特許 6190943 炭化珪素半導体装置及びその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6190943

(24)【登録日】2017年8月10日

(45)【発行日】2017年8月30日

(54)【発明の名称】炭化珪素半導体装置及びその製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 29/78 20060101AFI20170821BHJP

   H01L 29/12 20060101ALI20170821BHJP

   H01L 29/739 20060101ALI20170821BHJP

   H01L 21/336 20060101ALI20170821BHJP

【ＦＩ】

   H01L29/78 652E

   H01L29/78 652B

   H01L29/78 652F

   H01L29/78 652T

   H01L29/78 655A

   H01L29/78 658A

【請求項の数】8

【全頁数】24

(21)【出願番号】特願2016-507925(P2016-507925)

(86)(22)【出願日】2015年9月18日

(86)【国際出願番号】JP2015076814

(87)【国際公開番号】WO2016084463

(87)【国際公開日】20160602

【審査請求日】2016年4月18日

(31)【優先権主張番号】PCT/JP2014/081232

(32)【優先日】2014年11月26日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000002037

【氏名又は名称】新電元工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104709

【弁理士】

【氏名又は名称】松尾 誠剛

(72)【発明者】

【氏名】中村 俊一

(72)【発明者】

【氏名】菅井 昭彦

(72)【発明者】

【氏名】井上 徹人

【審査官】 綿引 隆

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１４−１３１００８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０１３０５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０８９７００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１４２５８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０２９９５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−０９４０９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１２４５３６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３３１

Ｈ０１Ｌ ２１／３３６

Ｈ０１Ｌ ２９／７３９

Ｈ０１Ｌ ２９／７８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第一導電型エピタキシャル層と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面に形成され、前記第一導電型エピタキシャル層よりも不純物濃度が高い第一導電型の第一半導体領域と、
前記第一導電型の第一半導体領域よりも深い位置に形成された第二導電型ボディ領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第一導電型の第一半導体領域を貫通して前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が低い第二導電型チャネル領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に向けて形成され、前記第一導電型の第一半導体領域よりも不純物濃度が高い第一導電型の第二半導体領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第一導電型の第一半導体領域を貫通して前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が高い第二導電型ボディコンタクト領域と、
少なくとも前記第二導電型チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極とを備え、
前記第二導電型チャネル領域及び前記第一導電型の第二半導体領域は、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に前記第一導電型の第一半導体領域が残存し、かつ、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第一半導体領域との境界面のうち外周側の境界面が平面視で前記第二導電型ボディ領域の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されており、
前記ゲート電極の端部は、平面視で前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型の第一半導体領域上に位置することを特徴とする炭化珪素半導体装置。

【請求項2】

第一導電型エピタキシャル層と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面に形成され、前記第一導電型エピタキシャル層よりも不純物濃度が高い第一導電型の第一半導体領域と、
前記第一導電型の第一半導体領域よりも深い位置に形成された第二導電型ボディ領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第一導電型の第一半導体領域を貫通して前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が低い第二導電型チャネル領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に向けて形成され、前記第一導電型の第一半導体領域よりも不純物濃度が高い第一導電型の第二半導体領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第一導電型の第一半導体領域を貫通して前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が高い第二導電型ボディコンタクト領域と、
少なくとも前記第二導電型チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極とを備え、
前記第二導電型チャネル領域及び前記第一導電型の第二半導体領域は、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に前記第一導電型の第一半導体領域が残存し、かつ、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第一半導体領域との境界面のうち外周側の境界面が平面視で前記第二導電型ボディ領域の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されており、
前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型の第一半導体領域と、前記第一導電型の第二半導体領域との間に、不純物濃度が前記第一導電型の第一半導体領域より高く前記第一導電型の第二半導体領域より低い第一導電型の第三半導体領域が形成されており、
前記ゲート電極の端部は、平面視で前記第一導電型の第三半導体領域上に位置することを特徴とする炭化珪素半導体装置。

【請求項3】

第一導電型エピタキシャル層と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側における所定の深さ位置に形成された第二導電型ボディ領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が低い第二導電型チャネル領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に向けて形成され、前記第一導電型エピタキシャル層よりも不純物濃度が高い第一導電型の第二半導体領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が高い第二導電型ボディコンタクト領域と、
少なくとも前記第二導電型チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極とを備え、
前記第二導電型チャネル領域及び前記第一導電型の第二半導体領域は、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に前記第一導電型エピタキシャル層が残存し、かつ、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型エピタキシャル層との境界面のうち外周側の境界面が平面視で前記第二導電型ボディ領域の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されていることを特徴とする炭化珪素半導体装置。

【請求項4】

前記ゲート電極の端部は、平面視で前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型エピタキシャル層上に位置することを特徴とする請求項３に記載の炭化珪素半導体装置。

【請求項5】

前記ゲート電極の端部は、平面視で前記第一導電型の第二半導体領域上に位置することを特徴とする請求項３に記載の炭化珪素半導体装置。

【請求項6】

前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型エピタキシャル層と、前記第一導電型の第二半導体領域との間に、不純物濃度が前記第一導電型エピタキシャル層より高く前記第一導電型の第二半導体領域より低い第一導電型の第三半導体領域が形成されており、
前記ゲート電極の端部は、平面視で前記第一導電型の第三半導体領域上に位置することを特徴とする請求項３に記載の炭化珪素半導体装置。

【請求項7】

第一導電型エピタキシャル層と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面に形成され、前記第一導電型エピタキシャル層よりも不純物濃度が高い第一導電型の第一半導体領域と、
前記第一導電型の第一半導体領域よりも深い位置に形成された第二導電型ボディ領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第一導電型の第一半導体領域を貫通して前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が低い第二導電型チャネル領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に向けて形成され、前記第一導電型の第一半導体領域よりも不純物濃度が高い第一導電型の第二半導体領域と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第一導電型の第一半導体領域を貫通して前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が高い第二導電型ボディコンタクト領域と、
少なくとも前記第二導電型チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極とを備え、
前記第二導電型チャネル領域及び前記第一導電型の第二半導体領域は、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に前記第一導電型の第一半導体領域が残存し、かつ、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第一半導体領域との境界面のうち外周側の境界面が平面視で前記第二導電型ボディ領域の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されている炭化珪素半導体装置を製造するための炭化珪素半導体装置の製造方法であって、
前記第一導電型エピタキシャル層を備える炭化珪素半導体基板を準備する炭化珪素半導体基板準備工程と、
第二導電型不純物の最大濃度を示す深さ位置が、前記第二導電型チャネル領域の底面となる深さ位置よりも深くなるように、前記第一導電型エピタキシャル層の表面に前記第二導電型ボディ領域を形成する第二導電型ボディ領域形成工程と、
前記第二導電型ボディ領域の表面に前記第一導電型の第一半導体領域を形成する第一導電型の第一半導体領域形成工程と、
前記第一導電型の第一半導体領域内に、前記第二導電型チャネル領域、前記第一導電型の第二半導体領域及び第二導電型ボディコンタクト領域を形成する第二導電型チャネル領域等形成工程と、
前記少なくとも前記第二導電型チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極を形成するゲート電極形成工程とを含み、
前記第二導電型チャネル領域等形成工程においては、前記第二導電型チャネル領域及び前記第一導電型の第二半導体領域が、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に前記第一導電型の第一半導体領域が残存し、かつ、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第一半導体領域との境界面のうち外周側の境界面が平面視で前記第二導電型ボディ領域の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されるように、前記第二導電型チャネル領域、前記第一導電型の第二半導体領域及び第二導電型ボディコンタクト領域を形成することを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。

