特許 6191544 搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6191544

(24)【登録日】2017年8月18日

(45)【発行日】2017年9月6日

(54)【発明の名称】搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20170828BHJP

   B25J 15/08 20060101ALI20170828BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20170828BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B25J15/08 K

   B25J15/08 U

   B65G49/07 L

【請求項の数】4

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2014-105739(P2014-105739)

(22)【出願日】2014年5月22日

(65)【公開番号】特開2015-222739(P2015-222739A)

(43)【公開日】2015年12月10日

【審査請求日】2016年2月18日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001298

【氏名又は名称】特許業務法人森本国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】宇佐見 誠

【審査官】 宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１０−１９４６５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６２−１６５８８４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２０００−１４１２６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−２３６６５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−１０４４６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−００６４６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０６−０６３２９３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０５−０７７１８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００３−５２７２４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５６−１４２９８８（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ １５／０８

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被搬送体を段積みした状態で把持する把持手段を備え、前記把持手段が前記被搬送体を把持した状態で前記被搬送体を搬送する搬送装置であって、
前記把持手段は、
前記被搬送体を把持する把持部と、
前記把持部により把持する被搬送体を検出する検出部と、
を備え、
前記把持部は、
前記検出部による検出に基づいて前記被搬送体に対する把持動作が制御され、
前記被搬送体の角部に当接して前記被搬送体の角部をガイドするとともに、前記被搬送体の角部を把持することにより前記被搬送体における積み重ねのズレ補正及びズレ防止を行うこと
を特徴とする搬送装置。

【請求項2】

前記把持部は、前記被搬送体に対する移動方向を段階的に変化させることにより前記被搬送体を把持すること
を特徴とする請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記検出部は、前記被搬送体の一方の側面を検出する第１検出部と、前記被搬送体の他方の側面を検出する第２検出部と、から構成されること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記被搬送体はワークを収納する搬送容器であり、
前記把持部は、前記搬送容器における前記ワークの収納口を覆うように前記搬送容器を把持することにより前記搬送容器に収納されているワークの飛び出しを防止すること
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体基板等のワーク、或いはワークを収納した搬送容器等の被搬送体を段積みした状態で搬送する搬送装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体デバイス等の製造設備においては、半導体基板等のワークを収納した搬送容器等の被搬送体を、設備の天井近くに設けられた走行レールに沿って走行する天井搬送車（搬送装置）により把持した状態で、複数の処理装置間を順次搬送する場合がある。

【0003】

例えば、特許文献１においては、水平移動手段に設けられ、ワーク（密閉コンテナ）を保持するワーク保持手段を昇降させて、ワーク保持手段と各処理装置との間でワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降手段を備え、クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置にワークを搬送する搬送装置が開示されている。

【0004】

特許文献１の搬送装置においては、前記ワーク保持手段を、ワーク（密閉コンテナ）の両側面へコの字状に延びるワーク保持部により構成し、このワーク保持部の両側部の下端にワークの底面を保持するハンドを対向して設けることにより、ワーク（密閉コンテナ）を保持する。

【0005】

また、半導体デバイス等の製造設備においては、半導体基板等のワークを収納した搬送容器等の被搬送体を複数個積み重ねた（段積みした）状態で搬送する場合がある。具体的には、内部にワークを収納した複数個の板状のパレット（搬送容器）を段積みにし、その段積みにした複数個のパレットを搬送装置で保持（把持）した状態で搬送を行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００４−２５４２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、段積みされた被搬送体を搬送する場合には、搬送すべき被搬送体が常にズレのない状態（整列された状態）で段積みされている訳ではなく、ズレた状態（整列されていない状態）で段積みされている被搬送体を搬送しなければならない場合もある。そのため、被搬送体がズレた状態で段積みされている場合には、把持手段（保持手段）が、段積みされた被搬送体を充分に把持（保持）することができないという問題があった。また、搬送中に段積みした被搬送体がズレた状態となり、被搬送体が搬送中に搬送装置から落下する等の問題もあった。

【0008】

このような問題は、ズレを防止するためのズレ防止機構（例えば、段積みする被搬送体同士が互いに噛み合う凹凸面を被搬送体に設ける）を被搬送体に設けることにより解決可能であるが、被搬送体自体にズレ防止機構を設けることとなるため、被搬送体の構成が複雑になるという問題がある。また、被搬送体によっては、ズレ防止機構自体を設けることができない場合もある。

