特許 6192160 基板収容体への基板収容補助装置及び基板収容装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6192160

(24)【登録日】2017年8月18日

(45)【発行日】2017年9月6日

(54)【発明の名称】基板収容体への基板収容補助装置及び基板収容装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20170828BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20170828BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20170828BHJP

   B65D 85/86 20060101ALI20170828BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B65G49/06 A

   B65G49/07 F

   B65D85/38 R

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2013-139323(P2013-139323)

(22)【出願日】2013年7月2日

(65)【公開番号】特開2015-12284(P2015-12284A)

(43)【公開日】2015年1月19日

【審査請求日】2016年4月28日

(73)【特許権者】

【識別番号】000211123

【氏名又は名称】中外炉工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100094042

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 知

(72)【発明者】

【氏名】福岡 準人

【審査官】 宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−００６４７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２０７８５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−０５９６０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−０５５３５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−０５８４２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−２５３４８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１６８１５２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｄ ８５／８６

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板の周縁部の四方のうち、三方を支持することで該基板を立てた状態で収容し、該基板の残りの一方から当該基板を出し入れする収容部を、収容される該基板の板面と交差する交差方向に所定ピッチで複数設けた基板収容体への基板の収容を補助する基板収容体への基板収容補助装置であって、
螺旋状の溝部が外周面に形成され、正逆回転駆動されることにより上記基板収容体の一方の側から交差方向に沿って前進後進可能に設けられたシャフトを備え、
上記シャフトは、上記基板が上記収容部に順次収容されるときに回転しつつ前進して、該基板を上記溝部で保持することを特徴とする基板収容体への基板収容補助装置。

【請求項2】

上記収容部の上記所定ピッチは、上記シャフトの上記溝部のピッチの正の整数倍であることを特徴とする請求項１に記載の基板収容体への基板収容補助装置。

【請求項3】

上記基板収容体は、上記基板の残りの一方の周縁部を着脱自在に保持する保持部材を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の基板収容体への基板収容補助装置。

【請求項4】

上記シャフトは、上記基板の板面に沿う方向に互いに間隔を隔てて複数設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれかの項に記載の基板収容体への基板収容補助装置。

【請求項5】

請求項１から４のいずれかの項に記載の基板収容体への基板収容補助装置が上記基板収容体に設けられていることを特徴とする基板収容装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の基板を立てた状態で基板収容体に収容する際、板面と交差する方向に互いに所定の間隔を隔てて支持することが可能な基板収容体への基板収容補助装置及び基板収容装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、薄板やガラス板等の基板を運搬する際には、カセットやマガジン、コンテナ等が用いられている。この種の技術として、特許文献１〜７が公知である。特許文献１の「基板収納カセット」は、複数種類の基板を収容することができる基板収納カセットを提供することを課題とし、カセットの左右一対の側板に等間隔に複数の孔部を設け、ガイド部材の凸部を挿入可能に設け、収納したい基板のサイズに応じてガイド部材の位置を変更できるようにしている。

【0003】

特許文献２の「基板用カセット」は、ほぼ直方体形状を有し、一定の間隔を有して垂直に相対面して配された一対の側板と、これら側板を両端部にて連結する一対の連結板から構成されている。側板は、断面略Ｌ字状を有し、立設面と、立設面の下端部に延出形成された延出面とから構成されている。側板の内側には、基板を垂直状に支持する断面コ字状の複数の溝部が形成されており、これら溝部は、立設面に形成され、溝幅の広い縦溝と、延出面に形成され、溝幅の狭い横溝からなっている。

【0004】

特許文献３の「プリント基板の搬送用マガジンの構造」は、上面を開放したボックス体と、この上面に対する開閉自在な蓋体とから成り、前記ボックス体内に、複数枚のプリント基板を、その左右両端縁がボックス体の左右両内側面に設けた縦溝に嵌まるように収納する搬送用マガジンにおいて、その搬送中に前記各プリント基板が縦溝から外れることを防止することを課題とし、前記ボックス体内の底面、及び、前記蓋体の下面に、スポンジ体を装着して、この両スポンジ体に、前記各プリント基板の上下両端縁が食い込むようにしている。

