特許 6191543 搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6191543

(24)【登録日】2017年8月18日

(45)【発行日】2017年9月6日

(54)【発明の名称】搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20170828BHJP

   B25J 15/08 20060101ALI20170828BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B25J15/08 K

   B25J15/08 U

【請求項の数】3

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-105738(P2014-105738)

(22)【出願日】2014年5月22日

(65)【公開番号】特開2015-222738(P2015-222738A)

(43)【公開日】2015年12月10日

【審査請求日】2016年2月18日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001298

【氏名又は名称】特許業務法人森本国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】宇佐見 誠

【審査官】 宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０５−１０４４６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６２−１６５８８４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００９−００６４６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−０７７１８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−１１８９６４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ １５／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークを収納する搬送容器を把持する容器把持手段を備え、前記容器把持手段が前記搬送容器を把持した状態で前記搬送容器を搬送する搬送装置であって、
前記容器把持手段は、
前記搬送容器を把持する把持部と、
前記把持部により把持する搬送容器を検出する容器検出部と、
を備え、
前記把持部は、
前記容器検出部による検出に基づいて前記搬送容器に対する把持動作が制御され、
前記搬送容器の角部に当接して前記搬送容器の角部をガイドするとともに、前記搬送容器における前記ワークの収納口を覆うように前記搬送容器の角部を把持することにより前記搬送容器に収納されているワークの飛び出しを防止すること
を特徴とする搬送装置。

【請求項2】

前記把持部は、前記搬送容器に対する移動方向を段階的に変化させることにより前記搬送容器を把持すること
を特徴とする請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記容器検出部は、前記搬送容器の一方の側面を検出する第１容器検出部と、前記搬送容器の他方の側面を検出する第２容器検出部と、から構成されること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体基板等のワークを収納した搬送容器を搬送する搬送装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体デバイス等の製造設備においては、半導体基板等のワークを収納した搬送容器を、設備の天井近くに設けられた走行レールに沿って走行する天井搬送車（搬送装置）により把持した状態で、複数の処理装置間を順次搬送する場合がある。

【0003】

例えば、特許文献１においては、水平移動手段に設けられ、ワーク（密閉コンテナ）を保持するワーク保持手段を昇降させて、ワーク保持手段と各処理装置との間でワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降手段を備え、クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置にワークを搬送する搬送装置が開示されている。

【0004】

特許文献１の搬送装置においては、前記ワーク保持手段を、ワーク（密閉コンテナ）の両側面へコの字状に延びるワーク保持部により構成し、このワーク保持部の両側部の下端にワークの底面を保持するハンドを対向して設けることにより、ワーク（密閉コンテナ）を保持する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００４−２５４２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１の搬送装置は、形状が同一の密閉コンテナ（搬送容器）を搬送することを目的として構成されており、形状或いは大きさの異なる搬送容器を随時搬送することはできない。そのため、特に、様々な形状或いは大きさの搬送容器を搬送しなければならない半導体デバイス製造工程の後工程においては、搬送容器の形状或いは大きさに合わせて装置構成（例えば、容器の把持手段の構成）を変更しなければならないという問題があった。

【0007】

また、半導体デバイス製造工程の後工程において使用される搬送容器には、収納されているワークの飛び出しを防止するための飛び出し防止部材（例えば、搬送容器を密閉するためのフタ等）を有するものが少ない。そのため、飛び出し防止部材を別途搬送装置に設ける必要があり、装置構成が複雑になるという問題もあった。

【0008】

そこで、本発明は、装置構成を変更することなく様々な形状或いは大きさの搬送容器の搬送が可能であるとともに、簡単な装置構成により搬送容器内のワークの飛び出しを防止可能な搬送装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の解決しようとする課題は以上であり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

【0010】

即ち、本発明のうち請求項１に記載の搬送装置は、ワークを収納する搬送容器を把持する容器把持手段を備え、前記容器把持手段が前記搬送容器を把持した状態で前記搬送容器を搬送する搬送装置であって、前記容器把持手段は、前記搬送容器を把持する把持部と、前記把持部により把持する搬送容器を検出する容器検出部と、を備え、前記把持部は、前記容器検出部による検出に基づいて前記搬送容器に対する把持動作が制御され、前記搬送容器の角部に当接して前記搬送容器の角部をガイドするとともに、前記搬送容器における前記ワークの収納口を覆うように前記搬送容器の角部を把持することにより前記搬送容器に収納されているワークの飛び出しを防止するものである。