【0009】

さらに、段積みする被搬送体同士を固定部材で固定することにより上記問題は解決可能であるが、被搬送体を搬送する前に被搬送体を固定部材で固定する作業が必要となるため作業効率が悪いという問題がある。

【0010】

そこで、本発明は、装置構成を変更することなく段積みされた被搬送体の搬送が可能であるとともに、簡単な装置構成により被搬送体における積み重ねのズレ補正及びズレ防止を行うことが可能な搬送装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明の解決しようとする課題は以上であり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

【0012】

即ち、本発明のうち請求項１に記載の搬送装置は、被搬送体を段積みした状態で把持する把持手段を備え、前記把持手段が前記被搬送体を把持した状態で前記被搬送体を搬送する搬送装置であって、前記把持手段は、前記被搬送体を把持する把持部と、前記把持部により把持する被搬送体を検出する検出部と、を備え、前記把持部は、前記検出部による検出に基づいて前記被搬送体に対する把持動作が制御され、前記被搬送体の角部に当接して前記被搬送体の角部をガイドするとともに、前記被搬送体の角部を把持することにより前記被搬送体における積み重ねのズレ補正及びズレ防止を行うものである。

【0013】

上記構成では、検出部が被搬送体を検出することにより、把持部の前記被搬送体に対する把持動作が制御されるとともに、把持部が被搬送体における積み重ねのズレ補正及びズレ防止を行う。

【0015】

上記構成では、把持部が被搬送体を把持するとともに、把持部が被搬送体の側面に当接して被搬送体を把持した状態で被搬送体における積み重ねのズレ補正及びズレ防止を行う。

【0016】

さらに、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の搬送装置において、前記把持部は、前記被搬送体に対する移動方向を段階的に変化させることにより前記被搬送体を把持するものである。

【0017】

上記構成では、把持部が、その被搬送体に対する移動方向を段階的に変化させながら被搬送体に接近或いは離間することで被搬送体を把持する。

【0018】

さらに、請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の搬送装置において、前記検出部は、前記被搬送体の一方の側面を検出する第１検出部と、前記被搬送体の他方の側面を検出する第２検出部と、から構成されるものである。

【0019】

上記構成では、２つの検出部（第１及び第２検出部）において、被搬送体を２方向から検出する。

【0020】

さらに、請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の搬送装置において、前記被搬送体はワークを収納する搬送容器であり、前記把持部は、前記搬送容器における前記ワークの収納口を覆うように前記搬送容器を把持することにより前記搬送容器に収納されているワークの飛び出しを防止するものである。

【0021】

上記構成では、把持部が被搬送体を把持するとともに、被搬送体を把持した把持部がワークの収納口を覆うことで被搬送体に収納されているワークの飛び出しを防止する。

【発明の効果】

【0022】

本発明の搬送装置によれば、被搬送体を把持する把持部が被搬送体における積み重ねのズレ補正及びズレ防止を行うため、搬送装置側、或いは被搬送体側に別途ズレ補正機構及びズレ防止機構を設ける必要がない。そのため、簡単な装置構成によりズレ補正及びズレ防止を行うことができ、また、段積みされた被搬送体を充分に把持（保持）することができる。また、被搬送体側に別途ズレ補正機構及びズレ防止機構を設けることができない被搬送体であっても段積みされた状態で搬送することができる。さらに、段積みされた被搬送体を固定部材により固定して積み重ねのズレを防止する必要がないため作業効率が良い。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明に係る搬送装置の一例である天井搬送車の正面図である。

【図2】天井搬送車により搬送されるトレーの斜視図である。

【図3】天井搬送車のチャッキング装置の側面断面図である。

【図4】（ａ）から（ｃ）は、天井搬送車の第１チャック縦材及び第２チャック縦材を二段階に分けて移動させる場合の平面概略図、（ｄ）及び（ｅ）は、天井搬送車の第１チャック縦材及び第２チャック縦材を一段階で移動させる場合の平面概略図である。

【図5】（ａ）は、段積みされたトレーを搬送する際の天井搬送車の側面断面図、（ｂ）及び（ｃ）は、段積みされたトレーを搬送する際の天井搬送車の把持部近傍の側面図、（ｄ）は、段積みされたトレーを搬送する際の天井搬送車の正面断面図、（ｅ）及び（ｆ）は、段積みされたトレーを搬送する際の天井搬送車の把持部近傍の正面図である。

