ｃに整合する挿通孔４０ｄが形成されている。したがって、ボルト６４ｄは、挿通孔４０ｄを貫通して、ねじ穴６４ｃに螺合する。ボルト６４ｄは、サポートベース部材４０の上面からサポートベース部材４０ｄを貫通して配置されている。そして、ボルト６４ｄの先端部がねじ穴６４ｃに螺合するように、結合板６４ｂをサポートベース部材４０に締め付ける。このボルト６４ｄの締め付けにより、プローブベース板４４の水平軸４２ａの回りの回動が阻止される。よって、プローブベース板４４は、前記したように図５に示す姿勢を保持される。

【0036】

ねじ穴６４ｃが形成された結合板６４ｂをボルト６４ａでプローブベース板４４に固定することに代えて、他の構成を取ることもできる。例えば、図示しないが、ねじ穴６４ｃを有する結合部に代えて、プローブベース板４４と一体的に形成され、プローブベース板４４から下方向に伸長する伸長部分を用いることも可能である。
さらに、結合手段６４には、絶縁部材７１、７２が設けられている。したがって、結合手段６４は、懸架機構４６とサポートベース部材４０とを絶縁した状態で、懸架機構４６をプローブベース板４４に固定する。なお、この構成については、後述する。

【0037】

本発明に係る検査装置１０では、被検査体である検査パネル１２の規格に合うプローブユニット３０が選択される。すなわち、検査パネル１２の電極１２ａに対応した適正なプローブ間隔を有するプローブ組立体３８が用いられる。さらに、所定の間隔を有して配置された複数のプローブ組立体３８を有するプローブユニット３０が用いられる。そして、適正なプローブユニット３０が、プローブステージ板３２に取り付けられる。

【0038】

その後、前記したようにパネル受け渡しステーション２０から検査ステーション１８のワークテーブル２６上に検査パネル１２が移送される。そして、アライメントカメラ５０により撮影された画像上での透過アライメントマーク５２と検査パネル１２上の前記アライメントマークとのずれに基づいて、ＸＹＺθ支持機構が電極１２ａとプローブ組立体３８の対応するプローブ先端３８ａとを整合させる。すなわち、ワークテーブル２６の位置が適切に調整される。駆動機構３６によって、また各プローブユニット３０が取り付けられた各プローブステージ板３２の位置が微調整される。

【0039】

これらの調整後、ＸＹＺθ支持機構の作動により、ワークテーブル２６が固定枠体２８に向けて移動される。こうすることにより、検査パネル１２の電極１２ａがプローブ組立体３８のプローブ先端３８ａに電気的に接続される。この接続状態で、ＩＣチップ５４ａからの駆動信号が対応する前記プローブを経て検査パネル１２に供給される。すると、その駆動信号に応じて検査パネル１２が点灯される。この点等状態を作業員が第１の窓１６ａを通して観察することにより、点灯検査が行える。

【0040】

本発明に係る検査装置１０に設けられた回路基板５４の保守点検では、図５に示したように、結合手段６４の結合板６４ｂのねじ穴６４ｃに螺合するボルト６４ｄが緩められる。そして、図６に示すように、ボルト６４ｄが結合板６４ｂから引き抜かれることにより、結合手段６４が解除される。

【0041】

この結合手段６４の解除により、プローブベース板４４が、サポートベース部材４０に対して、水平軸４２ａの回りに回転される。よって、プローブベース板４４上の懸架機構４６を介して支持されたプローブ組立体３８およびアライメントカメラ５０等も、回転する。懸架機構４６の下方に配置された回路基板５４は、第１の窓１６ａに向けられる。

【0042】

このプローブベース板４４の姿勢の回転によって、回路基板５４およびそのＩＣチップ５４ａは第１の窓１６ａに向けて露出される。このことから、作業員はワークテーブル２６と固定枠体２８との間から手を差し入れることなく、第１の窓１６ａを通してＩＣチップ５４ａの点検や取り換え作業を行うことが可能となる。さらに、作業員は、重重量のプローブユニット３０を各プローブステージ板３２から取り外して分離することなく、点検や取り替え作業を行うことが可能になる。よって、従来に比較して楽な姿勢で容易に、点検や取り替え作業を行うことが可能になる。