【0011】

上記構成では、容器検出部が搬送容器を検出することにより、把持部の前記搬送容器に対する把持動作が制御されるとともに、把持部が搬送容器に収納されているワークの飛び出しを防止する。

【0013】

上記構成では、把持部が搬送容器を把持するとともに、搬送容器を把持した状態でワークの収納口を覆うことで搬送容器に収納されているワークの飛び出しを防止する。

【0014】

さらに、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の搬送装置において、前記把持部は、前記搬送容器に対する移動方向を段階的に変化させることにより前記搬送容器を把持するものである。

【0015】

上記構成では、把持部が、その搬送容器に対する移動方向を段階的に変化させながら搬送容器に接近或いは離間することで搬送容器を把持する。

【0016】

さらに、請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の搬送装置において、前記容器検出部は、前記搬送容器の一方の側面を検出する第１容器検出部と、前記搬送容器の他方の側面を検出する第２容器検出部と、から構成されるものである。

【0017】

上記構成では、２つの検出部（第１及び第２容器検出部）において、搬送容器を２方向から検出する。

【発明の効果】

【0018】

本発明の搬送装置によれば、搬送容器を把持する把持部が搬送容器を検出する容器検出部の検出に基づいて搬送容器を把持するため、搬送容器の形状或いは大きさに合わせて搬送容器を把持することができる。そのため、搬送装置（把持部）の構成を変更することなく、様々な形状或いは大きさの搬送容器を搬送することができる。

【0019】

また、本発明の搬送装置によれば、搬送容器を把持する把持部が搬送容器に収納されているワークの飛び出しを防止する飛び出し防止部材の機能を有するため、搬送装置に別途飛び出し防止部材を設ける必要がない。そのため、簡単な装置構成により搬送容器内のワークの飛び出しを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明に係る搬送装置の一例である天井搬送車の正面図である。

【図2】天井搬送車により搬送されるマガジンの斜視図である。

【図3】天井搬送車のチャッキング装置の側面断面図である。

【図4】（ａ）から（ｃ）は、天井搬送車の第１チャック縦材及び第２チャック縦材を二段階に分けて移動させる場合の平面概略図、（ｄ）及び（ｅ）は、天井搬送車の第１チャック縦材及び第２チャック縦材を一段階で移動させる場合の平面概略図である。

【図5】（ａ）は、天井搬送車により搬送されるマガジンの別実施例を示す斜視図、（ｂ）及び（ｃ）は、同マガジンに対して面ガイド部材を移動させる場合の平面概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

まず、本発明に係る搬送装置の一例である天井搬送車１０について説明する。
図１に示すように、天井搬送車１０は、半導体基板等のワーク（図示せず）に対して所定の処理を行う複数の処理装置（図示せず）に、ワークを搬送するためのものである。天井搬送車１０は、ワークが収納されたマガジン８０（「搬送容器」の一例）を把持した状態で搬送する。

【0022】

図２に示すように、天井搬送車１０が搬送するマガジン８０は、略直方体の箱状の搬送容器であり、内部に複数のワークを収納可能な複数段の載置部８１が設けられている。マガジン８０は、その長手方向の両端部において開口する収納口８２からワークを収納可能に構成されている。収納口８２の上下部分は切り欠かれた状態に形成されている。

【0023】

［天井搬送車１０］
図１に示すように、天井搬送車１０は、設備の天井９０近くに設けられた走行レール９１に対して吊下げられた状態で取り付けられ、走行レール９１に沿って移動可能に構成されている。天井搬送車１０は、移動車１１と、昇降駆動部１２と、チャッキング装置２０（「容器把持手段」の一例）と、から主に構成されている。