【図6】（ａ）は、天井搬送車における把持部の別実施例を示す斜視図、（ｂ）及び（ｃ）は、別実施例に係る把持部においてトレーに対して面ガイド部材を移動させる場合の平面概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

まず、本発明に係る搬送装置の一例である天井搬送車１０について説明する。
図１に示すように、天井搬送車１０は、半導体基板等のワーク８１に対して所定の処理を行う複数の処理装置（図示せず）に、ワーク８１を搬送するためのものである。天井搬送車１０は、ワーク８１が収納された複数個のトレー８０（「被搬送体」の一例）を段積みした状態で把持し、把持した状態で搬送する。

【0025】

図２に示すように、天井搬送車１０が搬送するトレー８０は、中空の平板状のトレーであり、内部に複数（図２では２つ）のワーク８１を収納可能となっている。トレー８０は、その長手方向の両端部において開口する収納口８２からワーク８１を収納可能に構成されている。

【0026】

［天井搬送車１０］
図１に示すように、天井搬送車１０は、設備の天井９０近くに設けられた走行レール９１に対して吊下げられた状態で取り付けられ、走行レール９１に沿って移動可能に構成されている。天井搬送車１０は、移動車１１と、昇降駆動部１２と、チャッキング装置２０（「把持手段」の一例）と、から主に構成されている。

【0027】

移動車１１は、天井９０に固定して取り付けられた走行レール９１に沿って走行可能に構成されている。移動車１１は、走行レール９１に沿って走行するための走行推力を発生するリニアモータ式の走行車体１３と、走行車体１３に対して連結され、昇降駆動部１２を支持する支持部１４と、から主に構成されている。なお、走行車体１３は、リニアモータ式の走行車体に限定されるものではなく、クリーンルーム等のクリーン度が要求される空間で走行可能な方式の走行車体であれば構わない。

【0028】

昇降駆動部１２は、チャッキング装置２０を吊り下げた状態で昇降する部分であり、移動車１１の下端部に取り付けられる。昇降駆動部１２は、複数本の昇降ベルト１５を有し、複数本の昇降ベルト１５を同時に巻き取り及び巻き出しできるように構成されている。複数本の昇降ベルト１５の巻き取り及び巻き出しを行うことで、昇降ベルト１５により吊り下げ支持されたチャッキング装置２０が略水平姿勢を維持しながら昇降操作される。

【0029】

［チャッキング装置２０］
チャッキング装置２０は、段積みされたトレー８０を把持する装置であり、昇降駆動部１２に取り付けられる。チャッキング装置２０は、段積みされた最下段のトレー８０の底部からトレー８０を包み込む（掬う）ように、トレー８０を把持する。チャッキング装置２０は、トレー８０を把持する把持部２１と、把持部２１を駆動する駆動部２２と、トレー８０を検出するセンサ２３（「検出部」の一例）と、から主に構成されている。

【0030】

［把持部２１］
図１から図３に示すように、把持部２１は、チャッキング装置２０の上下方向に延設され、段積みされた最下段のトレー８０の底部からトレー８０を包み込む（掬う）ようにトレー８０を搬送可能に保持する部分、すなわち、トレー８０を把持する部分である。把持部２１は、上下方向に延設される複数（図１では３本）のチャック縦材（チャック縦材２４・２５・２６）により構成され、複数のチャック縦材によってトレー８０を把持する。なお、把持部２１を３本のチャック縦材（チャック縦材２４・２５・２６）により構成することで、トレー８０の重量が各チャック縦材（チャック縦材２４・２５・２６）の受け部分（受け部分２８・３０）に確実に乗り、トレー８０をより安定して把持することができる。

【0031】

第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５は、トレー８０を把持する際にトレー８０の角部に配置される角ガイド部材である。第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５は、段積みされたトレー８０の側面に当接されることによりトレー８０の角部を把持するとともに、トレー８０の角部をガイドする部材である。第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５は、トレー８０の角部に当接されるアーム部分２７と、アーム部分２７の一端部に形成され段積みされた最下段のトレー８０の底面を受ける受け部分２８と、から構成される。