【0005】

特許文献４の「温度感性の品目を輸送するための貨物専用コンテナ」は、貨物専用コンテナが、側壁、後壁、底壁、上壁及び一対の蝶番扉突きの前開口部を有するアルミニウムの外側ハウジングを備える。このハウジングは、成形された箱形の合成外殻を収容する。この外殻は、成形された箱形で貨物格納室を定める合成内殻を収容する。内殻、外殻及び扉の対応する壁が、断熱カセットを閉じ込める。各カセットは、発泡シートによって分離され、浸漬された塑性シートによって被覆された層を形成する真空断熱パネルを有し、これらの全ての真空断熱パネルは、塑性膜で被覆されている。空気が、冷却蒸発器及び電気加熱要素を通じて貨物格納室内で循環される。ハウジングの後部分が、冷却圧縮器、蓄電池及び制御システムを包囲する。この制御システムは、貨物格納室内の温度を検知し、バッテリ又は外部電源から圧縮器及び加熱要素を操作して、貨物格納室内のプリセットされたほぼ一定の温度に維持するようになっている。

【0006】

特許文献５の「基板移載方法および装置」は、基板の品質を損なうことなくカセット間で基板の移替えを自動的に行うことができる基板移載方法と基板移載装置を提供することを課題とし、基板が縦方向となる第１のカセットの載置ステージと基板が縦方向となる第２のカセットの載置ステージと基板側面の挟持手段と基板搬送手段を具備している。

【0007】

特許文献６の「縦収納型カセット及びそれを備えた基板収納システム」は、複数の基板を高密度に収納することが可能で、かつ、垂直搬送方式の基板搬送装置との間での基板の出し入れも容易に行うことが可能な縦収納型カセットを提供することを課題とし、基板収納システムは、基板を起立状態で収納する縦収納型カセットを備えている。縦収納型カセットの正面側壁、背面側壁及び底面壁には各基板支持基板が配設され、基板の正面側背面部、背面側周縁部及び下側周縁部が支持されている。縦収納型カセットから基板を搬出する場合には、正面側壁は開放状態をとり、底面壁に配設された各底面側基板支持機構の各コロとともに、正面側壁に配設された各正面側基板支持機構の各コロにより、基板の下側周縁部がガイドされ、縦収納型カセットの一対の側面側壁の平面方向に沿うように正面側へ向けて起立状態で基板が搬送されるようになっている。

【0008】

特許文献７の「容器溝へのガラス板の挿入方法および装置」は、矩形状でフラットなガラス板をエッジ部だけの支持でガラス板面を非接触として箱状容器内の左右両溝内に１枚づつ離隔して縦姿勢で挿入する方法及び装置を提供することを課題とし、前工程の移載装置により受け渡された矩形状のガラス板の左右両縦辺エッジ部の左右両辺を挟持手段によりガラス板を昇降自在に挟持し、該ガラス板の下端辺を進退自在な爪状支持部材によってガラス板面と非接触で支持した状態で、ガラス昇降手段によってガラス板のみを昇降自在とし、左右の溝部の位置ずれを検出してガラス板の位置のずれを補正し、左右側端辺と下端辺の各エッジ部だけの支持でガラス板を箱状容器の左右両溝内に１枚づつ離隔して挿入し、溝状部内にガラス板を１枚挿入する毎に、箱状容器を次の溝部位置まで１ピッチ分移動させるようにしている。

【0009】

特許文献１及び２には、基板の周縁部の四方のうち、三方を支持することで、基板を立てた状態で収容するカセットが示されている。特許文献３及び４には、運搬時における基板への振動や基板の位置ずれを防止するために、残りの一方も含めて、基板の四方を支持するカセットが示されている。特許文献５〜７には、カセット等に基板を自動で収容する場合に、基板の取り回し及び作業性の良さから、基板の上端部を掴み、上方が開放されているカセットへ上方から挿入して基板を収容する装置が示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２００２−４３４０６号公報