【0024】

移動車１１は、天井９０に固定して取り付けられた走行レール９１に沿って走行可能に構成されている。移動車１１は、走行レール９１に沿って走行するための走行推力を発生するリニアモータ式の走行車体１３と、走行車体１３に対して連結され、昇降駆動部１２を支持する支持部１４と、から主に構成されている。なお、走行車体１３は、リニアモータ式の走行車体に限定されるものではなく、クリーンルーム等のクリーン度が要求される空間で走行可能な方式の走行車体であれば構わない。

【0025】

昇降駆動部１２は、チャッキング装置２０を吊り下げた状態で昇降する部分であり、移動車１１の下端部に取り付けられる。昇降駆動部１２は、複数本の昇降ベルト１５を有し、複数本の昇降ベルト１５を同時に巻き取り及び巻き出しできるように構成されている。複数本の昇降ベルト１５の巻き取り及び巻き出しを行うことで、昇降ベルト１５により吊り下げ支持されたチャッキング装置２０が略水平姿勢を維持しながら昇降操作される。

【0026】

［チャッキング装置２０］
チャッキング装置２０は、マガジン８０を把持する装置であり、昇降駆動部１２に取り付けられる。チャッキング装置２０は、マガジン８０の底部からマガジン８０を包み込む（掬う）ように、マガジン８０を把持する。チャッキング装置２０は、マガジン８０を把持する把持部２１と、把持部２１を駆動する駆動部２２と、マガジン８０を検出するセンサ２３（「容器検出部」の一例）と、から主に構成されている。

【0027】

［把持部２１］
図１から図３に示すように、把持部２１は、チャッキング装置２０の上下方向に延設され、マガジン８０の底部からマガジン８０を包み込む（掬う）ようにマガジン８０を搬送可能に保持する部分、すなわち、マガジン８０を把持する部分である。把持部２１は、上下方向に延設される複数（図１では３本）のチャック縦材（チャック縦材２４・２５・２６）により構成され、複数のチャック縦材によってマガジン８０を把持する。なお、把持部２１を３本のチャック縦材（チャック縦材２４・２５・２６）により構成することで、マガジン８０の重量が各チャック縦材（チャック縦材２４・２５・２６）の受け部分（受け部分２８・３０）に確実に乗り、マガジン８０をより安定して把持することができる。

【0028】

第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５は、マガジン８０を把持する際にマガジン８０の角部に配置される角ガイド部材である。第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５は、マガジン８０の角部を把持するとともに、マガジン８０の角部をガイドする部材である。第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５は、マガジン８０の角部に当接されるアーム部分２７と、アーム部分２７の一端部に形成されマガジン８０の底面を受ける受け部分２８と、から構成される。

【0029】

アーム部分２７は、マガジン８０の角部の形状に合わせて２枚の板状部材２７ａを略Ｌ字形状に接合して形成される部分である。アーム部分２７は、把持部２１によってマガジン８０を把持する際に、マガジン８０の角部に当接する。アーム部分２７がマガジン８０の角部に当接することで、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５が第３チャック縦材２６とともにマガジン８０の側面を把持可能な状態となる。

【0030】

さらに、アーム部分２７がマガジン８０の角部に当接することで、アーム部分２７がマガジン８０の収納口８２の一端を上下方向に覆う状態（マガジン８０の収納口８２の一部が閉じた状態）となる。すなわち、アーム部分２７がマガジン８０内に収納されているワークの収納口８２からの飛び出しを防止する状態となる。具体的には、図２に示すように、アーム部分２７を形成する一方の板状部材２７ａの平面部分がマガジン８０の収納口８２における開口部分の片側端部を覆うことで（板状部材２７ａの平面部分を収納口８２の開口面の片側端部に当接させることで）、マガジン８０の収納口８２の開口部分を狭くし、収納口８２から飛び出そうとするワークを板状部材２７ａの平面部分により係止可能な状態とする。

【0031】

このように、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５のアーム部分２７は、マガジン８０の側面（角部）を把持する機能を有するとともに、マガジン８０内に収納されているワークの収納口８２からの飛び出しを防止する機能を有する。

【0032】

図１及び図３に示すように、受け部分２８は、マガジン８０の底面が載置可能な板状部材をアーム部分２７の板状部材２７ａの一端面に略垂直方向に接合して形成される部分である。受け部分２８は、把持部２１によってマガジン８０を把持する際に、マガジン８０の角部の底面に当接し、マガジン８０を受ける。