【0032】

アーム部分２７は、トレー８０の角部の形状に合わせて２枚の板状部材２７ａを略Ｌ字形状に接合して形成される部分である。アーム部分２７は、把持部２１によってトレー８０を把持する際に、トレー８０の角部に当接する。アーム部分２７がトレー８０の角部に当接することで、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５が第３チャック縦材２６とともにトレー８０の側面を把持可能な状態となる。また、アーム部分２７がトレー８０の角部に当接することで、トレー８０における積み重ねのズレ補正及びズレ防止が可能となる。

【0033】

さらに、アーム部分２７がトレー８０の角部に当接することで、アーム部分２７がトレー８０の収納口８２の一端を上下方向に覆う状態（トレー８０の収納口８２の一部が閉じた状態）となる。すなわち、アーム部分２７がトレー８０内に収納されているワーク８１の収納口８２からの飛び出しを防止する状態となる。具体的には、図２に示すように、アーム部分２７を形成する一方の板状部材２７ａの平面部分がトレー８０の収納口８２における開口部分の片側端部を覆うことで（板状部材２７ａの平面部分を収納口８２の開口面の片側端部に当接させることで）、トレー８０の収納口８２の開口部分を狭くし、収納口８２から飛び出そうとするワーク８１を板状部材２７ａの平面部分により係止可能な状態とする。
また、アーム部分２７がトレー８０の角部に当接することで、収納口８２から飛び出そうとするワーク８１をトレー８０の内部へ押し込むことが可能となるため、トレー８０内におけるワーク８１のズレ補正及びズレ防止が可能となる。

【0034】

このように、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５のアーム部分２７は、トレー８０の側面（角部）を把持する機能を有するとともに、トレー８０における積み重ねのズレ補正及びズレ防止を行う機能、及びトレー８０内に収納されているワーク８１の収納口８２からの飛び出しを防止する機能を有する。

【0035】

図１及び図３に示すように、受け部分２８は、段積みされた最下段のトレー８０の底面が載置可能な板状部材をアーム部分２７の板状部材２７ａの一端面に略垂直方向に接合して形成される部分である。受け部分２８は、把持部２１によってトレー８０を把持する際に、段積みされた最下段のトレー８０の角部の底面に当接し、トレー８０を受ける。

【0036】

第３チャック縦材２６は、トレー８０を把持する際にトレー８０の長手方向における一方の側板の中央部に配置される面ガイド部材である。すなわち、第３チャック縦材は、段積みされたトレー８０の側面に当接されることによりトレー８０の側板を把持するとともに、トレー８０の側板をガイドする部材である。具体的には、第３チャック縦材２６は、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５が配置される角部を両端部に有するトレー８０の側板と対向する側板の中央部に配置される。第３チャック縦材２６は、トレー８０の側板の側面に当接されるアーム部分２９と、アーム部分２９の一端部に形成され段積みされた最下段のトレー８０の底面を受ける受け部分３０と、から構成される。

【0037】

アーム部分２９は、トレー８０の側板の側面に当接可能な板状部材により形成される。アーム部分２９は、把持部２１によってトレー８０を把持する際に、トレー８０の長手方向における一方の側板の中央側面に当接する。これにより、第３チャック縦材２６が第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５とともにトレー８０の側面を把持可能な状態となる。また、トレー８０における幅方向の積み重ねのズレ補正及びズレ防止が可能となる。

【0038】

受け部分３０は、段積みされた最下段のトレー８０の底面を載置可能な板状部材をアーム部分２９の板状部材の一端面に略垂直方向に接合して形成される部分である。受け部分３０は、把持部２１によってトレー８０を把持する際に、段積みされた最下段のトレー８０の長手方向における一方の側板中央部の底面に当接し、トレー８０を受ける。

【0039】

［駆動部２２］
図１及び図３に示すように、駆動部２２は、把持部２１の各チャック縦材２４・２５・２６を移動させるものであり、把持部２１の上部に設けられる。駆動部２２は、モータ３１・３２と、スライド部材４０・４１・４２と、から主に構成されている。

【0040】

第１モータ３１は、各チャック縦材２４・２５・２６をトレー８０の長手方向と直交する方向（図３の矢印Ｂ方向）に移動させるモータである。第１モータ３１には第１軸３３が接続され、第１モータ３１が作動することで第１軸３３が回動する。
第１軸３３はボールねじにより形成され、途中に挿通される第１ナット部材３４及び第２ナット部材３５の部分で逆方向にネジが切られている。すなわち、第１軸３３は、第１軸３３を回動させた際に、第１ナット部材３４及び第２ナット部材３５が第１軸３３上で互いに接近し或いは離間するように形成される。