【特許文献2】特開平６−２５０１６１号公報

【特許文献3】特開平１０−３２２０８９号公報

【特許文献4】特表２００８−５４３６８０号公報

【特許文献5】特開平７−１５３８１６号公報

【特許文献6】特開２００５−３１７８２６号公報

【特許文献7】特開２００６−２７３５２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

大型の薄板状の基板を、カセット等に、上方を除く三方だけを支持して起立した状態で収容する場合、基板に、それ自体の自重によって撓みや波打ちが生じ、これにより基板が支持部から離脱して倒れてしまうおそれがある。また、基板がガラス製であった場合には、支持部から外れた衝撃によって、基板が破損してしまうおそれがあるという課題がある。

【0012】

他方、上方を除く三方が支持されてカセット等に収容された複数の基板を、より安定した状態で収容するために、残りの一方を保持するためのアタッチメントを取り付ける場合がある。この場合に、基板が撓んで波打っていると、互いの間隔が不規則となって、当該アタッチメントを取り付けることができないおそれがあるという課題がある。

【0013】

これらの課題は、ＰＤＰ用やタッチパネル用のガラス基板が近年さらに大型化・薄型化するにつれて、大きな問題となってきている。

【0014】

本発明は上記従来の課題に鑑みて創案されたものであって、複数の基板を立てた状態で基板収容体に収容する際、板面と交差する方向に互いに所定の間隔を隔てて支持することが可能な基板収容体への基板収容補助装置及び基板収容装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0015】

本発明にかかる基板収容体への基板収容補助装置は、基板の周縁部の四方のうち、三方を支持することで該基板を立てた状態で収容し、該基板の残りの一方から当該基板を出し入れする収容部を、収容される該基板の板面と交差する交差方向に所定ピッチで複数設けた基板収容体への基板の収容を補助する基板収容体への基板収容補助装置であって、螺旋状の溝部が外周面に形成され、正逆回転駆動されることにより上記基板収容体の一方の側から交差方向に沿って前進後進可能に設けられたシャフトを備え、上記シャフトは、上記基板が上記収容部に順次収容されるときに回転しつつ前進して、該基板を上記溝部で保持することを特徴とする。

【0016】

上記収容部の上記所定ピッチは、上記シャフトの上記溝部のピッチの正の整数倍であることを特徴とする。

【0017】

上記基板収容体は、上記基板の残りの一方の周縁部を着脱自在に保持する保持部材を備えることを特徴とする。

【0018】

上記シャフトは、上記基板の板面に沿う方向に互いに間隔を隔てて複数設けられていることを特徴とする。

【0019】

本発明にかかる基板収容装置は、上記基板収容体への基板収容補助装置が上記基板収容体に設けられていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0020】

本発明にかかる基板収容体への基板収容補助装置及び基板収容装置にあっては、複数の基板を立てた状態で基板収容体に収容する際、板面と交差する方向に互いに所定の間隔を隔てて支持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明に係る基板収容体への基板収容補助装置の好適な一実施形態を示す斜視図である。

【図2】図１に示した基板収容体への基板収容補助装置の縦断面図である。

【図3】図１に示した基板収容体への基板収容補助装置に用いられるボールねじ軸を説明するための説明図である。

【図4】図１に示した基板収容体への基板収容補助装置による基板のカセットへの収容動作の様子を、側断面視及び正面視で説明する説明図である。

【図5】図４に続く基板の収容動作の様子を、側断面視及び正面視で説明する説明図である。

【図6】本発明に係る基板収容体への基板収容補助装置の変形例を示す、基板をカセットへ収容した状態の正面断面図である。

【図7】基板の搬送保持具の別の例を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下に、本発明にかかる基板収容体への基板収容補助装置及び基板収容装置の好適な実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施形態に係る基板収容体への基板収容補助装置を示す斜視図である。

【0023】

本実施形態にかかる基板収容体への基板収容補助装置１は、基板２を、基板収容体としてのカセット３に収容する際に用いられる。カセット３は例えば、薄板やガラス板等の基板２の周縁部の四方のうち、下方と左右との三方を支持することにより、基板２を起立した状態で収容する。カセット３は、収容される基板２の撓みを抑えたり、基板２を整列するのに役立つ。カセット３には、基板２を上方から出し入れする収容部３ａが、収容される基板２の板面と交差する方向（以下、「交差方向」という）に所定ピッチで複数設けられる。