【0043】

回路基板５４の保守点検を容易にするためには、回路基板５４をプローブベース板４４の上面あるいはサポートベース部材４０に上面等に設けることが考えられる。しかしながら、ＩＣチップ５４ａとプローブ組立体３８の前記プロ−ブとの間の接続経路長が増大するため、この接続経路に高周波信号が流れることを考慮すると、ノイズ対策上、好ましくはない。

【0044】

これに対し、本発明に係る検査装置１０によれば、回路基板５４を懸架機構４６の下方でプローブ組立体３８に近接して保持することができるので、ＩＣチップ５４ａとプローブ組立体３８との接続距離の増大を招くことなく、したがって、前記したノイズ問題を引き起こすことなく、回路基板５４の容易な保守点検作業が可能となる。

【0045】

ここで、結合手段６４による結合構造について、図７を用いて説明する。図７は、結合手段６４とプローブベース板４４との結合部分を模式的に示す断面図である。結合板６４ｂの上側には、絶縁部材７２が配置され、下側には、絶縁部材７１が配置されている。

【0046】

絶縁部材７２が、プローブベース板４４と結合板６４ｂとの間に介在している。絶縁部材７２は、ボルト６４ａが貫通する貫通穴を備えた絶縁板である。また、ボルト６４ａは、結合板６４ｂの貫通穴６４ｆを挿通している。絶縁部材７１は、ボルト６４ａの先端部６４ｇと結合板６４ｂとの間に配置されている。絶縁部材７１は、ボルト６４ａによって、先端部６４ｇと結合板６４ｂとの間に固定される絶縁ワッシャである。ボルト６４ａは、絶縁部材７１、結合板６４ｂ、絶縁部材７２を貫通して、プローブベース板４４のねじ穴と螺合する。絶縁部材７１、及び絶縁部材７２は、プラスチック、アクリル、フッ素系樹脂、テフロン（登録商標）、塩化ビニール、ゴム、ガラスエポキシ樹脂、フェノール系樹脂、セラミック、ガラスなどの絶縁材料によって形成されている。ボルト６４ａは、結合板６４ｂと接触していない。

【0047】

このように、絶縁部材７１、７２を設けることで、結合板６４ｂとプローブベース板４４とが絶縁した状態で、プローブベース板４４をサポートベース部材４０に固定することができる。なお、上記の説明では、ボルト６４ａに対して、絶縁部材７１、７２を設けたが、ボルト６４ｄに対して、同様の絶縁部材を設けることも可能である。このようにしても、サポートベース部材４０とサポートベース部材４０とを絶縁した状態で、懸架機構４６を固定することができる。

【0048】

プローブ組立体３８とサポートベース部材４０との間に絶縁部材７１，７２が介在することで、プローブ組立体３８をサポートベース部材４０から絶縁することができる。よって、プローブベース板４４が筐体１４と接続されて、ＧＮＤに接地されている場合でも、ノイズの影響を低減することができる。例えば、工場で発生するノイズが筐体１４を介して、テスタ回路に影響することを防ぐことができる。

【0049】

ノイズの影響について、図８、図９を用いて説明する。図８は、本実施の形態のように、懸架機構４６をサポートベース部材４０から絶縁した構成を疑似的に示す回路図である、図９は、懸架機構４６をサポートベース部材４０から絶縁した比較例を模式的に示す回路図である。

【0050】

図８に示すように、電源８１からの測定電流がテスタ回路８３に供給される。なお、テスタ回路８３は、プローブ先端（プローブ針）３８ａ、回路基板５４、ＩＣチップ５４ａなどによって構成された回路である。電流計８２は、テスタ回路８３の抵抗Ｒに流れる測定電流を測定する。これにより、検査パネル１２ａの検査が行われる。

