特許6189933荷電粒子ビームリソグラフィを用いる限界寸法均一性のための方法およびシステム

発明の名称　荷電粒子ビームリソグラフィを用いる限界寸法均一性のための方法およびシステム

出願人　ディー・ツー・エス・インコーポレイテッド　（識別番号 509142184）

　　　　特許公開件数ランキング 2471 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3250 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6189933

公報発行日　2017年8月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6189933

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