【0024】

基板収容補助装置１は、図１に示すように、カセット３が搬送されるベルトコンベヤー４に隣接して、ベルトコンベヤー４の搬送方向と直交する方向（交差方向）に配置される。カセット３への基板２の収容作業は、ベルトコンベヤー４により搬送されたカセット３が基板収容補助装置１の前に停止した状態で行われる。

【0025】

カセット３は、上方が開放された箱体であり、搬送方向に対向するカセット３の側壁面には、互いに向かい合う配置で鉛直方向に沿って、基板２を板面がベルトコンベヤー４の搬送方向に沿うように案内する縦溝が形成され、カセット３の底面には、縦溝の下端同士を接続して、縦溝で案内された基板２の下方の周縁部を受容する受け溝（図示せず）が形成される。収容部３ａは、これら縦溝と受け溝によって構成される。収容部３ａを構成するこれら縦溝及び受け溝は、基板２の収容部３ａへの挿入操作性と保持性を兼備するために、カセット３の内側から外側に向けて溝幅が漸次狭くなるように形成される。

【0026】

カセット３は、収容された複数の基板２が、搬送時等に収容部３ａから外れないように、また基板２同士が接触しないように、基板２の上方の周縁部を保持する保持部材として、上部ホルダー５を備える。

【0027】

上部ホルダー５は、交差方向におけるカセット３の長さ寸法と同じ長さ寸法を有し、当該交差方向に沿ってカセット３の側壁部３ｃ間に架け渡される部材であり、搬送方向の幅は狭く、ほぼ板状に形成される。上部ホルダー５には、側壁部３ｃ間に架け渡されたときに当該側壁部３ｃ上に位置する部位を除き、下面側に、カセット３内側の側壁面及び底面に設けられるものと同様の複数の受け溝５ａが設けられる。上部ホルダー５は、各受け溝５ａが各基板２の上方の周縁部を受容するように、基板２が収容されたカセット３に上方から装着される。

【0028】

上部ホルダー５には、側壁部３ｃ間に架け渡されたときに、側壁部３ｃ上に位置する部位に、ピン５ｂが下方へ突出させて設けられる。これらピン５ｂは、上部ホルダー５を側壁部３ｃ間に架け渡したときに、側壁部３ｃの上面に設けられた凹部３ｄに挿入され、上部ホルダー５をカセット３に取付固定できるようになっている。

【0029】

基板２の収容作業は、製造工程に設置された基板搬送装置（図示せず）の搬送保持具６によって、上方の周縁部が把持されて吊り下げられた基板２をカセット３上に移動し、カセット３内の収容部３ａに吊り降ろすことで行われる。基板２は、交差方向に沿って、カセット３の一方の側である基板収容補助装置１に近い側の収容部３ａから、他方の側である基板収容補助装置１から遠く離れた側の収容部３ａに向けて順次収容されていく。

【0030】

基板２は薄板状なので、カセット３内で収容部３ａにより三方から支持しているだけでは、基板２に撓み変形が生じてしまうおそれがある。カセット３内で、複数の基板２がバラバラに撓み変形してしまうと、基板２間の間隔が上部ホルダー５の受け溝５ａのピッチと合わなくなってしまうため、上部ホルダー５の装着が困難になってしまうおそれがある。本実施形態では、その対策として、基板収容補助装置１を用いて、基板２をカセット３に収容するようにしている。

【0031】

また、基板２が薄板状なので、基板２の移動中にも、撓みや震動が生じるおそれがあるため、基板２の上方の周縁部を把持する上記搬送保持具６に代えて、図７に示すように、基板２の側面を吸着する真空チャック２３を備えた搬送保持具６を使用するようにしてもよい。

【0032】

図２は、本実施形態にかかる基板収容体への基板収容補助装置を示す縦断面図である。本実施形態の基板収容補助装置１は主に、ケーシング７（図１参照）に交差方向に沿って架け渡された本体フレーム８と、本体フレーム８の下面に固定されたリニアガイド９と、リニアガイド９が有するリニアブロック９ａに設けられた台座１０と、台座１０に固定されたモーター１１と、本体フレーム８のカセット３側の端部に固定金具１２を介して固定されたボールナット１３ａ及びこのボールナット１３ａに一端が螺合されたシャフトとしてのボールねじ軸１３ｂからなるボールねじ１３と、ボールねじ軸１３ｂの他端とモーター１１のモーター軸１１ａとを連結するカップリング１４とを備える。