【0051】

ここで、テスタ回路８３は、懸架機構４６との間に容量カップリングされている。すなわち、テスタ回路８３と懸架機構４６とによって、浮遊容量Ｃが形成されている。具体的には、プローブ先端（プローブ針）３８ａや回路基板５４の配線が、導電性の懸架機構４６と近接して配置されると、浮遊容量Ｃが発生する。

【0052】

本実施の形態では、図５、及び図７に示したように、懸架機構４６とサポートベース部材４０とが絶縁部材７１、７２で絶縁されている。このため、筐体１４のグランドにノイズＮが発生した場合でも、筐体１４、及びサポートベース部材４０を介してテスタ回路８３から漏れ出す電流を抑制することができる。このように、本実施の形態の構成によって、アナログ信号に生じるノイズの影響を低減することができる。

【0053】

制御信号発生器６２で発生したデジタル信号をＩＣチップ５４ａがアナログ信号に変換して、プローブ先端３８ａに出力している。この場合、ＩＣチップ５４ａからプローブ先端３８ａまでの間にノイズが発生してしまうと測定データに生じる影響が大きくなってしまう。また、回路基板５４の配線やプローブ先端３８ａが、懸架機構４６の金属部分に非常に近接した箇所があると、浮遊容量Ｃが大きくなる。回路基板５４やプローブ先端部３８ａと近接した箇所を、筐体１４から絶縁することで、ノイズの影響を効果的に抑制することができる。特に、回路基板５４と近接するプローブ組立体３８、取付け板４６ｅ、取付けブロック４６ｄ等をサポートベース部材４０から絶縁することが好ましい。

【0054】

一方、図９の比較例に示すように、プローブ組立体３８が筐体１４と絶縁されていない場合、テスタ回路８３に流れる測定電流が、容量カップリングを介して、グランド側に流れてしまう。よって、筐体１４のグランドにノイズＮが発生すると、テスタ回路８３から電流が漏れ出してしまう。

【0055】

このように、本実施形態では、ノイズＮによる漏れ電流を抑制することができる。これにより、ノイズの低い環境下で検査を行うことができる。したがって、ノイズの影響を平均化するために、測定のサンプリング回数を増やすことなく検査することができる。よって、短時間での測定が可能となる。さらには、許容以上のノイズが発生して、希望の測定結果が得られなくなることを防ぐことができ、正確な検査を行うことができる。

【0056】

上記の説明では、プローブベース板４４とサポートベース部材４０を結合する結合手段６４に絶縁部材７１、７２を設けていたが、他の箇所で絶縁することも可能である。すなわち、絶縁箇所は、結合板６４ｂとプローブベース板４４の間に限られるものではない。以下、絶縁箇所を変えた場合の変形例について説明する。なお、以下の変形例の説明では、上記と実施形態と共通する部分については説明を省略する。

【0057】

（変形例１）
図１０は変形例１を模式的に示す図である。なお、図１０では、懸架機構４６等の構成を一部簡略化して図示している。変形例１では、リニアスライド機構４６ｃに絶縁部材７３を設けている。スライドブロック４６ｂとサスペンションベース４６ａとの間に、絶縁部材７３が介在している。リニアスライド機構４６ｃが絶縁部材７３を介して、サスペンションベース４６ａに取り付けられている。スライドブロック４６ｂが絶縁部材７３を介して、リニアスライド機構４６ｃに取り付けられている。この構成によっても、プローブ組立体３８をサポートベース部材４０から絶縁することができるため、上記と同様の効果を得ることができる。

【0058】

（変形例２）
図１１は変形例２を模式的に示す図である。なお、図１１では、懸架機構４６の構成を一部簡略化して図示している。変形例２では、プローブベース板４４とサポートベース部材４０との間に、絶縁部材７４が介在している。すなわち、プローブベース板４４が絶縁部材７４を介して、サポートベース部材４０に取り付けられている。この構成によっても、プローブ組立体３８をサポートベース部材４０から絶縁することができるため、上記と同様の効果を得ることができる。