【0041】

第２モータ３２は、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５をトレー８０の長手方向（図１の矢印Ａ方向）に移動させるモータである。第２モータ３２には第２軸３６が接続され、第２モータ３２が作動することで第２軸３６が回動する。
第２軸３６には第３軸３７が接続され、第２軸３６が回動することで第３軸３７が回動する。
第３軸３７はボールねじにより形成され、途中に挿通される第３ナット部材３８及び第４ナット部材３９の部分で逆方向にネジが切られている。すなわち、第３軸３７は、第３軸３７を回動させた際に、第３ナット部材３８及び第４ナット部材３９が第３軸３７上で互いに接近し或いは離間するように形成される。

【0042】

第１スライド部材４０は、第３チャック縦材２６をトレー８０の長手方向と直交する方向（図３の矢印Ｂ方向）に移動させるための部材である。第１スライド部材４０は、第３チャック縦材２６を支持する第１ガイド部４３と、第１ガイド部４３をスライドさせるための第１ガイドレール４４と、から構成される。

【0043】

第２スライド部材４１は、第１チャック縦材２４或いは第２チャック縦材２５をトレー８０の長手方向と直交する方向（図３の矢印Ｂ方向）に移動させるための部材である。第２スライド部材４１は、第１チャック縦材２４或いは第２チャック縦材２５を支持する第２ガイド部４５と、第２ガイド部４５をスライドさせるための第２ガイドレール４６と、から構成される。

【0044】

第３スライド部材４２は、第１チャック縦材２４或いは第２チャック縦材２５をトレー８０の長手方向（図１の矢印Ａ方向）に移動させるための部材である。第３スライド部材４２は、第１チャック縦材２４或いは第２チャック縦材２５を支持する第３ガイド部４７と、第３ガイド部４７をスライドさせるための第３ガイドレール４８と、から構成される。

【0045】

天井搬送車１０においては、第２スライド部材４１の上部に第３スライド部材４２を配置することにより、すなわち、駆動部２２に２つのスライド部材を上下方向に配置することにより、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５を２方向（図１の矢印Ａ方向及び図３の矢印Ｂ方向）に移動可能としている。

【0046】

［センサ２３］
図１及び図３に示すように、センサ２３は、各チャック縦材２４・２５・２６の下端部（受け部分２８側）に設けられ、把持部２１により把持されるトレー８０を検出する。センサ２３の検出結果は検出信号として図示しない制御部に送信される。そして、制御部は、センサ２３からの検出信号に基づいて、トレー８０に対する各チャック縦材２４・２５・２６の把持動作を制御する。
センサ２３は、静電容量型近接センサにより構成される。なお、センサ２３の方式は、静電容量型のセンサに限定されるものではなく、トレー８０の材質、色等によって方式を選択するため、例えば、光学式或いは直接接触式のセンサであっても構わない。また、センサ２３は、各チャック縦材２４・２５・２６の下端部に設けられているが、これに限定されるものではなく、段積みされたトレー８０が検出可能な位置であれば、例えば、各チャック縦材２４・２５・２６の中央部或いは上端部に設けても構わない。

【0047】

さらに、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５の下端部に設けられるセンサ２３は、トレー８０の一方の壁板（トレー８０の長手方向に形成される壁板）を検出する第１センサ２３ａ（「第１検出部」の一例）と、第１センサ２３ａが検出する壁板に対して垂直に形成される壁板（トレー８０の長手方向と直交する方向に形成される壁板）を検出する第２センサ２３ｂ（「第２検出部」の一例）と、から構成される。すなわち、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５には、トレー８０の検出位置（検出方向）の異なる２台のセンサが設けられ、トレー８０を異なる２方向から検出する。

【0048】

第１センサ２３ａは、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５をトレー８０の長手方向と直交する方向（図３の矢印Ｂ方向）に移動させる際に、トレー８０の長手方向に形成される壁板を検出する。

【0049】

第２センサ２３ｂは、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５をトレー８０の長手方向（図１の矢印Ａ方向）に移動させる際に、トレー８０の長手方向と直交する方向に形成される壁板を検出する。