【0033】

本体フレーム８は、水平をなすようにケーシング７に設けられる。本体フレーム８は、下面が平坦に形成された部材で、当該下面には、リニアガイド９のリニアレール９ｂとボールナット１３ａの固定金具１２とが交差方向に並べて設けられる。リニアガイド９のリニアレール９ｂに沿ってスライドするリニアブロック９ａと、ボールナット１３ａに螺合されたボールねじ軸１３ｂの前進後進方向は、一致されている。

【0034】

ボールナット１３ａに螺合されたボールねじ軸１３ｂにカップリング１４を介して連結されたモーター１１が正逆回転駆動されると、ボールねじ軸１３ｂが交差方向に前進・後進される。モーター１１は、台座１０を介してリニアブロック９ａに固定されているので、モーター１１もボールねじ軸１３ｂとともに、交差方向に前進・後進される。

【0035】

図３（ａ）は、基板２がボールねじ軸１３ｂに保持された状態を、軸に沿う方向から見た正面図であり、図３（ｂ）は、基板２がボールねじ軸１３ｂに保持された状態を下方から見上げた図、図３（ｃ）は、側面図である。

【0036】

本実施形態にかかる基板収容補助装置１では、ボールねじ軸１３ｂに設けられたねじ溝１３ｃのピッチは、カセット３に設けられた収容部３ａ及び上部ホルダー５の受け溝５ａのピッチの正の整数倍に設定される。これにより、ボールねじ軸１３ｂの前進後進動作により、ボールねじ軸１３ｂがケーシング７からカセット３の上方に回転しながら突出したときに、図３に示すように、収容されている基板２の上方の周縁部と、ボールねじ軸１３ｂの外周面に設けられた螺旋状の溝部としてのねじ溝１３ｃとが合致し、基板２の上方の周縁部がねじ溝１３ｃ内に案内されて保持される。

【0037】

基板収容補助装置１は、図１に示すように、リニアガイド９及びボールねじ１３を含む基板保持機構１５が搬送方向に２つ並べて、対をなして用いられる。各基板保持機構１５が有する２本のボールねじ軸１３ｂの間隔は、基板２の収容後に上方から装着される上部ホルダー５によって基板２が保持される幅よりも広く形成される。

【0038】

本実施形態にかかる基板収容補助装置１では図１に示すように、対をなす基板保持機構１５が、搬送方向に間隔を隔てて、ケーシング７からカセット３の上方に突出するように二組設けられている。基板保持機構１５が有する各ボールねじ軸１３ｂは、カセット３内に基板２が吊り降ろされた状態で、吊り降ろされた基板２上方にボールねじ軸１３ｂを前進させたときに、基板２を吊り下げている搬送保持具６と干渉しない位置に配置される（図４（ｂ）参照）。

【0039】

次に、本実施形態に係る基板収容体への基板収容補助装置１を用いた基板２の収容動作について説明する。カセット３への基板２の収容動作は、各基板保持機構１５で同じである。図４〜図５は、基板収容体への基板収容補助装置１を用いた基板２のカセット３への収容動作を説明する図である。

【0040】

カセット３に基板２を収容する場合、まずベルトコンベヤー４により、基板収容補助装置１と交差方向に並ぶ位置にカセット３が搬送され停止される。このとき、基板保持機構１５のボールねじ軸１３ｂは、ケーシング７内に収容されており、図４（ａ）に示すように、カセット３上には突出していない。

【0041】

次に、カセット３の複数の収容部３ａのうち、基板収容補助装置１に近い側の収容部３ａから順に、基板搬送装置の搬送保持具６に吊り下げられた基板２が収容されていく。ここでは、既に７枚の基板２が収容されて、８枚目の基板２を収容する収容動作について説明する。以下の説明では、交差方向をボールねじ軸１３ｂの前進後進方向とし、基板収容補助装置１から遠い側を前方側、基板収容補助装置１に近い側を後方側として説明する。

