特許6191853ロードロックチャンバ

発明の名称　ロードロックチャンバ

出願人　ＴＤＫ株式会社　（識別番号 3067）

　　　　特許公開件数ランキング 57 位（442件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 62 位（400件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6191853

公報発行日　2017年9月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6191853

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