【0059】

（変形例３）
図１２は変形例３を模式的に示す図である。なお、図１２では、懸架機構４６の構成を一部簡略化して図示している。変形例３では、プローブベース板４４と懸架機構４６との間に、絶縁部材７５が介在している。すなわち、懸架機構４６が絶縁部材７５を介して、プローブベース板４４に取り付けられている。この構成によっても、プローブ組立体３８をサポートベース部材４０から絶縁することができるため、上記と同様の効果を得ることができる。

【0060】

（変形例４）
図１３は変形例４を模式的に示す図である。なお、図１３では、懸架機構４６の構成を一部簡略化して図示している。また、変形例２では、回路基板５４の上下に、放熱板７９が配置されている。スライドブロック４６ｂとサスペンションベース部材４６ａとの間には、バネ機構４６ｆが設けられている。よって、上述したように、スライドブロック４６ｂは、プローブベース板４４の干渉を受けることなく、サスペンションベース部材４６ａに好適に弾性支持されている。

【0061】

変形例４では、プローブ組立体３８とスライドブロック４６ｂとの間に、絶縁部材７６が配置されている。すなわち、プローブ組立体３８が絶縁部材７６を介して、懸架機構４６に取り付けられている。この構成によっても、プローブ組立体３８をサポートベース部材４０から絶縁することができるため、上記と同様の効果を得ることができる。

【0062】

このように、変形例１〜４の構成でも、プローブ組立体３８を筐体１４と絶縁することができる。変形例１〜４における絶縁部材の固定は、図７で示した構成と同様の構成を用いることもできる。もちろん、ねじやボルトを絶縁材料によって形成してもよい。

【0063】

また、実施の形態１、及び変形例１〜４のうちの２以上を組み合わせてもよい。すなわち、絶縁箇所を２か所以上として、プローブ組立体３８とサポートベース部材４０とを絶縁するようにしてもよい。この場合、絶縁部材を２か所以上に配置する。また、絶縁箇所は、プローブ組立体３８により近いことが好ましい。例えば、変形例４の構成では、変形例２の構成よりもノイズ低減の効果が高くなる。

【0064】

上記の説明では、液晶パネルなどの検査パネル１２の点灯検査を行う検査装置１０について説明したが、本実施音の形態は、点灯検査以外の検査を行う検査装置にも適用可能である。例えば、液晶パネルのＴＦＴ基板に対して、アレイ検査を行うことも可能である。アレイ検査を行うことで、検査パネル１２に設けられた回路を検査することができる。例えば、アレイ検査では、検査装置が、切断前のマザーガラス基板にプローブ３８ａを介して駆動信号を供給する。さらには、ＸＲＡＹフラットパネルディテクタなどディテクタパネルについても、同様の手法により、回路のアレイ検査が可能である。

【0065】

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はその目的と利点を損なうことのない適宜の変形を含み、更に、上記の実施形態よる限定は受けない。

【符号の説明】

【0066】

１０ 検査装置
１２ 検査パネル
１２ａ 電極
１４ 筐体
１６ａ 第１の窓
１６ｂ 第２の窓
１８ 検査ステーション
２０ パネル受け渡しステーション
２４ パネル受け渡し装置
２６ ワークテーブル（検査台）
２８ 固定枠体（固定板）
３０ プローブユニット
３２ 各プローブステージ板
３８ プローブ組立体
３８ａ プローブ先端
４０ サポートベース部材
４０ｄ 貫通穴
４２ 枢軸機構
４２ａ 水平軸
４４ プローブベース板
４６ 懸架機構
４８ ねじ部材
５０ アライメントカメラ
５４ 回路基板
６４ 結合手段
６４ｂ 結合板
６４ｃ ねじ穴
６４ｄ ボルト（締結具）
７１ 絶縁部材
７２ 絶縁部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】