【0033】

第３チャック縦材２６は、マガジン８０を把持する際にマガジン８０の長手方向における一方の側板の中央部に配置される面ガイド部材である。すなわち、第３チャック縦材は、マガジン８０の側板を把持するとともに、マガジン８０の側板をガイドする部材である。具体的には、第３チャック縦材２６は、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５が配置される角部を両端部に有するマガジン８０の側板と対向する側板の中央部に配置される。第３チャック縦材２６は、マガジン８０の側板の側面に当接されるアーム部分２９と、アーム部分２９の一端部に形成されマガジン８０の底面を受ける受け部分３０と、から構成される。

【0034】

アーム部分２９は、マガジン８０の側板の側面に当接可能な板状部材により形成される。アーム部分２９は、把持部２１によってマガジン８０を把持する際に、マガジン８０の長手方向における一方の側板の中央側面に当接する。これにより、第３チャック縦材２６が第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５とともにマガジン８０の側面を把持可能な状態となる。

【0035】

受け部分３０は、マガジン８０の底面を載置可能な板状部材をアーム部分２９の板状部材の一端面に略垂直方向に接合して形成される部分である。受け部分３０は、把持部２１によってマガジン８０を把持する際に、マガジン８０の長手方向における一方の側板中央部の底面に当接し、マガジン８０を受ける。

【0036】

［駆動部２２］
図１及び図３に示すように、駆動部２２は、把持部２１の各チャック縦材２４・２５・２６を移動させるものであり、把持部２１の上部に設けられる。駆動部２２は、モータ３１・３２と、スライド部材４０・４１・４２と、から主に構成されている。

【0037】

第１モータ３１は、各チャック縦材２４・２５・２６をマガジン８０の長手方向と直交する方向（図３の矢印Ｂ方向）に移動させるモータである。第１モータ３１には第１軸３３が接続され、第１モータ３１が作動することで第１軸３３が回動する。
第１軸３３はボールねじにより形成され、途中に挿通される第１ナット部材３４及び第２ナット部材３５の部分で逆方向にネジが切られている。すなわち、第１軸３３は、第１軸３３を回動させた際に、第１ナット部材３４及び第２ナット部材３５が第１軸３３上で互いに接近し或いは離間するように形成される。

【0038】

第２モータ３２は、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５をマガジン８０の長手方向（図１の矢印Ａ方向）に移動させるモータである。第２モータ３２には第２軸３６が接続され、第２モータ３２が作動することで第２軸３６が回動する。
第２軸３６には第３軸３７が接続され、第２軸３６が回動することで第３軸３７が回動する。
第３軸３７はボールねじにより形成され、途中に挿通される第３ナット部材３８及び第４ナット部材３９の部分で逆方向にネジが切られている。すなわち、第３軸３７は、第３軸３７を回動させた際に、第３ナット部材３８及び第４ナット部材３９が第３軸３７上で互いに接近し或いは離間するように形成される。

【0039】

第１スライド部材４０は、第３チャック縦材２６をマガジン８０の長手方向と直交する方向（図３の矢印Ｂ方向）に移動させるための部材である。第１スライド部材４０は、第３チャック縦材２６を支持する第１ガイド部４３と、第１ガイド部４３をスライドさせるための第１ガイドレール４４と、から構成される。

【0040】

第２スライド部材４１は、第１チャック縦材２４或いは第２チャック縦材２５をマガジン８０の長手方向と直交する方向（図３の矢印Ｂ方向）に移動させるための部材である。第２スライド部材４１は、第１チャック縦材２４或いは第２チャック縦材２５を支持する第２ガイド部４５と、第２ガイド部４５をスライドさせるための第２ガイドレール４６と、から構成される。

【0041】

第３スライド部材４２は、第１チャック縦材２４或いは第２チャック縦材２５をマガジン８０の長手方向（図１の矢印Ａ方向）に移動させるための部材である。第３スライド部材４２は、第１チャック縦材２４或いは第２チャック縦材２５を支持する第３ガイド部４７と、第３ガイド部４７をスライドさせるための第３ガイドレール４８と、から構成される。