【請求項8】

請求項３に記載の炭化珪素半導体装置を製造するための炭化珪素半導体装置の製造方法であって、
前記第一導電型エピタキシャル層を備える炭化珪素半導体基板を準備する炭化珪素半導体基板準備工程と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面における、所定の深さ領域に前記第二導電型ボディ領域を形成する第二導電型ボディ領域形成工程と、
前記第一導電型エピタキシャル層の表面に、前記第二導電型チャネル領域、前記第一導電型の第二半導体領域及び第二導電型ボディコンタクト領域を形成する第二導電型チャネル領域等形成工程と、
前記少なくとも前記第二導電型チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極を形成するゲート電極形成工程とを含み、
前記第二導電型チャネル領域等形成工程においては、
前記第二導電型チャネル領域及び前記第一導電型の第二半導体領域が、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に前記第一導電型エピタキシャル層が残存し、かつ、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型エピタキシャル層との境界面のうち外周側の境界面が平面視で前記第二導電型ボディ領域の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されるように、前記第二導電型チャネル領域、前記第一導電型の第二半導体領域及び第二導電型ボディコンタクト領域を形成することを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、炭化珪素半導体装置及びその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

図１８は、従来の炭化珪素半導体装置７００の要部断面図である。
従来の炭化珪素半導体装置７００は、図１８に示すように、ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板７１０と、ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板７１０上に形成されたｎ⁻型エピタキシャル層７１２と、当該ｎ⁻型エピタキシャル層７１２の表面に形成されたｐ型ボディ領域７１６と、ｐ型ボディ領域７１６の表面に形成された、チャネル領域７１８と、ｎ^＋＋型ソース領域７２０及びｐ^＋＋型ボディコンタクト領域７２２と、少なくともチャネル領域７１８上にゲート絶縁膜７２４を介して形成されたゲート電極７２６とを備える。なお、図１８中、符号７２８は層間絶縁膜を示し、符号７３０はソース電極を示し、符号７３２はドレイン電極を示す。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第４５０２４０７号公報

【特許文献2】特許第４１７３６２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

シリコンを用いたパワーＭＯＳＦＥＴにおいては、二重拡散法を利用して自己整合的にチャネル領域を形成する方法が広く用いられている。炭化珪素を用いたパワーＭＯＳＦＥＴにおいても同様の方法（第一の方法）が開示されている（例えば、上記した特許文献１参照。）。しかしながら、当該第一の方法は、炭化珪素中における不純物の拡散係数が極めて小さいことから、短チャネル効果を起こさない程度に十分に長いチャネル長を有するチャネル領域を形成するために高温長時間の拡散時間を要するため、実用的ではない。

【0005】

一方、サイドウォールを利用して自己整合的にチャネル領域を形成する方法（第二の方法）も提案されている（例えば、上記した特許文献２参照。）。しかしながら、当該第二の方法では、短チャネル効果を起こさない程度に十分に長いチャネル長を有するチャネル領域を形成するためには、サイドウォールを構成する膜（例えばＳｉＯ_２膜）を厚く形成する必要があることから、サイドウォールの上面が顕著にラウンド化し、これによりチャネル長を精度良く形成するのが極めて困難であるという問題がある。

【0006】

そこで、ｐ型ボディ領域を形成した後に当該ｐ型ボディ領域にｎ^＋＋ソース領域を合わせてチャネル領域を形成する方法（第三の方法）が考えられる。しかしながら、当該第三の方法では、２回のマスク工程によりチャネル領域が形成されることから、マスク合わせ誤差によりチャネル長を精度良く画定するのが困難であるという問題がある。

【0007】

その結果、当該第三の方法においては、マスク合わせ誤差を考慮してチャネル長を長めに設定する必要が生じるため、チャネル抵抗ひいてはデバイスとしてのオン抵抗が大きくなり、また、ゲート容量も大きくなる。

【0008】

そこで、本発明は、上記した問題を解決するためになされたもので、１回のマスク工程でチャネル領域を形成可能、かつ、短チャネル効果を起こさない程度に十分に長いチャネル長を、実用的なプロセスで、かつ、精度良く画定可能な、炭化珪素半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

［１］本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置は、第一導電型エピタキシャル層と、前記第一導電型エピタキシャル層の表面に形成され、前記第一導電型エピタキシャル層よりも不純物濃度が高い第一導電型の第一半導体領域と、前記第一導電型の第一半導体領域よりも深い位置に形成された第二導電型ボディ領域と、前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第一導電型の第一半導体領域を貫通して前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が低い第二導電型チャネル領域と、前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に向けて形成され、前記第一導電型の第一半導体領域よりも不純物濃度が高い第一導電型の第二半導体領域と、前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第一導電型の第一半導体領域を貫通して前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が高い第二導電型ボディコンタクト領域と、少なくとも前記第二導電型チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極とを備え、前記第二導電型チャネル領域及び前記第一導電型の第二半導体領域は、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に前記第一導電型の第一半導体領域が残存し、かつ、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第一半導体領域との境界面のうち外周側の境界面が平面視で前記第二導電型ボディ領域の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されていることを特徴とする。

【0010】

なお、本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置において、前記第二導電型チャネル領域は、前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第一導電型の第一半導体領域を貫通して前記第二導電型ボディ領域に達する領域に位置し、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が低い第二導電型チャネル領域と言うこともできる。また、前記第二導電型ボディコンタクト領域は、前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第一導電型の第一半導体領域を貫通して前記第二導電型ボディ領域に達する領域に位置し、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が高い第二導電型ボディコンタクト領域と言うこともできる。

【0011】

［２］本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置においては、前記ゲート電極の端部は、平面視で前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型の第一半導体領域上に位置することが好ましい。

【0012】

［３］本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置においては、前記ゲート電極の端部は、平面視で前記第一導電型の第二半導体領域上に位置することが好ましい。

【0013】

［４］本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置においては、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型の第一半導体領域と、前記第一導電型の第二半導体領域との間に、不純物濃度が前記第一導電型の第一半導体領域より高く前記第一導電型の第二半導体領域より低い第一導電型の第三半導体領域が形成されており、前記ゲート電極の端部は、平面視で前記第一導電型の第三半導体領域上に位置することが好ましい。

【0014】

［５］本発明の第二の態様に係る炭化珪素半導体装置は、第一導電型エピタキシャル層と、前記第一導電型エピタキシャル層の表面側における所定の深さ位置に形成された第二導電型ボディ領域と、前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が低い第二導電型チャネル領域と、前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に向けて形成され、前記第一導電型エピタキシャル層よりも不純物濃度が高い第一導電型の第二半導体領域と、前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に達するように形成され、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が高い第二導電型ボディコンタクト領域と、少なくとも前記第二導電型チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極とを備え、前記第二導電型チャネル領域及び前記第一導電型の第二半導体領域は、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に前記第一導電型エピタキシャル層が残存し、かつ、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型エピタキシャル層との境界面のうち外周側の境界面が平面視で前記第二導電型ボディ領域の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されていることを特徴とする。

【0015】

なお、本発明の第二の態様に係る炭化珪素半導体装置において、前記第二導電型チャネル領域は、前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に達する領域に位置し、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が低い第二導電型チャネル領域と言うこともできる。また、前記第二導電型ボディコンタクト領域は、前記第一導電型エピタキシャル層の表面側から前記第二導電型ボディ領域に達する領域に位置し、前記第二導電型ボディ領域よりも不純物濃度が高い第二導電型ボディコンタクト領域と言うこともできる。