【0050】

なお、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５の下端部に設けられるセンサ２３は、２台のセンサ（第１センサ２３ａ及び第２センサ２３ｂ）により構成されているが、これに限定されるものではなく、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５の移動に応じて、段積みされたトレー８０を検出可能であれば、１台のセンサにより構成しても構わない。

【0051】

［各チャック縦材２４・２５・２６の把持動作］
次に、各チャック縦材２４・２５・２６の把持動作について説明する。
図４（ａ）に示すように、天井搬送車１０においては、まず、各チャック縦材２４・２５・２６を段積みされたトレー８０の長手方向と直交する方向（矢印Ｃ方向、トレー８０の幅方向）に移動させてトレー８０の長手方向の側板を把持し、次に、図４（ｂ）に示すように、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５をトレー８０の長手方向（矢印Ｄ方向）に移動させてトレー８０の幅方向の側板を把持する。すなわち、天井搬送車１０においては、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５は、トレー８０に対する移動方向を２方向に段階的に変化させながら、トレー８０の角部を把持する。これは、図４（ｄ）に示すように、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５を第３チャック縦材２６の移動に合わせて一段階で移動させると、トレー８０の形状或いは大きさによって、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５がトレー８０に引っ掛かり、トレー８０を把持することができない場合があるためである（図４（ｅ）参照）。このように、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５を二段階に分けて移動させることにより、形状或いは大きさの異なるトレー８０が混在した場合であっても、各チャック縦材２４・２５・２６がトレー８０に引っ掛かることなく、把持部２１によりトレー８０を把持することができる。具体的には、以下のように動作する。

【0052】

図３に示すように、第１モータ３１が作動すると、第１軸３３が回動し、第１ナット部材３４が第１軸３３の中央部に向けて移動する。第１ナット部材３４が移動することにより、第１ナット部材３４に固定された第１スライド部材４０の第１ガイド部４３が第１ガイドレール４４に沿ってスライドする。これにより、第１ガイド部４３により支持される第３チャック縦材２６がトレー８０の長手方向と直交する方向（図３の矢印Ｂ方向、トレー８０の幅方向）にトレー８０と接近するように（トレー８０の側板を把持するように）移動する。

【0053】

また一方で、第１モータ３１が作動し、第１軸３３が回動すると、第２ナット部材３５が第１軸３３の中央部に向けて移動する。第２ナット部材３５が移動することにより、第２ナット部材３５に固定された第２スライド部材４１の第２ガイド部４５が第２ガイドレール４６に沿ってスライドする。これにより、第２ガイド部４５により支持される第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５がトレー８０の幅方向（図３の矢印Ｂ方向）にトレー８０と接近するように移動する。なお、第２モータ３２についても第２ガイド部４５がスライドすることよりトレー８０の幅方向（図３の矢印Ｂ方向）に移動する。

【0054】

第１モータ３１の作動により、各チャック縦材２４・２５・２６がトレー８０に向けて移動すると、各チャック縦材２４・２５・２６に設けられるセンサ２３（第１センサ２３ａ）がトレー８０有無を検出する。具体的には、センサ２３の検出結果から各チャック縦材２４・２５・２６とトレー８０との距離を検出する。センサ２３は、検出結果を検出信号として図示しない制御部に送信する。制御部は、センサ２３からの検出信号に基づいて各チャック縦材２４・２５・２６とトレー８０の距離（位置関係）を判断し、第１モータ３１の作動を制御することで、各チャック縦材２４・２５・２６の移動を制御する。制御部は、センサ２３が所定位置、すなわち、各チャック縦材２４・２５・２６とトレー８０の壁板が接する位置においてトレー８０を検出すると、第１モータ３１の駆動を停止して、各チャック縦材２４・２５・２６の移動を停止する。

【0055】

次に、図１及び図３に示すように、第２モータ３２が作動すると、第２軸３６が回動し、引き続いて第３軸３７が回動する。第３軸３７が回動することにより、第３ナット部材３８及び第４ナット部材３９が互いに接近するように第３軸３７の中央部に向けて移動する。そして、第３ナット部材３８及び第４ナット部材３９のそれぞれが固定された第３スライド部材４２の第３ガイド部４７が第３ガイドレール４８に沿ってスライドする。これにより、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５が、互いに接近するようにトレー８０の長手方向（図１の矢印Ｂ方向）に移動し、トレー８０の角部を把持しようとする。