【0042】

天井搬送車１０においては、第２スライド部材４１の上部に第３スライド部材４２を配置することにより、すなわち、駆動部２２に２つのスライド部材を上下方向に配置することにより、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５を２方向（図１の矢印Ａ方向及び図３の矢印Ｂ方向）に移動可能としている。

【0043】

［センサ２３］
図１及び図３に示すように、センサ２３は、各チャック縦材２４・２５・２６の下端部（受け部分２８側）に設けられ、把持部２１により把持されるマガジン８０を検出する。センサ２３の検出結果は検出信号として図示しない制御部に送信される。そして、制御部は、センサ２３からの検出信号に基づいて、マガジン８０に対する各チャック縦材２４・２５・２６の把持動作を制御する。
センサ２３は、静電容量型近接センサにより構成される。なお、センサ２３の方式は、静電容量型のセンサに限定されるものではなく、マガジン８０の材質、色等によって方式を選択するため、例えば、光学式或いは直接接触式のセンサであっても構わない。また、センサ２３は、各チャック縦材２４・２５・２６の下端部に設けられているが、これに限定されるものではなく、マガジン８０が検出可能な位置であれば、例えば、各チャック縦材２４・２５・２６の中央部或いは上端部に設けても構わない。

【0044】

さらに、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５の下端部に設けられるセンサ２３は、マガジン８０の一方の壁板（マガジン８０の長手方向に形成される壁板）を検出する第１センサ２３ａ（「第１容器検出部」の一例）と、第１センサ２３ａが検出する壁板に対して垂直に形成される壁板（マガジン８０の長手方向と直交する方向に形成される壁板）を検出する第２センサ２３ｂ（「第２容器検出部」の一例）と、から構成される。すなわち、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５には、マガジン８０の検出位置（検出方向）の異なる２台のセンサが設けられ、マガジン８０を異なる２方向から検出する。

【0045】

第１センサ２３ａは、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５をマガジン８０の長手方向と直交する方向（図３の矢印Ｂ方向）に移動させる際に、マガジン８０の長手方向に形成される壁板を検出する。

【0046】

第２センサ２３ｂは、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５をマガジン８０の長手方向（図１の矢印Ａ方向）に移動させる際に、マガジン８０の長手方向と直交する方向に形成される壁板を検出する。

【0047】

なお、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５の下端部に設けられるセンサ２３は、２台のセンサ（第１センサ２３ａ及び第２センサ２３ｂ）により構成されているが、これに限定されるものではなく、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５の移動に応じてマガジン８０を検出可能であれば、１台のセンサにより構成しても構わない。

【0048】

［各チャック縦材２４・２５・２６の把持動作］
次に、各チャック縦材２４・２５・２６の把持動作について説明する。
図４（ａ）に示すように、天井搬送車１０においては、まず、各チャック縦材２４・２５・２６をマガジン８０の長手方向と直交する方向（矢印Ｃ方向、マガジン８０の幅方向）に移動させてマガジン８０の長手方向の側板を把持し、次に、図４（ｂ）に示すように、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５をマガジン８０の長手方向（矢印Ｄ方向）に移動させてマガジン８０の幅方向の側板を把持する。すなわち、天井搬送車１０においては、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５は、マガジン８０に対する移動方向を二方向に段階的に変化させながら、マガジン８０の角部を把持する。これは、図４（ｄ）に示すように、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５を第３チャック縦材２６の移動に合わせて一段階で移動させると、マガジン８０の形状或いは大きさによって、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５がマガジン８０に引っ掛かり、マガジン８０を把持することができない場合があるためである（図４（ｅ）参照）。このように、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５を二段階に分けて移動させることにより、形状或いは大きさの異なるマガジン８０が混在した場合であっても、各チャック縦材２４・２５・２６がマガジン８０に引っ掛かることなく、把持部２１によりマガジン８０を把持することができる。具体的には、以下のように動作する。

【0049】

図３に示すように、第１モータ３１が作動すると、第１軸３３が回動し、第１ナット部材３４が第１軸３３の中央部に向けて移動する。第１ナット部材３４が移動することにより、第１ナット部材３４に固定された第１スライド部材４０の第１ガイド部４３が第１ガイドレール４４に沿ってスライドする。これにより、第１ガイド部４３により支持される第３チャック縦材２６がマガジン８０の長手方向と直交する方向（図３の矢印Ｂ方向、マガジン８０の幅方向）にマガジン８０と接近するように（マガジン８０の側板を把持するように）移動する。