【0016】

［６］本発明の第二の態様に係る炭化珪素半導体装置においては、前記ゲート電極の端部は、平面視で前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型エピタキシャル層上に位置することが好ましい。

【0017】

［７］本発明の第二の態様に係る炭化珪素半導体装置においては、前記ゲート電極の端部は、平面視で前記第一導電型の第二半導体領域上に位置することが好ましい。

【0018】

［８］本発明の第二の態様に係る炭化珪素半導体装置においては、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型エピタキシャル層と、前記第一導電型の第二半導体領域との間に、不純物濃度が前記第一導電型エピタキシャル層より高く前記第一導電型の第二半導体領域より低い第一導電型の第三半導体領域が形成されており、前記ゲート電極の端部は、平面視で前記第一導電型の第三半導体領域上に位置することが好ましい。

【0019】

［９］本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置の製造方法は、上記した本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置を製造するための炭化珪素半導体装置の製造方法であって、前記第一導電型エピタキシャル層を備える炭化珪素半導体基板を準備する炭化珪素半導体基板準備工程と、第二導電型不純物の最大濃度を示す深さ位置が、前記第二導電型チャネル領域の底面となる深さ位置よりも深くなるように、前記第一導電型エピタキシャル層の表面に前記第二導電型ボディ領域を形成する第二導電型ボディ領域形成工程と、前記第二導電型ボディ領域の表面に前記第一導電型の第一半導体領域を形成する第一導電型の第一半導体領域形成工程と、前記第一導電型の第一半導体領域内に、前記第二導電型チャネル領域、前記第一導電型の第二半導体領域及び第二導電型ボディコンタクト領域を形成する第二導電型チャネル領域等形成工程と、前記少なくとも前記第二導電型チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極を形成するゲート電極形成工程とを含み、前記第二導電型チャネル領域等形成工程においては、前記第二導電型チャネル領域及び前記第一導電型の第二半導体領域が、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に前記第一導電型の第一半導体領域が残存し、かつ、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第一半導体領域との境界面のうち外周側の境界面が平面視で前記第二導電型ボディ領域の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されるように、前記第二導電型チャネル領域、前記第一導電型の第二半導体領域及び第二導電型ボディコンタクト領域を形成することを特徴とする。

【0020】

なお、本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置の製造方法において、前記ゲート電極形成工程においては、前記ゲート電極の端部が、平面視で前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型の第一半導体領域上に位置するように前記ゲート電極を形成することが好ましい。

【0021】

また、本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置の製造方法において、前記ゲート電極形成工程においては、前記ゲート電極の端部が、平面視で前記第一導電型の第二半導体領域上に位置するように前記ゲート電極を形成することが好ましい。

【0022】

また、本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置の製造方法において、前記第二導電型チャネル領域等形成工程においては、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型の第一半導体領域と、前記第一導電型の第二半導体領域との間に、不純物濃度が前記第一導電型の第一半導体領域より高く前記第一導電型の第二半導体領域より低い第一導電型の第三半導体領域を形成するとともに、前記ゲート電極形成工程においては、前記ゲート電極の端部が、平面視で前記第一導電型の第三半導体領域上に位置するように前記ゲート電極を形成することが好ましい。

【0023】

［１０］本発明の第二の態様に係る炭化珪素半導体装置の製造方法は、上記した本発明の第二の態様に係る炭化珪素半導体装置を製造するための炭化珪素半導体装置の製造方法であって、前記第一導電型エピタキシャル層を備える炭化珪素半導体基板を準備する炭化珪素半導体基板準備工程と、前記第一導電型エピタキシャル層の表面における、所定の深さ領域に前記第二導電型ボディ領域を形成する第二導電型ボディ領域形成工程と、前記第一導電型エピタキシャル層の表面に、前記第二導電型チャネル領域、前記第一導電型の第二半導体領域及び第二導電型ボディコンタクト領域を形成する第二導電型チャネル領域等形成工程と、前記少なくとも前記第二導電型チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極を形成するゲート電極形成工程とを含み、前記第二導電型チャネル領域等形成工程においては、前記第二導電型チャネル領域及び前記第一導電型の第二半導体領域が、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に前記第一導電型エピタキシャル層が残存し、かつ、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型エピタキシャル層との境界面のうち外周側の境界面が平面視で前記第二導電型ボディ領域の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されるように、前記第二導電型チャネル領域、前記第一導電型の第二半導体領域及び第二導電型ボディコンタクト領域を形成することを特徴とする。

【0024】

なお、本発明の第二の態様に係る炭化珪素半導体装置の製造方法において、前記ゲート電極形成工程においては、前記ゲート電極の端部が、平面視で前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型エピタキシャル層上に位置するように前記ゲート電極を形成することが好ましい。

【0025】

また、本発明の第二の態様に係る炭化珪素半導体装置の製造方法において、前記ゲート電極形成工程においては、前記ゲート電極の端部が、平面視で前記第一導電型の第二半導体領域上に位置するように前記ゲート電極を形成することが好ましい。

【0026】

また、本発明の第二の態様に係る炭化珪素半導体装置の製造方法において、前記第二導電型チャネル領域等形成工程においては、前記第二導電型チャネル領域と前記第一導電型の第二半導体領域との間に残存する前記第一導電型エピタキシャル層と、前記第一導電型の第二半導体領域との間に、不純物濃度が前記第一導電型エピタキシャル層より高く前記第一導電型の第二半導体領域より低い第一導電型の第三半導体領域を形成するとともに、前記ゲート電極形成工程においては、前記ゲート電極の端部が、平面視で前記第一導電型の第三半導体領域上に位置するように前記ゲート電極を形成することが好ましい。

【発明の効果】

【0027】

本発明の炭化珪素半導体装置及びその製造方法によれば、上記第三の方法と異なり、チャネル領域を１回のマスク工程で形成することが可能となることから、マスク合わせ誤差によりチャネル長を精度良く画定するのが困難であるという問題がなくなる。また、本発明の炭化珪素半導体装置及びその製造方法によれば、上記した第一の方法や第二の方法のように二重拡散法やサイドウォールを利用することなく所定のチャネル長を画定できることから、短チャネル効果を起こさない程度に十分に長いチャネル長を、実用的なプロセスで、かつ、精度良く画定することが可能となる。

【0028】

なお、特開２００７−１３０５８号公報には、第一導電型の第一半導体領域（ｎ型蓄積チャネル層８２４）を貫通して第二導電型ボディ領域（ｐ型ボディ層８３２）に達するように形成された第二導電型チャネル領域（ｐ型層８２７）を備える炭化珪素半導体装置（ＭＯＳＦＥＴ８００）が記載されている（図１９参照。）。しかしながら、当該炭化珪素半導体装置８００においては、ｐ型層８２７の底面がｎ⁻型ドリフト層８３４に露出していることから、ｐ型層８２７とｎ⁻型ドリフト層８３４との境界面のうちｐ型層８２７の底面部分の境界面からｐ型層８２７の表面に向かって空乏層が延びてくるため、トランジスタのしきい値が変動したりパンチスルーが生じたりするという問題が起こり易くなる。