【0056】

第２モータ３２の作動により、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５がトレー８０に向けて移動すると、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５に設けられるセンサ２３（第２センサ２３ｂ）がトレー８０を検出し、検出結果を検出信号として図示しない制御部に送信する。制御部は、センサ２３（第２センサ２３ｂ）からの検出信号に基づいて第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５とトレー８０の距離（位置関係）を判断し、第２モータ３２の作動を制御することで、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５の移動を制御する。制御部は、センサ２３（第２センサ２３ｂ）が所定位置、すなわち、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５とトレー８０の壁板が接する位置においてトレー８０を検出すると、第２モータ３２の駆動を停止して、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５の移動を停止する。

【0057】

以上のように、天井搬送車１０においては、各チャック縦材２４・２５・２６に設けられるセンサ２３によって、各チャック縦材２４・２５・２６とトレー８０の距離を検出しながら、各チャック縦材２４・２５・２６の移動を制御することで、各チャック縦材２４・２５・２６がトレー８０を把持する位置をトレー８０の形状或いは大きさに合わせて自在に変更できるため、形状或いは大きさが異なるトレー８０を随時搬送する場合であっても、個々のトレー８０の形状或いは大きさに合わせて各チャック縦材２４・２５・２６を移動することができる。そのため、トレー８０の形状或いは大きさに合わせて天井搬送車１０の構造（例えば、各チャック縦材２４・２５・２６の構造）を変える必要がなく、同一の装置構造おいてトレー８０に対する各チャック縦材２４・２５・２６の把持する位置を変更するのみで、様々な形状或いは大きさのトレー８０を搬送することができる。

【0058】

また、天井搬送車１０においては、各チャック縦材２４・２５・２６が段積みされたトレー８０の側面（角部）に当接した状態でトレー８０を把持することから、トレー８０における積み重ねのズレ防止を行うことができる。また、被搬送体側に別途ズレ防止機構を設けることができない被搬送体であっても段積みされた状態で搬送することができる。

【0059】

さらに、天井搬送車１０においては、トレー８０を把持するための第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５によりワーク８１の飛び出しを防止できることから、簡単な装置構成によりトレー８０内のワーク８１の飛び出しを防止できる。

【0060】

さらにまた、天井搬送車１０においては、トレー８０の検出位置（検出方向）の異なる２台のセンサ（第１センサ２３ａ及び第２センサ２３ｂ）によりトレー８０を検出しながら、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５のトレー８０に対する移動方向を段階的に変化させることから、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５は、トレー８０に引っ掛かることなくトレー８０を把持することができる。

【0061】

［トレー８０の積み重ねのズレ補正］
次に、天井搬送車１０におけるトレー８０の積み重ねのズレ補正について説明する。
図５（ａ）及び（ｄ）に示すように、天井搬送車１０により搬送されるトレー８０は、それぞれがトレー８０の長手方向或いは幅方向（長手方向と直交する方向）にズレた状態で段積みされる場合がある。このような場合、天井搬送車１０においては、図５（ａ）に示すように、まず、各チャック縦材２４・２５・２６をトレー８０の幅方向（矢印Ｄ方向）に移動させることにより、トレー８０の幅方向におけるトレー８０のズレを補正する。具体的には、図５（ｂ）に示すように、各チャック縦材２４・２５・２６をトレー８０の長手方向の側面に当接させながら、各チャック縦材２４・２５・２６を矢印Ｄ方向に移動させる。これにより、ズレた状態のトレー８０が矢印Ｄ方向に押され、段積みされたトレー８０の幅方向におけるズレが補正される。

【0062】

次に、図５（ｄ）に示すように、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５をトレー８０の長手方向（矢印Ｅ方向）に移動させることにより、トレー８０の長手方向におけるズレを補正する。具体的には、図５（ｅ）に示すように、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５をトレー８０の幅方向の側面に当接させながら、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５を矢印Ｅ方向に移動させる。これにより、ズレた状態のトレー８０が矢印Ｅ方向に押され、段積みされたトレー８０の長手方向におけるズレが補正される。