【0042】

７枚の基板２が収容された状態では、基板保持機構１５のボールねじ軸１３ｂに設けられたねじ溝１３ｃのうち、最も前方側のねじ溝１３ｃにより、７番目の基板２が保持されるとともに、６番目以前に収容された基板２はそれぞれ、ボールねじ軸１３ｂの後方側のねじ溝１３ｃに適宜に保持されている。

【0043】

８枚目の基板２が搬送される際、まず図４（ｂ）に示すように、基板搬送装置により、基板２上部の幅方向における両端の周縁部を搬送保持具６で吊り下げて、カセット３の上方に基板２を移動し、カセット３の８番目の収容部３ａに吊り降ろして収容する。

【0044】

次に、基板保持機構１５のモーター１１を正転駆動して、ボールねじ軸１３ｂを回転しつつ前進させ、図４（ｃ）に示すように、８枚目の基板２の上方の周縁部を、ボールねじ軸１３ｂの最も前方側のねじ溝１３ｃで保持する。基板２を当該ねじ溝１３ｃで保持した後、図５（ｄ）に示すように、８枚目の基板２から搬送保持具６を外し、９枚目の基板２の搬送に移る。

【0045】

このように基板２のカセット３への収容と、ボールねじ軸１３ｂを回転しつつ前進させることによる基板２の保持とを交互に行い、順次基板２を収容して、カセット３の各収容部３ａに基板２を収容していく。

【0046】

そして、全ての基板２が収容され、ボールねじ軸１３ｂのねじ溝１３ｃで各基板２を保持している状態で、図５（ｅ）に示すように、ボールねじ軸１３ｂの間に上部ホルダー５を挿入する。上部ホルダー５のピン５ｂをカセット３の凹部３ｄに挿入することで、上部ホルダー５がカセット３に装着されると共に、基板２の上方の周縁部を保持する。

【0047】

最後に、基板保持機構１５のボールねじ軸１３ｂを、モーター１１を逆転駆動して回転しつつ後進させることにより、ボールねじ軸１３ｂをカセット３上から退避させることができ、図５（ｆ）に示すように、基板２の収容作業が完了する。

【0048】

上述した基板２の収容動作を反対方向の手順で行うことにより、カセット３に収容している基板２を抽出することができる。

【0049】

本実施形態の基板収容補助装置１によれば、カセット３に、三方の周縁部が支持されて立てた状態で収容された基板２の上方に、基板２の上方の周端部を保持する螺旋状のねじ溝１３ｃを備えたボールねじ軸１３ｂが前進後進可能に設けられているので、収容された基板２を四方から保持して、基板２を安定した状態でカセット３に収容することができる。ボールねじ軸１３ｂのねじ溝１３ｃは螺旋状なので、ボールねじ軸１３ｂをボールナット１３ａに螺合して、回転しつつ前進させることにより、基板２の上部の周縁部を保持しながら、基板２を連続で自動的にカセット３に整然と収容することができ、作業時間を短縮することができる。

【0050】

ボールねじ軸１３ｂは市販のものが利用でき、カセット３で基板２を収容しているピッチに適したものを選定すればよい。図３（ｂ）に示すように、ねじ溝１３ｃは、基板２に対して斜めに配置されるが、図３（ｃ）に示すように、側方から見ると、ねじ溝１３ｃは、基板２の表裏に対して微小隙間Ｃが形成される状態を基本に設計される。この調整は、基板２とボールねじ軸１３ｂとが重なる高さ（図３（ａ）中、寸法Ｈ参照）を調節することで行われる。微小隙間Ｃがないと、基板２を強く挟み付けることになるので、回動によって前進・後進するボールねじ軸１３ｂの動きに支障が生じたり、基板２がガラス製であれば、基板２を損傷してしまうおそれがある。また、微小隙間Ｃが大きすぎると、基板２の揺れが大きくなり、同様に損傷のおそれがある。そこで、ボールねじ軸１３ｂが、スムーズに基板２を挟みながら、回動できるように調節を行う。また、ボールねじ軸１３ｂの実際の回動時には、基板２は、表裏の何れかがねじ溝１３ｃに点接触しながら動作される。そのため、ボールねじ軸１３ｂの材質としては、基板２に傷が付きにくく、滑りやすいように、合成樹脂など樹脂製のものを採用することが好ましい。