【0029】

これに対して、本発明の炭化珪素半導体装置によれば、第二導電型チャネル領域と第一導電型の第一半導体領域との境界面のうち外周側の境界面が平面視で第二導電型ボディ領域の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されていることことから、第二導電型チャネル領域の底面はすべて第二導電型ボディ領域に覆われることとなる。このため、第二導電型チャネル領域の底面から第二導電型チャネル領域の表面に空乏層が延びることがなくなり、トランジスタのしきい値が変動したりパンチスルーが生じたりするという問題が起こり難くなる。

【0030】

また、特開２０１４−２９９５２号公報には、第一導電型の第一半導体領域（第１領域９１１）を貫通して第二導電型ボディ領域（ベース領域９２０）に達するように形成された第二導電型チャネル領域（ベース領域９２０と第１領域９１１とが重なる領域９９１）を備える炭化珪素半導体装置（ＭＯＳＦＥＴ９００）が記載されている（図２０参照。）。しかしながら、当該炭化珪素半導体装置９００においては、特開２０１４−２９９５２号公報の図４及び図５からも分かるように、２回のマスク工程により領域９９１を形成していることから、マスク合わせ誤差によりチャネル長を精度良く画定するのが困難であるという問題を解決することはできない。

【図面の簡単な説明】

【0031】

【図1】実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００を説明するために示す図である。図１（ａ）は炭化珪素半導体装置１００の要部断面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１−Ａ１’断面図であり、図１（ｃ）は図１（ａ）のＡ２−Ａ２’断面図である。

【図2】実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を説明するために示す図である。図２（ａ）は実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を示す要部断面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ３−Ａ３’に沿った不純物濃度プロファイルを示す図である。

【図3】実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を説明するために示す図である。図３（ａ）は実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を示す要部断面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ３−Ａ３’に沿った不純物濃度プロファイルを示す図である。

【図4】実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を説明するために示す図である。図４（ａ）は実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を示す要部断面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ３−Ａ３’に沿った不純物濃度プロファイルを示す図である。

【図5】実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を説明するために示す図である。図５（ａ）は実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を示す要部断面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ３−Ａ３’に沿った不純物濃度プロファイルを示す図である。

【図6】実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を示す要部断面図である。

【図7】実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を示す要部断面図である。

【図8】実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を示す要部断面図である。

【図9】実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の製造工程を示す要部断面図である。

【図10】実施形態２に係る炭化珪素半導体装置１０２の要部断面図である。

【図11】実施形態３に係る炭化珪素半導体装置１０４の要部断面図である。

【図12】実施形態４に係る炭化珪素半導体装置１０６の要部断面図である。

【図13】実施形態４に係る炭化珪素半導体装置１０６の製造工程を示す要部断面図である。

【図14】実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８を説明するために示す図である。図１４（ａ）は炭化珪素半導体装置１０８の要部断面図であり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＡ１−Ａ１’断面図であり、図１４（ｃ）は図１４（ａ）のＡ２−Ａ２’断面図である。

【図15】実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８の製造工程を説明するために示す図である。図１５（ａ）は実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８の製造工程を示す要部断面図であり、図１５（ｂ）は図１５（ａ）のＡ３−Ａ３’に沿った不純物濃度プロファイルを示す図である。

【図16】実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８の製造工程を説明するために示す図である。図１６（ａ）は実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８の製造工程を示す要部断面図であり、図１６（ｂ）は図１６（ａ）のＡ３−Ａ３’に沿った不純物濃度プロファイルを示す図である。

【図17】実施形態６に係る炭化珪素半導体装置２００の要部断面図である。

【図18】従来の炭化珪素半導体装置７００の要部断面図である。

【図19】特開２００７−１３０５８号公報に記載された炭化珪素半導体装置８００の要部断面図である。図１９中、符号８００はＭＯＳＦＥＴを示し、符号８２０はソース電極を示し、符号８２２はｎ^＋型ソース層を示し、符号８２４はｎ型蓄積チャネル層を示し、符号８２６はゲ−ト酸化膜を示し、符号８２７はｐ型層を示し、符号８２８はゲート電極を示し、符号８３２はｐ型ボディ層を示し、符号８３４はｎ⁻型ドリフト層を示し、符号８３６はｎ^＋型ドレイン層を示し、符号８３８はドレイン電極を示す。

【図20】特開２０１４−２９９５２号公報に記載された炭化珪素半導体装置９００の要部断面図である。図２０中、符号９００はトランジスタを示し、符号９０１は構造体を示し、符号９０１ａは上面を示し、符号９１０はドリフト領域を示し、符号９１１は第１領域を示し、符号９１２は第２領域を示し、符号９１５は基板を示し、符号９１５ａは第１面を示し、符号９１５ｂは第２面を示し、符号９２０はベース領域を示し、符号９２０ｂは下端を示し、符号９３０はソース領域を示し、符号９４０はゲート絶縁膜を示し、符号９５０はゲート電極を示し、符号９５１はソース電極を示し、符号９５２はドレイン電極を示し、符号９５５はコンタクトを示し、符号９８０は層間絶縁膜を示す。

【発明を実施するための形態】

【0032】

以下、本発明の炭化珪素半導体装置及びその製造方法について、図に示す実施形態に基づいて説明する。

【0033】

［実施形態１］
１．実施形態１に係る炭化珪素半導体装置
実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００は、本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置である。実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００は、パワーＭＯＳＦＥＴである。

【0034】

なお、以下の実施形態では、ｎ型においてはｎ⁻，ｎ，ｎ^＋，ｎ^＋＋の順に、ｐ型においてはｐ⁻，ｐ，ｐ^＋＋の順に、それぞれ当該導電型の不純物濃度が高くなっていることを示す。これらは、不純物濃度の相対的な大小の概略を示すものであり、例えばｎ^＋型の領域は、ｎ⁻型の領域及びｎ型の領域よりも高く、かつ、ｎ^＋＋型の領域よりも低い不純物濃度を有するが、必ずしも特定の同じ不純物濃度を有するとは限らない。

【0035】

実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００は、図１に示すように、ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板１１０と、ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板１１０の第一主面側の表面に形成されたｎ⁻型エピタキシャル層１１２と、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面に形成されたｎ型半導体領域１１４と、ｎ型半導体領域１１４よりも深い位置に形成されたｐ型ボディ領域１１６と、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面側からｎ型半導体領域１１４を貫通してｐ型ボディ領域１１６に達するように形成されたｐ⁻型チャネル領域１１８と、ｎ⁻型エピタキシャル層の表面側からｐ型ボディ領域に向けて形成されたｎ^＋＋型ソース領域１２０と、ｎ⁻型エピタキシャル層の表面側からｎ型半導体領域１１４を貫通してｐ型ボディ領域１１６に達するように形成されたｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２と、少なくともｐ⁻型チャネル領域１１８上にゲート絶縁膜１２４を介して形成されたゲート電極１２６とを備える。そして、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００においては、ｐ⁻型チャネル領域１１８及びｎ^＋＋型ソース領域１２０は、ｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ^＋＋型ソース領域１２０との間にｎ型半導体領域１１４が残存し、かつ、ｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ型半導体領域１１４との境界面のうち外周側の境界面が平面視でｐ型ボディ領域１１６の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されている。

【0036】

ここで、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２が本発明の第一導電型エピタキシャル層に相当し、ｎ型半導体領域１１４が本発明の第一導電型の第一半導体領域に相当し、ｐ型ボディ領域１１６が本発明の第二導電型ボディ領域に相当し、ｐ⁻型チャネル領域１１８が本発明の第二導電型チャネル領域に相当し、ｎ^＋＋型ソース領域が本発明の第一導電型の第二半導体領域に相当し、ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２が第二導電型ボディコンタクト領域に相当する。