【0063】

また、図５（ｄ）に示すように、段積みされるトレー８０の一部は、トレー８０内に収納されるワーク８１がトレー８０から飛び出した状態で収納されているものがある。そこで、天井搬送車１０においては、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５をトレー８０の長手方向（矢印Ｅ方向）に移動させることにより、トレー８０から飛び出した状態のワーク８１のズレを補正する。具体的には、図５（ｅ）に示すように、第１チャック縦材２４或いは第２チャック縦材２５を飛び出した状態のワーク８１の側面に当接させながら、第１チャック縦材２４及び第２チャック縦材２５を矢印Ｅ方向に移動させる。これにより、飛び出した状態のワーク８１が矢印Ｅ方向に押され、飛び出した状態のワーク８１がトレー８０内に収納される。

【0064】

このように、天井搬送車１０においては、各チャック縦材２４・２５・２６がトレー８０及びワーク８１の側面に当接した状態でトレー８０を把持することにより、トレー８０及びワーク８１のズレの補正を行うことができる。すなわち、各チャック縦材２４・２５・２６は、トレー８０を把持する把持機能を有するとともに、トレー８０及びワーク８１のズレ補正機能を有する。そのため、天井搬送車１０側にズレ補正機構を設ける必要がなく、簡単な装置構成によりトレー８０及びワーク８１のズレ補正を行うことができる。

【0065】

以上のように、天井搬送車１０によれば、トレー８０を把持する各チャック縦材２４・２５・２６がトレー８０における積み重ねのズレ補正及びズレ防止を行うため、天井搬送車１０側、或いはトレー８０側に別途ズレ補正機構及びズレ防止機構を設ける必要がない。そのため、簡単な装置構成によりズレ補正及びズレ防止を行うことができ、また、段積みされたトレー８０を充分に把持（保持）することができる。また、トレー８０側に別途ズレ補正機構及びズレ防止機構を設けることができないトレー８０であっても段積みされた状態で搬送することができる。さらに、段積みされたトレー８０を固定部材により固定して積み重ねのズレを防止する必要がないため作業効率が良い。

【0066】

なお、天井搬送車１０においては、把持部２１を３本のチャック縦材（チャック縦材２４・２５・２６）により構成しているが、これに限定されるものではなく、図６に示すように、４本の面ガイド縦材２６Ａによりトレー８０の各側板の中央部を把持する構成としても構わない。ここで、面ガイド縦材２６Ａは、第３チャック縦材２６と同様に、トレー８０の側板の側面に当接可能な板状部材により形成されるアーム部分２９Ａと、段積みされた最下段のトレー８０の底面を載置可能な板状部材をアーム部分２９Ａの板状部材の一端面に略垂直方向に接合して形成される受け部分３０Ａと、から構成される。

【0067】

この場合においては、図６（ｂ）及び（ｃ）に示すように、４本の面ガイド縦材２６Ａを同時に（一段階で）トレー８０に接近させる方向へ移動させることにより、各面ガイド縦材２６Ａをトレー８０の各側板の中央部において把持可能な状態とする。

【0068】

また、この場合においては、図６（ａ）に示すように、面ガイド縦材２６Ａのアーム部分２９Ａがトレー８０の側面に当接することで、トレー８０における積み重ねのズレ補正及びズレ防止を行う。さらに、アーム部分２９Ａがトレー８０の収納口８２の中央部を上下方向に覆う（トレー８０の収納口８２の中央部を閉じる）ことで、トレー８０内に収納されているワーク８１の収納口８２からの飛び出しを防止する。

【0069】

さらにまた、本実施の形態においては、搬送装置を天井走行形式の天井搬送車１０としているが、これに限定されるものではなく、例えば、床走行形式の走行車本体にチャッキング装置２０を設けた搬送装置としても構わない。この場合、走行車本体に旋回自在に設けた旋回テーブルに上下方向に回動自在に取り付けられたアーム部材に対してチャッキング装置２０を取り付ける構成とする。

【0070】

さらにまた、本実施の形態においては、把持部２１の各チャック縦材２４・２５・２６を、駆動部２２のような構成（モータ３１・３２、スライド部材４０・４１・４２等）により移動させているが、駆動部２２のような構成の駆動部に限定されるものではない。

【符号の説明】

【0071】

１０ 天井搬送車（搬送装置）
２０ チャッキング装置（把持手段）
２１ 把持部
２３ センサ（検出部）
２３ａ 第１センサ（第１検出部）
２３ｂ 第２センサ（第２検出部）
８０ トレー（被搬送体、搬送容器）
８１ ワーク
８２ 収納口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】