【0051】

カセット３に収容された基板２は、ボールねじ軸１３ｂのねじ溝１３ｃにより常に保持されるので、基板２を常時四方から保持して安定した状態で収容することができ、一旦収容した基板２が収容部３ａから外れるなど、収容状態が乱れることを防止することができる。収容された基板２は常に四方から保持されているので、四方から保持しないと自立できないような薄板であっても、自動挿入及び自動抽出が可能となる。

【0052】

ボールねじ軸１３ｂは、基板２がカセット３に収容されていく方向と同じ方向に前進・後進可能なので、カセット３の端から効率よく整然と基板２を収容することができる。このように複数の基板２を立てた状態で、板面と交差する方向に所定の間隔を隔てて保持することができる。カセット３は上方が開放されているので、基板２を上方から吊り降ろして収容することができ、容易に収容作業を遂行できる。

【0053】

本実施形態では、ボールねじ軸１３ｂを搬送方向に並べて２本ずつ、対をなすように配置し、各対の２本の間隔を、上部ホルダー５の幅よりも広く設定したので、上部ホルダー５をボールねじ軸１３ｂ間に上方から容易に装着することができる。

【0054】

しかし、各対の２本のボールねじ軸１３ｂの間隔は、上部ホルダー５の幅を超えない範囲でより狭く設定した方が、ボールねじ軸１３ｂ間における基板２の撓みをさらに小さく抑えることができる。撓みを小さく抑えることができれば、上部ホルダー５の受け溝５ａが差し込まれる基板２の上方の周縁部をより正確に配置することができ、上部ホルダー５をより容易に装着することができる。

【0055】

上記実施形態においては、各基板保持機構１５に対し、ボールねじ軸１３ｂを、対にして２本設けた例について説明したが、必ずしも対をなして設ける必要はなく、１本でもよい（図５参照）。また、基板保持機構１５を２組備えて、ボールねじ軸１３ｂを二対４本備えた例について説明したが、ボールねじ軸１３ｂは、収容する基板２のサイズに応じて、搬送方向に３本以上備えるようにしてもよい。ボールねじ軸１３ｂが、搬送方向に間隔を隔てて複数設けられるので、基板２の全幅にわたって撓みの発生を抑えて、カセット３に整然と収容することができる。

【0056】

上記実施形態においては、カセット３の一方の側から交差方向に沿って前進後進可能に設けられたシャフトをボールねじ軸１３ｂとし、シャフトの外周面に形成された螺旋状の溝部をねじ溝１３ｃとしたが、これに限るものではない。外周面に形成された螺旋状の溝部を備え、回動しつつ前進して基板２を保持できる構成であれば、どのようなものであってもよい。

【0057】

また、上記実施形態においては、基板収容補助装置１とカセット３とが分離している例について説明したが、基板収容補助装置１とカセット３とを一体とした基板収容装置としても良い。この場合には、カセット３に常に基板収容補助装置１が付随しているので、カセット３をどこへ持ち運んでも、基板２を正しく収容することができる。

【0058】

上記実施形態においては、カセット３が開放されている一方を上方としたが、これに限らず、側方であっても良いことはもちろんである。

【符号の説明】

【0059】

１ 基板収容補助装置
２ 基板
３ カセット
３ａ 収容部
３ｃ 側壁部
３ｄ 凹部
４ ベルトコンベヤー
５ ホルダー
５ａ 受け溝
５ｂ ピン
６ 搬送保持具
７ ケーシング
８ 本体フレーム
９ リニアガイド
９ａ リニアブロック
９ｂ リニアレール
１０ 台座
１１ モーター
１１ａ モーター軸
１２ 固定金具
１３ ボールねじ
１３ａ ボールナット
１３ｂ ボールねじ軸
１３ｃ ねじ溝
１４ カップリング
１５ 基板保持機構
２３ 真空チャック

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】