【0037】

なお、図１ではｎ型半導体領域１１４、ｐ⁻型チャネル領域１１８、ｎ^＋＋型ソース領域１２０、ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２がすべて同じ深さに描かれているが、必ずしもこの通りである必要はなく、それぞれ異なった深さであってもよい。

【0038】

実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００においては、ゲート電極１２６の端部は、平面視でｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ^＋＋型ソース領域１２０との間に残存するｎ型半導体領域１１４上に位置する。

【0039】

実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００においては、平面視でｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ型半導体領域１１４との境界面のうち外周側の境界面と、ｐ型ボディ領域１１６の外周面との間隔ａは、例えば０．１μｍ≦ａ≦０．５μｍの関係を満たす。

【0040】

間隔ａが狭すぎると、製造誤差によって、平面視でｐ−型チャネル領域１１８の底面がｎ型半導体領域１１４またはｎ⁻型エピタキシャル層１１２と接するものが生じることがあり、その結果、トランジスタのしきい値が変動したりパンチスルーが生じたりするおそれがある。一方、間隔ａが広すぎると、図１の左右方向の単位長さあたりに作製できるチャネルの数が減ることになるので、オン抵抗が増大する。

【0041】

なお、図１中、符号１２８は層間絶縁膜を示し、符号１３０はソース電極を示し、符号１３２はドレイン電極を示す。また、本明細書において、ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板１１０とｎ⁻型エピタキシャル層１１２とのうちｎ⁻型エピタキシャル層１１２が形成されている側の主面を第一主面といい、当該第一主面とは反対側の主面を第二主面という。

【0042】

ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板１１０は、例えば、不純物として窒素が１〜１０×１０^１８ｃｍ^−３程度ドープされたｎ^＋型の半導体である低抵抗炭化珪素基板である。炭化珪素（ＳｉＣ）は、周知の通り、Ｃ原子およびＳｉ原子の配列によって、２Ｈ，３Ｃ，４Ｈ，６Ｈ，８Ｈ，１０Ｈ，１５Ｒ等の結晶構造の異なる種類が存在するが、いずれの結晶構造の炭化珪素であってもｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板１１０として用いることができる。

【0043】

ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の厚さは、例えば５〜１５μｍ程度である。ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の不純物濃度は、例えば０．５〜１．５×１０^１６ｃｍ^−３程度である。

【0044】

ｎ型半導体領域１１４の深さは、例えば０．４〜０．８μｍ程度である。ｎ型半導体領域１１４の不純物濃度は、例えば２〜３×１０^１６ｃｍ^−３程度である。ｎ型半導体領域１１４は、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の第一主面側の表面からｎ型不純物イオン（例えばＮイオン）を注入することにより形成する。

【0045】

ｐ型ボディ領域１１６の最浅部の深さは、例えば０．０５〜０．５μｍ程度であり、ｐ型ボディ領域１１６の最深部の深さは、例えば１．０〜２．０μｍ程度である。ｐ型ボディ領域１１６においては最も不純物濃度の高い深さ位置は、例えば０．６〜０．９μｍの深さ位置であり、その部分の不純物濃度は、例えば２×１０^１７〜１×１０^１９ｃｍ^−３程度である。ｐ型ボディ領域１１６は、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の第一主面側の表面からｐ型不純物イオン（例えばＡｌイオン）を注入することにより形成する。

【0046】

ｐ⁻型チャネル領域１１８の深さは、例えば０．２〜０．５μｍ程度（ｐ型ボディ領域１１６に到達しない深さを除く。）である。ｐ⁻型チャネル領域１１８の不純物濃度は、例えば０．５〜５×１０^１７ｃｍ^−３程度である。ｐ⁻型チャネル領域１１８は、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の第一主面側の表面からｐ型不純物イオン（例えばＡｌイオン）を注入することにより形成する。

【0047】

ｎ^＋＋型ソース領域１２０の深さは、例えば０．２〜０．６μｍ程度である。ｎ^＋＋型ソース領域１２０の不純物濃度は、例えば１〜５０×１０^１９ｃｍ^−３程度である。ｎ^＋＋型ソース領域１２０は、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の第一主面側の表面からｎ型不純物イオン（例えばＰイオン）を注入することにより形成する。

【0048】

ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２の深さは、例えば０．２〜０．６μｍ程度（ｐ型ボディ領域１１６に到達しない深さを除く。）である。ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２の不純物濃度は、例えば１〜５０×１０^１９ｃｍ^−３程度である。ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２は、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の第一主面側の表面からｐ型不純物イオン（例えばＡｌイオン）を注入することにより形成する。

【0049】

実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００においては、ｐ⁻型チャネル領域１１８の紙面の横方向に沿った長さ（チャネル長）は、例えば０．５〜１．０μｍ程度である。また、ｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ^＋＋型ソース領域１２０の間隔は、例えば０．１〜０．３μｍ程度である。

【0050】

２．実施形態１に係る炭化珪素半導体装置の製造方法
実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００は、以下に示す製造方法（実施形態１に係る炭化珪素半導体装置の製造方法）により製造することができる。

【0051】

以下、図２〜図９を用いて、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置の製造方法を工程に沿って説明する。なお、図２（ｂ）、図３（ｂ）、図４（ｂ）及び図５（ｂ）中、横軸方向は第一主面を基準とした深さを示しており、符号ｄ_０は第一主面における深さを示し、符号ｄ_１はｎ型半導体領域１１４の底部の深さを示し、符号ｄ_２はｐ型ボディ領域１１６の底部の深さを示し、符号ｄ_３はｎ⁻型エピタキシャル層１１２とｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板１１０との境界面の深さを示し、符号ｄ_４は第二主面における深さを示す。

【0052】

１．炭化珪素半導体基板準備工程
まず、ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板１１０と、ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板１１０の第一主面側の表面に形成されたｎ⁻型エピタキシャル層１１２とを備える炭化珪素半導体基板を準備する（図２参照。）。

【0053】

２．ｐ型ボディ領域形成工程
次に、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面に所定のマスクＭ１を形成した後、当該マスクＭ１を介してＡｌイオンを注入することによりｐ型ボディ領域１１６を形成する（図３（ａ）参照。）。このとき、ｐ型不純物の最大濃度を示す深さ位置が、ｐ⁻型チャネル領域１１８の底面となる深さ位置よりも深くなるように（具体的には例えば０．６〜０．９μｍの深さ位置に）、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面にｐ型ボディ領域１１６を形成する（図３（ｂ）参照。）。

【0054】

３．ｎ型半導体領域形成工程
次に、マスクＭ１を除去した後、ｎ型不純物イオンを注入することにより、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面にｎ型半導体領域１１４を形成する（図４（ａ）参照。）。このとき、ｎ型半導体領域１１４においてｎ型不純物の濃度がｐ型不純物の濃度よりも高くなる条件でイオン注入を行う（図４（ｂ）参照。）。ｎ型半導体領域１１４は、炭化珪素半導体装置１００における能動領域の全域に形成する。

【0055】

４．ｐ⁻型チャネル領域等形成工程
次に、ｎ型半導体領域１１４内に、ｐ⁻型チャネル領域１１８を形成するｐ⁻型チャネル領域形成工程（図５参照。）と、ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２を形成するｐ^＋＋型ボディコンタクト領域形成工程（図６参照。）と、ｎ^＋＋型ソース領域１２０を形成するｎ^＋＋型半導体領域形成工程（図７参照。）を順次実施する。