【0050】

また一方で、第１モータ３１が作動し、第１軸３３が回動すると、第２ナット部材３５が第１軸３３の中央部に向けて移動する。第２ナット部材３５が移動することにより、第２ナット部材３５に固定された第２スライド部材４１の第２ガイド部４５が第２ガイドレール４６に沿ってスライドする。これにより、第２ガイド部４５により支持される第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５がマガジン８０の幅方向（図３の矢印Ｂ方向）にマガジン８０と接近するように移動する。なお、第２モータ３２についても第２ガイド部４５がスライドすることよりマガジン８０の幅方向（図３の矢印Ｂ方向）に移動する。

【0051】

第１モータ３１の作動により、各チャック縦材２４・２５・２６がマガジン８０に向けて移動すると、各チャック縦材２４・２５・２６に設けられるセンサ２３（第１センサ２３ａ）がマガジン８０有無を検出する。具体的には、センサ２３の検出結果から各チャック縦材２４・２５・２６とマガジン８０との距離を検出する。センサ２３は、検出結果を検出信号として図示しない制御部に送信する。制御部は、センサ２３からの検出信号に基づいて各チャック縦材２４・２５・２６とマガジン８０の距離（位置関係）を判断し、第１モータ３１の作動を制御することで、各チャック縦材２４・２５・２６の移動を制御する。制御部は、センサ２３が所定位置、すなわち、各チャック縦材２４・２５・２６とマガジン８０の壁板が接する位置においてマガジン８０を検出すると、第１モータ３１の駆動を停止して、各チャック縦材２４・２５・２６の移動を停止する。

【0052】

次に、図１及び図３に示すように、第２モータ３２が作動すると、第２軸３６が回動し、引き続いて第３軸３７が回動する。第３軸３７が回動することにより、第３ナット部材３８及び第４ナット部材３９が互いに接近するように第３軸３７の中央部に向けて移動する。そして、第３ナット部材３８及び第４ナット部材３９のそれぞれが固定された第３スライド部材４２の第３ガイド部４７が第３ガイドレール４８に沿ってスライドする。これにより、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５が、互いに接近するようにマガジン８０の長手方向（図１の矢印Ｂ方向）に移動し、マガジン８０の角部を把持しようとする。

【0053】

第２モータ３２の作動により、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５がマガジン８０に向けて移動すると、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５に設けられるセンサ２３（第２センサ２３ｂ）がマガジン８０を検出し、検出結果を検出信号として図示しない制御部に送信する。制御部は、センサ２３（第２センサ２３ｂ）からの検出信号に基づいて第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５とマガジン８０の距離（位置関係）を判断し、第２モータ３２の作動を制御することで、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５の移動を制御する。制御部は、センサ２３（第２センサ２３ｂ）が所定位置、すなわち、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５とマガジン８０の壁板が接する位置においてマガジン８０を検出すると、第２モータ３２の駆動を停止して、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５の移動を停止する。

【0054】

以上のように、天井搬送車１０においては、各チャック縦材２４・２５・２６に設けられるセンサ２３によって、各チャック縦材２４・２５・２６とマガジン８０の距離を検出しながら、各チャック縦材２４・２５・２６の移動を制御することで、各チャック縦材２４・２５・２６がマガジン８０を把持する位置をマガジン８０の形状或いは大きさに合わせて自在に変更できるため、形状或いは大きさが異なるマガジン８０を随時搬送する場合であっても、個々のマガジン８０の形状或いは大きさに合わせて各チャック縦材２４・２５・２６を移動することができる。そのため、マガジン８０の形状或いは大きさに合わせて天井搬送車１０の構造（例えば、各チャック縦材２４・２５・２６の構造）を変える必要がなく、同一の装置構造おいてマガジン８０に対する各チャック縦材２４・２５・２６の把持する位置を変更するのみで、様々な形状或いは大きさのマガジン８０を搬送することができる。

