特許第6189406号(P6189406)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6189406マグネトロン・スパッタリング・デバイスにおいて使用するための統合したアノードおよび活性化反応性ガス源
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  • 特許6189406-マグネトロン・スパッタリング・デバイスにおいて使用するための統合したアノードおよび活性化反応性ガス源 図000002
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