【0056】

（１）ｐ⁻型チャネル領域形成工程
まず、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面に所定のマスクＭ２を形成した後、当該マスクＭ２を介してｐ型不純物イオン（例えばＡｌイオン）を注入することにより、ｎ型半導体領域１１４内にｐ⁻型チャネル領域１１８を形成する（図５（ａ）参照。）。このとき、ｐ⁻型チャネル領域１１８は、ｎ型半導体領域１１４を貫通してｐ型ボディ領域１１６に達するようにｎ型半導体領域１１４内に形成する（図５（ｂ）参照。）。また、ｐ⁻型チャネル領域１１８は、ｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ型半導体領域１１４との境界面のうち外周側の境界面が平面視でｐ型ボディ領域１１６の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成する。

【0057】

（２）ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域形成工程
次に、マスクＭ２を除去した後、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面に所定のマスクＭ３を形成した後、当該マスクＭ３を介してｐ型不純物イオン（例えばＡｌイオン）を注入することにより、ｎ型半導体領域１１４内に、ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２を形成する（図６参照。）。このとき、ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２は、ｎ型半導体領域１１４を貫通してｐ型ボディ領域１１６に達するようにｎ型半導体領域１１４内に形成する。

【0058】

（３）ｎ^＋＋型半導体領域形成工程
次に、マスクＭ３を除去した後、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面に所定のマスクＭ４を形成した後、当該マスクＭ４を介してｎ型不純物イオンを注入することにより、ｎ型半導体領域１１４内に、ｎ^＋＋型ソース領域１２０を形成する（図７参照。）。このとき、ｎ^＋＋型ソース領域１２０は、ｎ型半導体領域１１４を貫通してｐ型ボディ領域１１６に達するようにｎ型半導体領域１１４内に形成する。また、ｎ^＋＋型ソース領域１２０は、ｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ^＋＋型ソース領域１２０との間にｎ型半導体領域１１４が残存するような平面位置に形成する。なお、ｎ^＋＋型ソース領域１２０は、ｐ型ボディ領域１１６に達しないように形成してもよい。

【0059】

５．ゲート電極形成工程
次に、マスクＭ４を除去し、活性化アニールを行った後、少なくともｐ⁻型チャネル領域１１８上にゲート絶縁膜１２４を介してゲート電極１２６を形成する（図８参照。）。

【0060】

６．ソース電極及びドレイン電極形成工程
次に、ゲート電極１２６を覆うとともに、ｎ^＋＋型ソース領域１２０とｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２のそれぞれについて少なくとも一部が露出するように、層間絶縁膜１２８を形成し（図９参照。）、その後、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２及び層間絶縁膜１２８を覆うとともに、ｎ^＋＋型ソース領域１２０及びｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２にオーミック接触するソース電極１３０を形成する。さらに、ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板１１０の表面（裏面）にオーミック接触するドレイン電極１３２を形成する（図１参照。）。

【0061】

以上の工程を実施することにより、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００を製造することができる。

【0062】

なお、ｐ型ボディ領域形成工程、ｎ型半導体領域形成工程、ｐ⁻型チャネル領域等形成工程は、必ずしも上記した順序で行う必要はないが、注入されたイオン同士が干渉する可能性がある場合には、上記した順序とするのが、設計が容易である。また、ｐ⁻型チャネル領域等形成工程に含まれるｐ⁻型チャネル領域形成工程、ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域形成工程、ｎ^＋＋型半導体領域形成工程についても、必ずしも上記した順序で行う必要はない。

【0063】

３．実施形態１に係る炭化珪素半導体装置及びその製造方法の効果
実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００及びその製造方法によれば、上記した従来の第三の方法と異なり、チャネル領域を１回のマスク工程で形成することが可能となることから、マスク合わせ誤差によりチャネル長を精度良く画定するのが困難であるという問題がなくなる。また、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００及びその製造方法によれば、上記した第一の方法や第二の方法のように二重拡散法やサイドウォールを利用することなく所定のチャネル長を画定できることから、短チャネル効果を起こさない程度に十分に長いチャネル長を、実用的なプロセスで、かつ、精度良く画定することが可能となる。

【0064】

また、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００及びその製造方法によれば、ｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ型第一半導体領域１１４との境界面のうち外周側の境界面が平面視でｐ型ボディ領域１１６の外周面１１６ａよりも内側に位置するような平面位置に形成されていることことから、ｐ⁻型チャネル領域１１８の底面はすべてｐ型ボディ領域１１６に覆われることとなる。このため、ｐ⁻型チャネル領域１１８の底面からｐ⁻型チャネル領域１１８の表面に向かって空乏層が延びることがなくなり、トランジスタのしきい値が変動したりパンチスルーが生じたりするという問題が起こり難くなる。

【0065】

また、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００及びその製造方法によれば、ｐ⁻型チャネル領域１１８及びｎ^＋＋型ソース領域１２０は、ｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ^＋＋型ソース領域１２０との間にｎ型半導体領域１１４が残存するような平面位置に形成されていることから、ｐ⁻型チャネル領域形成工程においてｐ型不純物イオンを注入した部分が確実にｐ⁻型チャネル領域１１８となり、チャネル領域を１回のマスク工程で形成することが可能となる。

【0066】

また、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００及びその製造方法によれば、ゲート電極１２６の端部が、平面的に見て、ｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ^＋＋型ソース領域１２０との間に残存するｎ型半導体領域１１４上に位置することから、仮にゲート電極１２６を形成する際にゲート電極１２６の端部に若干の位置ずれが生じたとしても、ゲート電極が確実にチャネル領域を覆うようになる。このため、チャネル長は常に一定の値に維持されるようになり、所望のチャネル長を精度良く画定することができる。

【0067】

また、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００及びその製造方法によれば、ゲート電極１２６直下のＪＦＥＴ領域にｎ型不純物が導入されて低抵抗化されていることから、オン抵抗を低減できるという効果もある。

【0068】

なお、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００においては、「ｎ^＋＋型ソース領域１２０」と「ｎ^＋＋型ソース領域１２０とｐ⁻型チャネル領域１１８との間に残存するｎ型半導体領域１１４」とがパワーＭＯＳＦＥＴのソース領域を構成することとなる。

【0069】

［実施形態２］
実施形態２に係る炭化珪素半導体装置１０２は、本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置である。実施形態２に係る炭化珪素半導体装置１０２は、パワーＭＯＳＦＥＴである。

【0070】

実施形態２に係る炭化珪素半導体装置１０２は、基本的には実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００と同様の構成を有するが、ゲート電極の端部の平面位置が実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と異なる。すなわち、実施形態２に係る炭化珪素半導体装置１０２においては、図１０に示すように、ゲート電極１２６の端部が平面的に見てｎ^＋＋型ソース領域１２０上に位置する。

【0071】

このように、実施形態２に係る炭化珪素半導体装置１０２は、ゲート電極の端部の平面位置が実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と異なるが、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と同様に構成されたｐ⁻型チャネル領域１１８を有することから、短チャネル効果を起こさない程度に十分に長いチャネル長を、実用的なプロセスで、かつ、精度良く画定することが可能となる。また、トランジスタのしきい値が変動したりパンチスルーが生じたりするという問題が起こり難くなる。

【0072】

また、実施形態２に係る炭化珪素半導体装置１０２によれば、ゲート電極１２６の端部が平面的に見てｎ^＋＋型ソース領域１２０上に位置することから、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と同様に、仮にゲート電極１２６を形成する際にゲート電極１２６の端部に若干の位置ずれが生じたとしても、ゲート電極が確実にチャネル領域を覆うようになる。このため、チャネル長は常に一定の値に維持されるようになり、所望のチャネル長を精度良く画定することができる。