【0055】

また、天井搬送車１０においては、マガジン８０を把持するための第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５によりワークの飛び出しを防止できることから、簡単な装置構成によりマガジン８０内のワークの飛び出しを防止できる。

【0056】

さらに、天井搬送車１０においては、マガジン８０の検出位置（検出方向）の異なる２台のセンサ（第１センサ２３ａ及び第２センサ２３ｂ）によりマガジン８０を検出しながら、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５のマガジン８０に対する移動方向を段階的に変化させることから、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５は、マガジン８０に引っ掛かることなくマガジン８０を把持することができる。

【0057】

なお、本実施の形態においては、マガジン８０は、図２に示すものに限定されるものではなく、半導体基板等のワークを収納可能な一般的な形状、大きさのマガジンであれば構わない。例えば、図５（ａ）に示すような形状のマガジン８０Ａであっても構わない。

【0058】

図５（ａ）に示すマガジン８０Ａを天井搬送車１０により搬送する場合、すなわち、収納口８２Ａに切り欠き部分が形成されていないマガジン８０Ａを搬送する場合には、４本の面ガイド縦材２６Ａによりマガジン８０Ａの各側板の中央部を把持する構成としても構わない。ここで、面ガイド縦材２６Ａは、第３チャック縦材２６と同様に、マガジン８０Ａの側板の側面に当接可能な板状部材により形成されるアーム部分２９Ａと、マガジン８０Ａの底面を載置可能な板状部材をアーム部分２９Ａの板状部材の一端面に略垂直方向に接合して形成される受け部分３０Ａと、から構成される。

【0059】

この場合においては、図５（ｂ）及び（ｃ）に示すように、４本の面ガイド縦材２６Ａを同時に（一段階で）マガジン８０Ａに接近させる方向へ移動させることにより、各面ガイド縦材２６Ａをマガジン８０Ａの各側板の中央部において把持可能な状態とする。

【0060】

また、この場合においては、図５（ａ）に示すように、アーム部分２９Ａがマガジン８０Ａの収納口８２Ａの中央部を上下方向に覆う状態（マガジン８０Ａの収納口８２Ａの中央部が閉じた状態）となる。すなわち、アーム部分２９Ａがマガジン８０Ａ内に収納されているワークの収納口８２Ａからの飛び出しを防止する状態となる。具体的には、図５（ａ）に示すように、アーム部分２９Ａの平面部分がマガジン８０Ａの収納口８２Ａにおける開口部分の中央部を覆うことで（アーム部分２９Ａの平面部分を収納口８２Ａの開口面の中央部に当接させることで）、マガジン８０Ａの収納口８２Ａの開口部分を狭くし、収納口８２Ａから飛び出そうとするワークをアーム部分２９Ａの平面部分により係止可能な状態とする。

【0061】

なお、マガジン８０Ａにおいては、４本の面ガイド縦材２６Ａによりマガジン８０Ａの各側板の中央部を把持する構成としているが、これに限定されるものではなく、マガジン８０Ａの角部を上記第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５により把持し、マガジン８０Ａの側板の中央部を上記第３チャック縦材２６により把持する構成としても構わない。

【0062】

また、本実施の形態においては、搬送装置を天井走行形式の天井搬送車１０としているが、これに限定されるものではなく、例えば、床走行形式の走行車本体にチャッキング装置２０を設けた搬送装置としても構わない。この場合、走行車本体に旋回自在に設けた旋回テーブルに上下方向に回動自在に取り付けられたアーム部材に対してチャッキング装置２０を取り付ける構成とする。

【0063】

さらに、本実施の形態においては、把持部２１の各チャック縦材２４・２５・２６を、駆動部２２のような構成（モータ３１・３２、スライド部材４０・４１・４２等）により移動させているが、駆動部２２のような構成の駆動部に限定されるものではない。

【符号の説明】

【0064】

１０ 天井搬送車（搬送装置）
２０ チャッキング装置（容器把持手段）
２１ 把持部
２３ センサ（容器検出部）
２３ａ 第１センサ（第１容器検出部）
２３ｂ 第２センサ（第２容器検出部）
８０ マガジン（搬送容器）
８２ 収納口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】