【0073】

また、実施形態２に係る炭化珪素半導体装置１０２によれば、ゲート電極１２６の端部が平面的に見てｎ^＋＋型ソース領域１２０上に位置することから、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合よりもｐ⁻型チャネル領域１１８の表面全域にわたって確実にチャネルを形成でき、また、ｎ型半導体領域１１４の表面が蓄積状態になり抵抗が小さくなることから、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合よりもオン抵抗が小さくなる。

【0074】

なお、半導体装置が炭化珪素半導体装置である場合は、ｎ型半導体領域１１４の表面が蓄積状態になったとしても、なおもｎ^＋＋型ソース領域１２０の方が低抵抗であることが一般的であるから、製造誤差が生じたとしてもｎ^＋＋型ソース領域１２０とｐ⁻型チャネル領域１１８との間に確実にｎ型半導体領域１１４が残存するようにしつつ、ｎ^＋＋型ソース領域１２０とｐ⁻型チャネル領域１１８をなるべく近づけるようにすることが望ましい。これにより、より一層オン抵抗が小さくなる。

【0075】

実施形態２に係る炭化珪素半導体装置１０２は、ゲート電極の端部の平面位置以外の点においては実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と同様の構成を有するため、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００が有する効果のうち該当する効果を有する。

【0076】

［実施形態３］
実施形態３に係る炭化珪素半導体装置１０４は、本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置である。実施形態３に係る炭化珪素半導体装置１０４は、パワーＭＯＳＦＥＴである。

【0077】

実施形態３に係る炭化珪素半導体装置１０４は、基本的には実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００と同様の構成を有するが、ゲート電極の端部の平面位置が実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と異なる。すなわち、実施形態３に係る炭化珪素半導体装置１０４においては、図１１に示すように、ゲート電極１２６の端部が、平面的に見て、ｎ^＋＋型ソース領域１２０とｎ型半導体領域１１４との間に形成されたｎ^＋型半導体領域１３４上に位置する。なお、実施形態３において、ｎ^＋型半導体領域１３４が本発明の第一導電型の第三半導体領域に相当する。

【0078】

ｎ^＋型半導体領域１３４の深さは、例えば０．２〜０．６μｍ程度である。ｎ^＋型半導体領域１３４の不純物濃度は、例えば０．５〜１０×１０^１８ｃｍ^−３程度である。ｎ^＋型半導体領域１３４は、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の第一主面側の表面からｎ型不純物イオン（例えばＮイオン）を注入することにより形成する。

【0079】

このように、実施形態３に係る炭化珪素半導体装置１０４は、ゲート電極の端部の平面位置が実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と異なるが、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と同様に構成されたｐ⁻型チャネル領域１１８を有することから、短チャネル効果を起こさない程度に十分に長いチャネル長を、実用的なプロセスで、かつ、精度良く画定することが可能となる。また、トランジスタのしきい値が変動したりパンチスルーが生じたりするという問題が起こり難くなる。

【0080】

また、実施形態３に係る炭化珪素半導体装置１０４によれば、ゲート電極１２６の端部が、ｎ^＋＋型ソース領域１２０とｎ型半導体領域１１４との間に形成されたｎ^＋型半導体領域１３４上に位置することから、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と同様に、仮にゲート電極１２６を形成する際にゲート電極１２６の端部に位置ずれが生じたとしても、ゲート電極が確実にチャネル領域を覆うようになる。このため、チャネル長は常に一定の値に維持されるようになり、所望のチャネル長を精度良く画定することができる。

【0081】

また、実施形態３に係る炭化珪素半導体装置１０４によれば、ゲート電極１２６の端部が、ｎ^＋＋型ソース領域１２０とｎ型半導体領域１１４との間に形成されたｎ^＋型半導体領域１３４上に位置することから、実施形態２に係る炭化珪素半導体装置１０２の場合よりも、ゲート電極１２６に対向する炭化珪素半導体に含まれるイオン注入に起因する表面荒れや結晶欠陥が少なくなるので、表面荒れや結晶欠陥の影響が小さいデバイスを得ることができる。表面荒れや結晶欠陥の影響としては、例えば、ゲート耐圧や信頼性の低下がある。

【0082】

実施形態３に係る炭化珪素半導体装置１０４は、ゲート電極の端部の平面位置以外の点においては実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と同様の構成を有するため、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００が有する効果のうち該当する効果を有する。

【0083】

実施形態３に係る炭化珪素半導体装置１０４は、ゲート電極の端部の位置がｎ^＋＋型ソース領域１２０上かｎ^＋型半導体領域１３４上かの違いはあるが、実施形態２の場合と同様に、ｎ型半導体領域１１４の表面が蓄積状態になり抵抗が小さくなることから、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合よりもオン抵抗が小さくなる。

【0084】

なお、半導体装置が炭化珪素半導体装置である場合は、ｎ型半導体領域１１４の表面が蓄積状態になったとしても、なおもｎ^＋型半導体領域１３４の方が低抵抗であることが一般的であるから、製造誤差が生じたとしてもｎ^＋型半導体領域１３４とｐ⁻型チャネル領域１１８との間に確実にｎ型半導体領域１１４が残存するようにしつつ、ｎ^＋型半導体領域１３４とｐ⁻型チャネル領域１１８とをなるべく近づけるようにすることが望ましい。これにより、より一層オン抵抗が小さくなる。

【0085】

なお、実施形態３に係る炭化珪素半導体装置１０４においては、「ｎ^＋＋型ソース領域１２０」と「ｎ^＋型半導体領域１３４」と「ｎ^＋型半導体領域１３４とｐ⁻型チャネル領域１１８との間に残存するｎ型半導体領域１１４」とがパワーＭＯＳＦＥＴのソース領域を構成することとなる。

【0086】

［実施形態４］
実施形態４に係る炭化珪素半導体装置１０６は、本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置である。実施形態４に係る炭化珪素半導体装置１０６は、パワーＭＯＳＦＥＴである。実施形態４に係る炭化珪素半導体装置１０６は、図１２に示すように、基本的には実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とほぼ同様の構成を有する。

【0087】

実施形態４に係る炭化珪素半導体装置は、上記したように実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とほぼ同様の構成を有するが、図１３に示すように、実施形態４に係る炭化珪素半導体装置の製造工程（ｎ型半導体領域形成工程）においてｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２に対応する部分にｎ型不純物イオンをイオン注入しないため、製造される炭化珪素半導体装置が、ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２に対応する部分にｎ型不純物イオンがイオン注入されていない炭化珪素半導体装置である点で実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とは異なる。

【0088】

このように、実施形態４に係る炭化珪素半導体装置は、ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２に対応する部分にｎ型不純物イオンがイオン注入されていない点で実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とは異なるが、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と同様に構成されたｐ⁻型チャネル領域１１８を有することから、短チャネル効果を起こさない程度に十分に長いチャネル長を、実用的なプロセスで、かつ、精度良く実現することが可能となる。また、トランジスタのしきい値が変動したりパンチスルーが生じたりするという問題が起こり難くなる。

【0089】

また、実施形態４に係る炭化珪素半導体装置によれば、ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２に対応する部分にｎ型不純物イオンがイオン注入されていないことから、ソース電極１３０とｐ^＋＋型ボディコンタクト領域とのコンタクト抵抗をより一層低減できるという効果も得られる。

【0090】

実施形態４に係る炭化珪素半導体装置は、ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２に対応する部分にｎ型不純物イオンがイオン注入されていない点以外の点においては実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とは同様の構成を有するため、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００が有する効果のうち該当する効果を有する。

【0091】

なお、本発明においては、ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２だけでなく、隣接するｎ^＋＋型ソース領域１２０に対応する領域の一部についても、ｎ型半導体領域１１４を形成する際にｎ型不純物イオンがイオン注入されないようにしてもよい。

【0092】

［実施形態５］
実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８は、本発明の第二の態様に係る炭化珪素半導体装置である。実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８は、パワーＭＯＳＦＥＴである。実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８は、基本的には実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とほぼ同様の構成を有する。

【0093】

実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８は、上記したように、基本的には実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とほぼ同様の構成を有するが、図１４に示すように、ｎ型半導体領域を有しない点で実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とは異なる。すなわち、実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８においては、「ｎ^＋＋型ソース領域１２０とｐ⁻型チャネル領域１１８との間に残存する領域」が「ｎ型半導体領域」ではなくて「ｎ⁻型エピタキシャル層１１２」である。

【0094】

実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８は、図１４に示すように、ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板１１０と、ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板１１０の第一主面側の表面に形成されたｎ⁻型エピタキシャル層１１２と、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面側における所定の深さ位置に形成されたｐ型ボディ領域１１６と、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面側からｐ型ボディ領域１１６に達するように形成されたｐ⁻型チャネル領域１１８と、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面側からｐ型ボディ領域１１６に向けて形成されたｎ^＋＋型ソース領域１２０と、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面側からｐ型ボディ領域１１６に達するように形成されたｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２と、少なくともｐ⁻型チャネル領域１１８上にゲート絶縁膜１２４を介して形成されたゲート電極１２６とを備える。そして、ｐ⁻型チャネル領域１１８及びｎ^＋＋型ソース領域１２０は、ｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ^＋＋型ソース領域１２０との間にｎ⁻型エピタキシャル層１１２が残存し、かつ、ｐ⁻型チャネル領域１１８とｎ⁻型エピタキシャル層１１２との境界面のうち外周側の境界面が平面視でｐ型ボディ領域１１６の外周面よりも内側に位置するような平面位置に形成されている。

【0095】

実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８は、ｐ型ボディ領域形成工程において、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面における、所定の深さ領域にｐ型ボディ領域１１６を形成し（図１５参照。）、ｎ⁻型エピタキシャル層１１２の表面に、ｐ⁻型チャネル領域１１８（図１６参照。）、ｎ^＋＋型ソース領域１２０及びｐ^＋＋型ボディコンタクト領域１２２を形成すること以外は、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置の製造方法と同様の工程を実施することにより製造することができる。

【0096】

このように、実施形態５に係る炭化珪素半導体装置１０８は、ｎ型半導体領域を有しない点で実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とは異なるが、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と同様に構成されたｐ⁻型チャネル領域１１８を有することから、短チャネル効果を起こさない程度に十分に長いチャネル長を、実用的なプロセスで、かつ、精度良く画定することが可能となる。また、トランジスタのしきい値が変動したりパンチスルーが生じたりするという問題が起こり難くなる。

【0097】

また、実施形態５に係る炭化珪素半導体装置によれば、ｎ型半導体領域形成工程を省略できるという効果も得られる。

【0098】

実施形態５に係る炭化珪素半導体装置は、ｎ型半導体領域を有しない点以外の点においては実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と同様の構成を有するため、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００が有する効果のうち該当する効果を有する。

【0099】

［実施形態６］
実施形態６に係る炭化珪素半導体装置２００は、本発明の第一の態様に係る炭化珪素半導体装置である。実施形態６に係る炭化珪素半導体装置２００は、ＩＧＢＴである。図１７は、実施形態６に係る炭化珪素半導体装置２００の要部断面図である。図１７中、符号２１０はｐ^＋型低抵抗炭化珪素基板を示し、符号２１２はｎ⁻型エピタキシャル層を示し、符号２１４はｎ型半導体領域を示し、符号２１６はｐ型ボディ領域を示し、符号２１８はｐ⁻型チャネル領域を示し、符号２２０はｎ^＋＋型エミッタ領域を示し、符号２２２はｐ^＋＋型ボディコンタクト領域を示し、符号２２４はゲート絶縁層を示し、符号２２６はゲート電極を示し、符号２２８は層間絶縁層を示し、符号２３０はエミッタ電極を示し、符号２３２はコレクタ電極を示す。なお、実施形態６において、ｎ^＋＋型エミッタ領域２２０が本発明の第一導電型の第二半導体領域に相当する。

【0100】

実施形態６に係る炭化珪素半導体装置２００は、基本的には実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とほぼ同様の構成を有するが、図１７に示すように、低抵抗炭化珪素基板としてｐ^＋型低抵抗炭化珪素基板２１０を備える点で実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とは異なる。すなわち、実施形態６に係る炭化珪素半導体装置２００はＩＧＢＴである。

【0101】

このように、実施形態６に係る炭化珪素半導体装置は、低抵抗炭化珪素基板としてｐ^＋型低抵抗炭化珪素基板２１０を備え、ＩＧＢＴである点で実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００とは異なるが、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と同様に構成されたｐ⁻型チャネル領域１１８を有することから、短チャネル効果を起こさない程度に十分に長いチャネル長を、実用的なプロセスで、かつ、精度良く画定することが可能となる。また、トランジスタのしきい値が変動したりパンチスルーが生じたりするという問題が起こり難くなる。

【0102】

なお、実施形態６に係る炭化珪素半導体装置２００は、低抵抗炭化珪素基板としてｐ^＋型低抵抗炭化珪素基板２１０を備え、ＩＧＢＴである点以外の点においては実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００の場合と同様の構成を有するため、実施形態１に係る炭化珪素半導体装置１００が有する効果のうち該当する効果を有する。

【0103】

以上、本発明を上記の実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。その趣旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能である。

【0104】

（１）上記の各実施形態においては、第一導電型をｎ型、第二導電型をｐ型として本発明を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。第一導電型をｐ型、第二導電型をｎ型としてもよい。

【0105】

（２）上記の各実施形態においては、トランジスタがストライプ状に形成された炭化珪素半導体装置を例にとって本発明を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明は、トランジスタがスクエア状に形成された炭化珪素半導体装置にも適用することができる。

【符号の説明】

【0106】

１００，１０２，１０４，１０８，２００，７００…炭化珪素半導体装置、１１０，７１０…ｎ^＋型低抵抗炭化珪素基板、１１２，２１２，７１２…ｎ⁻型エピタキシャル層、１１４，２１４，７１４…ｎ型半導体領域、１１６，２１６，７１６…ｐ型ボディ領域、１１６ａ…ｐ型ボディ領域１１６の外周面、１１８，２１８，３１８…ｐ⁻型チャネル領域、１２０，７２０…ｎ^＋＋型ソース領域、１２２，２２２，７２２…ｐ^＋＋型ボディコンタクト領域、１２４，２２４，７２４…ゲート絶縁層、１２６，２２６，７２６…ゲート電極、１２８，２２８，７２８…層間絶縁層、１３０，７３０…ソース電極、１３２，７２０…ドレイン電極、１３４…ｎ^＋型半導体領域、２１０…ｐ^＋型低抵抗炭化珪素基板、２２０…ｎ^＋＋型エミッタ領域、２３０…エミッタ電極、２３２…コレクタ電極，Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６…マスク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】